DE1001079B - Verfahren zur Vorbehandlung von Molybdaenoberflaechen fuer das Aufbringen metallischer UEberzuege - Google Patents

Verfahren zur Vorbehandlung von Molybdaenoberflaechen fuer das Aufbringen metallischer UEberzuege

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DE1001079B
DE1001079B DEL21374A DEL0021374A DE1001079B DE 1001079 B DE1001079 B DE 1001079B DE L21374 A DEL21374 A DE L21374A DE L0021374 A DEL0021374 A DE L0021374A DE 1001079 B DE1001079 B DE 1001079B
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DE
Germany
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molybdenum
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oxidation
metal layer
pretreatment
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DEL21374A
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English (en)
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Dr Phil Enno Arends
Dipl-Phys Adolf Elsas
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Licentia Patent Verwaltungs GmbH
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Licentia Patent Verwaltungs GmbH
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Publication date
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K35/00Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting
    • B23K35/001Interlayers, transition pieces for metallurgical bonding of workpieces
    • B23K35/005Interlayers, transition pieces for metallurgical bonding of workpieces at least one of the workpieces being of a refractory metal
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/02Pretreatment of the material to be coated
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
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Description

  • Verfahren zur V Vorbehandlung von Molybdänoberflächen für das Aufbringen metallischer Überzüge Es war bisher wegen der geringen Legierungsneigung des schwer schmelzbaren Molybdäns nur mit großen Schwierigkeiten möglich, eine Verlötung dieses Metalls mit einem anderen Metall, z. B. einer Zuleitung einer Elektrode od. dgl., z. B. unter Verwendung von sogenannten Weichloten, wie Zinn oder dessen Legierungen mit Blei, Cadmium, Wismut od. dgl. oder mit Indium oder dessen Legierungen, herzustellen. Ebenso stieß es auf Schwierigkeiten, Molybdänoberflächen mit anderen Metallen zu überziehen, insbesondere mit Edelmetallen, wie dies z. B. in der Röhrentechnik aus verschiedenen Gründen häufig versucht worden ist. Zu diesem Zweck war es bisher üblich, die Oxydschichten auf der zu überziehenden Molybdänoberfläche sorgfältig zu entfernen, in der Annahme, daß dadurch besonders gut haftende Überzüge erzielt würden. Mit der vorliegenden Erfindung wurde dieses Vorurteil überwunden.
  • Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Vorbehandlung von Molybdänoberflächen für das Aufbringen metallischer Überzüge, nach dem erfindungsgemäß die Molybdänoberfläche vor der Beschichtung mit dem Metall oxydiert wird. Die auf oxydierten Metalloberflächen aufgebrachten Metallschichten haften besonders fest auf diesen und sind auch nicht, wie dies bisher der Fall war, schon durch leichte Biegebeanspruchung oder lediglich durch Wischen zu entfernen. Vielmehr bilden sie eine Schicht gleichmäßiger Dichte und Haftfestigkeit.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren eignet sich besonders zum Aufbringen von Kupfer oder Edelmetallen, insbesondere Gold oder einer Legierung der genannten Metalle. Diese Schichten haben den Vorteil, daß sie auf dein Molybdän gut leitende, insbesondere für Hochfrequenzzwecke geeignete Oberflächen erzeugen und weiterhin z. B. die Wärmeabstrahlung erleichtern.
  • Die Haftfestigkeit kann noch dadurch weiter gesteigert werden, daß die Molybdänoberfläche vor der Oxydation mit mechanischen oder chemischen Mitteln, wie z. B_ Schmirgeln, Sanden, Ätzen, gereinigt wird. Diese Reinigung dient vornehmlich der Entfernung von dünnen Fettschichten.
  • Die Oxydation kann auf verschiedenen Wegen vorgenommen werden, z. B. durch Erwärmung an Luft oder durch Bombardieren mit Sauerstoffionen in einer Gasentladung oder durch Glühen in feuchtem Wasserstoff. Schließlich kann die Oxydation auch auf elektrolytischem Wege oder durch Eintauchen in eine oxydierende Flüssigkeit vorgenommen werden.
  • Das Aufbringen der Metallschicht erfolgt zweckmäßigerweise elektrolytisch oder durch Aufdampfen im Vakuum.
  • Die Haftfestigkeit der aufgebrachten Metallschicht wird ebenso wie die elektrische Güte der Beschichtung dadurch erhöht, daß die beschichtete Oberfläche im Wasserstoffstrom bei Temperaturen zwiscehn 500 und 700° C geglüht wird. Bei diesen Temperaturen dampft z. B. das aufgebrachte Gold noch nicht ab, es tritt jedoch eine merkliche Reduktion der Oxydschicht ein.
  • Die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren aufgebrachten Metallschichten eignen sich vorzüglich dazu, an dem Molybdänkörper Lötungen vorzunehmen, wie dies beispielsweise bei der Herstellung von elektrisch unsymmetrisch leitenden Systemen mit Molybdänel:ektrode, insbesondere von Gleichrichtern oder Kristallverstärkern mit Germanium oder Silizium als halbleitender Substanz der Fall ist.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren kann auf Molybdänoberflächen Verwendung finden, die zum Bau von Vakuumröhren, insbesondere mit Glühkathoden, oder zur Herstellung von Kontakten, z. B. Relaiskontakten, bestimmt sind.

Claims (10)

  1. PATENTANSPRÜCHE: 1. Verfahren zur Vorbehandlung von Molybdänoberflächen für das Aufbringen metallischer überzüge, dadurch gekennzeichnet, daß die Molybdänoberfläche vor der Beschichtung mit dem Metall oxydiert wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die MolybdänoberHäche vor der Oxydation mit mechanischen oder chemischen Mitteln, wie z. B. Schmirgeln, Sanden oder Ätzen, gereinigt wird.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Oxydation durch Erwärmung an Luft erfolgt.
  4. 4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Oxydation durch Bombardieren mit Sauerstoffionen in einer Gasentla,dung vorgenommen wird.
  5. 5. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Oxydation durch Glühen in feuchtem Wasserstoff erfolgt.
  6. 6. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Oxydation auf elektrolytischem Wege oder durch Eintauchen in eine oxydierende Flüssigkeit vorgenommen wird.
  7. 7. Verfahren nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, gekennzeichnet durch seine Anwendung zum Aufbringen von Kupfer oder Edelmetallen, insbesondere von Gold oder einer Legierung der genannten Metalle. B.
  8. Verfahren nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallschicht elektrolytisch aufgebracht wird.
  9. 9. Verfahren nach Anspruch 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallschicht im Vakuum aufgedampft wird.
  10. 10. Verfahren nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß die mit der Metallschicht versehene Molybdänoberfläche bei Temperaturen zwischen 500 und 700° C im Wasserstoffstrom geglüht wird. In Betracht gezogene Druckschriften: Galvanotechnik (früher Pfanhauser), 1949, S. 299; Fischer, »Elektrolytische Abscheidung und Elektrokristallisation von Metallen«, - 1954, S. 592, Abs. 5.
DEL21374A 1955-03-09 1955-03-09 Verfahren zur Vorbehandlung von Molybdaenoberflaechen fuer das Aufbringen metallischer UEberzuege Pending DE1001079B (de)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1157058B (de) * 1959-09-18 1963-11-07 Philips Nv Kupferner Loetkolben mit aus dem Loetende hervorragenden Draehten
DE1184604B (de) * 1960-06-13 1964-12-31 Rca Corp Ausbildung der mit einem kupferhaltigen Lot zu verloetenden Oberflaeche eines Molybdaenteiles
DE1214978B (de) * 1963-06-11 1966-04-21 Licentia Gmbh Verfahren zum Anloeten einer Goldfolie an eine vernickelte Molybdaenscheibe
DE4008102A1 (de) * 1990-03-11 1991-09-12 Lvt Loet Und Verschleisstechni Zerspanendes werkzeug

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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