DD254398A1 - Vakuumschleuse fuer folienband - Google Patents

Abstract

Vakuumschleuse fuer Folienband mit Rollenfuehrung zwischen den einzelnen Kammern einer Mehrkammeranlage. Die Vakuumschleuse besteht aus mindestens einer zweiseitig gelagerten Rolle zum Folientransport. Das Wesentliche der Erfindung ist, dass die Rolle von einem Rohr eingehuellt ist, das im Mantel Oeffnungen zum Ein- und Ausfuehren der Folie sowie zur Folienbearbeitung aufweist und dass das Rohr auf den Lagergehaeusen der Rolle mit konzentrischem Spalt zu dieser fixiert ist. Es ist vorteilhaft, dass das Rohr beidseitig auf je einer Huelse koaxial befestigt ist, dass die Huelsen auf je einem Lagergehaeuse der Rolle axial verschiebbar gefuehrt sind und mittels je einem Gewindering gemeinsam mit dem Rohr axial in parallelen, die Lagergehaeuse aufnehmenden Gefaesswaenden verspannt sind. Fig. 2

Description

Hierzu 2 Seiten Zeichnungen

Anwendungsgebiet der Erfindung

Die Erfindung betrifft eine Vakuumschleuse für Folienband mit Rollenführung. Der Einsatz der Vakuumschleuse erfolgt zwischen den einzelnen Kammern einer Mehrkammeranlage.

Charakteristik der bekannten technischen Lösungen

Es ist bereits eine eine Rollenführung enthaltende Vakuumschleuse bekannt, die mit zwei gekrümmten, an der Kammerwand befestigten Flächen versehen ist (DE-PS 250702).

Der zwischen Rolle und gekrümmten Flächen entstehende Spalt weist bei Lösungen dieser Art eine Weite von ca. 1 mm und mehr auf. Die axiale Abdichtung der Vakuumschleuse ist nicht berücksichtigt. Der erzielbare Vakuumleitwert befriedigt nicht.

Es ist auch eine Vakuumschleuse bekannt, bei der die Abdichtung durch eine Dichtflüssigkeit erfolgt (DRP 530092). Bei relativ hohem Dampfdruck der Dichtflüssigkeit wirkt diese nachteilig auf den erwünschten Betriebsdruck der Vakuumkammer. Eine .

Benetzung des Folienbandes stört die technologischen Prozesse in der Vakuumkammer.

Bekannt sind auch Vakuumschleusen, die mittels zweier paralleler, unter Vorspannung stehender Rollen das Band transportieren, wobei die nach außen liegenden Rollenflächen durch gleitende Dichtlippen abgedichtet werden (DD-

Diese Bauart weist ein hohes Trägheitsmoment beim Beschleunigen der Folie auf und schließt Beschädigungen der Folie nicht

Außerdem sind Mehrstufenschleusen mit entsprechenden differentiellen Pumpeinrichtungen bekannt (DE-OS 1521520).

Mit diesen Mehrstufenschleusen wird ein Vakuumleitwert <1¹A erreicht, sie sind aber technisch sehr aufwendig und nicht genügend zuverlässig.

Ziel der Erfindung

Das Ziel der Erfindung ist eine zuverlässig arbeitende Vakuumschleuse für Folienband mit niedrigem technischen Aufwand.

Darlegung des Wesens der Erfindung

DerErfindung liegt die Aufgabe zugrunde,eine Vakuumschleuse zum kontinuierlichen Schleusen von Folienband zwischen einer Feinvakuumkammer und einer Hochvakuumkammer zu entwickeln, wobei ein Vakuumleitwert von < 1 l/s erreicht werden soll ohne differentielle Pumpeinrichtungen einzusetzen.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß die das Folienband führende Rolle von einem Rohr konzentrisch umschlossen ist.

Das Rohr weist schlitzförmige Öffnungen zum Ein- und Ausführen des Folienbandes auf der Feinvakuumseite und zur Bestrahlung oder anderen technologischen Behandlungen auf der Hochvakuumseite auf.

Die Durchmesser von Rohrund Rolle sind so gewählt, daß ein Spalt von höchstens 0,2 mm zwischen beiden verbleibt.

Um die konzentrische Lage des Spaltes in allen Betriebsregimes zu sichern, wird das Rohr auf den beiden Lagergehäusen der Rolle geführt und fixiert. Die Öffnung des Rohres zur Hochvakuumkammer ist mit der Trennwand zwischen beiden Kammern elastisch und hinreichend dicht verbunden. Die Rolle kann beidseitig im oder außerhalb des Vakuumraumes gelagert sein, wobei das gesamte System in einem Feinvakuumraum montiert sein sollte.

Ausführungsbeispiel

Die Erfindung wird nachfolgend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert. In der zugehörigen Zeichnung zeigen Fig. 1 die Anordnung der Vakuumschleuse in der Wickelkammer und Fig.2 einen Teilschnitt der Vakuumschleuse. Die Vakuumschleuse 1 ist in der Wickelkammer 2 angeordnet. Die Verbindung ist durch die Trennwand 3 zur Bestrahlungskammer 4 gegeben. In der Wickelkammer 2 sind außer der Schleuse 1 die Abwickelrolle 5, die Aufwickelrolle 6, die beiden Führungsrollen 7 und 8 und die übungseinrichtung 9 eingebaut. In der Trennwand 3 ist für je eine Richtung ein Druckausgleichventil 10 vorhanden. Diese sorgen ab einer Druckdifferenz >50 mbar für Druckausgleich zwischen der Wickelkammer 2 und der Bestrahlungskammer 4, um im Fall einer einseitigen Belüftung eine übermäßige Deformation der Trennwand 3 zu verhindern.

Die Vakuumschleuse 1 besteht aus der Rolle 11, deren Zylinder aus gehärtetem Aluminium gefertigt ist und den zugehörigen Lagersystemen 12. Diese sind jeweils in der Kammerwand 13 vakuumdicht montiert. Die Lagersysteme 12 sind so aufgebaut, daß die Lager im Ölbad laufen und mit Radialwellendichtringen zur Wickelkammer 2 abgedichtet werden. Das Folienband 14 wird auf der Rolle 11 im Spalt 15 vor dem schlitzförmigen Bestrahlungsfenster vorbeigeführt. Das Bestrahlungsfenster zur Bestrahlungskammer 4 setzt sich aus dem Schlitz 16 im Mantelrohr 17 der Schleuse, einem flachen Rohr 18, im Schlitz 16 eingeschweißt und einem deckungsgleichen Schlitz 19 in der Trennwand 3 zusammen. Die Abdichtung des Bestrahlungsfensters zurWickelkammer 2 erfolgt mit einer nachgiebigen O-Ringdichtung 20. Das Mantelrohr 17 ist mit einem Stabilisierungsring 21 verschweißt. Beide sind aus einem Chrom-Nickel-Stahl gefertigt. Das Mantelrohr 17 hat in seinen beiden Enden je einen Ring 22 aus PTFE oder besser aus Sinterbronze, die als Notlauflager dienen. Die vorgeschlagene Lösung ermöglicht den Bau einer Vakuumschleuse mit vertretbarem technischen Aufwand bei Sicherung eines Vakuumleitwertes von s 1¹A.

Claims (5)

1. Vakuumschleuse für Folienband, bestehend aus mindestens einer zweiseitig gelagerten Rolle zum Folientransport, gekennzeichnet dadurch, daß die Rolle (11) von einem Rohr (18) eingehüllt ist, das im Mantel Öffnungen (15,16) zum Ein- und Ausführen der Folienbearbeitung aufweist und daß das Rohr(18) auf den Lagergehäuse der RoIIe(H) mit konzentrischem Spalt zu dieser fixiert ist.

2. Vakuumschleuse nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß die Öffnung (16) zur Folienbearbeitung kürzer ist als die Länge von Rolle (11) und Rohr (18).

3. Vakuumschleuse nach Anspruch 1 und 2, gekennzeichnet dadurch, daß das Rohr (18) beidseitig auf je einer Hülse koaxial befestigt ist, daß die Hülsen auf je einem Lagergehäuse der Rolle (11) axial verschiebbar geführt sind und mittels je einem Gewindering gemeinsam mit dem Rohr (18) axial in parallelen, die Lagergehäuse aufnehmenden Gefäßwänden verspannt sind.

4. Vakuumschleuse nach Anspruch 1 bis 3, gekennzeichnet dadurch, daß das Rohr (18) an den Innenseiten der Rohrenden Notlauflager aufweist, die aus einem Materialauftrag bestehen, dessen Dicke größer als die Folienstärke ist und etwa 50% der Spaltbreite zwischen Rolle und Rohr beträgt.

5. Vakuumschleuse nach Anspruch 4, gekennzeichnet dadurch, daß die Notlauflager aus einem Gleitlagermetall oder PTFE bestehen.