DE19635735C1 - Klemmhalter - Google Patents
KlemmhalterInfo
- Publication number
- DE19635735C1 DE19635735C1 DE1996135735 DE19635735A DE19635735C1 DE 19635735 C1 DE19635735 C1 DE 19635735C1 DE 1996135735 DE1996135735 DE 1996135735 DE 19635735 A DE19635735 A DE 19635735A DE 19635735 C1 DE19635735 C1 DE 19635735C1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- base body
- clamp holder
- holder according
- clamping part
- clamping
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/50—Substrate holders
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/458—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for supporting substrates in the reaction chamber
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Clamps And Clips (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft einen Halter für zu beschichtende Kleinteile, welche z. B.
mittels dem CVD-Verfahren durch Abscheiden aus einer Gas- bzw. Plasma-
Atmosphäre mit einer dünnen Beschichtung versehen werden sollen.
Derartige Kleinteile sind meist Verschleißteile, z. B. fadenführende Teile in
Textilmaschinen, wobei die Beschichtung eine hochverschleißfeste Schicht, z. B. eine
diamantähnliche Schicht aus Kohlenstoff, ist.
Derartige Kleinteile, die z. B. nur 20 mm lang und weniger als 1 mm im
Querschnitt groß sein können, müssen während der Beschichtung unter anderem
an eine elektrische Spannung angeschlossen werden, und zu diesem Zweck
einerseits in einer definierten Orientierung in der Reaktionskammer angeordnet
werden, und andererseits in einem elektrisch leitenden Halter angeordnet werden,
welcher als Elektrode elektrisch angeschlossen sein muß. Zusätzlich soll die
Bestückung des Halters schnell vor sich gehen, da bei einer Beschichtungszeit von z. B.
2 Stunden die Bestückung eines einzigen Halters mit z. B. 100 Kleinteilen sehr
schnell zeitaufwendig wird, da mehrere dieser Halter in einer Reaktionskammer
angeordnet werden müssen.
Zusätzlich soll eine schnelle und genaue Positionierung der Kleinteile gegenüber
dem aus der Reaktionskammer entnommenen Halter möglich sein, da von der
Relativorientierung des Halters zum Kleinteil unter anderem die Qualität der
Beschichtung abhängt.
Aus der DD-PS 2 12 989 ist bereits ein Substrathalter für zu beschichtende,
zylindrische Teile bekannt, bei dem parallel zur Längsachse eine Vielzahl von
Öffnungen zur Aufnahme der Teile vorhanden sind. Die in diese Öffnungen bis
zum Anschlag gesteckten Teile werden durch jeweils zwei von
gegenüberliegenden Seiten bezüglich des Teiles aus angreifenden
Federklemmen gehalten, die auf der Rückseite einer, die Öffnungen
aufweisenden, Platte angeordnet sind. Dadurch sind zum Halten eines der Teile
jeweils mindestens zwei Federklemmen notwendig.
Es ist daher die Aufgabe gemäß der Erfindung, einen Halter zu schaffen, der
schnell und einfach zu bestücken ist bei genauer Positionierung der
aufzunehmenden Teile gegenüber dem Halter und sicherer elektrischer
Kontaktierung zwischen Halter und aufzunehmendem Kleinteil, wobei ein guter
Gasdurchfluß zwischen den Kleinteilen gegeben sein muß.
Diese Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruches 1
gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Dadurch, daß die Aufnahmeöffnungen quer zur Längsachse des länglichen
Grundkörpers angeordnet sind, können an einem relativ klein dimensionierten
Grundkörper sehr viele Kleinteile angeordnet werden. Durch die Klemmung der
Halter zwischen Klemmteil und Grundkörper und somit die Ausbildung des Halters
als Klemmhalter ist eine sichere elektrische Kontaktierung gewährleistet.
Da zusätzlich die Klemmung nicht durch z. B. Verschrauben, sondern mittels
Materialelastizität des Klemmteiles erfolgt, kann durch ausreichend kraftvolles
Einschieben der Kleinteile zwischen Klemmteil und Grundkörper die Befestigung
erfolgen, ohne daß zeitaufwendig geschraubt, nachjustiert etc. werden muß.
Diese Klemmung ist einerseits ausreichend stark, um nicht nur eine sichere
elektrische Kontaktierung des Kleinteiles zu gewährleisten, sondern darüber hinaus
auch die einmal beim Einstecken gewählte Orientierung der Kleinteile
beizubehalten. Mit normalem Kraftaufwand kann das eingesteckte Kleinteil jedoch
jederzeit zum Nachpositionieren gedreht etc. werden, jedoch nur innerhalb der
Klemmebene, welches die Außenfläche des Teiles ist, gegen welches das Klemmteil
preßt.
Um ein möglichst einfaches, kostengünstig herzustellendes Halteteil zu schaffen,
werden alle in Längsrichtung in einer Reihe angeordneten Kleinteile durch ein
gemeinsames Klemmteil am Grundkörper gehalten. Um dennoch ein einzelnes
Kleinteil unabhängig von den benachbarten Kleinteilen einschieben bzw.
herausnehmen zu können, ist dieses Klemmteil an seiner Klemmkante durch quer
verlaufende Zungenschlitze in einzelne Klemmzungen unterteilt, die unabhängig
voneinander jeweils eines der Kleinteile klemmend Haltern.
Um die Orientierung aller Kleinteile in oder wenigstens parallel zu einer
bestimmten Ebene, nämlich der Mittelebene des Grundkörpers, zu gewährleisten,
werden die Kleinteile von dem Klemmhalter nur gegen zwei einander
gegenüberliegende, parallel zueinander verlaufende Außenflächen des
Querschnitts flach quaderförmigen Grundkörpers gepreßt. Zu diesem Zweck sind
die Klemmteile als U-förmige Überschub-Profile für den Grundkörper ausgebildet,
die im entspannten Zustand einen kleineren Freiraum zum Inneren aufweisen als
die Dicke des Grundkörpers beträgt. Durch Aufschieben auf den Grundkörper
klemmen diese U-Profile kraftschlüssig auf dem Grundkörper. Durch Aufschieben
von zwei solcher U-Profile als Klemmteile von zwei gegenüberliegenden
Schmalseiten her auf den Grundkörper preßt jeweils ein außen liegender Schenkel
einer U-Profile gegen eine der Außenflächen des Grundkörpers und hält dabei
einen Schenkel des anderen U-Profiles dazwischen fest.
Durch die Ausbildung von Führungsschlitzen, insbesondere in der geschlossenen
Profilseite des innen liegende U-Profiles, in die die Kleinteile eingeschoben werden,
ist zusätzlich eine einfache und doch genaue Einhaltung des gegenseitigen
Abstandes der Kleinteile erzielbar.
Somit können von den beiden Schmalseiten des Grundkörpers her jeweils eine
Vielzahl von Kleinteilen zwischen den außen liegenden, frei endenden Schenkeln
des einen U-Profiles und das darunterliegende andere U-Profil eingesteckt und dort
elastisch geklemmt werden. Zu diesem Zweck sind die einzelnen Klemmzungen an
ihrem freien Ende etwas nach außen aufgebogen.
Um dabei den elektromagnetisch unterstützten CVD-Vorgang nicht nachteilig zu
beeinflussen, besteht der Grundkörper aus einem nicht magnetischen Material,
vorzugsweise aus einem nicht magnetischen Metallwerkstoff wie Edelstahl.
Auch Klemmteile bestehen vorzugsweise aus einem Metallwerkstoff, um die bei dem
Verfahren auftretenden Temperaturen von über 200°C ohne zu starken Abfall der
Eigenspannung des Materials der Klemmteile auszuhalten. Insbesondere wird für
die Klemmteile eine Kobalt-Basislegierung, etwa aus 40 bis 45% Kobalt, 8 bis 10%
Eisen sowie 10 bis 15% Chrom und 20 bis 30% Nickel (Gewichtsprozente)
gewählt.
Eine Ausführungsform gemäß der Erfindung ist im folgenden anhand der Figuren
beispielhaft näher beschrieben. Es zeigen
Fig. 1 einen Halter in der Frontansicht und
Fig. 2 den Halter 1 in Querschnittsdarstellung.
In Fig. 1 ist der leistenförmige Klemmhalter 1 in der Frontansicht zu erkennen,
wobei im oberen Bereich in die Führungsschlitze 12 zu beschichtende Kleinteile 13
bereits eingesteckt sind. Am oberen und unteren Ende des leistenförmigen
Grundkörpers 2 des Klemmhalters 1 ragt dieser über die auf den Grundkörper 2
aufgesteckten Klemmteile 5a, 5b hinaus und verfügt über eine Bohrung als
Befestigungsvorrichtung 10, um in einem größeren Halterahmen als einer von
mehreren Klemmhaltern nach dem Bestücken mit den Kleinteilen 13 verschraubt zu
werden.
Der Klemmhalter 1 besteht außer dem Grundkörper 2 aus zwei U-förmigen
Klemmteilen 5a, 5b, die sich in Längsrichtung vorzugsweise über den gesamten
Bereich zwischen den Befestigungsvorrichtungen 10 am oberen und unteren Ende
erstrecken, und von den Längs-Schmalseiten des Grundkörpers 2 her auf diesen
aufgeschoben werden.
Wie besser in Fig. 2 zu erkennen, sind die Klemmteile 5a, 5b von den
gegenüberliegenden Längs-Schmalseiten her auf den Grundkörper 2, welcher
vorzugsweise aus massivem Material besteht, aufgeschoben, und bedecken dabei
auch die Längsachse 3 des Grundkörpers 1.
Jeder der beiden U-förmigen Klemmteile 5a, 5b verfügt über jeweils einen frei
endenden Schenkel 6, 7 bzw. 6′, 7′ und ist so auf den Grundkörper 2
aufgeschoben, daß sein einer Schenkel 6 bzw. 6′ an der Flachseite des
Grundkörpers 2 anliegt, und sein anderer Schenkel 7, 7′ gegen die Außenseite des
Schenkels 6′, 6 des anderen Klemmteiles 5b bzw. 5a drückt.
Die freien Schenkel 6,. 7 der Klemmteile 5a, 5b weisen dabei eine solche
gegeneinander gerichtete Vorspannung auf, daß - wenn dazwischen der
Grundkörper 2 sowie ein Schenkel des jeweils anderen Klemmteiles dazwischen
aufgenommen wird - hierdurch eine feste kraftschlüssige Verbindung gegeben ist.
In den Klemmteilen 5a, 5b sind jeweils in dem einen Schenkel 7′ von der
Außenkante her gegen den verbindenden Schenkel des U-Profiles gerichtete
Zungenschlitze 8 eingearbeitet, wodurch in der Längsrichtung nebeneinander
liegende Zungen 9 ausgebildet sind, deren Endbereiche etwas nach oben
aufgebogen sind.
Diese Zungen 9 des Schenkels 7′ z. B. des Klemmteiles 5b drücken dabei gegen
den Schenkel 6 des anderen Klemmteiles 5a, und zwar im Bereich des Überganges
des Schenkels 6 in den verbindenden Querschenkel 15 dieses Klemmteiles 5a. In
diesem Bereich weist das Klemmteil 5a wiederum quer zur Längsachse 3
verlaufende Führungsschlitze 12 auf, welche wenigstens vom Übergang zwischen
dem Querschenkel 15 zum Schenkel 6 aus in Richtung auf das freie Ende des
Schenkels 6 verlaufen, jedoch dieses freie Ende nicht erreichen.
Diese Führungsschlitze 12 sind im selben Abstand wie die Zungen 9 angeordnet,
jedoch so versetzt, daß sich etwa mittig unter jeder Zunge 9 des einen Klemmteiles
z. B. 5b ein Führungsschlitz 12 des anderen Klemmteiles 5a befindet.
Die Dicke der Klemmteile 5a, 5b - zumindest im Bereich der Führungsschlitze 12 - ist
dabei so bemessen, daß sie etwas geringer ist als die Dicke der
aufzunehmenden Kleinteile 13.
Dadurch ist es möglich, das Kleinteil 13 in den Führungsschlitz 12 und damit unter
die darüber liegende jeweilige Zunge 9 einzuschieben, und zwar bis zum Ende des
Führungsschlitzes 12, wodurch ein Führungsanschlag 14 in Querrichtung zur
Längsrichtung 3 gegeben ist.
Vorzugsweise kann es sich bei den Führungsschlitzen einerseits und
Zungenschlitzen 8 andererseits um die gleichen Schlitze handeln, welche sich vom
freien Ende, also der Längskante, des Schenkels z. B. 7 weg über die gesamte Tiefe
des Schenkels 7, den Querschenkel 15 hinweg soweit in den gegenüberliegenden
Schenkel 6 hineinerstrecken, daß das hintere Ende des Zungenschlitzes 8
gleichzeitig der Anschlag 14 ist und damit der hintere Bereich des Zungenschlitzes
8 gleichzeitig der Führungsschlitz 12 ist.
Auch dabei muß wegen der Anpassung der Breite der Führungsschlitze 12 an die
Breite der aufzunehmenden Kleinteile 13 zumindest in diesem hinteren Bereich der
Führungsschlitze 12 die Anpassung an das Kleinteil 13 gegeben sein.
Der Effekt, daß jeweils eine Zunge 9 über jeweils einem Führungsschlitz 12 zu
liegen kommt, wird dadurch erreicht, daß die beiden Klemmteile 5a und 5b um ein
halbes Rastermaß entlang der Längsachse 3 gegeneinander versetzt angeordnet
werden.
Bei der Lösung der Fig. 1 und 2 dagegen sind die Führungsschlitze 12 und
Zungenschlitze 8 getrennt ausgebildet, wobei sich die Zungenschlitze 12 nur bis
etwa auf die halbe Tiefe in den Schenkel 7 bzw. 7′ hineinerstrecken, und die
Führungsschlitze 12 sich durch den Querschenkel 15 hindurch etwa 1/5 jeweils
gleich tief in die parallel zueinander verlaufenden Schenkel 6, 7 hineinerstrecken,
wodurch die Führungsschlitze 12 mittels Sägen auf einfache Art und Weise
hergestellt werden können.
In Fig. 1 sind im oberen Bereich als Kleinteile 13 Lochnadeln in die
Führungsschlitze 12 bis zum Führungsanschlag 14 hinein eingesteckt, während das
das Loch aufweisende Ende vom Klemmhalter 1 abstrebt und beschichtet werden
soll.
Bezugszeichenliste
1 Halter
2 Grundkörper
3 Längsachse
4 Öffnungen
5 Klemmteil
6 Schenkel
7 Schenkel
8 Zungenschlitze
9 Zunge
10 Befestigungsvorrichtung
11 Mittelebene
12 Führungsschlitze
13 Kleinteil
14 Führungsanschlag
15 Querschenkel
2 Grundkörper
3 Längsachse
4 Öffnungen
5 Klemmteil
6 Schenkel
7 Schenkel
8 Zungenschlitze
9 Zunge
10 Befestigungsvorrichtung
11 Mittelebene
12 Führungsschlitze
13 Kleinteil
14 Führungsanschlag
15 Querschenkel
Claims (15)
1. Klemmhalter für zu beschichtende, insbesondere nach dem CVD-Verfahren
zu beschichtende, Kleinteile mit einem länglichen Grundkörper (2) und bezüglich
der Längsachse (3) des Grundkörpers (2) quer angeordnete Öffnungen (4) zum
Aufnehmen eines Teils der Kleinteile,
dadurch gekennzeichnet, daß
- - der Klemmhalter (1) aus nicht-magnetischem Material besteht, welches auch bei 220 °C, seine Eigenelastizität für das Klemmen der Kleinteile noch nicht einbüßt, und
- - die Öffnungen (4) zwischen dem Grundkörper (2) und wenigstens einem gegenüber dem Grundkörper (2) klemmenden Klemmteil (5) vorhanden sind.
2. Klemmhalter nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Klemmhalter (1) auch bei über 240°C seine Eigenelastizität für das Klemmen
der Kleinteile noch nicht einbüßt.
3. Klemmhalter nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Öffnungen nur in einer Richtung parallel zu einer Mittelebene (11) des
Grundkörpers (2) angeordnet sind.
4. Klemmhalter nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß
das Klemmteil (5) elastisch ist und am Grundkörper (2) befestigt ist.
5. Klemmhalter nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß
das Klemmteil (5) aus einem Blech besteht, welches wenigstens einem Teil der
Umfangskontur des Grundkörpers (2) angepaßt ist und dessen Querschnitt
wenigstens teilweise umgibt.
6. Klemmhalter nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß
für alle Öffnungen (4) einer in Längsrichtung (3) des Grundkörpers (2)
verlaufenden Reihe ein gemeinsames Klemmteil (5a) bzw. (5b) vorhanden ist.
7. Klemmhalter nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß
das Klemmteil (5) einen U-förmigen Querschnitt besitzt, wobei der freie Abstand
zwischen den parallelen freien Schenkeln (6, 7) des U-Profiles des Klemmteiles (5)
im entspannten Zustand einen kleineren Abstand besitzt als die Dicke des
Grundkörpers (2) an derjenigen Stelle, an welcher das Klemmteil (5) auf den
Grundkörper (2) aufgeschoben ist.
8. Klemmhalter nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Schenkel (6, 7) ballig gegeneinander gekrümmt oder zu den freien Enden hin
aneinander annähernd geformt sind.
9. Klemmhalter nach Anspruch 6 bis 8,
dadurch gekennzeichnet, daß
wenigstens der eine Schenkel (6) des U-förmigen Klemmteiles (5) in Längsrichtung
beabstandete, quer zu seiner Längsachse verlaufende Zungenschlitze (8) aufweist,
so daß einzelne Zungen (9) zwischen den Zungenschlitzen gebildet werden, die
Quer zur Längsachse (3) orientiert sind.
10. Klemmhalter nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Zungenschlitze (8) sich um die erste Kröpfung des U-Profiles des Klemmteiles (5)
herum erstrecken.
11. Klemmhalter nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Grundkörper (2) eine flach rechteckige Querschnittskontur, betrachtet in
Längsrichtung (3), aufweist und von den beiden Schmalseiten der
Querschnittskontur her jeweils ein U-förmiges Klemmteil (5a) bzw. (5b) auf den
Grundkörper (2) so aufgeschoben ist, daß der mit den Zungenschlitzen (8)
versehene Schenkel (6) des Klemmteiles (5a) bzw. (5b) außen liegt und einen
Schenkel des anderen Klemmteiles (5b) bzw. (5a) zwischen sich und dem
Grundkörper (2) klemmt.
12. Klemmhalter nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß
die freien Enden der Zunge (9) nach außen aufgebogen sind.
13. Klemmhalter nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Klemmteile (5a, 5b) aus einem Metallblech, insbesondere einem Metallblech mit
Kobalt-Basislegierung, besteht.
14. Klemmhalter nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Klemmteile (5a, 5b) ca. 40-45 Gewichtsprozent Kobalt, 8-10 Gewichtsprozent
Eisen, 10-15 Gewichtsprozent Chrom und 20-30 Gewichtsprozent Nickel enthalten.
15. Klemmhalter nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Klemmteile (5a, 5b) in Längsrichtung (3) kürzer ausgebildet sind als der
Grundkörper (2) und die darüber hinausragenden Enden des Grundkörpers (2)
Befestigungsvorrichtungen (10) zur Befestigung an der Umgebung aufweisen.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1996135735 DE19635735C1 (de) | 1996-09-03 | 1996-09-03 | Klemmhalter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1996135735 DE19635735C1 (de) | 1996-09-03 | 1996-09-03 | Klemmhalter |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19635735C1 true DE19635735C1 (de) | 1998-01-08 |
Family
ID=7804509
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1996135735 Expired - Fee Related DE19635735C1 (de) | 1996-09-03 | 1996-09-03 | Klemmhalter |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19635735C1 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006032959B3 (de) * | 2006-07-17 | 2007-12-27 | JOH. WINKLHOFER & SÖHNE GMBH & Co. KG | Werkstückträger für Vakuumbeschichtungsanlagen mit magnetischen Aufnahmekörpern |
CN108707872A (zh) * | 2018-07-16 | 2018-10-26 | 五邑大学 | 一种磁控溅射织物样品夹持器 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DD212989A1 (de) * | 1982-12-31 | 1984-08-29 | Hochvakuum Dresden Veb | Substrathalterung fuer die beschichtung von koerpern |
-
1996
- 1996-09-03 DE DE1996135735 patent/DE19635735C1/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DD212989A1 (de) * | 1982-12-31 | 1984-08-29 | Hochvakuum Dresden Veb | Substrathalterung fuer die beschichtung von koerpern |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006032959B3 (de) * | 2006-07-17 | 2007-12-27 | JOH. WINKLHOFER & SÖHNE GMBH & Co. KG | Werkstückträger für Vakuumbeschichtungsanlagen mit magnetischen Aufnahmekörpern |
CN108707872A (zh) * | 2018-07-16 | 2018-10-26 | 五邑大学 | 一种磁控溅射织物样品夹持器 |
CN108707872B (zh) * | 2018-07-16 | 2023-10-17 | 五邑大学 | 一种磁控溅射织物样品夹持器 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2807119C2 (de) | Kabelschelle für variable Kabeldurchmesser | |
AT398581B (de) | Langgestreckte gestelle und zugehörige teile zum lösbaren befestigen von zu galvanisierenden leiterplatten, sowie zugehörige leiterplatten | |
DE69417762T2 (de) | Galvanisiervorrichtung | |
DE2150766A1 (de) | Stator fuer permanentmagnetische,dynamoelektrische Maschinen | |
EP0633330A1 (de) | Kontaktiereinrichtung für ein Leiterplattengestell einer Galvanikanlage | |
DE19635735C1 (de) | Klemmhalter | |
WO1993011282A1 (de) | Vorrichtung zum elektrolytischen metallabscheiden auf metallbändern | |
DE102007018125B4 (de) | Trägerelement mit einer äußeren Beschriftungs- oder Kennzeichnungsfäche zum Befestigen an einem elektrischen Leiter | |
DE1910961A1 (de) | Haltevorrichtung | |
EP0010260B1 (de) | Schraubzwinge | |
DE2446994C3 (de) | Verbindungssystem | |
EP1240663A2 (de) | Substrathalter | |
DE2054056A1 (de) | Befestigungsanordnung | |
DE3441653A1 (de) | Vorrichtung zur halterung von gegenstaenden, insbesondere fuer werkzeuge | |
DE202011051850U1 (de) | Vorrichtung zur Fixierung von metallischen Werkstücken in einem Tauchbad | |
DE69603785T2 (de) | Greifer eines Heftschweissbrenners und Verfahren zum Verbinden eines streifenförmigen Werkstückes mit einer Bauelement | |
DE2553276C3 (de) | Haltevorrichtung für galvanisch zu behandelnde, insbesondere zu verchromende Kleinteile | |
DE3631216A1 (de) | Fraeswalze fuer strassenfraesmaschinen | |
DE2736219C2 (de) | Verschluß an einem Leuchtengehäuse mit zwei voneinander lösbaren Gehäuseteilen | |
DE3543946A1 (de) | Sicherungspatronenhalter | |
DE8507393U1 (de) | Abstandshalter für zueinander parallel beabstandet angeordnete Widerstandsbänder mit beidseitig offenen Kiemen | |
DE3347627A1 (de) | Halteelement, insbesondere federklammer fuer gelochte werkzeugtafeln | |
DD145126A5 (de) | Vorrichtung zum befestigen eines nadelstreifens am tragelement bei kettenstreckwerken,kaemmaschinen und dergleichen | |
DE102019106093A1 (de) | Halterahmen sowie Steckverbinder mit einem derartigen Halterahmen | |
EP1206003B1 (de) | Erdungsvorichtung mit einer Käfigmutter und einer Anzugschraube zur Masseverbindung von Bauteilen an Befestigungsteilen mit nicht leitender Oberflächenbeschichtung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8100 | Publication of the examined application without publication of unexamined application | ||
D1 | Grant (no unexamined application published) patent law 81 | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |