DE10041375B4 - Nichtflüchtige Speicheranordnung - Google Patents

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Abstract

Nichtflüchtige Speicheranordnung mit wenigstens einem Speicherzellenfeld (1 bis 4) aus einer Vielzahl von Speicherzellen und mit Redundanz-Speicherzellen, bei der die Adressen von zu ersetzenden Speicherzellen nichtflüchtig in zusätzlichen Speicherzellen der Speicheranordnung ablegbar sind, dadurch gekennzeichnet, dass die zusätzlichen Speicherzellen am Rand (9 bis 12) des Speicherzellenfeldes vorgesehen sind, und dass die Redundanz-Speicherzellen und/oder die zusätzlichen Speicherzellen gleich aufgebaut sind wie die Speicherzellen des Speicherzellenfeldes (1 bis 4).

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine nichtflüchtige Speicheranordnung mit einem Speicherzellenfeld aus einer Vielzahl von Speicherzellen und mit Redundanz-Speicherzellen, bei der die Adressen von zu ersetzenden Speicherzellen nichtflüchtig in zusätzlichen Speicherzellen der Speicheranordnung ablegbar sind.
  • Um in einer Speicheranordnung, beispielsweise einem DRAM-Speicher (DRAM = dynamischer Speicher), defekte Speicherzellen reparieren zu können, werden Redundanz-Speicherzellen vorgesehen. Diese Redundanz-Speicherzellen können sich auf dem gleichen Speicherchip wie die Speicherzellen der Speicheranordnung befinden. Die Adressen von zu ersetzenden Bit- und Wortleitungen von in einem Test ermittelten defekten Speicherzellen werden nichtflüchtig abgelegt, was beispielsweise durch gezieltes Durchbrennen von Fuses (Sicherungen) geschehen kann.
  • Für solche Fuses werden bisher in erster Linie Laserfuses eingesetzt. Bei diesen handelt es sich um dünne Metallbahnen, die mit einem Laserstrahl durchgebrannt werden können. Ein Nachteil von Laserfuses ist darin zu sehen, dass sie auf einem Speicherchip relativ viel Chipfläche beanspruchen.
  • Ein anderer Typ von Fuses, welche auch bei DRAMs eingesetzt werden, sind sogenannte E-Fuses, d. h. elektrische Fuses, bei denen ein Dielektrikum mittels eines Spannungsimpulses gezielt zum Durchbruch gebracht wird.
  • Schließlich werden derzeit auch noch elektrische Fuses diskutiert, die aus einem Gateleiter bestehen. Durch Hindurchschicken eines ausreichend großen Stromes können diese Fuses gebrannt werden.
  • Für MRAM- und auch FeRAM-Anordnungen bietet sich die Übernahme dieser bestehenden, bei DRAMs erfolgreich eingesetzten Fuses ohne weiteres an (MRAM = magnetoresistiver RAM, FeRAM = ferroelektrischer RAM). Mit anderen Worten, auch bei MRAMs können die bestehenden Fuses der DRAMs eingesetzt werden, ohne grundsätzliche Veränderungen an diesen vornehmen zu müssen.
  • Im einzelnen ist aus der nachveröffentlichten DE 100 26 993 A1 ein Flash-Speicherbauelement bekannt, bei dem Fehleradressen in einer gesonderten Redundanz-Ansteuerschaltung abgelegt sind, die aber nicht wie eine Redundanzzellenmatrix am Rand eines Hauptspeicherzellenfeldes gelegen ist.
  • Weiterhin beschreibt die DE 690 33 438 T2 eine Speicheranordnung, bei der eine Fehlerkarte vorgesehen ist, um Adressen von fehlerhaften Speicherzellen zu speichern.
  • Aus der DE 198 21 459 A1 ist eine Anordnung zur Redundanzauswertung bei einem Halbleitertyp bekannt, bei der die Zuordnung zwischen redundanten Speicherzellen und ausgefallenen Speicherzellen eines Speicherzellenfeldes mittels eines nichtflüchtigen Speichers vorgenommen wird. Dieser nichtflüchtige Speicher ist ein Festwertspeicher, der aber mit dem Speicherzellenfeld des Halbleiterspeichers nicht integriert ist.
  • Schließlich ist aus der DE 197 44 095 A1 eine Speicherzellenanordnung bekannt, bei der die einzelnen Speicherzellen einen mehrschichtigen Aufbau aufweisen. Auf die Adressen von zu ersetzenden Speicherzellen und deren Abspeicherung in zusätzlichen Speicherzellen wird dabei nicht eingegangen.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, für eine nichtflüchtige Speicheranordnung eine einfach aufgebaute und platzsparende Fusetechnik zu schaffen.
  • Diese Aufgabe wird bei einer MRAM-Anordnung der eingangs genannten Art erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass die zusätzlichen Speicherzellen am Rand des Speicherzellenfeldes vorgesehen sind, und dass die Redundanz-Speicherzellen und/oder die zusätzlichen Speicherzellen gleich aufgebaut sind wie die Speicherzellen des Speicherzellenfeldes.
  • Die erfindungsgemäße nichtflüchtige Speicheranordnung, vorzugsweise eine MRAM- oder FeRAM-Anordnung, benutzt also damit Speicherzellen des gleichen Aufbaus wie die Speicherzellen des Speicherzellenfeldes und wie die Redundanz-Speicherzellen zur nichtflüchtigen Redundanzspeicherung, also als Fuses, was eine flächensparende und wenig aufwendige Lösung obiger Aufgabe bedeutet. Dabei werden anstelle von Fuses mit vom eigentlichen Speicherzellenfeld abweichendem Aufbau zusätzliche Speicherzellen herangezogen, die sich von den eigentlichen Speicherzellen grundsätzlich nicht unterscheiden. Das der erfindungsgemäßen Speicheranordnung zugrunde liegende Fusekonzept eignet sich in besonders vorteilhafter Weise für hochdichte MRAM-Anordnungen oder auch FeRAM-Anordnungen: werden beispielsweise die MRAM-Zellenfelder vertikal gestapelt, so steigt entsprechend die Anzahl der benötigten Fuses. Die Funktion dieser Fuses kann ohne weiteres von zusätzlichen MRAM-Zellen übernommen werden, in denen die Adressen der als fehlerhaft ermittelten MRAM-Zellen abgelegt sind. Da die zusätz lichen MRAM-Zellen nur wenig Fläche benötigen, ermöglicht die Erfindung eine äußerst einfache Lösung obiger Aufgabe bei minimalem Flächenbedarf.
  • Eine Speicherzelle einer MRAM-Anordnung, eine sogenannte TMR-Zelle (TMR = Tunnel-Magnet-Widerstand) besteht bekanntlich aus einer weichmagnetischen Schicht, einer Tunnelbarrierenschicht aus beispielsweise Al2O3 mit einer Schichtdicke unterhalb 2 nm, und einer hartmagnetischen Schicht. Eine solche TMR-Zelle ist schematisch in 2 gezeigt, in welcher eine weichmagnetische Schicht 13, eine Tunnelbarrierenschicht 14 und eine hartmagnetische Schicht 15 übereinander gestapelt zwischen einer Wortleitung WL und einer diese senkrecht kreuzenden Bitleitung BL liegen. Beim Schreiben wird die weichmagnetische Schicht 13 mit ihrer Magnetisierungsrichtung durch ein Magnetfeld, das durch die in der Wortleitung WL und in der Bitleitung BL fließenden Ströme erzeugt ist, parallel oder antiparallel zur Magnetisierung der hartmagnetischen Schicht 13 ausgerichtet.
  • Beim Auslesen wird der Widerstand des Stapels aus den Schichten 13, 14 und 15 ausgewertet: er ist im Fall einer parallelen Magnetisierung der Schichten 13 und 15 um etwa 10 bis 40 % niedriger als im Fall einer antiparallelen Magnetisierung dieser Schichten 13 und 15.
  • Aufgrund dieser physikalischen Gegebenheiten bestehen erfindungsgemäß für die Ausnutzung einer MRAM-Zelle als Fuse grundsätzlich im Wesentlichen die folgenden zwei Möglichkeiten:
    Da eine MRAM-Zelle nichtflüchtig ist, kann die Redundanzinformation in ihr abgelegt werden; unmittelbar nach dem Einschalten der MRAM-Anordnung wird diese Redundanzinformation ausgelesen und in Latches (Verriegelungsglieder) zwischengespeichert, damit sie schnell zugänglich ist.
  • Ein größeres und zuverlässigeres Signal kann aber erhalten werden, wenn gemäß der zweiten Möglichkeit die dünne Tunnelbarrierenschicht in der MRAM-Zelle gezielt zum Durchbruch gebracht wird, wozu Spannungen zwischen etwa 1,5 und 2 V über der Speicherzelle notwendig sind. Der genaue Wert der für einen solchen Durchbruch erforderlichen Spannung hängt von der Dicke der Tunnelbarrierenschicht ab. Bei einem Durchbruch wird der Widerstandswert der Tunnelbarrierenschicht viel geringer und ändert sich um mehrere Größenordnungen, so dass die Speicherzelle, die nun an sich als Anti-Fuse wirkt, beim Einschalten der MRAM-Anordnung zuverlässig ausgelesen und die Redundanzinformation in Latches zwischengespeichert werden kann, um einen raschen Zugriff beim Lesen der MRAM-Anordnung zu gewährleisten.
  • Entsprechende Überlegungen gelten für eine FeRAM-Anordnung oder auch eine Flash-Speicheranordnung als einem anderen Beispiel einer nichtflüchtigen Speicheranordnung.
  • Nachfolgend wird die Erfindung anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
  • 1 eine schematische Darstellung einer MRAM-Anordnung als einem Beispiel der erfindungsgemäßen nichtflüchtigen Speicheranordnung und
  • 2 eine schematische Darstellung einer MRAM-Zelle.
  • Die 2 ist bereits eingangs erläutert worden.
  • 1 zeigt eine MRAM-Anordnung, bei der mehrere Speicherzellenfelder 1 bis 4 in einem Stapel übereinander vorgesehen sind. Jedes Speicherzellenfeld 1 bis 4 weist eine Vielzahl von MRAM-Zellen auf, wie diese schematisch in 2 gezeigt sind. Die Speicherzellenfelder können gegebenenfalls auch nebeneinander vorgesehen oder auch nur teilweise gestapelt sein.
  • Jedes Speicherzellenfeld 1 bis 4 hat außerdem Redundanz-Speicherzellen, die in Randbereichen 5 bis 8 der Speicherzellenfelder 1 bis 4 untergebracht sind. Diese Redundanz-Speicherzellen sind in gleicher Weise wie die Speicherzellen der Speicherzellenfelder 1 bis 4 aufgebaut. Das heißt, die Redundanz-Speicherzellen haben grundsätzlich ebenfalls den in 2 gezeigten Aufbau, wobei allerdings Wortleitungen WL und Bitleitungen BL des Speicherzellenfeldes durch entsprechende redundante Wortleitungen und Bitleitungen ersetzt sind.
  • Erfindungsgemäß sind bei der in 1 gezeigten MRAM-Anordnung die Adressen der zu ersetzenden Speicherzellen in zusätzlichen MRAM-Zellen abgelegt, die in Randbereichen 9 bis 12 der Speicherzellenfelder 1 bis 4 untergebracht sind. Auch diese zusätzlichen MRAM-Zellen sind in der in 2 dargestellten Weise aufgebaut. Bei diesen zusätzlichen MRAM-Zellen, die als Fuses wirken, kann die Tunnelbarrierenschicht 2 gegebenenfalls zum Durchbruch gebracht werden, so dass eine Änderung der Leitfähigkeit um mehrere Größenordnungen eintritt, da beim Durchbruch Metall aus den Elektroden bildenden Wort- und Bitleitungen aufschmilzt und in den Durchbruchskanal eindringt. Mit anderen Worten, nach dem Durchbruch liegt eine erheblich höhere Leitfähigkeit der zusätzlichen MRAM-Zellen vor, so dass diese Anti-Fuses bilden. In diesen Anti-Fuses wird die Adressinformation für die zu ersetzenden Speicherzellen abgelegt, so dass die entsprechenden Redundanz-Speicherzellen angesteuert werden, wie dies durch entsprechende Verbindungsleitungen 16 zwischen den Bereichen 9 und 5 andeutende Strichlinien für das Speicherzellenfeld 1 dargestellt ist. Wird ein Signal mit einer Adresse eingespeist, welche einer in den zusätzlichen MRAM-Zellen abgespeicherten Adresse entspricht, so wird dieses Signal zu der dieser Adresse zugeordneten Redundanz-Speicherzelle geleitet.
  • 1, 2, 3, 4
    Speicherzellenfelder
    5, 6, 7, 8
    Rand für Redundanz-Speicherzellen
    9,10, 11, 12
    Rand für zusätzliche MRAM-Zellen
    13
    weichmagnetische Schicht
    14
    Tunnelbarrierenschicht
    15
    hartmagnetische Schicht
    16
    Verbindungsleitungen
    BL
    Bitleitung
    WL
    Wortleitung

Claims (4)

  1. Nichtflüchtige Speicheranordnung mit wenigstens einem Speicherzellenfeld (1 bis 4) aus einer Vielzahl von Speicherzellen und mit Redundanz-Speicherzellen, bei der die Adressen von zu ersetzenden Speicherzellen nichtflüchtig in zusätzlichen Speicherzellen der Speicheranordnung ablegbar sind, dadurch gekennzeichnet, dass die zusätzlichen Speicherzellen am Rand (9 bis 12) des Speicherzellenfeldes vorgesehen sind, und dass die Redundanz-Speicherzellen und/oder die zusätzlichen Speicherzellen gleich aufgebaut sind wie die Speicherzellen des Speicherzellenfeldes (1 bis 4).
  2. Nichtflüchtige Speicheranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die zusätzlichen Speicherzellen zum elektrischen Durchbruch gebracht sind und als Anti-Fuses wirken.
  3. Nichtflüchtige Speicheranordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens zwei Speicherzellenfelder, Redundanz-Speicherzellen und zusätzliche Speicherzellen mindestens teilweise vertikal übereinander gestapelt sind.
  4. Nichtflüchtige Speicheranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Speicheranordnung eine MRAM- oder FeRAM-Anordnung oder eine Flash-Speicheranordnung ist.
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