DD265176A1 - DEVICE FOR TENSIONING COMPONENTS AND TOOLS IN VACUUM EVAPORATION PLANTS - Google Patents

DEVICE FOR TENSIONING COMPONENTS AND TOOLS IN VACUUM EVAPORATION PLANTS Download PDF

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DD265176A1
DD265176A1 DD29929187A DD29929187A DD265176A1 DD 265176 A1 DD265176 A1 DD 265176A1 DD 29929187 A DD29929187 A DD 29929187A DD 29929187 A DD29929187 A DD 29929187A DD 265176 A1 DD265176 A1 DD 265176A1
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German Democratic Republic
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vacuum evaporation
tensioning components
evaporation plants
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DD29929187A
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German (de)
Inventor
Egbert Ackermann
Walter Mielck
Tilo Scholze
Elke Werner
Original Assignee
Pumpen & Verdichter Veb K
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Abstract

Der Inhalt der Erfindung besteht darin, dass an den Substrathaltern der Vakuumbedampfungsanlage temperaturbestaendige Dauermagnete angebracht sind, die in ihrer geometrischen Form den zu spannenden Bauteilen und Werkzeugen entsprechen.The content of the invention is that temperature-resistant permanent magnets are attached to the substrate holders of the vacuum deposition system, which correspond in their geometric shape to exciting components and tools.

Description

Charakteristik der bekannten technischen LösungenCharacteristic of the known technical solutions

In Vakuumbedampfungsanlagen werden Bauteile und Werkzeuge entweder durch Schrauben oder durch Federelemente an der Drehvorrichtung der Vakuumkammer befestigt.In Vakuumbedampfungsanlagen components and tools are fastened either by screws or spring elements to the rotating device of the vacuum chamber.

Das Befestigen mit Schrauben hat den Nachteil, daß es sehr zeitaufwendig ist und die Schrauben mit beschichtet werden.The fastening with screws has the disadvantage that it is very time consuming and the screws are coated with.

Dadurch lassen sich die Schrauben schlecht lösen und brechen häufig ab. Die Vorrichtungen müssen dann mit großem Aufwand regeneriert werden.As a result, the screws can be solved bad and often break off. The devices must then be regenerated with great effort.

Die Befestigung mittels Federn hat den Nachteil, daß durch die hohe Temperaturbelastung in der Vakuumkammer die Federn schnell unbrauchbar werden, wodurch nur geringe Standzeiten erzielt werden.The fastening by means of springs has the disadvantage that the springs are quickly unusable due to the high temperature load in the vacuum chamber, whereby only a short service life can be achieved.

Ferner ist eine Vorrichtung zum Beschichten von Klein- und Massenteilen bekannt, die aus einem Korb aus elektrisch leitenden, temperaturbeständigen, maschenartigen Material bssteht (DD-PS 236759),Furthermore, a device for coating small and mass parts is known, which consists of a basket of electrically conductive, temperature-resistant, mesh-like material (DD-PS 236759),

Diese Vorrichtung eignet sich ausschließlich für Klein- und Massenteilen nicht jedoch für Werkzeuge.This device is suitable only for small and mass parts but not for tools.

Dos weiteren ist eine Vorrichtung zum Hal*en und Metallisieren eines Substrates bekannt (DE-PS 3231735). Hierbei wird eine mit Durchbrüchen versehene Deckscheibe an einer Trägerscheibe durch Dauermagnete gehalten.Dos another is a device for Hal * en and metallizing a substrate known (DE-PS 3231735). Here, a cover plate provided with apertures is held on a carrier disk by permanent magnets.

Die Vorrichtung ist mittels der im Stapel angeordneten Bauteile relativ aufwendig.The device is relatively expensive by means of the components arranged in the stack.

Ziel der ErfindungObject of the invention

Das Ziel der Erfindung besteht darin, in Vakuumbedampfungsanlagen, Bauteile und Werkzeuge schnell und sicher spannen zu können.The aim of the invention is to be able to clamp quickly and safely in Vakuumbedampfungsanlagen, components and tools.

Darlegung des Wesens der ErfindungExplanation of the essence of the invention

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Spannsystem in Vakuumbedampfungsanlagen einzusetzen, welches gestattet, ohne großen Zeitaufwand sowie unter Verwendung tochnisch einfacher Mittel Bauteile und Werkzeuge aus magnetischem Werkstoff zu spannen und das sich durch eine hohe Lebensdauer auszeichnet.The invention has for its object to use a clamping system in Vakuumbedampfungsanlagen, which allows to clamp without great expenditure of time and using tochnisch simple means components and tools made of magnetic material and which is characterized by a long service life.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß an den Substrathaltern der Vakuumbedampfungsanlage temperaturbeständige Dauermagnete angebracht sind, die in ihrer geometrischen Form den zu spannenden Bauteilen und Werkzeugen entsprechen.According to the invention the object is achieved in that temperature-resistant permanent magnets are attached to the substrate holders of the vacuum deposition system, which correspond in their geometric shape to the exciting components and tools.

Ausfiihrungsbeispielexemplary embodiment

Die Erfindung wird an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert. In der zugehörigen Zeichnung zeigenThe invention will be explained in more detail using an exemplary embodiment. In the accompanying drawing show

Fig. 1: Vakuumbedampfungsanlage Fig. 2: Einzelheit von Fig. 1.Fig. 1: Vakuumevampfungsanlage Fig. 2: Detail of Fig. 1st

In Fig. 1 ist der Substrathalter 1 dargestellt, an dem sich Dauermagnete 2 der verschiedensten i-ormen befinden. Fig. 2 zeigt, wie unterschiedliche Bauteile bzw. Werkzeuge 3 an unterschiedlich ausgebildeten Dauermagneten 2 befestigt sind.In Fig. 1, the substrate holder 1 is shown, on which there are permanent magnets 2 of various i-orms. FIG. 2 shows how different components or tools 3 are fastened to differently shaped permanent magnets 2.

Claims (1)

Einrichtung zum Spannen von Bauteilen und Werkzeugen in Vakuumbedampfungsanlagen, gekennzeichnet, daß an den Substrathaltern der Vakuumbedampfungsanlage temperaturbeständige Dauermagnete angebracht sind, die in ihrer geometrischen Form den zu spannenden Bauteilen und Werkzeugen entsprechen.Device for clamping of components and tools in Vakuumbedampfungsanlagen, characterized in that temperature-resistant permanent magnets are attached to the substrate holders of Vakuumbedampfungsanlage that correspond in their geometric shape to the exciting components and tools. Hierzu 1 Seite ZeichnungenFor this 1 page drawings Anwendungsgebiet der ErfindungField of application of the invention Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zum Spannen von Bauteilen und Werkzeugen in VakuumbedampfungsanlagenThe invention relates to a device for clamping components and tools in Vakuumbedampfungsanlagen
DD29929187A 1987-01-16 1987-01-16 DEVICE FOR TENSIONING COMPONENTS AND TOOLS IN VACUUM EVAPORATION PLANTS DD265176A1 (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006032959B3 (en) * 2006-07-17 2007-12-27 JOH. WINKLHOFER & SÖHNE GMBH & Co. KG Workpiece support for a vacuum coating installation comprises a support body having radially protruding magnetic holding bodies with a holding surface for workpieces to be coated

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006032959B3 (en) * 2006-07-17 2007-12-27 JOH. WINKLHOFER & SÖHNE GMBH & Co. KG Workpiece support for a vacuum coating installation comprises a support body having radially protruding magnetic holding bodies with a holding surface for workpieces to be coated
EP1881086A1 (en) * 2006-07-17 2008-01-23 iwis motorsysteme GmbH & Co. KG Substrate holder with magnetic housing for vacuum coating apparatuses

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