DE10026921A1 - Spule - Google Patents

Spule

Info

Publication number
DE10026921A1
DE10026921A1 DE2000126921 DE10026921A DE10026921A1 DE 10026921 A1 DE10026921 A1 DE 10026921A1 DE 2000126921 DE2000126921 DE 2000126921 DE 10026921 A DE10026921 A DE 10026921A DE 10026921 A1 DE10026921 A1 DE 10026921A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
coil according
coil
loops
open loop
connecting piece
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE2000126921
Other languages
English (en)
Other versions
DE10026921C2 (de
Inventor
Hans-Peter Dinter
Wilfried Goy
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
ALD Vacuum Technologies GmbH
Original Assignee
ALD Vacuum Technologies GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ALD Vacuum Technologies GmbH filed Critical ALD Vacuum Technologies GmbH
Priority to DE2000126921 priority Critical patent/DE10026921C2/de
Publication of DE10026921A1 publication Critical patent/DE10026921A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE10026921C2 publication Critical patent/DE10026921C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27BFURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B14/00Crucible or pot furnaces
    • F27B14/06Crucible or pot furnaces heated electrically, e.g. induction crucible furnaces with or without any other source of heat
    • F27B14/061Induction furnaces
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F27/00Details of transformers or inductances, in general
    • H01F27/28Coils; Windings; Conductive connections
    • H01F27/2871Pancake coils
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F27/00Details of transformers or inductances, in general
    • H01F27/28Coils; Windings; Conductive connections
    • H01F27/2876Cooling
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B6/00Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
    • H05B6/02Induction heating
    • H05B6/36Coil arrangements
    • H05B6/367Coil arrangements for melting furnaces
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F27D99/0001Heating elements or systems
    • F27D99/0006Electric heating elements or system
    • F27D2099/0015Induction heating
    • F27D2099/0016Different magnetic fields, e.g. two coils, different characteristics of the same coil along its length or different parts of the same coil used
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F37/00Fixed inductances not covered by group H01F17/00
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F5/00Coils

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Induction Heating (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Spule, insbesondere eine Induktionsspule für einen Quarzrohrofen. Diese Spule kann auch noch nach ihrer Installation verändert werden, und zwar hinsichtlich jeder Eigenschaft. Es ist z. B. möglich, den Abstand zwischen einzelnen Windungen zu vergrößern oder zu verkleinern, das Profil und den Umfang oder die elektrischen Eigenschaften einer Windung zu verändern. Der Abstand zwischen den einzelnen Windungen kann auch automatisch verändert werden, wobei vorzugsweise das Temperaturprofil eines Ofens einem Regler zugeführt wird, der die Abstände so einstellt, dass sich ein ideales Temperaturprofil einstellt.

Description

Die Erfindung betrifft eine Spule nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Spulen sind zumeist spiralförmige Gebilde, bei denen die Windungen alle den gleichen Anstiegswinkel haben. Dies gilt sowohl für mechanische als auch für elektrische Spu­ len, insbesondere für Induktionsspulen.
Bei Induktionsspulen werden die beiden jeweiligen Enden der Spule an eine Wech­ selspannungsquelle gelegt. Nachteilig ist bei diesen bekannten Spulen, dass ihr gleich­ bleibender Steigungswinkel eine Anpassung an verschiedene Verhältnisse verhindert.
Bei einer bekannten Induktionsspule, die für die Erwärmung des Inhalts eines Tiegels dient, sind die Windungen am unteren Ende enger gepackt als am oberen Ende (DE 563 710 C2, DE 39 40 029 C2, DE 39 10 777 A1). Hierdurch ist es möglich, den unte­ ren Bereich stärker zu erwärmen als den oberen Bereich. Nachteilig bleibt aber auch hier, dass die Spule nachträglich nicht mehr verändert werden kann.
Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, eine Spule zu schaffen, die im Nachhinein leicht bezüglich ihrer Eigenschaften, z. B. Wicklungsdichte, geändert wer­ den kann.
Diese Aufgabe wird gemäß den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst.
Die Erfindung betrifft somit eine Spule, insbesondere eine Induktionsspule für einen Quarzrohrofen. Diese Spule kann auch noch nach ihrer Installation verändert werden, und zwar hinsichtlich jeder Eigenschaft. Es ist z. B. möglich, den Abstand zwischen einzelnen Windungen zu vergrößern oder zu verkleinern, das Profil und den Umfang oder die elektrischen Eigenschaften einer Windung zu verändern. Der Abstand zwi­ schen den einzelnen Windungen kann auch automatisch verändert werden, wobei vor­ zugsweise das Temperaturprofil eines Ofens einem Regler zugeführt wird, der die Ab­ stände so einstellt, dass sich ein ideales Temperaturprofil einstellt.
Der mit der Erfindung erzielte Vorteil besteht insbesondere darin, dass durch Lösen und Befestigen von Schrauben oder durch eine automatische Steuerung der Abstand zwischen den einzelnen Windungen einer Spule verändert werden kann. Es ist außer­ dem möglich, einzelne Spulenteile hinsichtlich ihres Durchmessers und/oder Quer­ schnitts zu verändern. Insbesondere bei der Verwendung dieser Spule als Indukti­ onsspule für Schmelzöfen und Wärmebehandlungsanlagen lassen sich erhebliche Qua­ litätssteigerungen bei den geschmolzenen bzw. erwärmten Materialien erzielen, weil eine Homogenisierung der Temperatur einer Charge erzielt wird.
Die Wärmeverteilung und die Homogenisierung der Temperatur in der Charge werden durch den Wärmeabfluss, insbesondere am Chargensupport, also am Boden, und am Chargenverschluss, also am Deckel, gestört, d. h. die Temperatur an den Chargenen­ den ist in der Regel niedriger als in der Chargenmitte. Mit der Erfindung lässt sich die­ ser Nachteil beheben. Zwar ist es auch mit einer asymmetrisch gewickelten Spule möglich, die Chargentemperatur zu homogenisieren, doch kann mit einer solchen Spule nur ein einziger Betriebspunkt abgedeckt werden, bei dem die Temperaturver­ teilung in der Charge homogenisiert ist. Dieser Betriebspunkt erfordert allerdings einen definierten Wärmeübergang in der Charge, damit sich eine gleichmäßige Temperatur­ verteilung ausbilden kann. Ändert sich der Wärmeübergang z. B. aufgrund einer geän­ derten Chargenzusammensetzung oder unterschiedlichen Wärmeleitungscharakteristi­ ken bei steigender Temperatur, dann verschiebt sich die Temperaturverteilung in der Charge, d. h. das Temperaturprofil wird über die Chargenhöhe inhomogen, sodass es zur Ausbildung von Hot Spots und kalten Stellen kommen kann. Bei einer Homogeni­ sierung der Temperatur, wie sie mit der Erfindung erzielbar ist, werden derartige Er­ scheinungen vermieden.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und werden im Folgenden näher beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1 einen Quarzrohrofen mit einer erfindungsgemäßen Spule;
Fig. 2 eine Prinzipdarstellung einer erfindungsgemäßen Spule;
Fig. 3a eine vergrößerte Detailansicht einer erfindungsgemäßen Spule mit Kühlvor­ richtung;
Fig. 3b eine Draufsicht auf die in der Fig. 3a gezeigte Vorrichtung;
Fig. 3c einen Längsschnitt durch einen Teilbereich der in der Fig. 3a gezeigten Vor­ richtung;
Fig. 4 eine Variante der erfindungsgemäßen Spule;
Fig. 5 einen Antrieb für eine Spulenwindung;
Fig. 6 eine Regeleinrichtung für die automatische Einstellung des Abstands zwi­ schen Spulenwindungen.
In der Fig. 1 ist ein Quarzrohrofen 1 dargestellt, der von einer erfindungsgemäßen Spule umgeben ist. Quarzrohröfen werden zur Wärmebehandlung von Metallen, Me­ talllegierungen und Keramiken, zum Entwachsen und Sintern von Hartmetallen, Kar­ biden und magnetischen Materialien in einem Produktionszyklus, zum Schmelzen, Entgasen und Gießen oder zur Reduktion von Metalloxiden verwendet. Derartige Öfen eignen sich somit für alle gängigen Wärmebehandlungsverfahren, bei denen die Reak­ tionsfreudigkeit des Werkstoffs eine Behandlung unter Vakuum oder Schutzgas erfor­ dern. Die Spule 2 ist mit einem Mittelfrequenzgenerator 3 verbunden, der als Strom­ versorgung für die Induktionsheizung dient. Der Anschluss des Mittelfrequenzgenera­ tors 3 erfolgt hierbei an den beiden Enden 4, 5 der Spule 2. Die Spule 2 besteht aus mehreren kreisförmigen Ringen 6-13, die offen sind, sodass sie jeweils zwei Enden 4, 14; 15, 16; 17, 18; 19, 20; 21, 22 aufweisen. Das eine Ende eines solchen Rings, z. B. das Ende 17 des Rings 8, ist dabei elektrisch mit dem einen Ende 16 eines darüber lie­ genden Rings 7 verbunden, während das andere Ende 18 dieses Rings 8 mit einem Ende 19 eines darunter liegenden Rings 9 verbunden ist. Die elektrische Verbindung wird mittels elektrisch leitender Verbindungsstücke 30 bis 33 hergestellt, die mit den jeweiligen Enden der Ringe verschraubt sind.
Bei dem modularen Aufbau der Wicklung 2 übernimmt jeder Ring 6 bis 13 die Funkti­ on einer Windung einer herkömmlichen Spule.
Im Gegensatz zu einer herkömmlichen Spule kann jedoch die Spule 2 nachträglich verändert werden, indem z. B. Ringe 6 bis 13 ausgetauscht werden oder ihr jeweiliger Abstand zueinander verändert wird. Beispielsweise könnte der Ring 6 durch einen Ring mit anderen Abmessungen oder Eigenschaften - Höhe, Breite, Durchmesser, Leit­ fähigkeit - ersetzt werden. Durch den Einsatz unterschiedlich großer Verbindungsstüc­ ke 30 bis 33 können auch die Abstände der Ringe 6 bis 13 zueinander verändert wer­ den, sodass beispielsweise die Ringe im oberen und/oder unteren Bereich des Quarz­ rohrofens 1 dichter beieinander liegen als im mittleren Bereich. Indem diese Abstände verändert werden, lassen sich definierte Betriebspunkte einstellen. Es können auch Ringe hinzugefügt oder entfernt werden, wodurch sich Änderungen im Wärmeüber­ gangsverhalten einer Charge kompensieren lassen.
Das Innere des Quarzrohrofens 1 ist in der Fig. 1 nicht dargestellt, weil es für die Er­ findung nicht von Bedeutung ist. Es sei lediglich erwähnt, dass sich innerhalb eines Quarzrohrs 40 ein zylindrischer Suszeptor aus Graphit oder einem anderen Material befindet, der durch die magnetischen Wechselfelder der stromdurchflossenen Spule 2 über Wirbelstrombildung erhitzt wird und seine Wärme mittels Strahlung und/oder Konvektion an das zu erwärmende Material bzw. an die Charge weitergibt. Der Sus­ zeptor kann allerdings auch unmittelbar die Rolle eine Kokille übernehmen.
Die Enden der Ringe 6 bis 13 sind in der Fig. 1 eben dargestellt. Sie können jedoch auch als um 90° gekröpfte Enden ausgebildet werden, sodass die Verbindungsstücke 30 bis 33 um 90° gedreht sind, wenn sie die Verbindung zwischen zwei Ringteilen herstellen.
In der Fig. 2 ist das Prinzip der erfindungsgemäßen Spule 2 noch einmal im Detail dargestellt. Die Ringe 6 bis 13 sind, im Vergleich zur Darstellung der Fig. 1, in einer etwas anderen Anordnung gezeigt: Sie sind aus ihrer zylindrischen Anordnung in eine Ebene geklappt. Man erkennt hierbei deutlicher die Verbindungselemente 41 bis 44, welche die Verbindungsstücke 30 bis 36 mit den Ringen 6 bis 13 verbinden. Außer­ dem ist ein Spulenhaltesystem dargestellt, das vier Stangen 50, 51, 52, 53 enthält, die an ihren oberen und unteren Enden mit einem gemeinsamen Sockel 54 bzw. 55 ver­ bunden sind.
Die Verbindung zwischen den Ringen 6 bis 13 und den Stangen 50 bis 53 wird z. B. über Stifte 110 bis 117 hergestellt, die an den Ringen 6 bis 13 befestigt sind und durch Bohrungen in den Stangen 50 bis 53 gesteckt werden. Wie man aus der Darstellung der Fig. 2 erkennt, haben die einzelnen Ringe 6 bis 13 verschiedene Abstände h1, h2, h3 zueinander, wobei diese Abstände nachträglich geändert werden können. Hierzu wird z. B. das Verbindungsstück 32 durch ein kürzeres Verbindungsstück ersetzt und die Stifte des Rings 8 durch andere - in der Fig. 2 nicht dargestellte - Bohrungen der Stan­ gen 50 bis 53 gesteckt.
Wegen der hohen Ströme, die durch die Ringe 6 bis 13 fließen, müssen diese Ringe 6 bis 13 gekühlt werden. Wie ein entsprechendes Kühlsystem realisiert werden könnte, ist in den Fig. 3a bis 3c dargestellt. In der Fig. 3a erkennt man die Endbereiche der Ringe 8, 9, die über das Verbindungsstück 32 miteinander verbunden sind. Die Ver­ bindung ist dabei über acht Schrauben-Mutter-Verbindungen hergestellt, von denen in der Fig. 3a nur sechs Schrauben-Mutter-Verbindungen 41 bis 43 bzw. 46 bis 48 er­ kennbar sind. Auf den Ringen 8, 9 befindet sich jeweils ein Kühlflüssigkeitsführungs­ kanal 60, 69, der mittels seitlicher Flansche 62, 63 bzw. 64, 65 mit den Ringen 8, 9 verbunden ist. Die beiden Kühlflüssigkeitsführungskanäle 60, 69 sind hierbei mittels eines Schlauchs 66 miteinander verbunden.
Die Fig. 3b zeigt die Kühlvorrichtung der Fig. 3a noch einmal in einer Ansicht von oben. Man erkennt hierbei wieder die Endbereiche der Ringe 8, 9 sowie das Verbin­ dungsstück 32. Die Flansche 62, 64 der Kühlflüssigkeitsführungskanäle 60, 69 sind ebenfalls erkennbar. Über den Schlauch 66 sind diese beiden Kanäle 60, 69 miteinan­ der gekoppelt.
In der Fig. 3c ist ein Längsschnitt durch den Ring 8 gezeigt, auf dem sich der Kühl­ flüssigkeitsführungskanal 60 befindet. Ein Teil des Verbindungsstücks 32 ist hierbei ebenfalls erkennbar.
Die Fig. 4 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Spule, bei der kein Windungsversatz auftritt. Wie besonders deutlich aus den Fig. 2 ersichtlich, müs­ sen bei dem ersten Ausführungsbeispiel die Zwischenräume x zwischen den einzelnen Ringe 6 bis 13 seitlich versetzt werden, wenn senkrechte Verbindungsteile 30 bis 36 zum Einsatz kommen. Die Öffnungen x zwischen den einzelnen Windungen wandern somit gewissermaßen von links oben nach rechts unten.
Um diesen Versatz zu vermeiden, kann eine Spule gemäß Fig. 4 verwendet werden, von der nur Teile dargestellt sind. Bei dieser Spule 70 werden die Enden der einzelnen Ringe 6 bis 11 nicht mit vertikalen, sondern mit schrägen Verbindungsstücken 71 bis 77 miteinander verbunden. Durch diese Maßnahme können die Enden der Ringe 6 bis 11 alle mit den gleichen vertikalen Linien abschließen.
Die Ringe 6 bis 11 sind hierbei wieder mit Kühlvorrichtungen versehen, die aus je­ weils einem Kühlflüssigkeitsführungskanal 80 bis 93 mit seitlichen Flanschen 94 bis 101 etc. bestehen. Die Verbindungsstücke 71 bis 77 weisen ebenfalls solche Kühlflüs­ sigkeitskanäle 200 bis 205 mit entsprechenden Flanschen 206 bis 209 etc. auf. Mit 220 bis 226 etc. sind geschnittene Enden von Kühlschläuchen bezeichnet, die ähnlich wie bei der Vorrichtung gemäß Fig. 3 die einzelnen Kühlkanäle miteinander verbinden.
Obgleich bei den bisherigen Darstellungen der erfindungsgemäßen Spule davon aus­ gegangen wurde, dass es sich bei den einzelnen Windungen um kreisförmige Ringe handelt, versteht es sich, dass auch jede andere Form einer offenen Schleife verwendet werden kann, beispielsweise eine ovale Form, eine rechteckige, fünfeckige oder son­ stige Form.
Die Fig. 5 zeigt, ähnlich wie die Fig. 3c, einen Ring 8 im Längsschnitt. Dieser Ring 8 wird jedoch nicht starr in einer lösbaren Stellung gehalten, sondern ist vertikal beweg­ lich, was durch den Doppelpfeil 300 angedeutet ist. Die vertikale Bewegung erfolgt hierbei mittels eines Elektromotors 301, der eine Spindelwelle 302 aufweist, welche eine Mutter 303 mit Innengewinde antreibt, die mit einem Zapfen 304 gekoppelt ist, an dessen Ende sich der Ring 8 befindet. Die Drehbewegung der Spindelwelle 302 wird hierdurch in eine Vertikalbewegung des Zapfens 304 umgesetzt. Die Zapfen 304 ragt durch den Schlitz 305 eines Gehäuses 306, das mit einer der Stangen 50 bis 53 der Fig. 2 vergleichbar ist. Der Elektromotor 301 ruht auf einem Boden 307, der mit dem Ge­ häuse 306 verbunden ist.
Der in der Fig. 5 nur als Prinzip und nur für einen Ring dargestellte Antrieb kann selbstverständlich auch für mehrere Ringe vorgesehen sein.
Um zwei benachbarte Ringe einander zu nähern oder voneinander zu entfernen, müs­ sen die Antriebe entsprechend angesteuert werden.
Werden die Temperaturverläufe über die Höhe eines Quarzrohrofens erfasst, bei­ spielsweise mittels Thermoelementen, so kann ein entsprechendes Temperaturprofil erstellt werden. Dieses Temperaturprofil kann dann mit Hilfe einer Regeleinrichtung, welche die Ringe verstellt, von einem nicht-idealen Profil in ein ideales Profil abgeän­ dert werden.
Damit lassen sich die Abstände h1 bis h3 gemäß Fig. 2 so einstellen, dass ein idealer Wärmezustand im Quarzrohrofen herrscht.
Die Verbindungselemente 30 bis 36 zwischen den einzelnen Ringen 6 bis 13 sind in­ dessen in der Regel starr und lassen eine vertikale Relativbewegung der Ringe nicht zu. Um die Verbindungselemente 30 bis 36 nicht mit der Hand ab- und wieder anmon­ tieren zu müssen, können statt starren Verbindungselementen auch flexible Verbin­ dungselemente verwendet werden, die hohe Ströme leiten.
In der Fig. 6 ist das Prinzip einer Regeleinrichtung dargestellt, mit welchem der Ab­ stand zwischen den einzelnen Ringen automatisch verändert werden kann, wenn flexi­ ble Verbindungselemente, beispielsweise bestehend aus Kupferkabel, als Verbin­ dungsstücke verwendet werden.
Mit 121 ist hierbei ein Ofen bezeichnet, der mit erfindungsgemäßen Ringen umgeben ist, die jedoch in der Fig. 6 nicht dargestellt sind. Über die ganze Höhe des Ofens sind Temperaturfühler 122 bis 131 vorgesehen, die über Leitungen 132 mit einer Regelein­ richtung 133 verbunden sind. In dieser Regeleinrichtung wird das von den Temperatur­ fühlern 122 bis 131 übermittelte Ist-Temperaturprofil mit einem für die jeweils aktu­ elle Charge geltenden Soll-Temperaturprofil verglichen. Entsprechend den Abwei­ chungen zwischen Ist- und Soll-Temperaturprofil werden sodann die Antriebe 134, 135, 136, welche mit den Ringen gekoppelt sind, in der Weise gesteuert, dass sich im Ofen 121 ein ideales Temperaturprofil einstellt.
Statt mit Hilfe von Thermoelementen (vgl. DE 37 16 145 A1) kann das Temperatur­ profil auch mit einer Thermokamera erfasst werden (vgl. DE 39 19 920 C2).

Claims (15)

1. Spule, gekennzeichnet durch folgende Merkmale:
  • 1. 1.1 es sind mehrere übereinander angeordnete offene Schleifen (6 bis 13) vorgesehen, die in zueinander parallelen Ebenen angeordnet sind;
  • 2. 1.2 die offenen Schleifen (6 bis 13) weisen jeweils zwei Enden (z. B. 26, 27) auf, wo­ bei diese Enden einen Abstand (x) voneinander haben;
  • 3. 1.3 das jeweils eine Ende (z. B. 27) der offenen Schleife (z. B. 9) ist über jeweils ein Verbindungsstück (33) mit einem Ende (28) einer der benachbarten offenen Schleifen (10) verbunden.
2. Spule nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Verbindungsstück einen Abstand (z. B. h3) zwischen zwei benachbarten Schleifen (z. B. 9, 10) her­ stellt.
3. Spule nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Schleifen (6 bis 13) kreisförmig ausgebildet sind.
4. Spule nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Schleifen alle den gleichen Durchmesser aufweisen.
5. Spule nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass jeweils benachbarte Schleifen (z. B. 9, 10) über ihren ganzen Umfang den gleichen Abstand (z. B. h3) voneinander haben.
6. Spule nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Verbindungsstück (33) senkrecht zu einer Ebene verläuft, die durch eine offene Schleife (9) gebildet ist.
7. Spule nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Verbindungsstück (z. B. 71) schräg zu einer Ebene verläuft, die durch eine offene Schleife (z. B. 6) ge­ bildet ist.
8. Spule nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass an das eine offene Ende (4) der obersten Schleife (6) und an das eine offene Ende (5) der untersten Schleife (13) jeweils eine Polarität einer Spannungsquelle angeschlossen ist.
9. Spule nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Spannungsquelle eine Wechselspannung ist, sodass die Spule (1) als Induktionsspule wirkt.
10. Spule nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sie einen Ofen umgibt.
11. Spule nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem Ofen um einen Quarzrohrofen handelt
12. Spule nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Ofen mit mehreren Wärmefühlern versehen ist, mit denen ein Wärmeprofil entlang einer vorgegebenen Koordinate einstellbar ist.
13. Spule nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass eine Regeleinrichtung vorgesehen ist, welche aufgrund eines erfassten Ist-Wärmeprofils und eines vorge­ gebenen Soll-Wärmeprofils den Abstand (h1, h2, h3) zwischen zwei oder mehreren Schleifen (6 bis 13) verändert.
14. Spule nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Regeleinrichtung wenigstens einen Elektromotor ansteuert, der eine Schleife (6 bis 13) in vertikaler Richtung antreibt
15. Spule nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Verbindungsstück flexibel und elektrisch leitend ist.
DE2000126921 2000-05-30 2000-05-30 Spule Expired - Fee Related DE10026921C2 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2000126921 DE10026921C2 (de) 2000-05-30 2000-05-30 Spule

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2000126921 DE10026921C2 (de) 2000-05-30 2000-05-30 Spule

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10026921A1 true DE10026921A1 (de) 2001-12-13
DE10026921C2 DE10026921C2 (de) 2002-04-11

Family

ID=7644186

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2000126921 Expired - Fee Related DE10026921C2 (de) 2000-05-30 2000-05-30 Spule

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE10026921C2 (de)

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR361627A (fr) * 1905-07-13 1906-09-17 Schneider & Cie Four électrique à induction par courants à haute fréquence
DE563710C (de) * 1930-03-26 1932-11-09 Hirsch Induktionsofen ohne Eisenkern
US1936309A (en) * 1931-11-04 1933-11-21 Ajax Electrothermie Corp Induction electric furnace
US3704336A (en) * 1971-04-01 1972-11-28 Ajax Magnethermic Corp Support means for induction coil
EP0079266B1 (de) * 1981-11-06 1985-01-30 Societe D'applications De La Physique Moderne Et De L'electronique Saphymo-Stel Einrichtung zum Induktionsschmelzen von dielektrischen Substanzen wie z.B. Glas oder Email
DE3539135A1 (de) * 1985-11-05 1987-05-07 Bosch Gmbh Robert Abgleichbare luftspule
DE3716145A1 (de) * 1987-05-14 1988-11-24 Leybold Ag Messfuehler fuer die erfassung von temperaturen in metall- oder legierungsschmelzen
DE3910777A1 (de) * 1989-04-04 1990-10-11 Leybold Ag Einrichtung mit einem tiegel, in dem sich ein metall oder eine metall-legierung befindet
DE3919920C2 (de) * 1989-06-19 1992-10-29 Leybold Ag, 6450 Hanau, De
DE3940029C2 (de) * 1989-12-04 1994-04-14 Leybold Ag Tiegel für die induktive Erwärmung
EP0858246A2 (de) * 1997-02-10 1998-08-12 Inductotherm Corp. Induktionsspule und dieses verwendende kernlose Induktionsofen

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR361627A (fr) * 1905-07-13 1906-09-17 Schneider & Cie Four électrique à induction par courants à haute fréquence
DE563710C (de) * 1930-03-26 1932-11-09 Hirsch Induktionsofen ohne Eisenkern
US1936309A (en) * 1931-11-04 1933-11-21 Ajax Electrothermie Corp Induction electric furnace
US3704336A (en) * 1971-04-01 1972-11-28 Ajax Magnethermic Corp Support means for induction coil
EP0079266B1 (de) * 1981-11-06 1985-01-30 Societe D'applications De La Physique Moderne Et De L'electronique Saphymo-Stel Einrichtung zum Induktionsschmelzen von dielektrischen Substanzen wie z.B. Glas oder Email
DE3539135A1 (de) * 1985-11-05 1987-05-07 Bosch Gmbh Robert Abgleichbare luftspule
DE3716145A1 (de) * 1987-05-14 1988-11-24 Leybold Ag Messfuehler fuer die erfassung von temperaturen in metall- oder legierungsschmelzen
DE3910777A1 (de) * 1989-04-04 1990-10-11 Leybold Ag Einrichtung mit einem tiegel, in dem sich ein metall oder eine metall-legierung befindet
DE3919920C2 (de) * 1989-06-19 1992-10-29 Leybold Ag, 6450 Hanau, De
DE3940029C2 (de) * 1989-12-04 1994-04-14 Leybold Ag Tiegel für die induktive Erwärmung
EP0858246A2 (de) * 1997-02-10 1998-08-12 Inductotherm Corp. Induktionsspule und dieses verwendende kernlose Induktionsofen

Also Published As

Publication number Publication date
DE10026921C2 (de) 2002-04-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0058817B1 (de) Kontaktelektrodenanordnung für Lichtbogen- oder Widerstandsschmelzöfen
DE1565575C3 (de) Widerstandsheizung
DE102006003014B3 (de) Verfahren zum Härten eines einen geschlossenen Kurvenzug beschreibenden Werkstücks
WO2005041278A2 (de) Kristallzüchtungsanlage
EP2101547B1 (de) Dental-Sinterofen sowie Verfahren zum Sintern keramischer Dental-Elemente
DE2730161C2 (de)
DE112012005534T5 (de) Wärmebehandlungsvakuumvorrichtung
DE3143532A1 (de) Retortendrehofen zur waermebehandlung von werkstuecken
DE112013006290B4 (de) Kontinuierliche Titan-Gießvorrichtung
DE3530231C2 (de)
DE19959416C1 (de) Heizelement zum Beheizen von Schmelztiegeln und Anordnung von Heizelementen
EP2789588A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Fördern eines Glasrohr- oder Glasstabstrangs mit von einer Kreisform abweichendem Querschnitt
DE4236158C1 (de) Elektrodentragarm für Lichtbogenöfen
EP0996516B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur herstellung von werkstücken oder blöcken aus schmelzbaren materialien
DE10026921C2 (de) Spule
DE1966175B2 (de) Elektrischer ofen mit einem heizelement und einer vorheizung
EP0483596B1 (de) Vakuumofen zur Wärmebehandlung metallischer Werkstücke
DE102010031819B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von polykristallinen Siliziumblöcken
DE202007009403U1 (de) Querfeldschrumpfvorrichtung mit Mitteln zur Begrenzung von Magnetflussverlusten
DE3834719A1 (de) Vorrichtung zur spaltverstellung einer duesenanordnung
CH690252A5 (de) Vorrichtung zum Bestimmen des Feststoffanteiles.
DE112012001367B4 (de) Isolierung eines Hochtemperaturofens
DE608152C (de) Glasschmelzofen
DE2064961B2 (de) Ofen mit elektrischen Heizelementen
DE3809006C1 (en) Device for applying a hard material to the tooth tips of a saw blade

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee