DE10053964A1

DE10053964A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen einer optischen Aufzeichnungsplatte

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Publication number: DE10053964A1
Application number: DE10053964A
Authority: DE
Inventors: Kokichi Kohinata; Shoji Akiyama; Yoshinori Itaba; Tokuhiro Morioka
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1999-11-02
Filing date: 2000-10-31
Publication date: 2001-05-03
Also published as: US6478908B1; JP2001134990A; US20020033226A1; US6702920B2; NL1016512A1; TW476959B; NL1016512C2

Abstract

Die Erfindung beschäftigt sich damit, wie eine optische Aufzeichnungsplatte mit guter Qualität erhalten werden kann, bei der der Rand eines nicht ausgehärteten, durch Ultraviolettstrahlung härtbaren Harzes (R) am Innenumfang eine schöne, im Wesentlichen konzentrische Kontur aufweisen kann, wenn Unregelmäßigkeiten in der Benetzbarkeit der Substrate (D1, D2) in Bezug auf das Harz existieren, wobei das Harz selbst dann mit gleichmäßiger vorbestimmter Filmdicke ausgebildet werden kann, wenn Unregelmäßigkeiten in der Benetzbarkeit der beiden Substrate, Schwierigkeiten beim Einstellen der auf das Harz einwirkenden Zentrifugalkraft, Unregelmäßigkeiten der Plattendicken der beiden Substrate oder dergleichen bestehen. DOLLAR A Eines der beiden Substrate wird mit niedriger Drehzahl gedreht, während das andere festgehalten wird und beide Substrate zusammengedrückt werden, so dass eine optische Aufzeichnungsplatte erhalten wird, bei der die beiden Substrate vorläufig über einen Ring des im Wesentlichen konzentrisch zu den Substraten aufgebrachten Harzes verbunden sind, um danach eine Harzschicht vorbestimmter Dicke dadurch zu erzeugen, dass das Harz ausgebreitet wird. Anschließend wird die optische Aufzeichnungsplatte mit hoher Drehzahl gedreht, und es wird Ultraviolettstrahlung auf sie aufgestrahlt, um das schichtförmige Harz auszuhärten.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Herstellen einer optischen Aufzeichnungsplatte aus zwei miteinander verbundenen runden Substraten.

Der Kürze halber wird nachfolgend von einer optischen Platte statt einer optischen Aufzeichnungsplatte gesprochen.

Unter Bezugnahme auf die Fig. 1A bis 15 wird nun ein her kömmliches Verfahren zum Herstellen einer optischen Platte erläutert. Wie es in Fig. 1A dargestellt ist, wird ein zwei tes rundes Substrat D2 mit einem Durchmesser von 120 mm (aus z. B. Polycarbonat) hergestellt. h2 ist das Mittelloch die ses zweiten runden Substrats, und r2 ist seine Aufzeich nungsfläche, in der eine Datenaufzeichnungsspur (mit Reihen von Vertiefungen mit verschiedenen Längen und Breiten) kon zentrisch oder entlang einer Bahn ausgebildet ist, die einem Kreis entspricht.

Wie es in Fig. 1B dargestellt ist, wird auf die Aufzeich nungsfläche r2 als Kleber ein Harz R vom Typ, das bei Ultra violettstrahlung aushärtet, aufgetropft, während diese zwei te runde Aufzeichnungsplatte D2 an einer zweckdienlichen Po sition im Bereich von radial 15 bis 50 mm auf der Aufzeich nungsfläche r2 gedreht wird, um dieses Harz R ringförmig mit vorbestimmter Breite im Wesentlichen konzentrisch zum zwei ten Substrat D2 aufzutragen.

Wie es in Fig. 1C dargestellt ist, wird außerdem ein erstes rundes Substrat D1 mit einem Durchmesser von 120 mm (aus z. B. ebenfalls Polycarbonat) hergestellt. h1 ist das Mit telloch dieses ersten Substrats D1, und r1 ist die Aufzeich nungsfläche desselben, die wie die des zweiten Substrats D2 eine Datenaufzeichnungsspur trägt.

Wie es in Fig. 1D dargestellt ist, werden die Aufzeichnungs flächen r1, r2 des ersten und zweiten Substrats D1, D2 so übereinander angeordnet, dass sich das nicht ausgehärtete, verbindende Harz R dazwischen befindet, um eine optische Platte zu erhalten. Diese wird mit hoher Drehzahl gedreht, um das Harz R zwischen dem ersten und zweiten Substrat D1, D2 durch die Zentrifugalkraft über den gesamten Innen- und Außenumfangsteil mit gleichmäßiger Dicke zu verteilen, um dadurch eine optische Platte D zu erhalten, die durch das nicht ausgehärtete Harz zusammengehalten wird.

Wie es in Fig. 1E dargestellt ist, werden das erste und zweite Substrat D1 und D2 dadurch fest miteinander verbun den, um eine fertiggestellte optische Platte D zu erhalten, dass Ultraviolettstrahlung aufgestrahlt wird, um das Harz R auszuhärten, über das das erste und zweite Substrat D1, D2 verbunden wurden.

Beim herkömmlichen Herstellverfahren für eine optische Plat te werden beim Ausbreiten des Harzes wegen Unregelmäßigkei ten der Benetzbarkeit des ersten und zweiten Substrats durch das Harz Unregelmäßigkeiten erzeugt, wodurch das Harz nicht im Wesentlichen konzentrisch zur Innenumfangsseite des ers ten und zweiten Substrats ausgebreitet werden kann. Daher kann der Rand am Innenumfang des Harzes zwischen dem ersten und zweiten Substrat keine schöne Kontur im Wesentlichen konzentrisch zu den Substraten aufweisen, so dass keine op tische Platte mit guter Qualität erhalten werden kann.

Darüber hinaus werden beim herkömmlichen Verfahren das erste und zweite Substrat durch das nicht ausgehärtete Harz vom Typ für Aushärtung durch Ultraviolettstrahlung verbunden, und die dabei erhaltene Platte wird mit hoher Drehzahl ge dreht, damit eine Filmdicke des Harzes von vorbestimmtem Wert erhalten wird. Wegen der genannten Unregelmäßigkeit der Benetzbarkeit des ersten und zweiten Substrats durch das Harz, wegen Schwierigkeiten beim Einstellen der auf das Harz wirkenden Zentrifugalkraft, wegen Unregelmäßigkeiten der Plattendicken des ersten und zweiten Substrats oder derglei chen, war es jedoch schwierig, eine optische Platte mit gleichmäßiger Dicke des ausgehärteten Harzfilms zwischen dem ersten und zweiten Substrat mit guter Qualität zu erhalten.

Ferner existieren bei digitalen Videoplatten (DVD) als einem Typ herkömmlicher optischer Aufzeichnungsplatten solche DVDs, die als Standard eine Filmdicke des ausgehärteten Har zes zwischen dem ersten und zweiten Substrat von 20 µm oder weniger aufweisen. Mit dem herkömmlichen Herstellverfahren für optische Platten war es sehr schwierig, eine DVD mit ei ner Filmdicke des ausgehärteten Harzes von 20 µm oder weni ger zu erhalten.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Herstellen einer optischen Platte zu schaffen, die eine schöne Kontur des Randabschnitts des aus gehärteten Harzes vom Typ mit Aushärtung durch Ultraviolett strahlung am Innenumfang im Wesentlichen konzentrisch zum ersten und zweiten Substrat dadurch aufweisen kann, dass das Harz im Wesentlichen konzentrisch zur Innenumfangsseite selbst dann ausgebreitet wird, wenn Unregelmäßigkeiten der Benetzbarkeit des ersten und zweiten Substrats zum Harz be stehen, wobei eine optische Platte mit guter Qualität da durch erhalten werden kann, dass das ausgehärtete Harz gleichmäßige Filmdicke aufweist, die auf einen vorbestimmten Höchstwert oder unter diesem eingestellt ist, und zwar selbst dann, wenn Unregelmäßigkeiten hinsichtlich der Be netzbarkeit beider Substrate in Bezug auf das Harz, Schwie rigkeiten beim Einstellen der auf das nicht ausgehärtete Harz wirkenden Zentrifugalkraft, Unregelmäßigkeiten der Plattendicken des ersten und zweiten Substrats oder derglei chen bestehen.

Diese Aufgabe ist hinsichtlich des Herstellverfahrens durch die Lehren der beigefügten unabhängigen Ansprüche 1 und 2 und hinsichtlich der Herstellvorrichtung durch die Lehre des Anspruchs 7 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiter bildungen sind Gegenstand abhängiger Ansprüche.

Bei der Erfindung wird eine fertige optische Platte mit ei nem ersten und zweiten runden Substrat, die miteinander ver bunden sind, dadurch erhalten, dass eine Schicht eines Har zes vom Typ für Aushärtung durch Ultraviolettstrahlung da durch mit vorbestimmter gleichmäßiger Dicke ausgebreitet wird, dass das erste oder zweite Substrat mit niedriger Drehzahl gedreht wird, während das andere festgehalten wird und die beiden aneinander gedrückt werden, wobei das nicht ausgehärtete Harz im Wesentlichen konzentrisch zwischen den Substraten angeordnet wurde. Anschließend wird die optische Platte mit den beiden Substraten, die durch das nicht ausge härtete Harz mit vorbestimmter gleichmäßiger Dicke verbunden sind, mit hoher Drehzahl gedreht, und es wird Ultraviolett strahlung aufgestrahlt, um das Harz auszuhärten.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von durch Figuren ver anschaulichten Ausführungsbeispielen näher erläutert.

Fig. 1A bis 1E sind schematische Schnittansichten zum Veran schaulichen eines herkömmlichen Herstellverfahrens für eine optische Platte;

Fig. 2A bis 2D sind schematische Schnittansichten zum Veran schaulichen eines Herstellverfahrens für eine optische Plat te gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung;

Fig. 3A bis 3D sind Darstellungen einer Platten-Press/Ro tier-Vorrichtung einer Herstellvorrichtung für eine optische Platte gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung, wobei Fig. 3A eine Vorderansicht einer Plattenrotiervorrichtung ist, Fig. 3B eine Seitenansicht der Plattenrotiervorrichtung ist, Fig. 3C eine Schnittansicht ist, die eine optische Platte zeigt und Fig. 3D eine Vorderansicht eines Platten halters zeigt;

Fig. 4 ist eine Seitenansicht einer Plattenumdrehvorrichtung einer Herstellvorrichtung für optische Platten gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung;

Fig. 5 ist eine Seitenansicht einer Platten-Vertikalan triebsvorrichtung einer Herstellvorrichtung für optische Platten gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung; und

Fig. 6 ist eine Draufsicht einer Herstellvorrichtung für op tische Platten gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfin dung.

Als Erstes wird unter Bezugnahme auf die Fig. 2A bis 2D ein konkretes Beispiel eines Herstellverfahrens für optische Platten erläutert. In Fig. 2A bezeichnen D1 und D2 ein ers tes bzw. zweites rundes Substrat (aus z. B. Polycarbonat) mit jeweils einem Durchmesser von 120 mm und einem Mittel loch h1 bzw. h2. Das erste und das zweite Substrat D1, D2 werden so angeordnet, dass ihre Aufzeichnungsflächen r1, r2 einander zugewandt sind, und dazwischen wird an einer geeig neten Position 15 bis 50 mm radial entfernt vom Mittelpunkt des ersten und zweiten Substrats ein Harz R vom Typ für Aus härtung durch Ultraviolettstrahlung ringförmig und konzen trisch zu den beiden Substraten angebracht. Auf den Auf zeichnungsflächen r1, r2 ist übrigens jeweils eine Datenauf zeichnungsspur (mit Reihen von Vertiefungen mit verschiede nen Längen und Breiten) konzentrisch oder entlang einer Bahn, die einem Kreis gleichkommt, ausgebildet.

Wie es in Fig. 2A dargestellt ist, wird das erste Substrat D1 über das Harz R auf das zweite Substrat D2 dadurch aufge legt, dass entweder als Erstes das Harz R auf die Aufzeich nungsfläche r2 des zweiten Substrats D2 aufgetragen wird und dann das erste Substrat D1 daraufgelegt wird oder dass als Erstes das Harz R auf die Aufzeichnungsfläche r1 des ersten Substrats D1 aufgetragen wird, danach dasselbe umgedreht wird und es dann auf das zweite Substrat D2 aufgelegt wird. Im letzteren Fall ist die Fläche des Harzes R auf dem ersten Substrat D1, die anfangs mit der Oberfläche r2 des zweiten Substrats D2 in Kontakt tritt, klein, wodurch die Anzahl der in das Harz R eingebrachten Blasen kleiner als im ersteren Fall sein kann, wodurch eine optische Platte höherer Quali tät erhalten werden kann.

Wie es in Fig. 2B dargestellt ist, wird, während das erste und das zweite Substrat D1, D2 aneinandergedrückt werden, eines derselben mit niedriger Drehzahl gedreht, während das andere festgehalten wird, oder die beiden werden gleichzei tig gemeinsam mit niedriger Drehzahl gedreht. Wenn die Dicke des Harzes R auf einen vorbestimmten Wert gesenkt ist, wird das Zusammendrücken des ersten und zweiten Substrats D1, D2 bei Drehung des einen oder beider mit niedriger Drehzahl be endet.

Durch Druckausübung zwischen dem ersten und zweiten Substrat D1, D2 kann die Dicke des Harzes R unabhängig von Unregel mäßigkeiten der Benetzbarkeit des ersten und zweiten Sub strats D1, D2 in Bezug auf das Harz R konstant gemacht wer den. Darüber hinaus wird durch die Druckausübung zwischen den beiden Substraten und das Drehen eines derselben oder beider selbst dann, wenn für eines der Substrate D1, D2 oder beide eine Dickenunregelmäßigkeit besteht, das ringförmig im Wesentlichen konzentrisch zu den beiden Substraten zwi schen diesen aufgetragene Harz R im Wesentlichen konzen trisch zur Innen- und zur Außenumfangsseite ausgebreitet, so dass die Dicke des Harzes R über die Gesamtheit des ersten und zweiten Substrats gleichmäßig sein kann. Demgemäß kann hinsichtlich des Dicken-Standardwerts des Harzes R eine gro ße Toleranz erzielt werden.

Ob die Dicke des Harzes R auf einen vorbestimmten Wert ver ringert wurde oder nicht, wird dadurch ermittelt, ob der Verschiebeweg des einen Substrats bei fixiertem anderem Sub strat in der Dickenrichtung einen vorbestimmten Wert ein nimmt, oder dadurch, ob die Summe der Bewegungswege beider Substrate D1, D2 einen vorbestimmten Wert einnimmt. Darüber hinaus kann dies auch dadurch ermittelt werden, dass erfasst wird, ob die Druckkraft auf das eine Substrat bei fixiertem anderem Substrat in der Dickenrichtung einen vorbestimmten Wert einnimmt, oder ob die Summe der Druckkräfte auf beide Substrate einen vorbestimmten Wert einnimmt.

Wie es in Fig. 2C dargestellt ist, werden anschließend die beiden Substrate D1, D2 gleichzeitig gemeinsam für eine vor bestimmte Zeit mit hoher Drehzahl gedreht. Dadurch kann das Harz R zwischen den Substraten noch dünner gemacht werden.

Wie es in Fig. 2D dargestellt ist, wird über das erste oder zweite Substrat D1, D2, hier das erste Substrat D1, Ultra violettstrahlung auf das Harz R gestrahlt, um es auszuhär ten. Dadurch kann eine optische Platte D erhalten werden, bei der die beiden Substrate D1, D2 miteinander verbunden sind.

Als Nächstes wird unter Bezugnahme auf die Fig. 3 bis 6 ein Ausführungsbeispiel einer Herstellvorrichtung für eine opti sche Platte erläutert. Als Erstes wird die in Fig. 6 darge stellte Draufsicht erläutert. BS bezeichnet einen Träger tisch. An diesem sind Drehteller RT1, RT2, ein Rotationsarm halter RH2 und ein Drehteller RT3 aufeinanderfolgend von rechts nach links angeordnet. Die Drehteller RT1, RT2 sind jeweils mit sechs Löchern H1, H2 mit einem Intervall von 60° versehen, und sie drehen sich intermittierend um 60°. Der Durchmesser jeder der sechs Löcher H1, H2 ist kleiner als der Durchmesser des ersten und zweiten Substrats D1, D2, ausgebildet. Der Drehteller RT3 dreht sich intermittierend um 90°, wobei alle 90° eine optische Platte D angeordnet ist. Auf dem Trägertisch BS ist eine sektorförmige Abdeckung CV von im Wesentlichen 140° montiert, und an dieser Abde ckung CV ist eine Ultraviolett(UV)lampe LUV so montiert, dass Ultraviolettstrahlung von dieser durch ein Fenster (nicht dargestellt), das in der Abdeckung CV vorhanden ist, auf die optischen Platten D gestrahlt werden kann, die unter der Abdeckung CV durchlaufen, während sie sich drehen.

In Fig. 6 bezeichnet RS einen am Trägertisch BS angebrachten Harzzuführteil. Dieser verfügt über eine Düse (nicht darge stellt) zum Auftropfen des Harzes R auf ein erstes Substrat D1 (in Fig. 6 nicht dargestellt) auf dem Drehteller RT1. Ei ne nicht dargestellte Plattenrotiereinrichtung zum langsamen Drehen des ersten Substrats ist am Trägertisch BS unter der Düse des Harzzuführteils RS und auch unter dem Drehteller RT1 montiert. Die Plattenrotiereinrichtung tropft das Harz R aus der Düse des Harzzuführteils RS durch das Loch H1 im Drehteller RT1 unter Drehung des ersten Substrats D1 (in Fig. 6 nicht dargestellt) ringförmig auf die Aufzeichnungs fläche r1 desselben. Danach wird der Drehteller RT1 in Uhr zeigerrichtung um 60° verdreht.

DR bezeichnet eine Plattenumdrehvorrichtung zum Umdrehen des ersten Substrats D1, auf das das Harz R aufgedreht wurde und das vom Drehteller RT1 transportiert wurde, d. h. zum Ver drehen um 180°.

Als Nächstes wird unter Bezugnahme auf Fig. 4 die Konstruk tion (Seitenansicht) eines Beispiels der Plattenumdrehvor richtung erläutert. FP1 ist eine Befestigungsplatte. An die ser ist eine Platten-Vertikalantriebsvorrichtung UD1 mit z. B. einem Luftzylinder angebracht. Diese Platten-Vertikal antriebsvorrichtung UD1 ist mit einer vertikal verschiebba ren Verschiebeeinheit SU1 versehen. Über dieser Verschiebe einheit SU1 ist eine Plattenumdreh-Antriebsquelle DDR mit z. B. einem Drehstellglied montiert, an der wiederum eine Fingerantriebsquelle DFG mit z. B. einem Luftsperrventil montiert ist. An der Fingerantriebsquelle DFG sind zwei zu einander parallele Finger FG montiert, die durch die Finger antriebsquelle DFG parallel verstellbar sind, um den Abstand zwischen ihnen zu variieren.

In der Plattenumdrehvorrichtung DR wird dann, wenn sich die Plattenumdreh-Antriebsquelle DDR an einer Position unter der Befestigungsplatte FP1 befindet, das erste Substrat D1 auf dem Loch H₁ des Drehtellers RT1 durch Öffnen/Schließen der zwei Finger FG an ihrem Mittelloch h1 gehalten. Danach hebt die Plattenumdreh-Antriebsquelle DDR die Platten-Vertikalan triebsvorrichtung UD1 mittels der Verschiebeeinheit SU1 in solchem Ausmaß vertikal an, dass es durch die Fingeran triebsquelle DFG zu keinen Schwierigkeiten bei der Drehung des ersten Substrats D1 kommt. Danach werden die zwei das erste Substrat 1 haltenden Finger FG durch die Fingeran triebsquelle DFG um 180° gedreht. Anschließend wird die Plattenumdrehantriebsquelle DDR durch die Platten-Vertikal antriebsvorrichtung UD1 mittels der Verschiebeeinheit SU1 so abgesenkt, dass sie sich der Befestigungsplatte FG1 nähert, damit das mit dem Harz R versehene umgedrehte erste Substrat D1 wieder auf das Loch H1 im Drehteller RT1 gesetzt wird. Danach wird der Drehteller RT1 in Uhrzeigerrichtung um 60° gedreht.

Nun wird erneut auf Fig. 6 Bezug genommen. RH1 ist ein Rota tionsarmhalter zum Halten und Transportieren des ersten Sub strats D1 vom Drehteller RT1 zum Drehteller RT2, und er ver fügt über z. B. drei Arme. Platten-Vertikalantriebsvorrich tungen mit der in Fig. 5 dargestellten Konstruktion sind je weils an Positionen P1, P2 auf dem Trägertisch BS unter dem Drehteller RT1 angebracht.

Nachfolgend wird die Konstruktion (Seitenansicht) eines Bei spiels der Platten-Vertikalantriebsvorrichtung gemäß Fig. 5 erläutert. UD2 bezeichnet eine Platten-Vertikalantriebsquel le mit z. B. einem Luftzylinder, die auf dem Trägertisch BS montiert ist. Diese Platten-Vertikalantriebsquelle UD2 ist mit einer Verschiebeeinheit SU2 versehen, an der ein Halter HD1 und eine Spindel SP1 montiert sind. DS ist eine am Hal ter HD1 montierte Schale zum Aufnehmen von auf das erste Substrat D1 aufgetragenem Harz R, wenn dieses herunter tropft. Die Schale DS ist am Punkt P1 auf dem Trägertisch BS für die Platten-Vertikalantriebsvorrichtung erforderlich, jedoch nicht am Punkt P2, so dass dort keine Schale DS vor handen ist.

Die am Punkt P1 auf dem Trägertisch BS vorhandene Platten- Vertikalantriebsvorrichtung hebt das erste Substrat D1 an, auf dessen Unterseite am Loch H1 des Drehtellers RT1 das Harz aufgetragen wurde, so dass es durch den Rotationsarm halter RH1 gehalten wird. Danach wird dieser in Gegenuhrzei gerrichtung um 120° gedreht.

Eine in den Fig. 3A, 3B dargestellte Platten-Press/Rotier- Vorrichtung (Vorder- und Seitenansicht) ist am Punkt P3 auf dem Trägertisch BS unter dem Drehteller RT2 vorhanden, und an diesem Punkt P3 ist auch über dem Drehteller RT2 ein Plattenhalter zum Halten des ersten runden Substrats D1, wie in Fig. 3D dargestellt, vorhanden.

Nachfolgend wird die in den Fig. 3A, 3B dargestellte Plat ten-Press/Rotier-Vorrichtung erläutert. HD2 bezeichnet einen Halter zum Halten des zweiten Substrats D2. Dieser Halter HD2 ist am freien Ende einer Spindel SP2 angebracht, damit er durch diese mittels einer Rotationsantriebsquelle PTL für niedrige Plattendrehzahl, die z. B. ein Motor ist, mit nied riger Drehzahl gedreht wird. Diese Antriebsquelle PTL ist entlang zweier parallel zueinander angeordneter Verschiebe führungen SG verstellbar angebracht, mit z. B. der Funktion einer Vertikalverschiebung des Halters HD2, insbesondere der Funktion des Hochschiebens des zweiten Substrats D2 der Platte D in Fig. 3C durch Umsetzen der Drehkraft einer Plat tenhochschiebe-Antriebsquelle (Platten-Vertikalantriebsquel le) UP mit z. B. einem Motor in eine lineare Verstellkraft mittels einer nicht dargestellten Kugelspindel.

Nachfolgend wird, unter Bezugnahme auf Fig. 3D, ein Platten halter zum Halten des ersten Substrats D1 der optischen Platte D der Fig. 3C erläutert. DHD bezeichnet einen an ei ner Halteplatte PHD befestigten Plattenhalter, der mit einer Druckerfassungsvorrichtung PS in Form z. B. einer Lastauf nahmezelle über eine Mittelachse versehen ist.

Eine Platten-Press/Rotier-Vorrichtung, wie sie in den Fig. 3A, 3B dargestellt ist, ist auch am Punkt P2 vorhanden. An diesem Punkt P2 wird das erste Substrat D1 durch den Rota tionsarmhalter PH1 gehalten, und das durch den Drehteller RT2 transportierte zweite Substrat D2 wird durch die Plat ten-Press/Rotier-Vorrichtung angehoben, um gegen das ring förmig auf die Unterseite des ersten Substrats D1 aufgetra gene Harz R gedrückt zu werden. Danach wird die optische Platte D mit dem ersten und zweiten Substrat D1, D2, die durch das nicht ausgehärtete Harz verbunden sind, von der Position des Punkts P2 zu derjenigen des Punkts P3 entspre chend einer Drehung des Drehtellers RT2 in Uhrzeigerrichtung um 60° gedreht und transportiert.

Dann wird die optische Platte D auf dem Drehteller RT2 mit dem nicht ausgehärteten Harz am Punkt P3 durch den Halter HD2 der in den Fig. 3A, 3B dargestellten Platten-Press/Ro tier-Vorrichtung angehoben und an einer festen Position so zum Plattenhalter DHD hochgedrückt, dass von diesem nur das erste Substrat D1 gehalten wird. Da der durch die Platten- Press/Rotier-Vorrichtung in Bezug auf die optische Platte D ausgeübte Druck durch die Druckerfassungsvorrichtung PS er fasst wird, wird dann, wenn der ausgeübte Druck einen vorbe stimmten Wert einnimmt, das erste Substrat D1 durch den Plattenhalter DHD angesaugt, und das zweite Substrat D2 wird durch den Halter HD2 angesaugt. Während zwischen dem ersten und zweiten Substrat D1, D2 durch die Plattenhochdrück-An triebsquelle UP ein vorbestimmter Druck ausgeübt wird, wird eine Drehung des zweiten Substrats D2 mit niedriger Drehzahl durch die Rotationsantriebsquelle PTL für niedrige Platten drehzahl gestartet. Wenn durch die Druckerfassungsvorrich tung PS erkannt wird, dass der durch die in den Fig. 3A, 3B dargestellte Platten-Press/Rotier-Vorrichtung in Bezug auf die optische Platte D ausgeübte Druck entsprechend der Aus breitung des Harzes R ansteigt und er entsprechend einer vorbestimmten Dicke des Harzes R einen vorbestimmten Wert einnimmt, werden die Drehung mit niedriger Drehzahl durch die Rotationsantriebsquelle PTL für niedrige Drehzahl und der Andrückvorgang durch die Plattenhochdrück-Antriebsquelle UP für die optische Platte D beendet, und es werden auch das Ansaugen des ersten Substrats D1 durch den Plattenhalter DHD und das Ansaugen des zweiten Substrats D2 durch den Halter HD2 eingestellt. Durch Absenken der optischen Platte D mit dem nicht ausgehärteten Harz durch die Plattenhochdrück-An triebsquelle UP wird die optische Platte D auf dem Drehtel ler RT2 positioniert.

Danach wird diese Platte D durch den Drehteller RT2 um 60° in Uhrzeigerrichtung gedreht und transportiert. Anschließend wird sie durch den Absenkvorgang des Rotationsarmhalters RH2, einen Ansaugvorgang der Platte D, einen Anhebevorgang, eine Drehung um 90° in Uhrzeigerrichtung mit Transport, ei nen Absenkevorgang und ein Aufheben des Ansaugens zu einer Schleuderkammer (Schwungkammer) SP1 oder SP2 transportiert und in dieser montiert. In dieser erfolgt daraufhin eine Drehung mit hoher Drehzahl für vorbestimmte Zeit.

Die Drehzahlen der optischen Platte D mit dem nicht ausge härteten Harz variieren sowohl bei niedriger als auch bei hoher Drehzahl abhängig von der Viskosität des Harzes R vom Typ für Aushärtung durch Ultraviolettstrahlung, der Lufttem peratur und dergleichen, jedoch beträgt beim Ausführungsbei spiel die hohe Drehzahl 2000 U/Min. und die niedrige Dreh zahl 50 bis 500 U/Min.

Die optische Platte D mit dem nicht ausgehärteten Harz, die in der Schleuderkammer SP1 oder SP2 mit hoher Drehzahl ge dreht wurde, wird durch den Absenkvorgang des Rotationsarm halters RH2, einen Ansaugvorgang betreffend die Platte D, einen Anhebevorgang, eine Drehung um 90° in Uhrzeigerrich tung mit Transport sowie einen Absenkvorgang und das Aufhe ben des Ansaugens der Platte D auf dem Drehteller RT3 posi tioniert.

Die Platte D auf dem Rotationsteller RT3 läuft abhängig von der Drehung desselben unter der Abdeckung CV durch. Dadurch wird Ultraviolettstrahlung von der UV-Lampe LUV aufge strahlt, um das Harz R zwischen dem ersten und zweiten Sub strat D1, D2 auszuhärten, wodurch eine fertiggestellte opti sche Platte D erhalten wird, bei der das erste und zweite Substrat D1, D2 fest miteinander verbunden sind. Abschlie ßend wird der Rotationsarmhalter RH2 umgekehrt verdreht, um den oben genannten Vorgang für eine nächste optische Platte D zu wiederholen.

Zwar wurde vorstehend der Fall einer optischen Platte D mit jeweils einer Aufzeichnungsspur erläutert, die konzentrisch oder entlang einer Bahn, die einem Kreis gleichkommt, auf den Aufzeichnungsflächen r1, r2 des ersten und zweiten Sub strats D1, D2 ausgebildet ist, jedoch kann die Platte auch so ausgebildet sein, dass sie eine Schicht trägt, in der Da ten optisch aufzeichenbar sind.

Durch das Verfahren und die Vorrichtung gemäß der Erfindung kann eine schöne Kontur des Randteils des ausgehärteten Har zes am Innenumfang im Wesentlichen konzentrisch zum ersten und zweiten Substrat dadurch erhalten werden, dass das Harz selbst dann im Wesentlichen konzentrisch zu den Substraten zum Innenumfang hin ausgebreitet werden kann, wenn Unregel mäßigkeiten in der Benetzbarkeit des ersten und zweiten Sub strats in Bezug auf das Harz bestehen, so dass eine optische Platte mit guter Qualität erzielbar ist, bei der das Harz selbst dann mit gleichmäßiger vorgegebener Dicke ausgebrei tet ist, wenn Unregelmäßigkeiten in der Benetzbarkeit der beiden Substrate zum Harz, Schwierigkeiten beim Einstellen der auf das nicht ausgehärtete Harz ausgeübten Zentrifugal kraft, Unregelmäßigkeiten der Plattendicken der Substrate oder dergleichen bestehen.

Claims

1. Verfahren zum Herstellen einer optischen Aufzeichnungs platte, das die folgenden Schritte aufweist:

- Herstellen einer Schicht eines durch Ultraviolettstrahlung aushärtbaren Harzes (R) mit vorbestimmter gleichmäßiger Di cke durch Ausbreiten desselben durch Drehen eines ersten oder zweiten runden Substrats (D1, D2) mit niedriger Dreh zahl, während das andere fixiert ist und zwischen den beiden Substraten ein Druck ausgeübt wird, wobei das Harz im We sentlichen konzentrisch zum ersten und zweiten Substrat auf getragen wurde;
- Drehen der optischen Aufzeichnungsplatte mit dem nicht ausgehärteten Harz mit vorbestimmter gleichmäßiger Dicke und
- Aufstrahlen von Ultraviolettstrahlung auf diese optische Aufzeichnungsplatte zum Aushärten des Harzes, um eine fer tiggestellte optische Aufzeichnungsplatte zu erhalten, bei der das erste und zweite Substrat aneinander befestigt sind.

2. Verfahren zum Herstellen einer optischen Aufzeichnungs platte, das die folgenden Schritte aufweist:

- Herstellen einer Schicht eines durch Ultraviolettstrahlung aushärtbaren Harzes (R) mit vorbestimmter gleichmäßiger Di cke durch Ausbreiten desselben durch Drehen des ersten und zweiten runden Substrats (D1, D2) mit niedriger Drehzahl, während zwischen den beiden Substraten ein Druck ausgeübt wird, wobei das Harz im Wesentlichen konzentrisch zum ersten und zweiten Substrat aufgetragen wurde;
- Drehen der optischen Aufzeichnungsplatte mit dem nicht ausgehärteten Harz mit vorbestimmter gleichmäßiger Dicke und
- Aufstrahlen von Ultraviolettstrahlung auf diese optische Aufzeichnungsplatte zum Aushärten des Harzes, um eine fer tiggestellte optische Aufzeichnungsplatte zu erhalten, bei der das erste und zweite Substrat aneinander befestigt sind.

3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Druck beim Zusammendrücken des ers ten und zweiten Substrats (D1, D2) gemessen wird, damit das Andrücken und das Drehen der optischen Platte mit dem nicht ausgehärteten Harz (R) zwischen den Substraten eingestellt werden, wenn der gemessene Druck entsprechend einer vorbe stimmten Dicke der Harzschicht einen vorbestimmten Wert ein nimmt.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Verstellweg des ersten und/oder zweiten Substrats (D1, D2) in Bezug auf eine Bezugsposition während des Zusammendrückens der Substrate in der Zusammen drückrichtung gemessen wird, damit das Zusammendrücken und das Drehen der optischen Platte mit dem nicht ausgehärteten Harz (R) zwischen den Substraten eingestellt werden, wenn der gemessene Druck entsprechend einer vorbestimmten Dicke der Harzschicht einen vorbestimmten Wert einnimmt.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass auf den Verbindungsflächen des ersten und zweiten Substrats (D1, D2) eine Datenaufzeichnungsspur hergestellt wird.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass auf den Verbindungsflächen des ersten und zweiten Substrats (D1, D2) eine optisch bespielbare Schicht hergestellt wird.

7. Vorrichtung zum Herstellen einer optischen Aufzeich nungsplatte, mit:

- einer Plattenhalteeinrichtung zum Halten eines ersten run den Substrats (D1), einer optischen Platte, die über das erste und ein zweites rundes Substrat (D1, D2) verfügt, zwi schen denen ein durch Ultraviolettstrahlung härtbares Harz (R) im Wesentlichen konzentrisch vorhanden ist;
- einer Rotationsantriebsquelle (PTL) für niedrige Platten drehzahl zum Halten des zweiten Substrats der optischen Platte mit dem nicht ausgehärteten Harz, um sie mit niedri ger Drehzahl zu drehen;
- einer Platten-Press/Rotier-Vorrichtung (UD1) zum Andrücken der Platten-Press/Rotier-Vorrichtung gegen das von der Plat tenhalteeinrichtung gehaltene erste Substrat;
- einer Rotationsantriebsquelle für hohe Plattendrehzahl zum Drehen der optischen Platte mit dem nicht ausgehärteten Harz mit hoher Drehzahl; und
- einer Ultraviolettstrahlung-Einstrahleinrichtung (LUV) zum Aufstrahlen von Ultraviolettstrahlung auf die optische Plat te mit dem nicht ausgehärteten Harz.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, gekennzeichnet durch eine Druckmesseinrichtung zum Messen des auf das erste und zweite Substrat (D1, D2) wirkenden Drucks in der Plattenhalteein richtung, damit das Andrücken und das Drehen der optischen Platte mit dem nicht ausgehärteten Harz (R) zwischen den Substraten eingestellt werden, wenn der gemessene Druck ent sprechend einer vorbestimmten Dicke der Harzschicht einen vorbestimmten Wert einnimmt.

9. Vorrichtung nach Anspruch 7, gekennzeichnet durch eine Verstellweg-Messeinrichtung zum Messen des Verstellwegs des ersten und/oder zweiten Substrats (D1, D2) gegenüber einer Bezugsposition in der Plattenhalteeinrichtung, damit das Zusammendrücken und das Drehen der optischen Platte mit dem nicht ausgehärteten Harz (R) zwischen den Substraten einge stellt werden, wenn der gemessene Druck entsprechend einer vorbestimmten Dicke der Harzschicht einen vorbestimmten Wert einnimmt.