DD263359A1 - Pruefadapter - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft einen Pruefadapter zur Messwerterfassung von integrierten Schaltkreisen, insbesondere Nacktchips, oder anderen elektronischen Bauelementen oder deren Anschlusselementen. Die erfindungsgemaesse Aufgabe wird dadurch geloest, dass auf einem einseitig geschlossenen Gehaeuse eine Folie gespannt ist, aussen auf der Folie Kontakthuegel vorgesehen und die Kontakthuegel ueber Leiterzuege mit den Anschluessen zum Pruefgeraet verbunden sind und an das Gehaeuse ueber eine Bohrung ein Druckmedium anschliessbar ist. Die mit den Kontakthuegeln und Anschlussbahnen beschichtete Folie ist weitgehend mit denselben Basistechnologien (Maskentechnik, Bedampfung, Galvanik usw.) herstellbar, wie andere mikroelektronische Bauelemente. Damit ist prinzipiell dasselbe Rastermass der Kontakthuegel wie bei den Anschlussflaechen der Bauelemente realisierbar. Fig. 1

Description

Hierzu 1 Seite Zeichnung

Anwendungsgebiet der Erfindung

Die Erfindung betrifft einen Prüfadapter zur Meßwerterfassung von integrierten Schaltkreisen, insbesondere Nacktchips, oder anderen elektronischen Bauelementen oder deren Anschlußelementen.

Charakteristik des bekannten Standes der Technik -

Für die Prüfung unverkappter integrierter Schaltkreise (Nacktchips) mit einer großen Zahl dicht nebeneinander angeordneter Kontaktflächen werden speziell angepaßte Nadeladapter eingesetzt, bei denen quer zur Achse federnde, etwa radial von außen nach innen, auf die Kontaktfläche gerichtete, Nadelspitzen angeordnet sind. Die Nadelspitzen sind auf die jeweiligen Kontaktflächen des Prüflings einjustiert. Zur Erhöhung der Zahl antastbarer Kontaktflächen sind die radialen Abmessungen der Nadeln und ihrer federnden Elemente und Aufnahmen nach DD-WP 233427 minimiert.

Den Nadeladaptern ist der hohe mechanische und Justieraufwand sowie das durch die Mechanik letztlich begrenzte Rastermaß gemeirfsam.

Ziel der Erfindung

Ziel der Erfindung ist ein an die Miniaturisierung der elektronischen Bauelemente angepaßter Prüfadapter.

Darlegung des Wesens der Erfindung

Aufgabe der Erfindung ist es, einen Prüfadapter anzugeben, der sich hinsichtlich des realisierbaren Rastermaßes grundsätzlich

nicht von den elektronischen Bauelementen unterscheidet. .

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß auf einem einseitig geschlossenen Gehäuse eine Folie gespannt ist, außen auf der Folie Kontakthügel vorgesehen und die Kontakthügel über Leiterzüge mit den Anschlüssen zum Prüfgerät verbunden sind und an das Gehäuse über eine Bohrung ein.Druckmedium anschließbar ist.

Die mit den Kontakthügeln und Anschlußbahnen beschichtete Folie ist weitgehend mit denselben Basistechnologien (Maskentechnik, Bedampfung, Galvanik usw.) herstellbar, wie andere mikroelektronische Bauelemente. Damit ist prinzipiell dasselbe Rastermaß der Kontakthügel wie bei den Änschlußflächeri der Bauelemente realisierbar.

Zum Messen wird die Vorrichtung über dem Prüfling positioniert, abgesetzt und fixiert. Anschließend wird ihr Innenraum an ein Druckmedium angeschlossen. Dabei werden die Kontakthügel fest an die Anschlußflächen des Prüflings angepreßt. Durch die Flexibilität der Folie und mit Hilfe des Druckmediums werden etwaige Höhenunterschiede der Kontakthügel und Anschlußflächen überbrückt.

Die Leiterbahnen können auf der Folie ein- oder mehrschichtig aufgebracht werden. Dadurch ist es möglich, die im Innern liegenden Kontakthügel ohne ein Überschneiden der Leiterbahnen mit den elektrischen Anschlüssen zum Prüfgerät zu verbinden. Die Herstellung derartiger ein- oder mehrschichtiger flexibler Leiterplatten ist bekannt.

Die Folie kann auf einen gesonderten Rahmen, der auf der Vorrichtung befestigt wird, gespannt sein. Dadurch ist ein schneller Wechsel bei verschiedenen zu prüfenden Bauelementen möglich.

Ausführungsbeispiel

In der Zeichnung ist ein Schnitt durch eine erfindungsgemäße Vorrichtung dargestellt.

Auf einem einseitig geschlossenen Gehäuse 1 ist eine Folie 2 gespannt. Die Folie schließt das Gehäuse. Folie und Gehäuse sind gegeneinander abgedichtet. Die Folie ist als beidseitig beschichtete flexible Leiterplatte ausgeführt, d. h. auf beiden Seiten befinden sich Leiterbahnen, die mit den Anschlüssen 4zum nicht dargestellten Prüfgerät verbunden sind. Auf der äußeren Seite der Folie 2 sind Kontakthügel 3 in der Anschlußkonfiguration der zu prüfenden Bauelemente befestigt. Die Kontakthügel 3 sind

mit den Leiterbahnen direkt bzw. über entsprechende Durchkontaktierungen verbunden. Im Gehäuse ist eine Bohrung 5 vorgesehen. An sie wird eine nicht dargestellte Druckluftzuführung angeschlossen. Die Vorrichtung ist Bestandteil einer Positioniervorrichtung. Mit ihr werden die Kontakthügel 3 der Folie 2 exakt über den Anschlußflächen des zu prüfenden Bauelements positioniert. Nach Beendigung der Positionierung liegen die Kontakthügel 3 dicht über den Anschlußflächen. Vorrichtung und Bauelement werden in dieser Lagefixiert. Danach wird die Druckluft angeschlossen. Der sich in der Vorrichtung aufbauende Druck gewährleistet, daß jeder Kontakthügel 3 an „seiner" Anschlußfläche anliegt.

Claims (3)

1. Prüfadapter mit Mitteln zu seiner Positionierung und Anschlüssen zu einem Prüfgerät zur Meßwerterfassung von integrierten Schaltkreisen oder anderen elektronischen Bauelementen oder deren Anschlußelementen, gekennzeichnet dadurch, daß auf einem einseitig geschlossenen Gehäuse (1) eine Folie (2) gespannt ist, außen auf der Folie (2) Kontakthügel (3) vorgesehen und die Kontakthügel (3) über Leiterzüge mit den Anschlüssen (4) zum Prüfgerät elektrisch verbunden sind und an das Gehäuse über eine Bohrung (5) ein Druckmedium anschließbar ist.

2. Prüfadapter nach Anspruch !,gekennzeichnet dadurch, daß die Folie (2) als ein-oder mehrschichtige flexible Leiterplatte ausgebildet ist.

3. Prüfadapter nach Anspruch !,gekennzeichnet dadurch, daß die Folie (2) in einem auf dem Gehäuse montierten Rahmen gespannt ist.