DE10045646A1 - Ultraschallwandler sowie Ultraschallzähler - Google Patents
Ultraschallwandler sowie UltraschallzählerInfo
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Abstract
Die Erfindung betrifft einen Ultraschallwandler 1, insbesondere für den Einsatz in einem Durchflußmesser für flüssiges oder gasförmiges Medium, wobei der Ultraschallwandler 1 einen piezoelektrischen Körper 13 umfaßt, an dessen Vorderseite eine flächige erste Elektrode 4 und dessen Rückseite eine flächige zweite Elektrode 3 vorgesehen ist, für jede Elektrode 3, 4 mindestens ein Anschlußpunkt 5, 6 zur elektrischen Kontaktierung vorgesehen ist und die erste 4 sowie zweite Elektrode 3 einen Überlappungsbereich 7 als Teil des piezoelektrischen Körpers 13 definieren und die Anschlußpunkte 5, 6 am piezoelektrischen Körper 13 außerhalb des Überlappungsbereiches 7 vorgesehen sind.
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Ultraschallwandler gemäß dem
Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie einen Ultraschallzähler gemäß dem
Oberbegriff des Anspruchs 15.
Ultraschallwandler, welche insbesondere für den Einsatz in einem
Durchflußmesser für flüssiges oder gasförmiges Medium eingesetzt werden,
besitzen einen piezoelektrischen Körper, welcher zu dessen Anregung an seiner
Vorder- sowie Rückseite mit einer ersten bzw. zweiten Elektrode versehen ist.
Bisher erfolgte die Kontaktierung der jeweiligen Elektrode mittels einer
Lötverbindung, beispielsweise zur Kontaktierung der Elektrode mit einem
Anschlußdraht, was allerdings folgende Nachteile mit sich brachte:
- - Die Elektrode, insbesondere die rückwärtige Elektrode, wird mit der Masse und zwar der Masse des Anschlußdrahtes sowie der Lötstelle belastet.
- - Durch die Temperatureinwirkung am Lötpunkt entstehen Temperaturen, die über der Curie-Temperatur der Keramik liegen. Hierdurch ergeben sich partielle Depolarisierungen, die unerwünscht sind, da sie in ihren Auswirkungen schwer zu berechnen sind. Außerdem entsteht durch die punktuelle Temperatureinwirkung eine innere Spannung im keramischen Körper, so daß um die Lötstelle Mikrorisse entstehen.
- - Die Durchführung der Lötung erfordert hochqualifiziertes Fachpersonal, da die Lötung sehr sorgfältig zur Vermeidung von Beschädigungen durchzuführen ist.
- - Bisher liegt die Kontaktierungsstelle mindestens einer Elektrode in dem akustisch aktiven Teil der PZT-Keramik und verändert das Schwingverhalten.
- - Auch das Aufkleben eines Anschlusses mit Leitkleber im aktiven Elektrodenbereich führt zu Massebelastungen.
Ausgehend von dem vorerwähnten Stand der Technik und der sich daraus
ergebenden Nachteile besteht die Aufgabe der vorliegenden Erfindung darin,
einen Ultraschallwandler gattungsgemäßen Art zur Verfügung zustellen, welcher
eine Massebelastung des akustisch aktiven Bereiches, der im wesentlichen durch
den Überlappungsbereich der beiden Elektroden definiert ist, vermeidet,
Ungenauigkeiten aufgrund temperaturbedingter Depolarisierungen ausschließt
sowie eine einfache, ohne hochqualifiziertem Fachpersonal durchzuführende
Kontaktierung ermöglicht.
Diese Aufgabe wird beim gattungsgemäßen Ultraschallwandler dadurch gelöst,
daß die Anschlußpunkte am piezoelektrischen Körper außerhalb des durch die
Hauptflächen der ersten und zweiten Elektrode definierten Überlappungsbereiches
vorgesehen ist. Daraus resultiert der Vorteil, daß der elektroakustische Teil der
Keramik nicht mit der Masse des Anschlusses und/oder der Lötstelle belastet
wird, keine Depolarisierungen, die sich auf die Funktion des Wandlers nachteilig
auswirken, entstehen und die Kontaktierung darüber hinaus einfacher
durchgeführt werden kann.
Zur Gewährleistung der Möglichkeit von Anschlußpunkten außerhalb des
Überlappungsbereichs liegen gemäß einer zweckmäßigen Ausgestaltung der
vorliegenden Erfindung die jeweiligen Anschlußpunkte in einem elektrodenfreien
Bereich der gegenüberliegenden Vorder- bzw. Rückseite gegenüber.
Eine Möglichkeit, sog. elektrodenfreie Bereiche in einfacher Weise zu schaffen,
besteht zweckmäßigerweise darin, daß die Fläche der ersten und/oder zweiten
Elektrode zur Gewährleistung des elektrodenfreien Bereiches kleiner ist als die
daran angrenzende Fläche des piezoelektrischen Körpers und an die Fläche der
ersten und/oder zweiten Elektrode sich mindestens ein Elektrodenfortsatz
anschließt.
Eine Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Ultraschallwandlers ist weiterhin
dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Anschlußpunkt, vorzugsweise
sämtliche Anschlußpunkte, am außen umlaufenden, radialen Rand des
piezoelektrischen Körpers sich befindet bzw. befinden. Eine dort durchzuführende
Lötung beeinträchtigt die schallakustische Leistungsfähigkeit des
Ultraschallwandlers aus den vorstehend genannten Gründen nicht. Der Vorteil des
Anschlusses am radialen Rand besteht darüber hinaus darin, daß bei zusätzlicher
Nutzung der Schwingung der Rückseite des piezoelektrischen Körpers sowohl
dessen Vorderseite als auch dessen Rückseite kontaktfrei gehalten werden kann.
Weiterhin ist es zweckmäßig, wenn der jeweilige Anschlußpunkt für die erste
Elektrode sowie zweite Elektrode sich auf ein und derselben Seite des
piezoelektrischen Körpers befindet. Hierzu sind vorteilhaft radial um den Rand
der Stirnseite des piezoelektrischen Körpers herumlaufende Elektrodenfortsätze
vorgesehen, an denen die jeweilige Kontaktierung erfolgt, d. h. der jeweilige
Anschlußpunkt sich befindet. Hierbei kann die Elektrode auf der den
Anschlußpunkten gegenüberliegenden Seite des piezoelektrischen Körpers
vollflächig mit letzterem ausgebildet werden.
Zweckmäßigerweise befinden sich die Anschlußpunkte auf der dem Schallaustritt
abgewandten Seite des piezoelektrischen Körpers.
Eine weitere Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung ist darin gekennzeichnet,
daß die Anschlußpunkte im Bereich des äußeren Randes des piezoelektrischen
Körpers in der Ebene der ersten bzw. zweiten Elektrode liegen, d. h., die
Anschlußpunkte zwar in der Ebene der jeweiligen Elektrode, allerdings hierbei im
äußeren Randbereich des piezoelektrischen Körpers sich befinden.
Weiterhin sind zweckmäßigerweise eine Mehrzahl von Anschlußpunkten pro
Elektrode vorgesehen.
Die Anschlußpunkte sind vorzugsweise am piezoelektrischen Körper symmetrisch
angeordnet. Hierbei sind erfindungsgemäß alle Anschlußpunkte außerhalb des
Überlappungsbereiches gelegen.
Zweckmäßigerweise besitzt die erste sowie zweite Elektrode - abgesehen von den
Elektrodenfortsätzen, an denen die Anschlußpunkte vorgesehen sind - gleich
große Form.
Aufgrund der durch die Erfindung erreichten Vorteile, daß die Anschlüsse sehr
nahe beieinander liegen können, kann als Kontaktierung außer einer Lötung eine
Leitkleber- oder Leitgummi- oder Klemmkontaktierung, insbesondere eine
Federklemmkontaktierung, vorgesehen sein.
Die Erfindung betrifft neben dem vorerwähnten Ultraschallwandler,
nebengeordnet beansprucht, auch einen Ultraschallzähler zur Erfassung des
Durchflusses von flüssigem oder gasförmigem Medium mit einer Sende- und/oder
Empfangseinheit, wobei die Sende- und/oder Empfangseinheit mindestens einen
Ultraschallwandler gemäß einem der Ansprüche 1-14 umfaßt.
Zweckmäßige Ausgestaltungen der vorliegenden Erfindung werden nachstehend
anhand von Zeichnungen näher erläutert. Wiederkehrende Merkmale sind - der
Übersichtlichkeit halber - lediglich einmal mit einem Bezugszeichen versehen.
Diese zeigen:
Fig. 1 eine stark vereinfachte schematische Darstellung eines
erfindungsgemäßen Ultraschallzählers;
Fig. 2 eine mögliche Ausgestaltung des erfindungsgemäßen
Ultraschallwandlers in Draufsicht auf die Rückseite (Fig. 2a), auf die
radiale Stirnfläche (Fig. 2b) sowie auf die Vorderseite (Fig. 2c) des
piezoelektrischen Körpers;
Fig. 3 eine weitere Ausgestaltung eines erfindungsgemäßen
Ultraschallwandlers in Draufsicht auf die Rückseite (Fig. 2a), auf die
radiale Stirnfläche (Fig. 2b) sowie auf die Vorderseite (Fig. 2c) des
piezoelektrischen Körpers.
Fig. 1 zeigt den erfindungsgemäßen Ultraschallzähler 1 in Form einer Sende-
/Empfangseinheit mit Einkopplung in das von einem Meßgehäuse 14
durchströmte Medium, z. B. Wasser. Die Sende-/Empfangseinheit umfaßt einen
piezoelektrischen, insbesondere piezokeramischen Körper 13 mit einer ersten
flächigen Elektrode 4, die auf der dem Medium zugewandten Seite des
piezoelektrischen Körpers 13 vollflächig mit diesem verbunden ist sowie eine
zweite Elektrode 3, die auf der gegenüberliegenden Seite des piezoelektrischen
Körpers 13 angeordnet ist. Der piezoelektrische Körper 13 befindet sich an einer
Ausnehmung, die in einem mit dem Medium in Kontakt stehenden Träger 17
vorgesehen ist.
Die erste Elektrode 4 sowie zweite Elektrode 3 stehen sich somit am
piezokeramischen Körper 13 gegenüber und definieren einen
Überlappungsbereich 7, d. h., einen Bereich, der unmittelbar zwischen der ersten
Elektrode 4 und zweiten Elektrode 3 sich befindet.
Zur Zuführung der nötigen elektrischen Energie ist die erste Elektrode 4 sowie die
zweite Elektrode 3 jeweils mit einem Leiter 5 bzw. 6 über Anschlußpunkte am
piezoelektrischen Körper 13 verbunden.
Durch Anlegen der elektrischen Energie an der ersten Elektrode 4 bzw. zweiten
Elektrode 3 über die jeweiligen Leiter 8, 9 können über den piezoelektrischen
Körper 13 Schallwellen 18 generiert werden. Der Ultraschallwandler 1 kann je
nach Bedarf als Sende- und/oder Empfangseinheit verwendet werden.
Fig. 2 zeigt den piezoelektrischen Körper 13 einer Ausgestaltung der Erfindung in
drei verschiedenen Perspektiven und zwar einmal dessen Rückseite (Fig. 2a), d. h.,
die dem Medium abgewandte Seite, die umlaufende Stirnseite (Fig. 2b) sowie
die dem Medium zugewandte Seite (Fig. 2c).
Erfindungsgemäß sind die Anschlußpunkte 5 für die erste Elektrode 3 sowie
Anschlußpunkte 6 für die zweite Elektrode 4 nicht in dem Überlappungsbereich 7
auf der Vorderseite (Fig. 2c) des piezoelektrischen Körpers, d. h., in dem
Bereich, in dem sich die Hauptflächen der ersten Elektrode 4 und zweiten
Elektrode 3 überlappen, vorgesehen. Dieser Überlappungsbereich 7 der
Hauptflächen (kreisrunder Bereich der zweiten Elektrode 3 sowie kreisrunder
Bereich der ersten Elektrode 4) definiert den sog. aktiven
Schallwandlungsbereich. Erfindungsgemäß befindet sich der Anschlußpunkt 5 für
die zweite Elektrode 3 in einem Elektrodenfortsatz 11 der zweiten Elektrode 3,
welcher sich radial nach außen erstreckt. Der Anschlußpunkt 6 der ersten
Elektrode 4 befindet sich ebenfalls auf einem Elektrodenfortsatz 12, welcher
ausgehend von dem äußeren Ende der ersten Elektrode 4 um die Stirnseite des
piezoelektrischen Körpers 13 herum (vergl. Fig. 2b) sich in einen
elektrodenfreien Bereich 10 auf der Rückseite des piezoelektrischen Körpers 3
erstreckt. Bei der Ausgestaltung des Ultraschallwandlers gemäß Fig. 2 sind
demzufolge die Anschlußpunkte 5 sowie 6 beide im Bereich der Rückseite des
piezoelektrischen Körpers 13 gegeneinander versetzt angeordnet.
Fig. 3 zeigt eine alternative Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung, bei der
sowohl die erste Elektrode 4 als auch die zweite Elektrode 3 in ihrer Form
strukturiert ist und zwar derart, daß im umfänglichen Randbereich bis auf die
jeweiligen Elektrodenfortsätze 11, 12 ein jeweils elektrodenfreier Bereich 10
vorgesehen ist. Die Kontaktpunkte 5, 6 zur Kontaktierung von Leitern 8, 9
befinden sich hierbei im Bereich der außen umfänglichen Stirnseite, d. h.,
Schmalseite des piezoelektrischen Körpers 13. Hierzu sind die
Elektrodenfortsätze 11, 12 jeweils um die Stirnseite herumgezogen, wie sich dies
aus Fig. 3b ergibt.
Sowohl bei der Ausgestaltung gemäß Fig. 2 als auch der bei Fig. 3 sind eine
Mehrzahl von Elektrodenfortsätzen 11, 12 in symmetrischer Anordnung
vorgesehen.
Bei der Ausgestaltung der Fig. 3 ist beispielsweise die erste Elektrode 4 sowie die
zweite Elektrode 3 gleich groß, d. h. bilden einen genau definierten
Überlappungsbereich gleichbleibenden Durchmessers. Die Anordnung der
Elektrodenfortsätze ist jeweils symmetrisch.
Als Kontaktierung kann - da die Anschlußpunkte 5, 6 vergleichsweise nahe
beieinander liegen können - eine Kontaktierung mittels Leitkleber oder
Leitgummi oder Klemmkontaktierungen wie z. B. Federklemmkontaktierungen
vorgesehen sein.
Die vorliegende Erfindung ermöglicht die Herstellung eines Ultraschallwandlers,
dessen Kontaktierung die schallakustische Leistungsfähigkeit des Schallwandlers
einerseits sowie dessen Zuverlässigkeit andererseits wesentlich verbessert. Die
Erfindung stellt daher einen besonderen technischen Beitrag auf dem
einschlägigen Gebiet dar.
1
Ultraschallwandler
2
Aufnahme
3
zweite Elektrode
4
erste Elektrode
5
Anschlußpunkt
6
Anschlußpunkt
7
Überlappungsbereich
8
Leiter
9
Leiter
10
elektrodenfreier Bereich
11
Elektrodenfortsatz
12
Elektrodenfortsatz
13
piezoelektrischer Körper
14
Meßgehäuse
15
Anschlußpunkt
16
Anschlußpunkt
17
Träger
18
Ultraschallwelle
Claims (15)
1. Ultraschallwandler (1), insbesondere für den Einsatz in einem
Durchflußmesser für flüssiges oder gasförmiges Medium, wobei der
Ultraschallwandler (1) einen piezoelektrischen Körper (13) umfaßt, an
dessen Vorderseite eine flächige erste Elektrode (4) und dessen Rückseite
eine flächige zweite Elektrode (3) angeordnet ist, für jede Elektrode (3, 4)
mindestens ein Anschlußpunkt (5, 6) zur elektrischen Kontaktierung
vorgesehen ist und die erste (4) sowie zweite Elektrode (3) einen
Überlappungsbereich (7) am piezoelektrischen Körper (13) definieren,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Anschlußpunkte (5, 6) am piezoelektrischen Körper (13) außerhalb des
Überlappungsbereiches (7) vorgesehen sind.
2. Ultraschallwandler nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
der jeweilige Anschlußpunkt (5, 6) einem elektrodenfreien Bereich (10) der
gegenüberliegenden Vorder- bzw. Rückseite gegenüberliegt.
3. Ultraschallwandler nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Fläche der ersten und/oder zweiten Elektrode (3, 4) zur Gewährleistung
des elektrodenfreien Bereichs (10) kleiner ist als die daran angrenzende
Fläche des piezoelektrischen Körpers (13) und an die Fläche der ersten
und/oder zweiten Elektrode (3, 4) sich mindestens ein Elektrodenfortsatz
(11, 12) anschließt.
4. Ultraschallwandler nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß
mindestens ein Anschlußpunkt (5 und/oder 6) am radialen Rand des
piezoelektrischen Körpers (3) sich befindet.
5. Ultraschallwandler nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
der jeweilige Anschlußpunkt (5) für die erste Elektrode (4) sowie der
Anschlußpunkt (6) für die zweite Elektrode (3) sich auf einer Seite des
piezoelektrischen Körpers (13) befinden.
6. Ultraschallwandler nach Anspruch 4 oder 5,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Elektrodenfortsatz (11 und/oder 12) radial um den Rand der Stirnseite
des piezoelektrischen Körpers (13) herumläuft.
7. Ultraschallwandl er nach Anspruch 5 oder 6,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Anschlußpunkte (5, 6) sich auf der dem Schallaustritt abgewandten Seite
befinden.
8. Ultraschallwandler nach einem der Ansprüche 1, 2, 5-7,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Anschlußpunkte (5, 6) im Bereich des äußeren Randes des
piezoelektrischen Körpers (13) in der jeweiligen Ebene der ersten (4) oder
zweiten (3) Elektrode liegen.
9. Ultraschallwandler nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Ultraschallwellen an der Vorderseite des piezoelektrischen Körpers
austreten und die der Vorderseite zugeordnete erste Elektrode (4) vollflächig
den piezoelektrischen Körper (13) bedeckt.
10. Ultraschallwandler nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß
mehr Anschlußpunkte (5, 15 bzw. 6, 16) pro Elektrode (3 bzw. 4)
vorgesehen sind.
11. Ultraschallwandl er nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Anschlußpunkte (5, 15 bzw. 6, 16) symmetrisch angeordnet sind.
12. Ultraschallwandler nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß
alle Anschlußpunkte (5, 15 bzw. 6, 16) außerhalb des
Überlappungsbereiches (7) liegen.
13. Ultraschallwandler nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß
die erste und zweite Elektrode (3, 4) - abgesehen von dem oder den
Elektrodenfortsätzen (11, 12) - gleich große Form besitzen.
14. Ultraschallwandler nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß
als Kontaktierung eine Leitkleber-/Leitgummi- oder Klemmkontaktierung,
insbesondere Federklemmkontakierung vorgesehen ist.
15. Ultraschallzähler zur Erfassung des Durchflusses von flüssigem oder
gasförmigem Medium mit einer Sende- und/oder Empfangseinheit,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Sende- und/oder Empfangseinheit mindestens einen Ultraschallwandler
(1) gemäß einem der vorstehenden Ansprüche 1-14 umfaßt.
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DE (1) | DE10045646C2 (de) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003045586A1 (en) * | 2001-11-30 | 2003-06-05 | Siemens Flow Instruments A/S | Ultrasonic transducer and method of joining an ultrasonic transducer |
DE102018003802A1 (de) * | 2018-05-09 | 2019-11-14 | Diehl Metering Gmbh | Messeinrichtung zur Ermittlung einer Fluidgröße |
DE102018006512A1 (de) * | 2018-08-16 | 2020-02-20 | Diehl Metering Gmbh | Messeinrichtung zur Ermittlung einer Fluidgröße |
DE102018009754A1 (de) * | 2018-12-12 | 2020-06-18 | Diehl Metering Gmbh | Messeinrichtung zur Ermittlung einer Fluidgröße |
EP3667257A3 (de) * | 2018-12-12 | 2020-09-09 | Diehl Metering GmbH | Messeinrichtung zur ermittlung einer fluidgrösse |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4060888A (en) * | 1976-06-29 | 1977-12-06 | Tyco Filters Division, Inc. | Method of improving ohmic contact through high-resistance oxide film |
EP0184717A1 (de) * | 1984-11-29 | 1986-06-18 | Siemens Aktiengesellschaft | Wandlerplatte für piezoelektrische Wandler |
DE4424194C1 (de) * | 1994-07-08 | 1996-02-08 | Sonotec Dr Zur Horst Meyer Und | Ultraschallwandler |
-
2000
- 2000-09-15 DE DE2000145646 patent/DE10045646C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4060888A (en) * | 1976-06-29 | 1977-12-06 | Tyco Filters Division, Inc. | Method of improving ohmic contact through high-resistance oxide film |
EP0184717A1 (de) * | 1984-11-29 | 1986-06-18 | Siemens Aktiengesellschaft | Wandlerplatte für piezoelektrische Wandler |
DE4424194C1 (de) * | 1994-07-08 | 1996-02-08 | Sonotec Dr Zur Horst Meyer Und | Ultraschallwandler |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003045586A1 (en) * | 2001-11-30 | 2003-06-05 | Siemens Flow Instruments A/S | Ultrasonic transducer and method of joining an ultrasonic transducer |
US7161280B2 (en) | 2001-11-30 | 2007-01-09 | Siemens Flow Instruments A/S | Ultrasonic transducer and method of joining an ultrasonic transducer |
DE102018003802A1 (de) * | 2018-05-09 | 2019-11-14 | Diehl Metering Gmbh | Messeinrichtung zur Ermittlung einer Fluidgröße |
DE102018003802B4 (de) | 2018-05-09 | 2022-12-01 | Diehl Metering Gmbh | Messeinrichtung zur Ermittlung einer Fluidgröße |
DE102018006512A1 (de) * | 2018-08-16 | 2020-02-20 | Diehl Metering Gmbh | Messeinrichtung zur Ermittlung einer Fluidgröße |
DE102018006512B4 (de) | 2018-08-16 | 2022-12-01 | Diehl Metering Gmbh | Messeinrichtung zur Ermittlung einer Fluidgröße |
DE102018009754A1 (de) * | 2018-12-12 | 2020-06-18 | Diehl Metering Gmbh | Messeinrichtung zur Ermittlung einer Fluidgröße |
EP3667257A3 (de) * | 2018-12-12 | 2020-09-09 | Diehl Metering GmbH | Messeinrichtung zur ermittlung einer fluidgrösse |
DE102018009753B4 (de) | 2018-12-12 | 2023-05-11 | Diehl Metering Gmbh | Messeinrichtung zur Ermittlung einer Fluidgröße |
DE102018009754B4 (de) | 2018-12-12 | 2023-09-21 | Diehl Metering Gmbh | Messeinrichtung zur Ermittlung einer Fluidgröße |
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Date | Code | Title | Description |
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OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |
Effective date: 20120403 |