CN108707872B - 一种磁控溅射织物样品夹持器 - Google Patents

一种磁控溅射织物样品夹持器 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种磁控溅射织物样品夹持器，包括固定架、样品盘和样品夹紧圈；固定架包括底架、左挡块、右挡块、后挡块、左弹性片和右弹性片，底架设有U型槽，所述左挡块、右挡块、后挡块与底架形成用于容置样品盘的固定腔，所述样品盘通过U型槽可拆卸安装在固定腔内；所述左弹性片和右弹性片对应设置于左挡块和右挡块的内侧靠近U型槽的位置；样品盘设有一圆形凹槽，样品夹紧圈弹性安装在样品盘的圆形凹槽里。本发明的夹持器能夹持住一定大小的圆形织物样品，样品均匀受力使表面平整，样品正面向下受溅射作用而镀膜，解决了现在技术的样品夹持不牢而掉落、柔性样品表面不平整等的不足，样品夹持牢固，表面平整，而且方便更换样品。

Description

一种磁控溅射织物样品夹持器
技术领域
本发明涉及磁控溅射设备领域，特别是涉及一种磁控溅射织物样品夹持器。
背景技术
目前，磁控溅射技术在制备纳米防辐射布具有良好的应用前景。因此，研究磁控溅射法制备纳米防辐射布过程中的各工艺因素，对制得的纳米防辐射布屏蔽效能的影响，已然成为了世界各国研究的热点。
现有的磁控溅射镀膜设备通常在设备的上部位置设置样品台，相对的靶安装在样品台的下方，样品需要通过夹持器固定在样品台下表面，然而现有的样品夹持器大多是应用到非柔性材料上，当使用柔性材料如纺织品织物作为样品基底时，要保证织物样品被牢固固定且要保证表面平整，以免对成膜的均匀性和致密性造成影响。
发明内容
为克服现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种磁控溅射织物样品夹持器，能够实现样品夹持牢固，表面平整，而且方便更换样品。
本发明为解决其技术问题采用的技术方案是：
一种磁控溅射织物样品夹持器，包括固定架、样品盘和样品夹紧圈；所述固定架包括底架，及设置在底架上的左挡块、右挡块、后挡块、左弹性片和右弹性片，所述底架设有向前侧开口的U型槽，所述左挡块、右挡块和后挡块分别位于U型槽的左侧、右侧和后侧，所述左挡块、右挡块、后挡块与底架形成用于容置样品盘的固定腔，所述样品盘通过U型槽可拆卸安装在固定腔内；所述左弹性片和右弹性片对应设置于左挡块和右挡块的内侧靠近U型槽的位置，并分别具有向上凸起的用于顶压样品盘的拱形部；所述样品夹紧圈具有弹性且设置有缺口，所述样品盘设有一圆形凹槽，所述样品夹紧圈弹性安装在样品盘的圆形凹槽里。
进一步，所述样品盘连接有把手。所述把手设有从样品盘表面逐渐向下的阶梯部。
进一步，所述后挡块中间设置有向前侧开口的定位槽，所述样品盘设有与所述定位槽配合的定位凸柱。
进一步，所述左挡块、右挡块、后挡块与底架设有对应的用于安装螺钉的通孔，所述左挡块、右挡块、后挡块与底架通过螺钉固定连接。
进一步，所述左弹性片和右弹性片的前后端分别设置有向外侧延伸的连接部，所述左挡块和右挡块下表面设有供所述连接部伸入的凹位，所述连接部设有用于安装螺钉的通孔，所述左弹性片、右弹性片分别通过螺钉与左挡块、右挡块及底架固定连接。
本发明的有益效果是：本发明的织物样品夹持器，其固定架装配固定在磁控溅射镀膜设备的真空腔室内的样品台底面，对应的靶安装在下方。使用时，根据大小要求裁剪制作一定大小的圆形织物样品，然后放进样品盘的圆形凹槽里，并通过夹紧圈贴住样品夹紧在样品盘的圆形凹槽里；接着将装有样品的样品盘从U型槽前侧插入至固定架的固定腔内，并由左弹性片和右弹性片向上将样品盘顶压在样品台底面，实现样品盘被稳固夹持在固定架内，实现可移动的插入或拆下样品盘。本发明的夹持器能夹持住一定大小的圆形织物样品，样品均匀受力使表面平整，样品正面向下受溅射作用而镀膜，解决了现在技术的样品夹持不牢而掉落、柔性样品表面不平整等的不足，样品夹持牢固，表面平整，而且方便更换样品。
附图说明
图1是本发明的固定架的结构示意图；
图2是本发明的固定架拆装结构示意图；
图3是本发明的样品盘的主视图；
图4是本发明的样品盘的侧视图
图5是本发明的夹紧圈的结构示意图；
图6是本发明的固定架装配在磁控溅射镀膜设备的真空腔室内的样品台底面的示意图；
图7是本发明的使用状态示意图。
具体实施方式
以下结合附图和实例对本发明做进一步说明。
本发明的一种磁控溅射织物样品夹持器，包括固定架1、样品盘2和样品夹紧圈3。
请参见图1和图2，所述固定架1包括钢制的底架11，及设置在底架11上的左挡块12a、右挡块12b、后挡块13、左弹性片14a和右弹性片14b。所述底架11设有向前侧开口的U型槽，所述左挡块12a、右挡块12b和后挡块13采用铜条制成，且分别位于U型槽的左侧、右侧和后侧，所述左挡块12a、右挡块12b、后挡块13与底架11形成用于容置样品盘2的固定腔。所述左弹性片14a和右弹性片14b分别平行左挡块12a和右挡块12b设置，并对应设置于左挡块12a和右挡块12b的内侧靠近U型槽的位置，其具有向上凸起的用于顶压样品盘2的拱形部141。请参见图6，所述夹持器的固定架1固定在磁控溅射镀膜设备的真空腔室内的样品台4底面，可根据靶位数量安装数个固定架1，固定架1下方为对应的靶。安装时，所述左挡块12a、右挡块12b、后挡块13、左弹性片14a和右弹性片14b贴近样品台4底面，底架11则正对靶安装。
所述左挡块12a、右挡块12b、后挡块13与底架11设有对应的用于安装螺钉的通孔，所述左挡块12a、右挡块12b、后挡块13与底架11通过螺钉固定连接。
所述左弹性片14a和右弹性片14b的前后端分别设置有向外侧延伸的连接部142，所述左挡块12a和右挡块12b下表面设有供所述连接部142伸入的凹位，所述连接部142设有用于安装螺钉的通孔，所述左弹性片14a、右弹性片14b分别通过螺钉与左挡块12a、右挡块12b及底架11固定连接。
请参见图7，所述样品盘2可拆卸安装在固定架1内，其从U型槽前侧插入至固定腔内，左挡块12a、右挡块12b和后挡块13用于防止样品盘2脱落。而且所述后挡块13中间设置有向前侧开口的定位槽131，所述样品盘2设有与所述定位槽131配合的定位凸柱23，样品盘2插入至固定腔后侧，样品盘2的定位凸柱23与后挡块13的定位槽131配合定位，防止样品盘2在固定腔内转动。U型槽两侧的左弹性片14a和右弹性片14b向上将样品盘2顶压在样品台4底面，实现样品盘2被稳固夹持在固定架1内。
请参见图3和图4，所述样品盘2设有一圆形凹槽22，所述圆形凹槽22用于放置织物基底。
请参见图5，所述样品夹紧圈3具有弹性，其弹性安装在样品盘2的圆形凹槽22里。所述样品夹紧圈3为设置有缺口31的非完整环形，所述缺口31用于防止样品盘2的圆形凹槽22对样品夹紧圈3的应力过大导致所述样品夹紧圈3变形。
所述样品盘2连接有把手21。所述把手21设有从样品盘2表面逐渐向下的阶梯部，所述阶梯部的设置使把手21与真空腔室内的样品台4底面之间留有距离，便于抓握把手21将样品盘2推进固定架1或从固定架1拉出。
本夹持器使用时，先根据大小要求裁剪制作一定大小的圆形织物样品，然后放进样品盘2的圆形凹槽22里，并通过样品夹紧圈3贴住样品夹紧在样品盘2的圆形凹槽22里；接着将装有样品的样品盘2从固定架1的U型槽前侧插入至固定架1的固定腔内，并由左弹性片14a和右弹性片14b向上将样品盘2顶压在样品台4底面，实现样品盘2被稳固夹持在固定架1内，实现可移动的插入或拆下样品盘2。本发明的夹持器能夹持住一定大小的圆形织物样品，样品均匀受力使表面平整，样品正面向下受溅射作用而镀膜，解决了现在技术的样品夹持不牢而掉落、柔性样品表面不平整等的不足，样品夹持牢固，表面平整，而且方便更换样品。
以上是对本发明的较佳实施进行了具体说明，但本发明并不局限于上述实施方式，熟悉本领域的技术人员在不违背本发明精神的前提下还可作出种种的等同变形或替换，这些等同的变形或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。

Claims (6)

1.一种磁控溅射织物样品夹持器，其特征在于：包括固定架(1)、样品盘(2)和样品夹紧圈(3)；所述固定架(1)包括底架(11)，及设置在底架(11)上的左挡块(12a)、右挡块(12b)、后挡块(13)、左弹性片(14a)和右弹性片(14b)，所述底架(11)设有向前侧开口的U型槽，所述左挡块(12a)、右挡块(12b)和后挡块(13)分别位于U型槽的左侧、右侧和后侧，所述左挡块(12a)、右挡块(12b)、后挡块(13)与底架(11)形成用于容置样品盘(2)的固定腔，所述样品盘(2)通过U型槽可拆卸安装在固定腔内；所述左弹性片(14a)和右弹性片(14b)对应设置于左挡块(12a)和右挡块(12b)的内侧靠近U型槽的位置，并分别具有向上凸起的用于顶压样品盘(2)的拱形部(141)；所述样品夹紧圈(3)具有弹性且设置有缺口(31)，所述样品盘(2)设有一圆形凹槽(22)，所述样品夹紧圈(3)弹性安装在样品盘(2)的圆形凹槽(22)里。
2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射织物样品夹持器，其特征在于：所述样品盘(2)连接有把手(21)。
3.根据权利要求2所述的一种磁控溅射织物样品夹持器，其特征在于：所述把手(21)设有从样品盘(2)表面逐渐向下的阶梯部。
4.根据权利要求1所述的一种磁控溅射织物样品夹持器，其特征在于：所述后挡块(13)中间设置有向前侧开口的定位槽(131)，所述样品盘(2)设有与所述定位槽(131)配合的定位凸柱(23)。
5.根据权利要求1所述的一种磁控溅射织物样品夹持器，其特征在于：所述左挡块(12a)、右挡块(12b)、后挡块(13)与底架(11)设有对应的用于安装螺钉的通孔，所述左挡块(12a)、右挡块(12b)、后挡块(13)与底架(11)通过螺钉固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种磁控溅射织物样品夹持器，其特征在于：所述左弹性片(14a)和右弹性片(14b)的前后端分别设置有向外侧延伸的连接部(142)，所述左挡块(12a)和右挡块(12b)下表面设有供所述连接部(142)伸入的凹位，所述连接部(142)设有用于安装螺钉的通孔，所述左弹性片(14a)、右弹性片(14b)分别通过螺钉与左挡块(12a)、右挡块(12b)及底架(11)固定连接。
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