CN112410741A - 一种基于硬质合金刀片镀膜的掩膜夹具 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种基于硬质合金刀片镀膜的掩膜夹具，包括左侧滑块，夹紧滑块，底板，压块和夹紧装置等部件；所述夹紧装置上设置有六个螺纹孔，用于与其他部件进行安装；所述左侧滑块通过螺钉与夹紧装置左边第一个螺纹孔配合安装；所述夹紧滑块上的螺纹孔与左侧滑块的另一个螺纹孔通过螺钉配合安装；所述夹紧滑块上另一端的螺纹孔与夹紧装置右下角处的螺纹孔通过螺钉相配合安装；所述压板通过螺纹孔与左侧滑块、夹紧滑块、夹紧装置相配合安装；所述压块通过螺纹孔安装在夹紧装置上压紧掩膜部件；此夹具在使用掩膜对刀具镀膜时使用，可以保证在镀膜期间掩膜与刀具之间的紧密贴合。

Description

一种基于硬质合金刀片镀膜的掩膜夹具
技术领域
本发明涉及磁控溅射领域，具体为一种在磁控溅射过程中将硬质合金刀片与掩膜紧密夹紧在一起的装置。
背景技术
在硬质合金刀片前刀面镀制薄膜热电偶时，需要针对在硬质合金刀片前刀面所设计的薄膜热电偶电极形状制备相应的掩膜，但一般在磁控溅射设备中，沉积台往往不是水平的，有一定的角度，因此无法保证掩膜与硬质合金刀片的紧密贴合，这样无法保证薄膜热电偶电极能够正确的镀制在前刀面上，因此根据沉积台，硬质合金刀片和掩膜的尺寸设计了一个一种基于硬质合金刀片镀膜的掩膜夹具；可以确保在磁控溅射过程中硬质合金刀片和掩膜紧密贴合，使薄膜热电偶完整的镀制在前刀面上。
发明内容
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：所述夹紧装置上设置有六个螺纹孔，用于与其他部件进行安装；所述左侧滑块通过螺钉与夹紧装置左边第一个螺纹孔配合安装；所述夹紧滑块上的螺纹孔与左侧滑块的另一个螺纹孔通过螺钉配合安装；所述夹紧滑块上另一端的螺纹孔与夹紧装置右下角处的螺纹孔通过螺钉相配合安装；所述压板通过螺纹孔与左侧滑块、夹紧滑块、夹紧装置相配合安装；所述压块通过螺纹孔安装在夹紧装置上压紧掩膜部件。
作为本发明的一种优选的技术方案，所述左侧滑块与夹紧滑块和夹紧装置相配合留出的16mm宽的空间可以容纳硬质合金刀片和掩膜部件。
作为本发明的一种优选的技术方案，所述压块与夹紧装置配合可以有效严密的夹紧掩膜部件。
本发明的有益效果：夹紧装置设计简单，小巧，满足沉积台的尺寸需要，同时夹紧装置材料为铝合金，保证夹紧装置的重量比较轻便，满足沉积台上基体不能太重的要求；掩膜夹具可以确保在磁控溅射过程中硬质合金刀片和掩膜紧密贴合，使薄膜热电偶完整的镀制在前刀面上。
附图说明
图1为本发明夹具的装配示意图。
图2为本发明中左侧滑块示意图。
图3为本发明中夹紧滑块示意图。
图4为本发明中夹紧装置示意图。
图5为本发明中压块示意图。
图6为本发明中所夹持掩膜示意图。
图1中：1-压块；2-夹紧装置；3-夹紧滑块；4-左侧滑块；5-压板；6-掩膜部件。
具体实施方式
下面结合附图给出本发明具体实施方式，以详细说明本发明的技术方案如图1所示，本发明公开了一种基于硬质合金刀片镀膜的掩膜夹具，包括左侧滑块，夹紧滑块，底板，压块和夹紧装置等部件；所述夹紧装置上设置有六个螺纹孔，用于与其他部件进行安装；所述左侧滑块通过螺钉与夹紧装置左边第一个螺纹孔配合安装；所述夹紧滑块上的螺纹孔与左侧滑块的另一个螺纹孔通过螺钉配合安装；所述夹紧滑块上另一端的螺纹孔与夹紧装置右下角处的螺纹孔通过螺钉相配合安装；所述压板通过螺纹孔与左侧滑块、夹紧滑块、夹紧装置相配合安装；所述压块通过螺纹孔安装在夹紧装置上压紧掩膜部件；此夹具在使用掩膜对刀片镀膜时使用，可以保证在镀膜期间掩膜与刀片之间的紧密贴合。
优选的是，所述左侧滑块与夹紧滑块和夹紧装置相配合留出的16mm宽的空间可以容纳硬质合金刀片和掩膜部件；所述压块与夹紧装置配合可以有效严密的夹紧掩膜部件。
本发明工作原理如下：将左侧滑块上部分的螺纹孔使用螺钉与夹紧装置左上角的螺纹孔配合，左侧滑块的下部分螺纹孔与夹紧滑块的左边的螺纹孔配合，夹紧滑块右侧的螺纹孔与夹紧装置右下角螺纹孔配合。在中间留出的空间中，放好硬质合金刀片和掩膜，用螺钉装入配合好的螺纹孔拧紧，压板的螺纹孔与夹紧装置剩下的一个螺纹孔使用螺钉配合安装，压紧掩膜与硬质合金刀片，保证掩膜与硬质合金刀片的紧密配合。
以上所述的具体实施例，对本发明的解决的技术问题、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种基于硬质合金刀片镀膜的掩膜夹具，其特征在于：包括左侧滑块4，夹紧滑块3，底板5，压块1和夹紧装置2等部件；所述夹紧装置上设置有六个螺纹孔，用于与其他部件进行安装；所述左侧滑块4通过螺钉与夹紧装置2左边第一个螺纹孔配合安装；所述夹紧滑块3上的螺纹孔与左侧滑块4的另一个螺纹孔通过螺钉配合安装；所述夹紧滑块3上另一端的螺纹孔与夹紧装置2右下角处的螺纹孔通过螺钉相配合安装；所述压板5通过螺纹孔与左侧滑块4、夹紧滑块3、夹紧装置2相配合安装；所述压块1通过螺纹孔安装在夹紧装置2上压紧掩膜部件6。
2.根据权利要求1所述的一种基于硬质合金刀片镀膜的掩膜夹具，其特征在于：所述左侧滑块4与夹紧滑块3和夹紧装置2相配合留出的16mm宽的空间可以容纳硬质合金刀具和掩膜部件6。
3.根据权利要求1所述的一种基于硬质合金刀片镀膜的掩膜夹具，其特征在于：所述压块1与夹紧装置2配合可以有效严密的夹紧掩膜部件6。
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