EP0498015B1 - Verfahren zur Herstellung von Ultraschallwandlern - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von Ultraschallwandlern Download PDF

Info

Publication number
EP0498015B1
EP0498015B1 EP91101712A EP91101712A EP0498015B1 EP 0498015 B1 EP0498015 B1 EP 0498015B1 EP 91101712 A EP91101712 A EP 91101712A EP 91101712 A EP91101712 A EP 91101712A EP 0498015 B1 EP0498015 B1 EP 0498015B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
transducer element
matching layer
elastomer
transducer
process according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
EP91101712A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0498015A1 (de
Inventor
Hans-Joachim Dipl.-Ing. Burger
Rudolf Dipl.-Phys. Thurn
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to EP91101712A priority Critical patent/EP0498015B1/de
Priority to DE91101712T priority patent/DE59100463D1/de
Priority to JP4048058A priority patent/JPH04336799A/ja
Publication of EP0498015A1 publication Critical patent/EP0498015A1/de
Priority to US08/090,562 priority patent/US5329682A/en
Application granted granted Critical
Publication of EP0498015B1 publication Critical patent/EP0498015B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0644—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element
    • B06B1/0662—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element with an electrode on the sensitive surface
    • B06B1/067—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element with an electrode on the sensitive surface which is used as, or combined with, an impedance matching layer
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/42—Piezoelectric device making

Definitions

  • the invention relates to a method for producing an ultrasonic transducer with a piezoelectric transducer element, which is connected to an acoustic matching layer, which is the only, uniform body made of vibrating elastomer.
  • the contact pressure is limited with a spring system belonging to the device, so that the transducer element designed as piezoceramic does not suffer from excessive pressure with regard to its properties, such as polarization and sensitivity.
  • the centering element used in the aforementioned method has openings or cavities into which lead wires contacted on the transducer element must be threaded prior to the application of the matching layer. It is not possible to check the quality of the matching layer itself, which can be restricted, for example, by undesirable air pockets.
  • the body is first made of elastomer as a molded part with centering contours and in a further process step the transducer element is inserted into the elastomer body with centering by the centering contours and is connected to the matching layer.
  • This enables the properties of the matching layer to be checked with regard to physically important parameters such as density, speed of sound, homogeneity, etc., so that only the molded part is eliminated in the event of a negative test result.
  • the quality of the matching layer itself can easily be checked with several measurements.
  • the ultrasound transducer is tested together with the transducer element in the prior art, which leads to higher rejects and unnecessary costs.
  • the transducer element is not exposed to any pressure when applying the matching layer and thus retains its sensitivity unchanged.
  • Another advantage of the manufacturing process is that only a few and simple tools and aids are required. In order to achieve good sound transmission from the transducer element to the matching layer, it proves to be advantageous that the transducer element is glued to the matching layer.
  • a simple embodiment of the invention exists when two of its surfaces are metallized for the electrical connection of the transducer element and when the first metallized surface is bonded to the matching layer, a first lead wire is interposed and contacted by the adhesive pressure with the metallized surface, and in that a second lead wire is contacted by soldering on the other metallized surface. It is to be regarded as particularly favorable here that a cumbersome threading of the lead wires is avoided.
  • the molded part is designed such that after insertion of the transducer element it has a space that can be filled with a damping material, this results in the Advantage of a uniform transducer structure, consisting of the molded part, which receives the transducer element and can also serve as a holder for the damping material if necessary.
  • a good effect of the adaptation layer is achieved if the elastomer from which the acoustic adaptation layer is made has a propagation speed for longitudinal waves between 800 and 1600 m / s, a density between 500 and 1500 kg / m3, a low modulus of elasticity and a low mechanical vibration damping .
  • the adaptation layer 3 is a component of the molded part 2. It forms the sound-emitting and receiving element of the ultrasonic transducer and has a thickness of ⁇ / 4, where ⁇ is the wavelength of the Transducer vibration in the matching layer 3 is. It is used to adjust the high acoustic wave resistance of the transducer element of approx. 2. 107 kg / m2s to the very low wave resistance of the air of 4. 102 kg / m2s.
  • the adaptation enables a high level of efficiency in sound radiation and reception.
  • the acoustic wave resistance is made up of the product of the speed of sound and density, so that low values of these two material constants are a prerequisite for good adaptation to the medium air.
  • Elastomers with densities between 500 and 1500 kg / m3 and with propagation speeds for longitudinal waves between 800 and 1600 m / s result in a good one Adaptation to the ambient medium air.
  • the material of the matching layer should also have a low mechanical damping constant.
  • the transducer element 1 is glued to the matching layer 3 of the molded part 2, it being possible for the adhesive pressure to serve at the same time for contacting a first lead wire with a metallized surface 7 of the transducer element 1.
  • a second lead wire 10 is soldered directly to a second metallized surface 8 for connecting the transducer element.
  • the molded part 2 protrudes only partially on the sides of the disk-shaped transducer element 1.
  • FIG 2 shows an ultrasonic transducer with a molded part 2, which forms a space 5 after insertion of the transducer element 1, which, if necessary, can be filled with damping material 6.
  • the damping material 6 can be attached by means of adhesive or casting technology and serves to reduce the transducer quality, as is required for use in close-up measurements.
  • the described method is suitable for easily meeting different material combinations with regard to acoustic, physical or chemical requirements. It is irrelevant whether additional housing parts or shielding elements and the like are integrated at the same time.
  • the method according to the invention for producing transducers from prefabricated elements offers the advantage that the transducer components can be tested as individual parts during preliminary tests in their geometric dimensions or the acoustically important material parameters; Deviations in the characteristic data are not determined only after the complete converter has been completed.
  • the described method is not restricted to rotationally symmetrical constructions; rather, transducers with square, rectangular or elliptical geometry can also be constructed using the described elastic molded parts.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Ultraschallwandlers mit einem piezoelektrischen Wandlerelement, das mit einer akustischen Anpaßschicht verbunden ist, die als einziger, einheitlicher Körper aus schwingungsfähigem Elastomer besteht.
  • Verfahren zur Herstellung von Ultraschallwandlern der obengenannten Art sind bekannt (siehe US 4 128 370 ). Hierin ist ein Festkörper-Ultraschallwandler offenbart, bei dem zur Anpassung an das Umgebungsmedium Luft eine Anpaßschicht, bestehend aus einem Elastomer, verwendet wird. Bei der Applikation des Elastomers auf das Wandlerelement soll dieses gegenüber seiner Außenkontur oder einem Gehäuse möglichst genau in Position gehalten werden. Hierzu werden gemäß dem obengenannten US-Patent Zentrierteile verwendet, die das Wandlerelement sowohl zentrisch als auch in der Höhe und Planparallelität positionieren. Zur Applikation der Elastomer-Anpaßschicht auf das Wandlerelement wird eine aufwendige Vorrichtung eingesetzt, die erwärmtes Elastomer unter Druck in einen besonders gestalteten Hohlraum direkt auf das Wandlerelement aufpreßt. Mit einem zur Vorrichtung gehörigen Federsystem wird der Anpreßdruck begrenzt, damit das als Piezokeramik ausgebildete Wandlerelement nicht unter übermäßigem Druck hinsichtlich seiner Eigenschaften, wie z.B. Polarisation und Empfindlichkeit leidet. Das beim vorgenannten Verfahren benutzte Zentrierelement weist Öffnungen bzw. Hohlräume auf, in die am Wandlerelement kontaktierte Leitungsdrähte vor der Applikation der Anpaßschicht eingefädelt werden müssen. Eine Prüfung der Güte der Anpaßschicht selbst, die z.B. durch unerwünschte Lufteinschlüsse eingeschränkt sein kann, ist nicht möglich.
  • Daher besteht die Aufgabe, obengenanntes Verfahren zur Herstellung von Ultraschallwandlern unter Vermeidung der erwähnten Nachteile zu vereinfachen und zu verbessern. Dies wird dadurch erreicht, daß zunächst der Körper aus Elastomer als Formteil mit Zentrierkonturen hergestellt wird und in einem weiteren Verfahrensschritt das Wandlerelement in den Elastomerkörper unter Zentrierung durch die Zentrierkonturen eingelegt und mit dessen Anpaßschicht verbunden wird. Hiermit wird die Prüfung der Eigenschaften der Anpaßschicht hinsichtlich physikalisch wichtiger Parameter wie Dichte, Schallgeschwindigkeit, Homogenität usw. ermöglicht, so daß bei negativem Prüfergebnis nur das Formteil ausgeschieden wird. Die Prüfung der Güte der Anpaßschicht für sich ist mit mehreren Messungen einfach durchzuführen. Im Gegensatz hierzu wird beim Stand der Technik der Ultraschallwandler mit dem Wandlerelement zusammen geprüft, was zu höheren Ausschüssen und unnötigen Kosten führt. Das Wandlerelement wird beim vorliegenden Herstellungsverfahren keinem Druck bei der Applikation der Anpaßschicht ausgesetzt und behält somit unverändert seine Empfindlichkeit bei. Ein weiterer Vorteil des Herstellungsverfahren besteht darin, daß nur wenige und einfache Werkzeuge und Hilfsmittel benötigt werden. Um eine gute Schallübertragung vom Wandlerelement zur Anpaßschicht zu erreichen, erweist es sich als vorteilhaft, daß das Wandlerelement mit der Anpaßschicht verklebt wird. Eine einfache Ausgestaltung der Erfindung liegt vor, wenn zum elektrischen Anschluß des Wandlerelements Zwei seiner Oberflächen metallisiert sind und bei der Verklebung der ersten metallisierten Oberfläche mit der Anpaßschicht ein erster Leitungsdraht zwischengeschoben und durch den Klebedruck mit der metallisierten Oberfläche kontaktiert wird, und daß ein zweiter Leitungsdraht durch Löten auf der anderen metallisierten Oberfläche kontaktiert wird. Als besonders günstig ist hierbei anzusehen, daß ein umständliches Einfädeln der Leitungsdrähte vermieden wird. Ist das Formteil derart ausgebildet, daß es nach Einfügen des Wandlerelementes einen Raum aufweist, der mit einem Dämpfungsmaterial ausfüllbar ist, so ergibt sich hiermit der Vorteil eines einheitlichen Wandlergebildes, bestehend aus dem Formteil, welches das Wandlerelement aufnimmt und zugleich im Bedarfsfall als Halterung für das Dämpfungsmaterial dienen kann. Eine gute Wirkung der Anpaßschicht wird erzielt, wenn das Elastomer, aus dem die akustische Anpaßschicht besteht, eine Ausbreitungsgeschwindigkeit für Longitudinalwellen zwichen 800 und 1600 m/s, eine Dichte zwischen 500 und 1500 kg/m³, einen niedrigen Elastizitätsmodul und eine niedrige mechanische Schwingdämpfung hat.
  • Ausführungsformen der Erfindung werden im folgenden anhand einer Zeichnung näher erläutert.
  • Es zeigen:
    • FIG 1 einen Ultraschallwandler ohne Dämpfungsmaterial,
    • FIG 2 einen Ultraschallwandler mit Dämpfungsmaterial.
  • In FIG 1 ist ein Ultraschallwandler abgebildet, der ein als akustische Anpaßschicht 3 ausgebildetes Formteil 2 und ein darin positioniertes Wandlerelement 1 aufweist. Die Positionierung des Wandlerelements 1 erfolgt über Zentrierkonturen 4 in dem Formteil 2. Die Anpaßschicht 3 ist Bestandteil des aus einem Guß gefertigten Formteils 2. Sie bildet das schallabstrahlende und empfangende Element des Ultraschallwandlers und hat eine Dicke von λ/4, wobei λ die Wellenlänge der Wandlerschwingung in der Anpaßschicht 3 ist. Sie dient zur Anpassung des hohen akustischen Wellenwiderstands des Wandlerelements von ca. 2 . 10⁷ kg/m²s an den sehr niedrigen Wellenwiderstand der Luft von 4 . 10² kg/m²s. Die Anpassung ermöglicht einen hohen Wirkungsgrad bei Schallabstrahlung und -empfang. Der akustische Wellenwiderstand setzt sich zusammen aus dem Produkt von Schallgeschwindigkeit und Dichte, so daß niedrige Werte dieser beiden Materialkonstanten eine Voraussetzung für eine gute Anpassung an das Medium Luft darstellen. Elastomere mit Dichten zwischen 500 und 1500 kg/m³ sowie mit Ausbreitungsgeschwindigkeiten für Longitudinalwellen zwischen 800 und 1600 m/s ergeben eine gute Anpassung an das Umgebungsmedium Luft. Zur Erzielung großer Reichweiten sollte der Werkstoff der Anpaßschicht außerdem eine niedrige mechanische Dämpfungskonstante aufweisen.
  • Das Wandlerelement 1 wird mit der Anpaßschicht 3 des Formteils 2 verklebt, wobei zugleich der Klebedruck zur Kontaktierung eines ersten Leitungsdrahtes mit einer metallisierten Oberfläche 7 des Wandlerelementes 1 dienen kann. An eine zweite metallisierte Oberfläche 8 wird direkt ein zweiter Leitungsdraht 10 zum Anschluß des Wandlerelementes gelötet. Bei dieser Ausführungsform steht das Formteil 2 nur teilweise an den Seiten des hier scheibenförmigen Wandlerelementes 1 über. Demgegenüber zeigt FIG 2 einen Ultraschallwandler mit einem Formteil 2, das nach Einlegen des Wandlerelements 1 einen Raum 5 bildet, der mit Dämpfungsmaterial 6, soweit erforderlich, ausgefüllt werden kann. Das Dämpfungsmaterial 6 läßt sich hierbei mittels Klebe- oder Gießtechnik anbringen und dient zur Reduzierung der Wandlergüte, wie sie für den Einsatz zu Messungen im Nahbereich erforderlich ist.
  • Das beschriebene Verfahren ist geeignet, unterschiedliche Werkstoffkombinationen hinsichtlich akustischer, physikalischer oder chemischer Anforderungen einfach zu erfüllen. Dabei ist es unerheblich, ob gleichzeitig weitere Gehäuseteile oder Abschirmelemente und ähnliches integriert werden. Das erfindungsgemäße Verfahren der Wandlerherstellung aus vorgefertigten Elementen bietet den Vorteil, daß die Wandlerkomponenten bereits bei Vorprüfungen in ihren geometrischen Abmessungen oder den akustisch wichtigen Materialparametern als Einzelteile geprüft werden können; Abweichungen in den Kenndaten werden nicht erst nach der Fertigstellung des kompletten Wandlers festgestellt. Das beschriebene Verfahren ist nicht auf rotationssymmetrische Konstruktionen beschränkt; vielmehr können auch Wandler mit quadratischer, rechteckiger oder elliptischer Geometrie mittels beschriebener elastischer Formteile aufgebaut werden.

Claims (5)

  1. Verfahren zur Herstellung eines Ultraschallwandlers mit einem piezoelektrischen Wandlerelement (1), das mit einer akustischen Anpaßschicht (3) verbunden ist, die als einziger, einheitlicher Körper (2) aus schwingungsfähigem Elastomer besteht, dadurch gekennzeichnet, daß zunächst der Körper aus Elastomer als Formteil (2) mit Zentrierkonturen (4) hergestellt wird und in einem weiteren Verfahrensschritt das Wandlerelement (1) in den Elastomerkörper (2) unter Zentrierung durch die Zentrierkonturen (4) eingelegt und mit dessen Anpaßschicht (3) verbunden wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Wandlerelement (1) mit der Anpaßschicht (3) verklebt wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zum elektrischen Anschluß des Wandlerelements (1) zwei seiner Oberflächen (7, 8) metallisiert sind, daß bei der Verklebung der ersten metallisierten Oberfläche (7) mit der Anpaßschicht (3) ein erster Leitungsdraht (9) zwischengeschoben und durch den Klebedruck mit der metallisierten Oberfläche kontaktiert wird, und daß ein zweiter Leitungsdraht (10) durch Löten auf der anderen metallisierten Oberfläche (8) kontaktiert wird.
  4. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Formteil (2) derart ausgebildet ist, daß es nach Einfügen des Wandlerelementes (1) einen Raum (5) aufweist, der mit dem Dämpfungsmaterial (6) ausfüllbar ist.
  5. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Elastomer, aus dem die akustische Anpaßschicht (3) besteht, eine Ausbreitungsgeschwindigkeit für Longitudinalwellen zwichen 800 und 1600 m/s und eine Dichte zwischen 500 und 1500 kg/m³ hat.
EP91101712A 1991-02-07 1991-02-07 Verfahren zur Herstellung von Ultraschallwandlern Expired - Lifetime EP0498015B1 (de)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP91101712A EP0498015B1 (de) 1991-02-07 1991-02-07 Verfahren zur Herstellung von Ultraschallwandlern
DE91101712T DE59100463D1 (de) 1991-02-07 1991-02-07 Verfahren zur Herstellung von Ultraschallwandlern.
JP4048058A JPH04336799A (ja) 1991-02-07 1992-02-03 超音波変換器の製造方法
US08/090,562 US5329682A (en) 1991-02-07 1993-07-12 Method for the production of ultrasound transformers

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP91101712A EP0498015B1 (de) 1991-02-07 1991-02-07 Verfahren zur Herstellung von Ultraschallwandlern

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP0498015A1 EP0498015A1 (de) 1992-08-12
EP0498015B1 true EP0498015B1 (de) 1993-10-06

Family

ID=8206383

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP91101712A Expired - Lifetime EP0498015B1 (de) 1991-02-07 1991-02-07 Verfahren zur Herstellung von Ultraschallwandlern

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5329682A (de)
EP (1) EP0498015B1 (de)
JP (1) JPH04336799A (de)
DE (1) DE59100463D1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE202004002107U1 (de) * 2004-02-11 2005-03-31 Siemens Ag Ultraschallwandler

Families Citing this family (46)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5541468A (en) * 1994-11-21 1996-07-30 General Electric Company Monolithic transducer array case and method for its manufacture
US6172446B1 (en) 1995-08-25 2001-01-09 Mitsui Chemicals, Inc. Piezoelectric oscillator component, structure for supporting piezoelectric oscillator and method of mounting piezoelectric oscillator
DE59510158D1 (de) * 1995-09-28 2002-05-16 Endress Hauser Gmbh Co Ultraschallwandler
JP2914284B2 (ja) * 1996-03-26 1999-06-28 日本電気株式会社 圧電トランス
JP2885183B2 (ja) * 1996-05-30 1999-04-19 日本電気株式会社 圧電トランスおよびその支持構造
DE19809206C2 (de) * 1998-03-04 2001-02-15 Siemens Ag Ultraschallwandlereinrichtung mit Zentrier-Formteil
AU1128600A (en) 1998-11-20 2000-06-13 Joie P. Jones Methods for selectively dissolving and removing materials using ultra-high frequency ultrasound
US6307302B1 (en) * 1999-07-23 2001-10-23 Measurement Specialities, Inc. Ultrasonic transducer having impedance matching layer
DE19957125A1 (de) 1999-11-26 2001-06-21 Siemens Ag Ultraschall-Wandler
DE10231402A1 (de) * 2002-07-11 2004-01-22 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur akustischen Anpassung eines aktiven Elements eines elektroakustischen Wandlers zum Aussenden und Empfangen von Ultraschallwellen
DE102005001899B4 (de) * 2005-01-14 2007-03-08 Landis+Gyr Gmbh Ultraschallkopf
US7307373B2 (en) * 2005-08-12 2007-12-11 Daniel Measurement And Control, Inc. Transducer assembly for an ultrasonic fluid meter
DE102006026674A1 (de) * 2006-06-02 2007-12-06 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Ultraschallsensor
US7557490B2 (en) * 2007-05-10 2009-07-07 Daniel Measurement & Control, Inc. Systems and methods of a transducer having a plastic matching layer
JP4412367B2 (ja) * 2007-08-21 2010-02-10 株式会社デンソー 超音波センサ
WO2009125773A1 (ja) * 2008-04-07 2009-10-15 国立大学法人埼玉大学 機械電気変換素子、機械電気変換装置及びその製造方法
KR101145152B1 (ko) * 2009-10-29 2012-05-15 삼성메디슨 주식회사 초음파 진단장치용 프로브 및 그 제조방법
DE102011079646A1 (de) * 2011-07-22 2013-02-07 Robert Bosch Gmbh Ultraschallsensorvorrichtung zum Erfassen und/oder Senden von Ultraschall
GB2513884B (en) 2013-05-08 2015-06-17 Univ Bristol Method and apparatus for producing an acoustic field
US9612658B2 (en) 2014-01-07 2017-04-04 Ultrahaptics Ip Ltd Method and apparatus for providing tactile sensations
GB2530036A (en) 2014-09-09 2016-03-16 Ultrahaptics Ltd Method and apparatus for modulating haptic feedback
KR102524966B1 (ko) 2015-02-20 2023-04-21 울트라햅틱스 아이피 엘티디 햅틱 시스템에서의 알고리즘 개선
SG11201706557SA (en) 2015-02-20 2017-09-28 Ultrahaptics Ip Ltd Perceptions in a haptic system
US10818162B2 (en) 2015-07-16 2020-10-27 Ultrahaptics Ip Ltd Calibration techniques in haptic systems
US11189140B2 (en) 2016-01-05 2021-11-30 Ultrahaptics Ip Ltd Calibration and detection techniques in haptic systems
US10531212B2 (en) 2016-06-17 2020-01-07 Ultrahaptics Ip Ltd. Acoustic transducers in haptic systems
US10268275B2 (en) 2016-08-03 2019-04-23 Ultrahaptics Ip Ltd Three-dimensional perceptions in haptic systems
US10755538B2 (en) 2016-08-09 2020-08-25 Ultrahaptics ilP LTD Metamaterials and acoustic lenses in haptic systems
US10943578B2 (en) 2016-12-13 2021-03-09 Ultrahaptics Ip Ltd Driving techniques for phased-array systems
US10497358B2 (en) 2016-12-23 2019-12-03 Ultrahaptics Ip Ltd Transducer driver
DE102017205375A1 (de) 2017-03-30 2018-10-04 Robert Bosch Gmbh Schallwandler
US11531395B2 (en) 2017-11-26 2022-12-20 Ultrahaptics Ip Ltd Haptic effects from focused acoustic fields
WO2019122912A1 (en) 2017-12-22 2019-06-27 Ultrahaptics Limited Tracking in haptic systems
EP3729418A1 (de) 2017-12-22 2020-10-28 Ultrahaptics Ip Ltd Minimierung von unerwünschten antworten in haptischen systemen
AU2019264014A1 (en) 2018-05-02 2020-12-03 Ultrahaptics Ip Ltd Blocking plate structure for improved acoustic transmission efficiency
US11098951B2 (en) 2018-09-09 2021-08-24 Ultrahaptics Ip Ltd Ultrasonic-assisted liquid manipulation
US11378997B2 (en) 2018-10-12 2022-07-05 Ultrahaptics Ip Ltd Variable phase and frequency pulse-width modulation technique
US11550395B2 (en) 2019-01-04 2023-01-10 Ultrahaptics Ip Ltd Mid-air haptic textures
US11842517B2 (en) 2019-04-12 2023-12-12 Ultrahaptics Ip Ltd Using iterative 3D-model fitting for domain adaptation of a hand-pose-estimation neural network
TWM585905U (zh) * 2019-08-16 2019-11-01 詠業科技股份有限公司 超音波傳感器
EP4042413A1 (de) 2019-10-13 2022-08-17 Ultraleap Limited Dynamisches capping mit virtuellen mikrofonen
US11374586B2 (en) 2019-10-13 2022-06-28 Ultraleap Limited Reducing harmonic distortion by dithering
US11169610B2 (en) 2019-11-08 2021-11-09 Ultraleap Limited Tracking techniques in haptic systems
US11715453B2 (en) 2019-12-25 2023-08-01 Ultraleap Limited Acoustic transducer structures
US11816267B2 (en) 2020-06-23 2023-11-14 Ultraleap Limited Features of airborne ultrasonic fields
US11886639B2 (en) 2020-09-17 2024-01-30 Ultraleap Limited Ultrahapticons

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3928777A (en) * 1974-08-26 1975-12-23 Dellorfano Jr Fred M Directional ultrasonic transducer with reduced secondary lobes
US4128370A (en) * 1977-05-12 1978-12-05 Fred M. Dellorfano, Jr. And Donald P. Massa, Trustees, The Stoneleigh Trust Manufacture of electroacoustic transducers which require molding an elastomer to the surface of the transducer material
JPS5832559B2 (ja) * 1979-07-04 1983-07-13 株式会社 モリタ製作所 空中超音波パルスの伝送方式並びにこれに用いる超音波送受波具
US4536673A (en) * 1984-01-09 1985-08-20 Siemens Aktiengesellschaft Piezoelectric ultrasonic converter with polyurethane foam damper
DE3401979A1 (de) * 1984-01-20 1985-07-25 Pepperl & Fuchs Gmbh & Co Kg, 6800 Mannheim Ultraschall-wandler
US4823042A (en) * 1986-07-18 1989-04-18 Rich-Mar Corporation Sonic transducer and method for making the same
US5121628A (en) * 1990-10-09 1992-06-16 Merkl Arthur W Ultrasonic detection system

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE202004002107U1 (de) * 2004-02-11 2005-03-31 Siemens Ag Ultraschallwandler

Also Published As

Publication number Publication date
US5329682A (en) 1994-07-19
DE59100463D1 (de) 1993-11-11
JPH04336799A (ja) 1992-11-24
EP0498015A1 (de) 1992-08-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0498015B1 (de) Verfahren zur Herstellung von Ultraschallwandlern
DE69410078T2 (de) Herstellungsverfahren für eine mechanisch fokussierende matrix von ultraschallwandlern
DE2845022C2 (de) Elektronisches Bauelement
EP0336224B1 (de) Aufnehmer und Verfahren zur Schallemissionsprüfung
DE4431511B4 (de) Schallschwingungswandler
DE2914031B1 (de) Ultraschallwandler
DE3437862A1 (de) Ultraschallwandler und verfahren zu seiner herstellung
EP2382448A1 (de) Ultraschallwandler zum einsatz in einem fluiden medium
DE3210925A1 (de) Ultraschallwandler
DE3005708C2 (de) Wandlerplatte für piezoelektrische Wandler
DE2129906A1 (de) Material-Pruefgeraet
WO2011073414A2 (de) Schwingfähiges system für einen ultraschallwandler und verfahren zur herstellung des schwingfähigen systems
DE102011052767B4 (de) Ultraschalltransducer für einen Näherungssensor
DE102019218336B4 (de) Hochfrequenter ultraschallwandler und verfahren zur herstellung
DE69111151T2 (de) Schallemissionsfühler.
DE69214924T2 (de) Piezoelektrische Fluiddrucksensor
DE60319972T2 (de) Zusammengesetzter piezoelektrischer körper
DE69517561T2 (de) Beschleunigungsmessaufnehmer
DE102013222076A1 (de) Schallwandler und Herstellungsverfahren für einen Schallwandler
DE10045646C2 (de) Ultraschallwandler und Verwendung desselben in einem Ultraschallzähler
DE69902253T2 (de) Verfahren zum aufbringen einer anpassungsschicht auf einen wandler
DE102008015349A1 (de) Ultraschall-Sende- und Empfangsvorrichtung mit einem schallübertragungsfest an eine Schallankopplungsplatte befestigten Piezoelement
DE3006312A1 (de) Detektor fuer mechanische schwingungen
EP1829620A2 (de) Verfahren zum Herstellen eines Ultraschallprüfkopfes mit einer Ultraschallwandleranordnung mit einer gekrümmten Sende- und Empfangsfläche
DE4497992C2 (de) Rechteckiges AT-Schnitt-Quarzelement, Quarzschwinger, Quarzschwingereinheit und Quarzoszillator sowie Verfahren zur Herstellung des Quarzelements

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): CH DE FR GB IT LI SE

17P Request for examination filed

Effective date: 19921124

17Q First examination report despatched

Effective date: 19930311

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): CH DE FR GB IT LI SE

REF Corresponds to:

Ref document number: 59100463

Country of ref document: DE

Date of ref document: 19931111

ITF It: translation for a ep patent filed
ET Fr: translation filed
GBT Gb: translation of ep patent filed (gb section 77(6)(a)/1977)

Effective date: 19940112

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed
EAL Se: european patent in force in sweden

Ref document number: 91101712.7

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SE

Payment date: 19950227

Year of fee payment: 5

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 19960122

Year of fee payment: 6

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SE

Effective date: 19960208

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Payment date: 19960221

Year of fee payment: 6

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 19960419

Year of fee payment: 6

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CH

Payment date: 19960520

Year of fee payment: 6

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Effective date: 19970207

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: LI

Effective date: 19970228

Ref country code: CH

Effective date: 19970228

GBPC Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee

Effective date: 19970207

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PL

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Effective date: 19971030

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Effective date: 19971101

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: ST

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20050207