DE10003240A1

DE10003240A1 - Verfahren zum Steuern einer Drahtsäge und Drahtsäge

Info

Publication number: DE10003240A1
Application number: DE10003240A
Authority: DE
Inventors: Shinji Nagatsuka; Shigeru Okubo; Hiroshi Kawarai; Hiroshi Oishi; Keiichiro Asakawa; Junichi Matsuzaki
Original assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd; Super Silicon Crystal Research Institute Corp
Current assignee: Super Silicon Crystal Research Institute Corp Jp
Priority date: 1999-01-28
Filing date: 2000-01-26
Publication date: 2000-08-17
Anticipated expiration: 2020-01-27
Also published as: DE10003240B4; JP4066112B2; JP2000218502A; US6178961B1

Abstract

Es werden ein Steuerverfahren für eine Drahtsäge und eine Drahtsäge angegeben. Ein Sensor mißt eine Verlagerung eines Drahts, und ein Steuerteil einer Drahtsäge ermittelt eine Schneidbelastung nach Maßgabe der gemessenen Verlagerung und einer Anfangsspannung des Drahts. Dann vergleicht das Steuerteil die ermittelte Schneidbelastung mit einem vorgegebenen Bezugswert und steuert eine Rohblockzustellgeschwindigkeit über eine Antriebseinheit eines Werkstückzustelltisches nach Maßgabe der Vergleichsergebnisse.

Description

Die Erfindung befaßt sich allgemein mit einem Verfahren zum Steuern einer Drahtsäge und einer Drahtsäge zum Abschneiden von Scheiben von einem Werkstück, welches beispielsweise aus Silizium, Glas oder keramischen Materia lien besteht. Vorzugsweise soll eine Zahl von Wafern ("Halbleiterscheiben") von dem Werkstück abgeschnitten werden.

Eine Drahtsäge bildet eine Drahtgruppe dadurch, daß ein Draht über eine Mehr zahl von mit Nuten versehenen Walzen (Trommeln) geführt wird und sich der Draht mit einer hohen Geschwindigkeit bewegt. Ein Werkstück wird gegen die Drahtgruppe gedrückt, um hierdurch Halbleiterscheiben ("Wafer") von dem Werk stück abzuschneiden. Wenn die Drahtsäge ein säulenförmiges Werkstück schnei det, ändert sich die Schnittlänge nach Maßgabe der Schneidpositionen, wie einer Schneidanfangsposition, einer Schneidendposition und einer Schneidzwischenpo sition. Hierdurch ändert sich der Schneidwiderstand am Draht und die Drahtdurch biegung (eine Drahtverlagerung in eine Werkstückzustellrichtung). Die Verände rung hinsichtlich der Drahtdurchbiegung bewirkt, daß der Draht sich instabil bewegt und die Werkstückschneidgenauigkeit hierunter leidet.

Im Hinblick auf diese Problematik schätzt eine übliche Drahtsäge den Schneidwi derstand nach Maßgabe der Werkstückschneidposition ab und steuert eine Werk stückzustellgeschwindigkeit nach Maßgabe des geschätzten Schneidwiderstandes, um hierdurch eine Änderung der Drahtdurchbiegung zu verhindern.

Der Schneidwiderstand ändert sich jedoch in Abhängigkeit von einer Vielzahl von Einflußgrößen, wie der Form des Werkstücks und der Werkstückzustellgeschwin digkeit, und daher ist es schwierig, den Schneidwiderstand genau zu schätzen. Aus diesem Grunde kann die übliche Drahtsäge das Werkstück nicht genau beschneiden.

Die Erfindung zielt daher darauf ab, unter Überwindung der zuvor geschilderten Schwierigkeiten ein Steuerverfahren für eine Drahtsäge und eine Drahtsäge bereitzustellen, welche ein genaues Abschneiden einer Scheibe von einem Werk stück gestatten.

Nach der Erfindung wird hierzu ein Steuerverfahren für eine Drahtsäge bereitge stellt, welche eine Drahtgruppe dadurch bildet, daß ein Draht auf einer Mehrzahl von mit Nuten versehenen Walzen läuft und sich bewegt und ein Werkstück auf diese Drahtgruppe zugestellt und gegen die Drahtgruppe gedrückt wird, wäh renddem zugleich eine Bearbeitungsflüssigkeit auf die Drahtgruppe gegeben wird, um das Werkstück in eine Anzahl von Wafern (Halbleiterscheiben) zu unterteilen, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist: Messen einer Verlagerung des die Drahtreihe während der Schneidbearbeitung des Werkstücks bildenden Drahtes; Ermitteln einer Schneidbelastung auf die Drahtgruppe nach Maßgabe der gemes senen Verlagerung und einer Anfangsspannung des Drahtes; und Vergleichen der ermittelten Schneidbelastung mit einem vorgegebenen Bezugswert und Durch führen einer Schneidbearbeitung am Werkstück unter Steuerung einer Werk stückzustellgeschwindigkeit nach Maßgabe der Vergleichsergebnisse.

Ferner wird nach der Erfindung eine Drahtsäge bereitgestellt, welche eine Draht gruppe hat, die dadurch gebildet wird, daß ein Draht auf einer Mehrzahl von mit Nuten versehenen Walzen läuft und sich bewegt, wobei ein Werkstück auf die Drahtgruppe zugestellt und das Werkstück gegen die Drahtgruppe gedrückt wird sowie zugleich eine Bearbeitungsflüssigkeit auf die Drahtgruppe gegeben wird, um hierdurch das Werkstück in eine Anzahl von Wafern (Halbleiterscheiben) zu unterteilen, wobei die Drahtsäge folgendes aufweist: Einen Sensor zum Messen einer Verlagerung des die Drahtgruppe während der Schneidbearbeitung des Werkstücks bildenden Drahtes; eine Werkstückzustelleinrichtung zum Bewegen des Werkstücks in Richtung auf die Drahtgruppe und von dieser Weg; und eine Steuereinrichtung zum Ermitteln einer Schneidbelastung auf die Drahtgruppe nach Maßgabe der durch den Sensor gemessenen Verlagerung und einer Anfangs spannung des Drahtes, wobei die ermittelte Schneidbelastung mit einem vor gegebenen Bezugswert verglichen wird und eine Werkstückzustellgeschwindigkeit durch die Werkstückzustelleinrichtung nach Maßgabe der Vergleichsergebnisse gesteuert wird.

Die Erfindung steuert das Zuschneiden des Werkstücks nach Maßgabe der Schneidbelastung im Hinblick auf die Tatsache, daß die Drahtdurchbiegung von der Schneidbelastung abhängig ist (die Belastung auf das Werkstück in Gegen richtung zur Werkstückzustellrichtung).

Nach der Erfindung wird die Verlagerung des Drahtes gemessen und die Schneidbelastung auf den Draht wird nach Maßgabe der Drahtdurchbiegung und der Anfangsspannung des Drahtes ermittelt. Die ermittelte Schneidbelastung wird mit dem Bezugswert verglichen, und die Werkstückzustellgeschwindigkeit wird nach Maßgabe der Vergleichsergebnisse gesteuert. Wenn beispielsweise die Schneidbelastung so gesteuert wird, daß sie immer den Vorgabewert annimmt, kann das Werkstück genau zugeschnitten werden. Da die Schneidbelastung nach Maßgabe der Verlagerung und der Anfangsspannung des Drahtes ermittelt wird, kann die Schneidbelastung selbst dann genau ermittelt werden, wenn sich die Anfangsspannung des Drahtes ändert.

Nach der erfindungsgemäßen Auslegung weist die Drahtsäge ferner eine An triebseinrichtung zum Bewegen des Sensors in Richtung auf die Drahtgruppe zu und von dieser weg und eine Meßeinrichtung zum Messen der Bewegungsgröße des Sensors auf. Die Antriebseinrichtung bewegt den Sensor nach Maßgabe einer Position des die Drahtgruppe bildenden Drahtes vor und zurück, und die mit Hilfe der Meßeinrichtung gemessene Bewegungsgröße wird zu einem Meßwert des Sensors addiert, um hierdurch die Verlagerung des Drahtes zu ermitteln. Hier durch wird der Meßbereich der Drahtverlagerung erweitert und die Messung der Verlagerung wird selbst dann ermöglicht, wenn der Draht sich in starkem Maße verlagert.

Nach der Erfindung ist der Sensor oberhalb der Drahtgruppe angeordnet, und hierdurch wird verhindert, daß eine Bearbeitungsflüssigkeit, welche der. Draht gruppe zugeführt wird, d. h. eine Aufschlämmung, an dem Sensor haftet. Somit kann der Sensor die Drahtverlagerung ohne eine nachteilige Beeinflussung durch die Bearbeitungsaufschlämmung messen.

Nach der Erfindung ist der Sensor auf einer gegenüberliegenden Seite zu einer Seite angeordnet, zu der sich der Draht bezüglich der Drahtgruppe verlagert. Hierdurch wird verhindert, daß der verlagerte Draht in Kontakt mit dem Sensor kommt und diesen gegebenenfalls beschädigen kann. Die Drahtsäge hat eine Bewegungseinrichtung, welche den Sensor von der Drahtgruppe weg bewegt, und die Bewegungseinrichtung bewegt den Sensor von der Drahtgruppe weg, wenn das zugeschnittene Werkstück von der Drahtgruppe wegbewegt wird. Hierdurch wird verhindert, daß der Draht, welcher sich in Gegenrichtung verlagert hat, durch die zurückgerichtete Bewegung des Drahtes mitgezogen bzw. mitgenommen wird, so daß der Draht den Sensor nicht berühren und diesen auch nicht beschädigen kann.

Nach der Erfindung ist der Sensor lösbar mittels einer Halterung gelagert, welche eine Mehrzahl von mit Nuten versehenen Walzen bzw. Trommeln drehbar lagert. Daher läßt sich die Position des Sensors bezüglich der Drahtgruppe auf einfache Weise einstellen.

Nach der Erfindung ist eine Abdeckung an einem Sensorteil des Sensors ange bracht, um den Sensorteil zu schützen.

Nach der Erfindung ist der Sensor in eine Drahtverlagerungsrichtung bzw. Draht auslenkrichtung bezüglich einer Drahtgruppe um einen vorbestimmten Winkel geneigt angeordnet. Beispielsweise ist der Sensor um die Hälfte eines Winkels zwischen einem unbelasteten Draht und einem Draht mit einer zulässigen, maxi malen Belastung geneigt angeordnet, wenn ein Wirbelstrom-Verschiebungsmesser als Sensor eingesetzt wird. Die Empfindlichkeit des Sensors wird im allgemeinen herabgesetzt, wenn der Winkel zwischen dem Sensor und dem Draht größer wird. Bei der Erfindung wird die Empfindlichkeit des Sensors selbst dann nicht herab gesetzt, wenn der Draht sich verlagert und sich der Winkel des Sensors ändert, da der Sensor zuvor geneigt zu der Drahtverlagerungsrichtung ausgerichtet ist.

Nach der Erfindung wird die mit Hilfe des Sensors gemessene Verlagerung des Drahts zuvor nach Maßgabe eines gemessenen Abstands zwischen dem Sensor und dem Draht korrigiert. Im allgemeinen ist es schwierig, die Verlagerung des Drahtes genau zu messen, da die Querschnittsfläche des Drahtes kleiner als eine Detektionsfläche eines üblichen kontaktlosen Sensors ist. Eine Datentabelle der Abgabewerte des Sensors und der Verlagerung des Drahtes wird zuvor aus den Daten erstellt, die man dadurch erhält, daß der Sensor vertikal in einem Zustand eine Gleitbewegung ausführt, in welcher der Sensor tatsächlich (wie im Betriebs zustand) angebracht ist. Die Abgabewerte werden in eine Verlagerungsgröße des Drahtes nach Maßgabe der Datentabelle umgewandelt. Folglich läßt sich der Abstand zwischen dem Draht und dem Sensor genau messen, und die Verlage rung des Drahtes kann ebenfalls genau gemessen werden.

Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachstehenden Beschreibung von bevorzugten Ausführungsformen unter Be zugnahme auf die beigefügte Zeichnung. In den Figuren der Zeichnung sind gleiche oder ähnliche Teile mit denselben Bezugszeichen versehen. In der Zeich nung zeigt:

Fig. 1 eine Ansicht zur Verdeutlichung der Gesamtauslegungsform einer Drahtsäge gemäß einer ersten bevorzugten Ausführungsform nach der Erfindung;

Fig. 2 eine perspektivische Ansicht zur Verdeutlichung einer Halterung in Fig. 1;

Fig. 3 eine Draufsicht zur Verdeutlichung der wesentlichen Teile der bevor zugten Auslegungsform der Erfindung;

Fig. 4 eine Vorderansicht zur Verdeutlichung der wesentlichen Teile in Fig. 2;

Fig. 5 eine Seitenansicht zur Verdeutlichung der wesentlichen Teile in Fig. 3;

Fig. 6 eine Ansicht zur Verdeutlichung eines Zusammenhangs zwischen der Empfindlichkeit eines Sensors und dem Winkel eines Drahtes;

Fig. 7 eine Vorderansicht zur Verdeutlichung eines Sensors in Fig. 2;

Fig. 8 eine Seitenansicht zur Verdeutlichung des Sensors in Fig. 7;

Fig. 9 eine Vorderansicht zur Verdeutlichung des Sensors in Fig. 7;

Fig. 10 eine Tabelle zur Verdeutlichung der Daten zum Korrigieren eines Abgabewertes des Sensors;

Fig. 11 eine schematische Ansicht zur Verdeutlichung eines Verfahrens zum Ermitteln einer steuerbaren Belastung;

Fig. 12 eine Vorderansicht zur Verdeutlichung der wesentlichen Teile einer Drahtsäge gemäß einer zweiten bevorzugten Ausführungsform nach der Erfindung; und

Fig. 13 eine Seitenansicht zur Verdeutlichung der wesentlichen Teile der Auslegungsform nach Fig. 12.

Die Erfindung wird nachstehend detailliert unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung näher erläutert.

Zuerst soll nachstehend die Gesamtauslegung einer Drahtsäge 10 gemäß einer ersten bevorzugten Ausführungsform nach der Erfindung erläutert werden.

Wie in Fig. 1 gezeigt ist, hat die Drahtsäge 10 ein Paar von Drahtspulen 12 (in der Zeichnung ist nur eine Drahtspule gezeigt). Ein Draht 14, welcher um eine Drahtspule 12 gewickelt ist, läuft über vier mit Nuten versehenen Walzen (Trom meln) 18A, 18B, 18C, 18D mehrmals unter Bildung eines Drahtlaufdurchgangs, welcher eine Mehrzahl von Führungsrollen 16 umfaßt, um hierdurch eine parallele Drahtgruppe 20 zu bilden. Dann läuft der Draht 14 um die weitere Drahtspule 12 (nicht dargestellt) unter Durchgang durch einen weiteren Drahtlaufdurchgang, welcher auf dieselbe Weise wie der zuerst genannte Drahtlaufdurchgang ausgelegt ist. Die Drahtlaufdurchgänge sind bezüglich der Drahtgruppe 20 symmetrisch ausgelegt.

Die Drahtlaufdurchgänge, welche an beiden Seiten der Drahtgruppe 20 gebildet werden, sind jeweils mit einem Schiebeschlitten 22 und einer Tänzerwalzenanord nung 24 (in der Zeichnung ist aus Übersichtlichkeitsgründen nur ein Drahtlauf durchgang gezeigt) versehen. Ein Schiebeschlitten 22 wickelt den Draht 14 um die Drahtspule 12 oder führt den Draht 14 von der Drahtspule 12 mit einer konstanten Geschwindigkeit zu. Ein vorbestimmtes Gewicht (nicht dargestellt) ist an einer Tänzerwalze 24 hängend angeordnet, und dieses Gewicht bringt eine konstante Spannungsbelastung auf den sich bewegenden Draht 14 auf. Eine Reinigungsein richtung (nicht dargestellt) ist an dem Drahtlaufdurchgang vorgesehen, welche einen Reinigungsflüssigkeitsstrahl auf den sich bewegenden Draht 14 richtet, um die Aufschlämmung von dem Draht 14 zu entfernen.

Die beiden Enden der vier mit Nuten versehenen Walzen 18A bis 18D, auf denen der Draht 14 läuft, sind mit Hilfe eines Paars von Achshalterungen 42 drehbar gelagert, welche einander gegenüberliegend angeordnet sind. Die mit Nuten versehenen Walzen 18A-18D sind derart angeordnet, daß die Achsen der mit Nuten versehenen Walzen 18A-18D ein Rechteck bilden. Die Achshalterungen 42 sind auf einer Ölwanne 36 vorgesehen, welche nachstehend noch näher beschrieben wird.

Die mit Nuten versehene Walze 18C und das Paar von Drahtspulen 12 sind jeweils mit Motoren 26, 28 wirkverbunden, welche diesen Teilen eine vorwärts und rückwärts gerichtete Drehbewegung erteilen. Wenn die Motoren 26, 28 laufen, bewegt sich der Draht 14 mit einer hohen Geschwindigkeit zwischen dem Paar von Drahtspulen 12.

Ein Werkstückzustelltisch 30 ist an einer Zustellbasis 32 oberhalb der Drahtgruppe 20 derart angeordnet, daß diese in vertikaler Richtung frei eine Gleitbewegung ausführen kann. Eine Antriebseinheit 33 der Zustellbasis 32 bewegt den Werk stückzustelltisch in vertikaler Richtung bezüglich der Drahtgruppe 20. Ein Rohblock (nicht dargestellt), dessen Kristallachse in eine vorbestimmte Richtung ausgerich tet ist, wird am Boden des Werkstückzustelltisches 30 gehalten.

Die Ölwanne 36 liegt unterhalb der Drahtgruppe 20, und die Ölwanne 36 sammelt die der Drahtgruppe 20 zugeführte Aufschlämmung. Eine geneigte Ebene wird im Inneren der Ölwanne 36 gebildet, und eine Sammelleitung (nicht gezeigt) ist mit dem bodenseitigen Ende der geneigten Ebene verbunden. Das Ende der Sammel leitung ist mit einem Aufschlämmungssammelbehälter 40 verbunden, und die in der Ölwanne 36 gesammelte Aufschlämmung wird in dem Aufschlämmungssam melbehälter 40 über die Sammelleitung gelagert. Der Aufschlämmungssammelbe hälter 40 nimmt die Aufschlämmung zeitweilig auf, und die Aufschlämmung in dem Aufschlämmungsammelbehälter 40 wird in einem Aufschlämmungsbehälter 46 einer nachstehend noch näher beschriebenen Aufschlämmungszufuhreinheit 44 bereitgehalten, sofern dies erforderlich ist.

Die Aufschlämmungszufuhreinheit 44 ist derart ausgelegt, daß der Aufschläm mungsbehälter 46, ein Wärmetauscher 50, eine Pumpe 52, ein Durchflußmesser 54 und so weiter auf einer beweglichen Transporteinrichtung 48 angeordnet sind. Der Aufschlämmungsbehälter 46 ist mit einer Leitung (nicht gezeigt) verbunden, und das Ende dieser Leitung ist lösbar mit einer Pumpe 41 an der Oberseite des Aufschlämmungssammelbehälters 40 verbunden. Folglich fördert die Pumpe 41 die Aufschlämmung in dem Aufschlämmungssammelbehälter 40 in Richtung zu dem Aufschlämmungsbehälter 46 nach oben, und dann fördert die Pumpe 52 die Aufschlämmung in dem Aufschlämmungsbehälter 46 nach oben, um die Auf schlämmung strahlförmig auf die Drahtgruppe 20 über eine Aufschlämmungsdüse (nicht gezeigt) aufzugeben, welche oberhalb der Drahtgruppe 20 angeordnet ist. Die strahlförmig ausgegebene Aufschlämmung wird in der Ölwanne 36 gesammelt, wie dies zuvor beschrieben worden ist. Sie wird dann zu dem Aufschlämmungs behälter 46 über den Aufschlämmungssammelbehälter 40 zurückgeleitet. Die Aufschlämmung wird auf diese Weise umgewälzt. Der Wärmetauscher 50 hält die umgewälzte Aufschlämmung bei einer konstanten Temperatur.

Fig. 2 ist eine perspektivische Ansicht zur Verdeutlichung des Paars von Achs halterungen 42.

Wie dies in Fig. 2 gezeigt ist, ist das Paar von Achshalterungen 42 gegenüber liegend angeordnet, und jede Achshalterung 42 lagert drehbeweglich vier Achsein heiten 56. Die mit Nuten versehenen Walzen 18A-18D sind zwischen den Ach sen 56 drehbeweglich gelagert.

Obere und untere Führungsschienen 58 sind an den unteren Teilen der Achsein heiten 56 in jeder Achshalterung 42 angebracht. Die mit Nuten versehenen Wal zen 18A-18D sind auf den Führungsschienen 58 geführt und an den Achseinhei ten 56 angebracht.

Die Fig. 3, 4 und 5 sind jeweils eine Draufsicht, eine Vorderansicht und eine Seitenansicht zur Verdeutlichung der wesentlichen Komponenten und der Teile der ersten bevorzugten Ausführungsform nach der Erfindung.

Wie in den Fig. 3 bis 5 gezeigt ist, sind Träger 60 an den oberen Führungs schienen 58 einander gegenüberliegend gelagert, und eine Befestigungsplatte 62 ist zwischen den oberen Enden der Träger 60 vorgesehen. Mit Gewinde ver sehene Öffnungen 60A verlaufen vertikal an den oberen Enden der Träger 60, und Öffnungen 62A sind an beiden Enden der Befestigungsplatten 62 ausgebildet, so daß sich diese mit den Schrauböffnungen 60A überlappen. Die Befestigungsplatte 62 ist lösbar an den Trägern 60 durch Einsetzen von Hebeln 64 gelagert, in denen Schrauben mit Außengewinde an den Enden ausgebildet sind, welche in die Öffnungen 62A passen, so daß die Enden der Hebel 64 in die Schrauböffnungen 60A eingeschraubt werden können.

Ein Sensor 66 ist am Mittelteil der Befestigungsplatte 62 angebracht. Der Sensor 66 mißt einen Abstand zu dem Draht 14 auf kontaktlose Weise. Wie in Fig. 5 gezeigt ist, ist der Sensor 66 zu der Drahtverlagerungsrichtung um die Hälfte von Θ₀ (d.i. Θ₀/2), geneigt, wobei dieser Winkel zwischen einem unbelasteten Draht 14A und einem Draht 14B mit einer maximal zulässigen Belastung (einem nach stehend näher beschriebenen Bezugswert) gebildet wird. Die Neigung des Sen sors 66 um Θ₀/2 ermöglicht, daß die Verlagerung des Drahtes 14 aus den nach stehend näher angegebenen Gründen genau gemessen werden kann.

Fig. 6 zeigt einen Zusammenhang zwischen dem Winkel des Drahts 14 in Bezug zu dem Sensor 66 und der Empfindlichkeit des Sensors 66.

Wie in Fig. 6 gezeigt ist, wird die Meßempfindlichkeit um so schlechter, je größer der Winkel zwischen dem Sensor 66 und dem Draht 14 ist. Wenn der Sensor 66 nicht geneigt angeordnet ist, wird der unbelastete Draht 14 (d. h. mit Winkel 0) mit einer Empfindlichkeit a gemessen, und der Draht 14 mit der Belastung durch den Bezugswert (d. h. mit dem Winkel Θ₀) wird mit einer Empfindlichkeit c gemessen. Wenn daher der Sensor 66 nicht geneigt angeordnet ist, kann der Draht 14 mit der Belastung durch den Bezugswert nicht genau gemessen werden.

Wenn der Sensor 66 um Θ₀/2 geneigt angeordnet ist, ist der Winkel zwischen dem Sensor 66 und dem Draht 14 maximal Θ₀/2, wenn der Draht 14 unbelastet ist und mit der Belastung gemäß dem Bezugswert belastet ist. Somit kann der Sensor 66 die Verlagerung des Drahtes 14 mit den Empfindlichkeiten a-b genau messen. Der Sensor 66 braucht nicht notwendigerweise um Θ₀/2 geneigt zu sein. Wenn der Sensor 66 um Θ₀ oder weniger in Drahtverlagerungsrichtung geneigt ist, läßt sich die Verlagerung des Drahtes 14 genau messen.

Fig. 7 ist eine Vorderansicht des Sensors 66 in Richtung eines Pfeils A in Fig. 3. Die Fig. 8 und 9 sind jeweils eine Draufsicht und eine Seitenansicht des Sensors 66 in Fig. 7.

Wie in den Fig. 7 bis 9 gezeigt ist, ist der Sensor 66 mittels eines Gleitstücks 68 gelagert, welches auf einem konkaven Führungsteil 70 abgestützt ist, welches fest an der Befestigungsplatte 62 derart angebracht ist, daß es frei eine Gleitbewe gung in Richtung eines Pfeils 72 ausführen kann. Ein Steuerknopf 74 ist am Boden des Gleitstücks 68 drehbar gelagert, und das obere Ende des Steuerknopfs 74 ist in eine mit Gewinde versehene Öffnung 70B eingeschraubt, welche in dem Führungsteil 70 ausgebildet ist. Durch Verdrehen des Steuerknopfs 74 wird die Einschraubgröße in die mit Gewinde versehene Öffnung 70B verändert und hierdurch kann das Gleitteil 68 eine Gleitbewegung bezüglich des Führungsteils 70 ausführen, welches den Steuerknopf 74 trägt.

Ein Paar Schrauben 76 ist in das Gleitteil 68 geschraubt, und ein Paar von ver tikalen Schlitzen 70C ist in dem Führungsteil 70 ausgebildet. Die Schrauben 76 sind in die Schlitze 70C eingesetzt. Wenn die Schrauben 76 gelöst sind, können sie in den Schlitzen 70C eine Gleitbewegung ausführen, und wenn die Schrauben 76 angezogen sind, sind sie fest mit dem Führungsteil 70 verbunden. Somit können die Schrauben 76 den Sensor 60 an einer gewünschten Position unterhalb der Drahtgruppe 20 positionieren. Folglich läßt sich der Sensor 66 in einer vor bestimmten Position anordnen, und der Abstand zwischen dem unbelasteten Draht 14A und dem Sensor 66 läßt sich im vorhinein bestimmen. Der Sensor 66 mißt den Abstand zwischen dem Sensor 66 und dem Draht 14, um hierdurch die Verlagerung (die Durchbiegung) des Drahts 14 zu erfassen.

Jede beliebige Einrichtung, welche den Abstand zu dem Draht 14 messen kann, läßt sich als Sensor 66 einsetzen. Der Sensor 66 ist beispielsweise ein Wirbel strom-Verschiebungsmesser in Form eines Näherungssensors. Der Wirbelstrom- Verschiebungsmesser nutzt die Tatsache, daß dann, wenn ein Leiter näher an eine Spule heranbewegt wird, welche mit einem elektrischen Hochfrequenzstrom versorgt wird, ein Wirbelstrom erzeugt wird, um in effektiver Weise eine Impedanz der Spule herabzusetzen. Bei der Auslegung des Sensors 66 ist eine mit einem Hochfrequenzstrom versorgte Spule in einem säulenförmigen Detektionsteil 66A untergebracht. Das Detektionsteil 66A ist mit einer zylindrischen Abdeckung 78 abgedeckt, welche aus einem nichtleitenden Material, wie Kunststoff und/oder einem keramischen Material, hergestellt ist. Die Abdeckung 78 ist an dem Detek tionsteil 66A derart angebracht, daß das Ende der Abdeckung 78 von dem Ende des Detektionsteils 66A vorsteht. Daher kann das Detektionsteil 66A vor dem verlagerten Draht 14 und der Aufschlämmung geschützt werden. Die Abdeckung 78, welche aus einem nichtleitenden Material hergestellt ist, schützt das Detektion steil 66A auf eine solche Weise, daß die Messung des Sensors 66 im wesentli chen nicht beeinflußt wird.

Der Sensor 66 ist mit einem Steuerteil (nicht gezeigt) verbunden, welches in der Drahtsäge 10 vorgesehen ist, und zwar über eine Signalleitung 66B. Wenn sich der Draht 14 verlagert, gibt der Sensor 66 ein die Verlagerung wiedergebendes Signal in Form einer Veränderung der Spannung an das Steuerteil ab. In Ab hängigkeit von dem Spannungssignal von dem Sensor 66 wandelt das Steuerteil das Spannungssignal in eine Verlagerungsgröße des Drahts 14 nach Maßgabe der in Fig. 10 gezeigten Datentabelle um. Die Datentabelle wird dadurch erstellt, daß zuvor die Änderungen der Abgabewerte des Sensors 66 bezüglich der Lage rung des Drahtes 14 gemessen werden. Folglich kann der Sensor 66 die Ver lagerung des Drahtes 14 selbst dann genau messen, wenn eine Veränderung bei dem Neigungswinkel des Drahts 14 auftritt. Ferner kann der Sensor 66 die Ver lagerung eines Gegenstands genau messen, welcher nur einen kleinen Erken nungsbereich wie bei einem Draht 14 hat.

Wenn die Verlagerung des Drahts 14 gemessen wird, ermittelt das Steuerteil die Schneidbelastung des Drahts 14 durch eine nachstehend angegebene Gleichung und vergleicht den ermittelten Wert mit dem Bezugswert. Das Steuerteil gibt dann ein Signal zum Steuern der Rohblockzustellgeschwindigkeit an die Antriebseinheit 33 des Werkstückzustelltisches 30 nach Maßgabe der Vergleichsergebnisse ab. Wenn die Schneidbelastung des Drahts 14 größer als der Bezugswert ist, gibt das Steuerteil ein Signal ab, um die Rohblockzustellgeschwindigkeit herabzusetzen. Wenn die Schneidbelastung kleiner als der Bezugswert ist, gibt das Steuerteil ein Signal ab, um die Rohblockzustellgeschwindigkeit zu erhöhen. Eine Schneidbela stung kann als ein Bezugswert auf diese Weise eingesetzt werden, da die Schneidbelastung des Drahtes 14 in Verbindung mit der Rohblockzustellgeschwin digkeit größer und kleiner wird. Die Schneidbelastung zur Erzielung einer genauen Schneidbearbeitung des Rohblocks wird als Bezugswert gewählt, welcher zuvor in das Steuerteil eingegeben worden ist.

Nachstehend erfolgt die nähere Beschreibung der Gleichung zur Bestimmung der Schneidbelastung.

Fig. 11 ist eine schematische Ansicht zur Verdeutlichung dieser Gleichung. Wenn die Schneidbelastung des Drahts P ist, ist die Spannung des unbelasteten Drahtes 14 (d. h. die Schneidbelastung P = 0)t, die Verlagerung des Drahtes 14, ermittelt durch die Messung des Abstands zu dem Draht 14 mit Hilfe des Sensors 66 (die Verlagerung gegenüber dem unbelasteten Draht) ist ε, und der Abstand zwischen dem Sensor 66 und dem Mittelpunkt der mit Nuten versehenen Walze 18A ist A. Hieraus ergibt sich dann die folgende Gleichung (1):

P/2 : t = ε : A (1)

Somit läßt sich die Schneidbelastung P gemäß der folgenden Gleichung (2) bestimmen:

P = 2εt/A (2)

Der Abstand A und die Spannung t sind feste Werte, welche sich zuvor messen lassen, und daher läßt sich die Schneidbelastung P durch Messung der Verlage rung ε des Drahts 14 ermitteln.

Wenn die Drahtdurchbiegung (Verlagerung) des Drahts auf einer senkrechten Linie, welche den maximalen Durchmesser des Rohblocks berührt, mit δ_y an genommen wird, und der maximale Durchmesser des Rohblocks mit D bezeichnet wird, so ergibt sich die Drahtdurchbiegung δ_y aus der Verlagerung ε, gemessen durch den Sensor 66 gemäß der folgenden Gleichung (3):

δ_y = ε(L - D)/2A (3)

Wenn die Drahtdurchbiegung des Drahts 14 für eine genaue Schneidbearbeitung des Rohblocks von Versuchen bekannt ist, kann die Verlagerung ε in eine Draht durchbiegung δ_y durch die Gleichung (3) umgewandelt werden, um die Draht durchbiegung δ_y zu steuern.

Die Schneidbelastung P läßt sich aus einem Winkel Θ ermitteln, welcher zwischen dem unbelasteten Draht 14A und einem belasteten Draht 14C nach Maßgabe der Gleichung P = 2t.tan Θ bestimmt ist. Die Schneidbelastung P kann durch Mes sung des Winkels Θ gesteuert werden. In diesem Falle erhält man den Winkel Θ dadurch, daß man zwei oder mehr Sensoren 66 vorsieht, oder daß man einen Ultraschallsensor oder einen optischen Sensor als Sensor 66 vorsieht.

Nachstehend erfolgt eine Beschreibung der Arbeitsweise der Drahtsäge 10, welche die vorstehend näher beschriebene Auslegung hat.

Zuerst wird der Rohblock am Boden des Werkstückzustelltisches 30 angebracht. Dann wird der Motor 28 eingeschaltet, um die Drahtspule 12 mit einer hohen Geschwindigkeit in Drehung zu versetzen, und der Motor 26 wird eingeschaltet, um die mit Nuten versehene Walze 18C mit einer hohen Geschwindigkeit in Drehung zu versetzen, so daß sich der Draht 14 mit einer hohen Geschwindigkeit hin- und hergehend bewegt. Wenn die Laufbewegung des Drahtes 14 stabilisiert ist, wird der Werkstückzustelltisch 30 abgesenkt, und der Rohblock wird gegen die sich bewegende Drahtgruppe 20 gedrückt. In diesem Fall wird die Aufschlämmung einem Bereich zugeführt, an welchem die Drahtgruppe 20 den Rohblock berührt, und zwar über die Düse (nicht gezeigt), und der Rohblock wird in eine Anzahl von Wafern mittels einer Läppbearbeitung durch Schleifkörner geschnitten, welche in der Aufschlämmung enthalten sind.

Während der Schneidbearbeitung des Rohblocks wird der Draht 14, welcher die Drahtgruppe 20 bildet, nach unten durch den Schneidwiderstand des Rohblocks durchgebogen (verlagert). Der Schneidwiderstand ändert sich nach Maßgabe der Form des Rohblocks. Bei einem säulenförmigen Rohblock wird der Schneidwider stand ausgehend von der Schneidanfangsposition zu der Schneidzwischenposition größer und dann nimmt er bis zur Schneidendposition ab. Die Verlagerung des Drahts 14 ändert sich nach Maßgabe der Änderung des Schneidwiderstands des Werkstücks.

Der Sensor 66 mißt die Verlagerung des Drahts 14 und gibt den Meßwert an das Steuerteil (nicht gezeigt) ab.

Wenn der Sensor 66 die Verlagerung des Drahts 14 an das Steuerteil ausgibt, ermittelt das Steuerteil die Schneidbelastung P aus der vorstehend beschriebenen Gleichung (2). Dann vergleicht das Steuerteil die ermittelte Schneidbelastung P mit dem zuvor eingegebenen Bezugswert, und es wird ein Signal zur Einstellung der vertikalen Bewegungsgeschwindigkeit des Werkstückzustelltisches 30 nach Maßgabe der Vergleichsergebnisse ausgegeben. Wenn die Schneidbelastung P gleich dem Bezugswert ist, kann der Rohblock in geeigneter Weise zugeschnitten werden, und die Rohblockzustellgeschwindigkeit kann aufrechterhalten werden. Die Rohblockzustellgeschwindigkeit wird herabgesetzt, wenn die Schneidbelastung P größer als der Bezugswert ist, und die Rohblockzustellgeschwindigkeit wird größer gemacht, wenn die Schneidbelastung P kleiner als der Bezugswert ist. Die Schneidbelastung P kann auf einen Bezugswert eingestellt werden, da die Schneidbelastung P in Verbindung mit der Rohblockzustellgeschwindigkeit jeweils größer und kleiner wird.

Die Drahtsäge 10 gemäß der ersten bevorzugten Ausführungsform kann das Werkstück mit einer geeigneten Schneidbelastung P₀ immer bearbeiten, und es lassen sich von dem Rohblock in genauer Weise Scheiben abschneiden.

Die Drahtsäge 10 gemäß der ersten bevorzugten Ausführungsform ermittelt die Schneidbelastung P aus der Drahtdurchbiegung des Drahts 14 und die Rohblock zustellgeschwindigkeit wird nach Maßgabe der Schneidbelastung P gesteuert. Es ist möglich, daß man hierbei Änderungen derart des Rohblockmaterials berück sichtigen kann, und daß man hierzu nur die für das Material geeignete Schneidbe lastung auswählt.

Insbesondere ist der Sensor 66 der Drahtsäge 10 durch die Achshalterung 42 über die Befestigungsplatte 62, den Träger 58 und dergleichen gelagert, und somit kann der Sensor 66 auf einfache Weise bezüglich der Drahtsäge 20 positioniert werden. Die Befestigungsplatte 62, an welcher der Sensor 66 angebracht ist, ist lösbar an dem Träger 58 durch den Hebel 64 angebracht, so daß der Sensor 66 auf einfache Weise angebracht und abgenommen werden kann. Hierdurch läßt sich auf effektive Weise der Draht 14 oder die mit Nuten versehenen Walzen 18A-18D auswechseln, wofür es erforderlich ist, daß der Sensor 66 abgenommen und wieder anschließend angebracht wird.

Die Drahtsäge 10 korrigiert die durch den Sensor 66 gemessene Verlagerung des Drahts 14 nach Maßgabe der vorstehend angegebenen Datentabelle, und es ist daher möglich, den Draht 14 mit einem sich ändernden Neigungswinkel genau zu vermessen.

Nachstehend erfolgt eine Beschreibung einer Drahtsäge gemäß einer zweiten bevorzugten Ausführungsform nach der Erfindung.

Die Fig. 12 und 13 sind jeweils eine Vorderansicht und eine Seitenansicht zur Verdeutlichung der wesentlichen Einzelheiten einer Drahtsäge gemäß der zweiten bevorzugten Ausführungsform nach der Erfindung.

Wie in den Fig. 12 und 13 gezeigt ist, ist der Sensor 66 oberhalb des Drahts 14 angeordnet, welcher die Drahtgruppe 20 bildet. Insbesondere ist die Befesti gungsplatte 62 oberhalb der Drahtgruppe 20 angeordnet, und der Sensor 66 ist an der Befestigungsplatte 62 in Richtung nach unten weisend angebracht. Der Sensor 66 ist an der Befestigungsplatte 62 mittels einer Hubeinrichtung 82 (äquivalent zu einer Antriebseinrichtung und einer Bewegungseinrichtung), wie einem Luftzylin der, angebracht, und die Hubeinrichtung 82 bewegt den Sensor 66 in vertikaler Richtung. Insbesondere ist ein Führungsteil 84 zum Halten des Sensors 66 an einem Tragteil 86 angebracht, welches an dem Ende einer Stange 88 der Hubein richtung 82 befestigt ist. Die Hubeinrichtung hat einen Codierer (äquivalent zu einer Meßeinrichtung) (nicht dargestellt) zum Messen der vertikalen Bewegungs größe des Sensors 66.

Der Sensor 66, die Hubeinrichtung 82 und der Codierer sind über Signalleitungen mit dem Steuerteil (nicht gezeigt) verbunden. In Abhängigkeit von den vom Sensor 66 und dem Codierer ausgegebenen Meßwerten ermittelt das Steuerteil die Schneidbelastung P und bestimmt die Rohblockzustellgeschwindigkeit derart, daß die Schneidbelastung P gleich dem Bezugswert sein kann. Wenn das Intervall zwischen dem Draht 14 und dem Sensor 66 ungeeignet ist, treibt das Steuerteil die Hubeinrichtung 82 an, um das Intervall bzw. den Abstand zwischen dem Sensor 66 und dem Draht 14 entsprechend einzustellen. Wenn der Abstand zwischen dem Draht 14 und dem Sensor 66 ungeeignet ist, so handelt es sich um einen Anwendungsfall, bei dem es unmöglich ist, den Abstand zwischen dem Sensor 66 und dem Draht 14 genau zu messen, da der Sensor 66 zu weit (oder zu nahe) von oder an dem Draht 14 angeordnet ist.

In den Fig. 12 und 13 ist mit dem Bezugszeichen 90 ein Gehäuse für die Hubeinrichtung 82 bezeichnet. Mit 92 ist eine Leitung für ein Betriebsfluid gezeigt, welches die Stange 88 in vertikaler Richtung bewegt. Mit 94 ist eine Stellschraube bezeichnet, mittels welcher sich die Position des Sensors 66 in vertikaler Richtung einstellen läßt.

Bei der Drahtsäge gemäß der zweiten bevorzugten Ausführungsform, welche auf die vorstehend beschriebene Weise ausgelegt ist, stellt das Steuerteil die Position des Sensors 66 mit der Hubeinrichtung 82 nach Maßgabe der Verlagerung des Drahts ein, und zugleich stellt es die Rohblockzustellgeschwindigkeit derart ein, daß die Schneidbelastung konstant sein kann. Da die Drahtsäge die Position des Sensors 66 auf geeignete Weise zur Bestimmung der Verlagerung des Drahtes 14 einstellt, kann der Sensor 66 die Verlagerung des Drahts 14 innerhalb eines großen Bereiches genau messen.

Bei der Drahtsäge gemäß der zweiten bevorzugten Ausführungsform steuert das Steuerteil die Hubeinrichtung 82, um den Sensor 66 von dem Draht 14 weg zu bewegen, und um den zugeschnittenen Rohblock von der Drahtgruppe 20 weg zu bewegen. Hierdurch wird verhindert, daß der Draht 14 durch die Rückbewegung des Rohblocks mitgenommen wird und es wird hierdurch verhindert, daß der Draht 14 den Sensor 66 berührt und diesen möglicherweise beschädigt.

Bei der vorstehend beschriebenen Drahtsäge ist der Sensor 66 oberhalb der Drahtgruppe 20 angeordnet und hierdurch wird verhindert, daß die Aufschläm mung an dem Detektionsteil 66A des Sensors 66 haften kann und hierdurch eine genaue Messung der Drahtverlagerung ermöglicht wird.

Ferner ist der Sensor 66 der Rohblockzustellrichtung gegenüberliegend angeord net, und hierdurch wird verhindert, daß der sich verlagernde Draht 14 den Sensor 66 berührt und diesen möglicherweise beschädigt.

Bei dieser bevorzugten Ausführungsform wird ein Wirbelstrom-Verschiebungs messer als Sensor 66 eingesetzt. Die Erfindung ist aber hierauf nicht beschränkt. Jede beliebige Einrichtung kann als Sensor 66 eingesetzt werden, welche die Fähigkeit besitzt, die Verlagerung des Drahtes 14 zu messen. Beispielsweise kann ein Ultraschallsensor oder dergleichen eingesetzt werden, um die Verlagerung des Drahtes 14 zu erfassen.

Wie sich aus der Gleichung (2) ergibt, ist die Schneidbelastung P konstant, wenn die Verlagerung δ des Drahts 14 konstant ist. Wenn die Schneidbelastung P einmal auf den Bezugswert eingestellt ist, kann der Rohblock genau in Scheiben geschnitten werden, wenn die Rohblockzustellgeschwindigkeit derart eingestellt wird, daß die Verlagerung δ des Drahts 14 konstant ist.

Bei dieser bevorzugten Ausführungsform ist der Sensor 66 an dem Mittelteil der Befestigungsplatte 60 angebracht. Die Erfindung ist hierauf aber nicht beschränkt. Der Sensor 66 kann an irgendeiner anderen Stelle angebracht werden, an welcher der Sensor 66 die Verlagerung des Drahtes 14 erfassen kann.

Bei der bevorzugten Ausführungsform wird eine Drahtsäge mit losem Schleifmittel eingesetzt. Natürlich kann bei der Erfindung auch eine Drahtsäge mit gebundenem Schleifmittel eingesetzt werden.

Wie zuvor angegeben ist, gestatten das Verfahren zur Drahtsteuerung und die Drahtsäge nach der Erfindung die Messung der Verlagerung des Drahts, die Ermittlung der Schneidbelastung nach Maßgabe der gemessenen Verlagerung des Drahts und der Anfangsspannung des Drahts und ein Vergleichen der ermittelten Schneidbelastung mit einem Bezugswert, um die Werkstückzustellgeschwindigkeit zu steuern. Hierdurch wird eine Veränderung der Schneidbelastung, d. h. eine Veränderung der Drahtdurchbiegung, verhindert, und es wird ein genaues Ab schneiden von Scheiben von dem Werkstück erreicht.

Die Erfindung ist selbstverständlich nicht auf die voranstehend beschriebenen Einzelheiten der bevorzugten Ausführungsformen beschränkt, sondern es sind zahlreiche Abänderungen und Modifikationen möglich, die der Fachmann im Bedarfsfall treffen wird, ohne den Erfindungsgedanken zu verlassen.

Claims

1. Steuerverfahren für eine Drahtsäge, welche eine Drahtgruppe (20) dadurch hat, daß ein Draht (14) auf einer Mehrzahl von mit Nuten versehenen Walzen (18A, 18B, 18C, 18D) läuft und der Draht (14) bewegt wird, wobei ein Werkstück an die Drahtgruppe (20) zugestellt wird und das Werkstück gegen die Drahtgruppe (20) gedrückt wird, währenddem zugleich eine Bearbeitungsflüssigkeit auf die Drahtgruppe (20) aufgegeben wird, um hierdurch das Werkstück in eine Anzahl von Wafern (Halbleiterscheiben) zu zerschneiden, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist:
Messen einer Verlagerung des die Drahtgruppe (20) bildenden Drahtes (14) während der Schneidbearbeitung des Werkstücks;
Ermitteln einer Schneidbelastung bezüglich der Drahtgruppe (20) nach Maßgabe der gemessenen Verlagerung und einer Anfangs spannung des Drahts (14); und
Vergleichen der ermittelten Schneidbelastung mit einem vorgegebenen Bezugswert und Abschneiden einer Scheibe von dem Werkstück unter Steuerung einer Werkstückzustellgeschwindigkeit nach Maßgabe der Vergleichsergebnisse.

2. Drahtsäge (10), welche eine Drahtgruppe (20) dadurch bildet, daß ein Draht (14) auf einer Mehrzahl von mit Nuten versehenen Walzen (18A, 18B, 18C, 18D) läuft, sich der Draht (14) bewegt, ein Werkstück auf die Drahtgruppe (20) zugestellt wird und das Werkstück gegen die Drahtgruppe (20) angedrückt wird, während zugleich eine Bearbei tungsflüssigkeit auf die Drahtgruppe (20) aufgegeben wird, um hierdurch das Werkstück in eine Anzahl von Wafern (Halbleiter scheiben) zu zerschneiden, wobei die Drahtsäge (10) folgendes aufweist:
einen Sensor (66) zum Messen einer Verlagerung des die Drahtgruppe (20) bildenden Drahts (14) während der Schneidbearbei tung des Werkstücks;
eine Werkstückzustelleinrichtung (33) zum Bewegen des Werkstücks in Richtung auf die Drahtgruppe (20) und von dieser weg; und
eine Steuereinrichtung zum Ermitteln einer Schneidbelastung bezüglich der Drahtgruppe (20) nach Maßgabe der mittels des Sensors (66) gemessenen Verlagerung und einer Anfangsspannung des Drahts (14), zum Vergleichen der ermittelten Schneidbelastung mit einem vorgegebenen Bezugswert und zum Steuern einer Werkstückzustell geschwindigkeit durch die Werkstückzustelleinrichtung (33) nach Maßgabe der Vergleichsergebnisse.

3. Drahtsäge (10) nach Anspruch 2, welche ferner folgendes aufweist:
eine Antriebseinrichtung (82) zum Bewegen des Sensors (66) in Richtung auf die Drahtgruppe (20) zu und von dieser weg; und
eine Meßeinrichtung zum Messen der Bewegungsgröße des Sensors (66),
wobei die Antriebseinrichtung (22) den Sensor (66) nach Maßgabe einer Position des die Drahtgruppe (20) bildenden Drahtes (14) vor und zurück bewegt und die mit Hilfe der Meßeinrichtung gemessene Bewegungsgröße zu dem Meßwert des Sensors (66) zur Ermittlung der Verlagerung des Drahtes (14) addiert wird.

4. Drahtsäge (10) nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor (66) oberhalb der Drahtgruppe (20) angeordnet ist.

5. Drahtsäge (10) nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekenn zeichnet, daß der Sensor (66) auf der gegenüberliegenden Seite zu einer Seite angeordnet ist, an der der Draht (14) bezüglich der Drahtgruppe (20) verlagert wird, und daß die Drahtsäge (10) eine Bewegungseinrichtung (82) hat, welche den Sensor (66) von der Drahtgruppe (20) zurückbewegt, wobei die Bewegungseinrichtung (82) den Sensor (66) von der Drahtgruppe (20) zurückbewegt, wenn das in Scheiben geschnittene Werkstück von der Drahtgruppe (20) zum Abrücken wegbewegt wird.

6. Drahtsäge (10) nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekenn zeichnet, daß der Sensor (66) lösbar mittels einer Halterung (42) gelagert ist, welche eine Mehrzahl von mit Nuten versehenen Walzen (18A, 18B, 18C, 18D) drehbeweglich lagert.

7. Drahtsäge (10) nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekenn zeichnet, daß eine Abdeckung (78) an einem Sensorteil (66A) des Sensors (66) angebracht ist, um den Sensor (66A) zu schützen.

8. Drahtsäge (10) nach einem der Ansprüche 2 bis 7, dadurch gekenn zeichnet, daß der Sensor (66) in Verlagerungsrichtung des Drahts (14) bezüglich der Drahtgruppe (20) geneigt angeordnet ist, und zwar in eine Richtung, in die das Werkstück nicht angedrückt wird, wobei der Sensor (66) um einen vorbestimmten Winkel geneigt angeordnet ist.

9. Drahtsäge (10) nach einem der Ansprüche 2 bis 8, dadurch gekenn zeichnet, daß die durch den Sensor (66) gemessene Verlagerung des Drahts (14) zuvor nach Maßgabe eines gemessenen Abstands zwischen dem Sensor (66) und dem Draht (14) korrigiert wird.