DD211018A1

DD211018A1 - METHOD FOR PRODUCING FLAT PLASMA DISPLAY FIELDS

Info

Publication number: DD211018A1
Application number: DD24403182A
Authority: DD
Inventors: Emil Haeussler; Horst Ladwig; Martin Richter; Horst Schmidt
Original assignee: Werk Fernsehelektronik Veb
Priority date: 1982-10-15
Filing date: 1982-10-15
Publication date: 1984-06-27

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung flacher Anzeigefelder, mit dem ein Getterspiegel schon waehrend der Herstellung der Schichten auf den Einzelplatten aufgebracht und sofort anschliessend mitsamt der Verguetungsschicht durch eine Schutzschicht gegen einen spaeteren Luftzutritt abgedeckt wird. Aufgabe und Ziel der Erfindung ist es, einen zusaetzlichen Glasstutzen auf der Rueckseite des Anzeigefeldes zu vermeiden, ein wirksames Getter an guenstiger Stelle innerhalb des aktiven Volumens unterzubringen, Zwischenlagerprozesse und weitere Bearbeitungen an normaler Atomsphaere zu ermoeglichen und dann insgesamt bessere elektro-optische Kenndaten sowie Lebensdauer zu erreichen. Erfindundungsgemaess wird dies dadurch erreicht, d. zunaechst auf d. gereinigten Glasplatten d. ueblichen Leiter- u. Isolierschichten aufgebracht werden, dann unter Verwendung entsprechend geformter Masken d. Verguetungsschicht und das Getter. Danach wird in geeigneter Atomsphaere eine Schutzschicht aufgebracht, die nach Durchlauf aller folgenden Zwischenprozesse und -lagerungen erst unmittelbar vor dem Hermetisieren im Vakuum rueckstandslos beseitigt wird. Die Verguetungsschicht und das Getter, erfindungsgemaess hergestellt und geschuetzt, sichern eine wesentlich verbesserte Qualitaet des Anzeigefeldes.The invention relates to a method for producing flat display panels, with which a getter is already applied during the production of the layers on the individual plates and immediately afterwards, together with the Verguetungsschicht is covered by a protective layer against a later air access. The object and purpose of the invention is to avoid an additional glass nozzle on the back of the display panel, to accommodate an effective getter at a favorable location within the active volume, to allow intermediate storage processes and further processing on normal atomic spheres and then overall better electro-optical characteristics and lifetime to reach. According to the invention this is achieved by d. first on d. cleaned glass plates d. usual ladder u. Insulating layers are applied, then using appropriately shaped masks d. Verguetungsschicht and the getter. Thereafter, a protective layer is applied in a suitable atomic phase which, after passing through all the following intermediate processes and storage, is removed without any residue until it has hermetically cured. The Verguetungsschicht and the getter, produced and protected according to the invention, ensure a significantly improved quality of the display panel.

Description

Titel der ErfindungTitle of the invention

Verfahren zur Herstellung flacher Plasraa-AnzsigefeiderProcess for the preparation of flat Plasraa szsigefeider

Anwendungsgebiet der ErfindungField of application of the invention

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung flacher Plasma-Anzeigefelder, wie sie vorwiegend für die Darstellung alphanumerischer Zeichen und grafischer Informationen Verwendung finden.The invention relates to a method for producing flat plasma display panels, as they are mainly used for the representation of alphanumeric characters and graphical information.

Charakteristik der bekannten technischen LösungenCharacteristic of the known technical solutions

AC-Plasma-Anzeigefeider bestehen im allgemeinen aus zwei parallel zueinander angeordneten und in einer Randzone miteinander verlöteten Glasplatten, die einen Zwischenraum von einigen Zehntel Millimetern, der mit einem Gasgemisch gefüllt ist, hermetisch umschließen. Beide Glasplatten tragen entsprechend strukturierte Elektroden und weitere funktionell notwendige Schichten. Den Entladungsraum begrenzt auf beiden Platten eine sekundär-emittierende Schicht, z. B. aus HgO, die den Wirkungsgrad der Entladung deutlich verstärkt. Fertigungstechnisch ist es ira allgemeinen notwendig, die mit der MgO-Schicht versehenen Platten nochmals der atmosphärischen Luft auszusetzen,AC plasma display screens generally consist of two glass plates arranged parallel to one another and soldered together in an edge zone, which hermetically enclose a space of a few tenths of a millimeter filled with a gas mixture. Both glass plates carry correspondingly structured electrodes and other functionally necessary layers. The discharge space bounded on both plates, a secondary-emitting layer, for. B. from HgO, which significantly increases the efficiency of the discharge. In terms of production technology, it is generally necessary to expose the plates provided with the MgO layer to the atmospheric air again,

weil Zwischenlagerungen und bestimmte weitere Arbeitsgänge notwendig sind. Für das Getter muß ein Ansatz auf der Rückseite des Anzeigefeldes angebracht sein*because intermediate storage and certain other operations are necessary. For the getter, an approach must be placed on the back of the display panel *

Diesem bekannten Herstellungsverfahren haften einige Mangel an, die einer wirtschaftlichen Produktion entgegenstehen und die elektro-optischen Daten verschlechtern:This known manufacturing process is susceptible to some shortcomings that preclude economic production and degrade the electro-optical data:

1. Oie einzelnen Verfahrensschritte laufen in verschiedenen Apparaturen nacheinander ab« Zwischentransporte und -lagerungen sind erforderlich, und dabei werden vor allem die gegen Atmosphäreneinfluß empfindlichen Schichten, z. B» die MgO-Vergütungsschicht, nachteilig verändert.1. Oie individual process steps run sequentially in different apparatuses «Intermediate transports and storage are required, and in particular the sensitive to atmospheric influence layers, eg. B »the MgO coating layer, changed adversely.

2. Das Getter kann erst nach der letzten Evakuierung aktiviert werden. Es muß deshalb dort angebracht sein, wo eine separate Erwärmung möglich ist, und das Niederschlagen bzw. Abpumpen der Abprodukte ohne Nachteile für die spätere Funktion des Anzeigefeldes erfolgen kann. Das läßt sich nur in einem Ansatz auf der Rückseite, meist in Verbindung mit dem Pumpstutzen, realisieren, wodurch das Anzeigefeld auch nicht wirklich flach ist.2. The getter can only be activated after the last evacuation. It must therefore be appropriate where a separate heating is possible, and the precipitation or pumping of the waste products can be done without disadvantages for the subsequent function of the display panel. This can be realized only in one approach on the back, usually in conjunction with the pump neck, whereby the display panel is not really flat.

Object of the invention

Ziel der Erfindung ist ein Herstellungsverfahren für Plasma-Anzeigefelder, das die vorgenannten Nachteile vermeidet. Der Produktionsdurchlauf bei solchen Anzeigefeldern wird dadurch besser beherrschbar, z. B. wird die Durchführung von Zwischenlagerungen möglich, und der Gebrauchswert sowie die Lebensdauer der Anzeigefelder erhöhen sich.The aim of the invention is a production method for plasma display panels, which avoids the aforementioned disadvantages. The production run in such display fields is thus better controlled, z. B. the implementation of intermediate storage is possible, and the utility value and the life of the display panels increase.

Explanation of the essence of the invention

Aufgabe der Erfindung ist es, bei Vermeidung eines zusätzlichen Glasstutzens auf der Rückseite des Anzeigefeldes« ein wirksames Getter an günstiger Stelle innerhalb des aktiven Volumens unterzubringen, Zwischenlagerprozesse und weitere Bearbeitungen bei normaler Atmosphäre zu ermöglichen mit dem Ziel, bessere elektro-optische Kenndaten sowie eine höhere Lebensdauer der Anzeigefelder zu erreichen.The object of the invention is to accommodate an effective getter at a favorable location within the active volume, avoiding an additional glass nozzle on the back of the display panel, allowing intermediate storage processes and further processing in a normal atmosphere with the aim of better electro-optical characteristics and a higher Lifetime of the display panels.

According to the invention, this object is achieved in that

die schon mit Leiterbahnen und isolierenden Schichten versehenen Vorder- und Rückplatten unter definierter Atmosphäre bei Verwendung entsprechender Abdeckmasken zunächst mit einer Vergütungsschicht, dann aber schon mit einem Getterspiegel und sofort anschließend mit einer abdeckenden Schutzschicht versehen werden, die das weitere Bearbeiten und das Lagern der Platten an normaler Atmosphäre ohne Schaden für die aktiven Schichten ermöglicht und die vor der Hermetisierung im Vakuum rückstandslos imthe already provided with traces and insulating layers front and back panels under a defined atmosphere using appropriate Abdeckmasken first with a coating layer, but then already with a getter and immediately afterwards provided with a covering protective layer, the further processing and storage of the plates normal atmosphere without causing damage to the active layers and the residue in the vacuum before the Hermetisierung in the vacuum

Vacuum is eliminated.

Die definierte Atmosphäre ist vorzugsweise Vakuum oder ein Schutzgas, beispielsweise Argon. Die erfindungsgemäße Schutzschicht muß depolymerlsierbär sein und kann z. B. aus Methacrylat bestehen.The defined atmosphere is preferably a vacuum or a protective gas, for example argon. The protective layer of the invention must be depolymerlsierbär and z. B. consist of methacrylate.

AusfDhrungsbeispiel

die Erfindung soll nachstehend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden. Die Herstellung von Plasma-Anzeigefeldern erfolgt erfindungsgemäß wie folgt:The invention will be explained in more detail below using an exemplary embodiment. The production of plasma display panels according to the invention is as follows:

1. Auf die gereinigten Substratplatten werden, unter Verwendung entsprechender Masken, die Leiterstrukturen und dielektrischen Schichten aufgebracht. Anschließend wird der Glaslotrand aufgebracht und aufgeschmolzen.1. On the cleaned substrate plates, the conductor structures and dielectric layers are applied using appropriate masks. Subsequently, the glass solder edge is applied and melted.

2, Dann wird im Hochvakuum eine MgO-Vergütungsschicht auf beide Glasplatten aufgedampft. Dabei wird durch geeignete Wechselmasken der Rand der Substratplatten von der Bedampfung ausgenommen.2, Then in a high vacuum, a MgO-coating layer is evaporated on both glass plates. In this case, the edges of the substrate plates are excluded from the vapor deposition by suitable change masks.

3. Ebenfalls im Hochvakuum wird anschließend aus einem anderen Verdampfertiegel in den Zwischenraum zwischen aktiver Fläche und Glaslotrand unter Anwendung geeigneter Masken ein Getterspiegel aufgedampft, so daß ein Getter mit großer Oberfläche und somit guter Getterwirkung entsteht.3. Also in a high vacuum, a getter is then evaporated from another evaporator crucible in the space between the active surface and glass solder edge using suitable masks, so that a getter with a large surface and thus good getter effect.

4. In einer geeigneten Schutzgasatmosphäre, z. B. Argon, werden dann die Oberflächen beider Substratplatt.en mit einer Schutzschicht bedeckt. Danach sind eine Belüftung und längere Lagerung der Platten an normaler Atmosphäre möglich.4. In a suitable inert gas atmosphere, for. As argon, then the surfaces of Substratpolatt.en are covered with a protective layer. Thereafter, aeration and longer storage of the plates in a normal atmosphere are possible.

5. Vor dem nachfolgenden Hermetisieren des Entladungsgefäßes und vor dem Füllen wird unter Vakuum die abdeckende Schutzschicht abgeheizt, wobei die Platten dabei möglichst noch auf einen größeren Abstand auseinandergefahren sind. Darauf folgen die üblichen abschließenden Fertigungsschritte·5. Before the subsequent hermetizing of the discharge vessel and before filling the covering protective layer is heated under vacuum, wherein the plates are as far as possible moved apart to a greater distance. This is followed by the usual final production steps ·

Claims

-S--S

invention claim

1. A method for producing flat plasma display panels, which are preferably used to display alphanumeric characters and graphical information use «and in which the front and rear panels are already provided with tracks and insulating layers, characterized in that these plates under defined Atmsophäre first with a tempering layer, then provided with a gettering mirror and immediately thereafter with a covering protective layer, which allows the further processing and storage of the plates in normal atmosphere without damage to the active layers and is removed without residue in the vacuum prior to hermeticization.

2. The method according to item 1, characterized in that the defined atmosphere during the application of the coating layer and the getter mirror is realized by vacuum ·

3. The method according to item 1 and 2, characterized in that the defined atmosphere during the application of the protective layer by a protective gas, for example

Argon, is realized.

4. The method according to item 1 to 3, characterized in that the protective layer is depolymerizable and consists of methacrylate ·