DD265176A1 - Einrichtung zum spannen von bauteilen und werkzeugen in vakuumbedampfungsanlagen - Google Patents
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Abstract
Der Inhalt der Erfindung besteht darin, dass an den Substrathaltern der Vakuumbedampfungsanlage temperaturbestaendige Dauermagnete angebracht sind, die in ihrer geometrischen Form den zu spannenden Bauteilen und Werkzeugen entsprechen.
Description
In Vakuumbedampfungsanlagen werden Bauteile und Werkzeuge entweder durch Schrauben oder durch Federelemente an der Drehvorrichtung der Vakuumkammer befestigt.
Das Befestigen mit Schrauben hat den Nachteil, daß es sehr zeitaufwendig ist und die Schrauben mit beschichtet werden.
Dadurch lassen sich die Schrauben schlecht lösen und brechen häufig ab. Die Vorrichtungen müssen dann mit großem Aufwand regeneriert werden.
Die Befestigung mittels Federn hat den Nachteil, daß durch die hohe Temperaturbelastung in der Vakuumkammer die Federn schnell unbrauchbar werden, wodurch nur geringe Standzeiten erzielt werden.
Ferner ist eine Vorrichtung zum Beschichten von Klein- und Massenteilen bekannt, die aus einem Korb aus elektrisch leitenden, temperaturbeständigen, maschenartigen Material bssteht (DD-PS 236759),
Diese Vorrichtung eignet sich ausschließlich für Klein- und Massenteilen nicht jedoch für Werkzeuge.
Dos weiteren ist eine Vorrichtung zum Hal*en und Metallisieren eines Substrates bekannt (DE-PS 3231735). Hierbei wird eine mit Durchbrüchen versehene Deckscheibe an einer Trägerscheibe durch Dauermagnete gehalten.
Die Vorrichtung ist mittels der im Stapel angeordneten Bauteile relativ aufwendig.
Das Ziel der Erfindung besteht darin, in Vakuumbedampfungsanlagen, Bauteile und Werkzeuge schnell und sicher spannen zu können.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Spannsystem in Vakuumbedampfungsanlagen einzusetzen, welches gestattet, ohne großen Zeitaufwand sowie unter Verwendung tochnisch einfacher Mittel Bauteile und Werkzeuge aus magnetischem Werkstoff zu spannen und das sich durch eine hohe Lebensdauer auszeichnet.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß an den Substrathaltern der Vakuumbedampfungsanlage temperaturbeständige Dauermagnete angebracht sind, die in ihrer geometrischen Form den zu spannenden Bauteilen und Werkzeugen entsprechen.
Die Erfindung wird an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert. In der zugehörigen Zeichnung zeigen
Fig. 1: Vakuumbedampfungsanlage Fig. 2: Einzelheit von Fig. 1.
In Fig. 1 ist der Substrathalter 1 dargestellt, an dem sich Dauermagnete 2 der verschiedensten i-ormen befinden. Fig. 2 zeigt, wie unterschiedliche Bauteile bzw. Werkzeuge 3 an unterschiedlich ausgebildeten Dauermagneten 2 befestigt sind.
Claims (1)
- Einrichtung zum Spannen von Bauteilen und Werkzeugen in Vakuumbedampfungsanlagen, gekennzeichnet, daß an den Substrathaltern der Vakuumbedampfungsanlage temperaturbeständige Dauermagnete angebracht sind, die in ihrer geometrischen Form den zu spannenden Bauteilen und Werkzeugen entsprechen.Hierzu 1 Seite ZeichnungenAnwendungsgebiet der ErfindungDie Erfindung betrifft eine Einrichtung zum Spannen von Bauteilen und Werkzeugen in Vakuumbedampfungsanlagen
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DD29929187A DD265176A1 (de) | 1987-01-16 | 1987-01-16 | Einrichtung zum spannen von bauteilen und werkzeugen in vakuumbedampfungsanlagen |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DD29929187A DD265176A1 (de) | 1987-01-16 | 1987-01-16 | Einrichtung zum spannen von bauteilen und werkzeugen in vakuumbedampfungsanlagen |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DD265176A1 true DD265176A1 (de) | 1989-02-22 |
Family
ID=5586382
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DD29929187A DD265176A1 (de) | 1987-01-16 | 1987-01-16 | Einrichtung zum spannen von bauteilen und werkzeugen in vakuumbedampfungsanlagen |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DD (1) | DD265176A1 (de) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102006032959B3 (de) * | 2006-07-17 | 2007-12-27 | JOH. WINKLHOFER & SÖHNE GMBH & Co. KG | Werkstückträger für Vakuumbeschichtungsanlagen mit magnetischen Aufnahmekörpern |
-
1987
- 1987-01-16 DD DD29929187A patent/DD265176A1/de unknown
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102006032959B3 (de) * | 2006-07-17 | 2007-12-27 | JOH. WINKLHOFER & SÖHNE GMBH & Co. KG | Werkstückträger für Vakuumbeschichtungsanlagen mit magnetischen Aufnahmekörpern |
| EP1881086A1 (de) * | 2006-07-17 | 2008-01-23 | iwis motorsysteme GmbH & Co. KG | Werkstückträger für Vakuumbeschichtungsanlagen mit magnetischen Aufnahmekörpern |
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