DD211018A1 - Verfahren zur herstellung flacher plasma-anzeigefelder - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung flacher Anzeigefelder, mit dem ein Getterspiegel schon waehrend der Herstellung der Schichten auf den Einzelplatten aufgebracht und sofort anschliessend mitsamt der Verguetungsschicht durch eine Schutzschicht gegen einen spaeteren Luftzutritt abgedeckt wird. Aufgabe und Ziel der Erfindung ist es, einen zusaetzlichen Glasstutzen auf der Rueckseite des Anzeigefeldes zu vermeiden, ein wirksames Getter an guenstiger Stelle innerhalb des aktiven Volumens unterzubringen, Zwischenlagerprozesse und weitere Bearbeitungen an normaler Atomsphaere zu ermoeglichen und dann insgesamt bessere elektro-optische Kenndaten sowie Lebensdauer zu erreichen. Erfindundungsgemaess wird dies dadurch erreicht, d. zunaechst auf d. gereinigten Glasplatten d. ueblichen Leiter- u. Isolierschichten aufgebracht werden, dann unter Verwendung entsprechend geformter Masken d. Verguetungsschicht und das Getter. Danach wird in geeigneter Atomsphaere eine Schutzschicht aufgebracht, die nach Durchlauf aller folgenden Zwischenprozesse und -lagerungen erst unmittelbar vor dem Hermetisieren im Vakuum rueckstandslos beseitigt wird. Die Verguetungsschicht und das Getter, erfindungsgemaess hergestellt und geschuetzt, sichern eine wesentlich verbesserte Qualitaet des Anzeigefeldes.

Description

Titel der Erfindung

Verfahren zur Herstellung flacher Plasraa-Anzsigefeider

Anwendungsgebiet der Erfindung

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung flacher Plasma-Anzeigefelder, wie sie vorwiegend für die Darstellung alphanumerischer Zeichen und grafischer Informationen Verwendung finden.

Charakteristik der bekannten technischen Lösungen

AC-Plasma-Anzeigefeider bestehen im allgemeinen aus zwei parallel zueinander angeordneten und in einer Randzone miteinander verlöteten Glasplatten, die einen Zwischenraum von einigen Zehntel Millimetern, der mit einem Gasgemisch gefüllt ist, hermetisch umschließen. Beide Glasplatten tragen entsprechend strukturierte Elektroden und weitere funktionell notwendige Schichten. Den Entladungsraum begrenzt auf beiden Platten eine sekundär-emittierende Schicht, z. B. aus HgO, die den Wirkungsgrad der Entladung deutlich verstärkt. Fertigungstechnisch ist es ira allgemeinen notwendig, die mit der MgO-Schicht versehenen Platten nochmals der atmosphärischen Luft auszusetzen,

weil Zwischenlagerungen und bestimmte weitere Arbeitsgänge notwendig sind. Für das Getter muß ein Ansatz auf der Rückseite des Anzeigefeldes angebracht sein*

Diesem bekannten Herstellungsverfahren haften einige Mangel an, die einer wirtschaftlichen Produktion entgegenstehen und die elektro-optischen Daten verschlechtern:

1. Oie einzelnen Verfahrensschritte laufen in verschiedenen Apparaturen nacheinander ab« Zwischentransporte und -lagerungen sind erforderlich, und dabei werden vor allem die gegen Atmosphäreneinfluß empfindlichen Schichten, z. B» die MgO-Vergütungsschicht, nachteilig verändert.

2. Das Getter kann erst nach der letzten Evakuierung aktiviert werden. Es muß deshalb dort angebracht sein, wo eine separate Erwärmung möglich ist, und das Niederschlagen bzw. Abpumpen der Abprodukte ohne Nachteile für die spätere Funktion des Anzeigefeldes erfolgen kann. Das läßt sich nur in einem Ansatz auf der Rückseite, meist in Verbindung mit dem Pumpstutzen, realisieren, wodurch das Anzeigefeld auch nicht wirklich flach ist.

Ziel der Erfindung

Ziel der Erfindung ist ein Herstellungsverfahren für Plasma-Anzeigefelder, das die vorgenannten Nachteile vermeidet. Der Produktionsdurchlauf bei solchen Anzeigefeldern wird dadurch besser beherrschbar, z. B. wird die Durchführung von Zwischenlagerungen möglich, und der Gebrauchswert sowie die Lebensdauer der Anzeigefelder erhöhen sich.

Darlegung des Wesens der Erfindung

Aufgabe der Erfindung ist es, bei Vermeidung eines zusätzlichen Glasstutzens auf der Rückseite des Anzeigefeldes« ein wirksames Getter an günstiger Stelle innerhalb des aktiven Volumens unterzubringen, Zwischenlagerprozesse und weitere Bearbeitungen bei normaler Atmosphäre zu ermöglichen mit dem Ziel, bessere elektro-optische Kenndaten sowie eine höhere Lebensdauer der Anzeigefelder zu erreichen.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß

die schon mit Leiterbahnen und isolierenden Schichten versehenen Vorder- und Rückplatten unter definierter Atmosphäre bei Verwendung entsprechender Abdeckmasken zunächst mit einer Vergütungsschicht, dann aber schon mit einem Getterspiegel und sofort anschließend mit einer abdeckenden Schutzschicht versehen werden, die das weitere Bearbeiten und das Lagern der Platten an normaler Atmosphäre ohne Schaden für die aktiven Schichten ermöglicht und die vor der Hermetisierung im Vakuum rückstandslos im

Vakuum beseitigt wird.

Die definierte Atmosphäre ist vorzugsweise Vakuum oder ein Schutzgas, beispielsweise Argon. Die erfindungsgemäße Schutzschicht muß depolymerlsierbär sein und kann z. B. aus Methacrylat bestehen.

AusfDhrungsbeispiel

die Erfindung soll nachstehend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden. Die Herstellung von Plasma-Anzeigefeldern erfolgt erfindungsgemäß wie folgt:

1. Auf die gereinigten Substratplatten werden, unter Verwendung entsprechender Masken, die Leiterstrukturen und dielektrischen Schichten aufgebracht. Anschließend wird der Glaslotrand aufgebracht und aufgeschmolzen.

2, Dann wird im Hochvakuum eine MgO-Vergütungsschicht auf beide Glasplatten aufgedampft. Dabei wird durch geeignete Wechselmasken der Rand der Substratplatten von der Bedampfung ausgenommen.

3. Ebenfalls im Hochvakuum wird anschließend aus einem anderen Verdampfertiegel in den Zwischenraum zwischen aktiver Fläche und Glaslotrand unter Anwendung geeigneter Masken ein Getterspiegel aufgedampft, so daß ein Getter mit großer Oberfläche und somit guter Getterwirkung entsteht.

4. In einer geeigneten Schutzgasatmosphäre, z. B. Argon, werden dann die Oberflächen beider Substratplatt.en mit einer Schutzschicht bedeckt. Danach sind eine Belüftung und längere Lagerung der Platten an normaler Atmosphäre möglich.

5. Vor dem nachfolgenden Hermetisieren des Entladungsgefäßes und vor dem Füllen wird unter Vakuum die abdeckende Schutzschicht abgeheizt, wobei die Platten dabei möglichst noch auf einen größeren Abstand auseinandergefahren sind. Darauf folgen die üblichen abschließenden Fertigungsschritte·

Claims (4)

1. -S-

   Erfindungsanspruch

   1. Verfahren zur Herstellung flacher Plasma-Anzeigefelder, die vorzugsweise zur Darstellung alphanumerischer Zeichen und grafischer Informationen Verwendung finden« und bei denen die Vorder- und Rückplatten bereits mit Leiterbahnen und isolierenden Schichten versehen sind, gekennzeichnet dadurch, daß diese Platten unter definierter Atmsophäre zunächst mit einer Vergütungsschicht, dann mit einem Getterspiegel und sofort anschließend mit einer abdeckenden Schutzschicht versehen werden, die das weitere Bearbeiten und das Lagern der Platten an normaler Atmosphäre ohne Schaden für die aktiven Schichten ermöglicht und die vor der Hermetisierung im Vakuum rückstandslos beseitigt wird.
2. 2. Verfahren nach Punkt 1 gekennzeichnet dadurch, daß die definierte Atmosphäre während des Aufbringens der Vergütungsschicht und des Getterspiegels durch Vakuum realisiert wird·
3. 3. Verfahren nach Punkt 1 und 2 gekennzeichnet dadurch, daß die definierte Atmosphäre während des Aufbringens der Schutzschicht durch ein Schutzgas, beispielsweise

   Argon, realisiert wird.
4. 4. Verfahren nach Punkt 1 bis 3 gekennzeichnet dadurch, daß die Schutzschicht depolymerisierbar ist und aus Methacrylat besteht·