DD154584A5

DD154584A5 - Duese zum kontinuierlichen ablagern einer schicht aus einem feststoff auf einem substrat

Info

Publication number: DD154584A5
Application number: DD80225360A
Authority: DD
Inventors: Reinhard Kalbskopf; Otto Baumberger
Original assignee: Siv Soc Italiana Vetro
Priority date: 1979-11-21
Filing date: 1980-11-20
Publication date: 1982-04-07
Also published as: JPS6148988B2; CS797580A2; SU1187705A3; DE3066643D1; MX153336A; EP0029809A1; PL227980A1; TR21534A; KR830004448A; KR860000024Y1; CA1150749A; AU544964B2; IT1134153B; US4361284A; ZA807242B; CS274255B2; AU6440480A; IT8025742A0; JPS5687451A; PL129254B1

Abstract

Diese Duese umfasst drei Kammern (7,8,9) zur Zufuhr von Gas,die mit drei prismatischen Raeumen (14a,b,c) in Verbindung stehen, die auf einen Verteilerschlitz zu zusammenlaufen, der durch Laengsbaender (15,16) in drei Teile geteilt ist,die an ihren beiden Enden gespannt sind und gegen Auflageflaechen anliegen, die ihnen ihre entsprechenden Schraegen verleihen und am abgestumpften Scheitelpunkt eines prismatischen Raums (14) zentriert sind. Diese Anordnung erlaubt es, einen gleichmaessigen Abstand der Verteilerschlitze der Raeume (14a,b,c) aufrechtzuerhalten gleichgueltig, wie lang die Duese ist. Diese Duese ist insbesondere fuer die Beschichtung von Substraten nach dem C.V.D.-Verfahren bestimmt.

Description

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Düse zum kontinuierlichen Ablagern einer Schicht aus einem Feststof^f^auf einem Substrat

Anwendungsgebiet aer Erfindung

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Düse zum kontinuierlichen Ablagern einer Schicht aus einem Feststoff auf einem Substrat durch Reaktion mindestens zweier Reaktionsmittel in Gasform oder in Suspension in einem Gas und wird in der industriellen Chemie angewendet.

Charakteristik der bekannten technischen Lösungen

Bs ist bereits die Durchführung einer kontinuierlichen Ablagerung einer Schicht aus einem Feststoff durch Reaktion zweier gasförmiger Reaktionsmittel auf einem relativ breiten Substrat, insbesondere einem flachen Glasband, vorgeschlagen worden.

Dieses Verfahren ist unter der Abkürzung C.V.D» der engli- -'. sehen Bezeichnung "Chemical Vapor Deposition", bekannt. So lagert man mittels dieses Verfahrens dünne durchsichtige Schichten aus SnO₂ oder TiO₂ durch Reaktion von SnCl . bzw. TiCl. und H^O ab, die in einem Trägergas verdünnt und in Berührung mit der Oberfläche des vorher auf eine Temperatur in der Größenordnung von 400 ⁰C bis 600 ⁰C erhitzten Glases gebracht worden sind.

Nach dem bekannten Stand der Technik wird eine Düse mit drei geradlinigen nebeneinanderliegenden Schlitzen angewendet, deren die Längskanten eines jeden Schlitzes begrenzende Sei-

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tenwände zu einer gemeinsamen Linie hin zusammenlaufen. Die am Ausgang dieser Schlitze gebildeten Ströme erweisen sich als drei deutliche wirbelfreie Strömungen, die auf das Substrat geschleudert werden und durch gegenseitigen tangentialen Kontakt zueinander gelangen. Um diese Ströme in tangentialen Kontakt miteinander zu bringen, müssen die die verschiedenen Schlitze trennenden Wände außerordentlich dünn sein und insbesondere am Auslaß dieser Ströme Kanten bilden, die so scharf wie möglich sind« Die Herstellung einer solchen Düse auf eine Länge von beispielsweise bis zu drei Metern stellt vom Gesichtspunkt der Herstellung her außerordentlich komplexe Probleme» Es ist erforderlich, daß die Breite eines jeden der Schlitze der Düse über ihre gesamte Länge hin vollkommen konstant ist, weil anderenfalls die Proportion der verteilten Gase nicht gleichmäßig wäre und sich durch eine nicht homogene Stoffablagerung äußern würde« Nicht nur, daß eine solche Düse bei der Formgebung Schwierigkeiten bietet, auch ihre Arbeitstemperatur, die um 110 ⁰C herum liegt, stellt einen weiteren Faktor dar, der den Abstand der Schlitze der Düse und insbesondere die Gleichmäßigkeit dieses Abstandes verändern kann, wodurch die Gefahr besteht, daß die Durchführung des Verfahrens ernsthaft gefährdet wird*

Die Ungleichmäßigkeiten der Schlitze der Düse haben außerordentlich nachteilige Auswirkungen auf die Qualität der Ablagerung. Bei einer Ablagerung von SnO₂ können diese Ungleichmäßigkeiten die Bildung von weißem Pulver auf der Oberfläche des Substrats und am Ausgang der Düse nach sich ziehen, wodurch der Durchgang nach und nach verstopft wird. Eine örtliche Veränderung der Proportion zwischen den Re-

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aktionsgasen kann auch eine Veränderung der Dicke der Schicht nach sich ziehen und auf diese Weise irisierende Reflexe auf der Oberfläche des Glases erzeugen. Da die Zinnoxidschicht aufgebracht wird, um eine elektrisch leitende Schicht zu bilden, die zum Heizen des Glases insbesondere im Hinblick auf seine Enteisung bestimmt ist, macht sich die Ungleichmäßigkeit der Dicke auch durch Veränderung des spezifischen Leitungswiderstandes der Schicht und damit eine ungleichmäßige Verteilung der Heizung bemerkbar. Schließlich zerstören diese örtlichen Veränderungen der Durchflußmenge die stöchiometrischen Bedingungen der Reaktion, so daß man nicht mehr die optimalen Bedingungen für die Durchführung des Verfahrens vereint.

Ziel der Erfindung

Das Ziel der Erfindung ist es, eine Düse zum kontinuierlichen Ablagern einer Schicht aus einem Feststoff auf einem Substrat zu schaffen, die verbesserte Gebrauchswerteigenschaften aufweist und insbesondere kostengünstig in der Herstellung ist.

Darleguηρ des Wesens der Erfindung

Dieser Zielstellung folgt die Aufgabe der Erfindung, nach der eine Düse so zu konstruieren ist, daß keine negative Beeinflusaing der Düsenschlitze durch eine hohe Temperatur im Betrieb erfolgt, Verstopfungen der Düse vermieden werden, ein gleichmäßiger Schichtauftrag entsteht und eine Störung des Gleichgewichts der stöchiometrischen Bedingungen wirksam vermieden wird.

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Zu diesem Zweck ist der Gegenstand dieser Erfindung eine Düse zum kontinuierlichen Ablagern einer Schicht aus einem Feststoff auf einem Substrat durch Reaktion mindestens zweier Reaktionsmittel in Gasform oder in Lösung in einem Gas, die in unmittelbarer Nähe des auf eine nahe der Reaktionstemperatur dieser Reaktionsmittel liegende Temperatur gebrachten Substrats miteinander in Berührung gebracht werden» Für diese Düse wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, daß ihre Düse-Verteileröffnung aus einem Längsschlitz besteht, der seinerseits mittels zweier längsverlaufender Zwischenkanten in drei parallele Spalten unterteilt ist \ daß diese Düse an einem abgestumpften Scheitelpunkt eines prismatischen Raums in Erscheinung tritt, wobei die Zwischenkanten zwei Ränder zweier entsprechender metallischer Bänder bilden, die sich über die gesamte Höhe dieses prismatischen Raumes erstrecken; daß Auflageflächen nahe einem jeden der Enden dieser Bänder angeordnet und so gebildet sind, daß sie ihnen entsprechende Schrägen verleihen, die durch den abgestumpften Scheitelpunkt verlaufen und diesen prismatischen Raum in drei im wesentlichen gleiche prismatische Räume aufteilen, wobei jeder dieser Räume mindestens eine öffnung zum Einlaß eines der Reaktionsmittel aufweist, und wobei jedes dieser Bänder mit seinen entsprechenden Enden mit Mitteln zur Verbringung unter Längsspannung verbunden ist, um sie gegen ihre entsprechenden Auflageflächen anzulegen»

Weiterhin verlaufen erfindungsgemäß eine Vielzahl von regulierbaren Anschlagschrauben durch die beiden Flächen des prismatischen Raums nahe dem abgestumpften Scheitelpunkt, um mit den Abschnitten dieser Bänder in Kontakt zu treten,

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die im wesentlichen auf der Mitte ihrer Breite liegen, um die möglichen Unregelmäßigkeiten in der querverlaufenden Ebenheit dieser Bänder zu korrigieren. Dabei sind die entsprechenden Kanten dieser Bänder gegenüber den die Düse unterteilenden Kanten am Boden des prismatischen Raums gegenüber dem abgestumpften Scheitelpunkt mit Hilfe von Dichtungsmitteln verbunden«

In Fortführung des Erfindungsgedankens sind die entsprechenden öffnungen der prismatischen Räume zur Zuführung der Reaktionsmittel mit einer offenzelligen Schaumschicht aus einem gegen Korrosion resistenten Material auf einer Temperatur in der Größenordnung von 110 ⁰C versehen, um eine gleichmäßige Verteilung der Gase über die gesamte Länge dieser prismatischen Volumen zu gewährleisten. Dabei wirken die Mittel zum Verbringen unter Längsspannung auf die Enden dieser Bänder mittels federnder Kompressionselemente ein.

Nach einem weiteren Merkmal der Erfindung ist der prismatische Raum zwischen einer der Seiten eines Aufteilungsele-' tnentes für die Gase und einem Verteilerelement gebildet, das zwei Profile aufweist, deren Querschnitte die Form von rechtwinkligen Trapezen aufweisen, deren spitze Winkel nebeneinander liegen und spiegelsymmetrisch sind, wobei diese •Profile zwischen sich den Längsspalt begrenzen und jedes von ihnen an dem Verteilerelement mittels federnder Kompressionsorgane angebracht sind, die zwischen einer formschlüssig mit dem Verteilerelement verbundenen Schraube und den entsprechenden Profilen eingesetzt sind, wobei die Dichtungen zwischen diesem Verteilerelement und diesen Profilen eingesetzt sind, und dadurch, daß drei Reihen von Durchlässen in die Fläche des prismatischen Raums einmün-

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den, wobei jeder dieser Durchlässe den einen der durch die Bänder unterteilten prismatischen Räume mit einem Zuführelement verbindet« Weiterhin ist mindestens eines der Enden der Bänder zwischen zwei Klemmbacken eingeklemmt, die mit einer Schraube formschlüssig verbunden sind, die frei durch ein röhrenförmiges Organ verläuft, das mit einem festen Teil der Düse formschlüssig verbunden ist und bei dem der Teil, der aus diesem röhrenförmigen Organ austritt, mit einer Schraube in Eingriff steht, wobei ein federndos Kompressionselement zwischen dieser Schraube und dem Ende des röhrenförmigen Organs eingesetzt ist»

Ausführunqsbeispiei

Die beigefügten Zeichnungen stellen schematisch und in beispielhafter Weise eine Ausführungsform der den Gegenstand der vorliegenden Erfindung bildenden Düse dar·

Fig. 1 ist ein Querschnitt durch die Düse,

Fig. 2 ist ein Querschnitt an einem der Längsenden dieser Düse,

Fig_e 3 ist ein Schnitt entlang der Linie III-III der Fig. 2_e

Die dargestellte Düse soll so funktionieren, daß das ι s , · beschriebene Verfahren durchgeführt wird« Infolgedessen ist die Gesamtheit der vorgesehenen Einrichtung zum Speisen der

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Düse mit Reaktionsgas und zum Verschieben des Substrats gegenüber der Düse nicht in den Rahmen dieser Beschreibung aufgenommen worden, da diese Elemente aus dem Rahmen der vorliegenden Erfindung herausfallen, die sich insbesondere auf eine Art der Herstellung der Düse bezieht, die die Arbeitsbedingungen des Verfahrens so weit wie möglich den theoretischen Idealbedingungen annähern soll und dies für eine Düse, die geeignet ist, auf einem Substrat von mehreren Metern Breite eine kontinuierliche Beschichtung abzulagern.

In dem dargestellten Beispiel ist der Körper der Düse aus drei Elementen gebildet, dem Zuleitungselement 1, dem Aufteilungselement 2 und dem Verteilerelement 3» Hierbei sind das Zuleitungselement 1 und das Verteilerelement 3 mit Hilfe von Schrauben 4, die auf Belleville-Unterlegscheiben 5 drücken, federnd an dem Aufteilungseleraent 2 befestigt. Zwischen diesen zusammengesetzten Elementen sind Dichtungsteile 6 angeordnet.

Das Zuleitungselement 1 der Düse hat drei Kammern 7; 8 und 9, die sich jeweils über die gesamte Länge des Düsenkörpers erstrecken und jeweils eine Zuleitung aufweisen, wobei nur die Zuleitung 8a der Kammer 8 in Fig. 1 sichtbar ist, weil diese Zuleitungen in Längsrichtung versetzt verlaufen, um die Befestigung ihrer entsprechenden Speiseleitungen zu ermöglichen.

Das Aufteilungselement weist eine Vielzahl von vertikalen Durchlässen IO auf, die jede Kammer 7; 8 und 9 mit dem Verteilerelement 3 verbinden. Einlagen 11 aus einem offenzelligen Schaum aus Teflon (eingetragenes Warenzeichen) sind

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vor den Eingängen sowie am Ausgang der vertikalen Durchlasse 10 angeordnet. Diese Einlagen dienen dazu, starke Ladungsverluste zu erzeugen, um eine gleichmäßige Aufteilung der Gase über die gesamte Länge des Düsenkörpers herzustellen«

Das Verteilerelement weist zwei Profile 12 und 13 auf, deren Querschnitte einem rechtwinkligen Trapez entsprechen und spiegelsymmetrisch in bezug auf die vertikale Mittelebene des Düsenkörpers sind₍ wobei die spitzen Winkel dieser geradlinigen Abschnitte nahe dieser Mittelebene liegen. Die Schrägseiten dieser beiden Trapeze begrenzen zwischen sich einen prismatischen Raum 14_{ dessen dritte Seite durch die untere Fläche des Aufteilungselements 2 geschlossen wird» Die Ausgänge der drei parallelen Durchlässe 10 münden in das Teil der unteren Seite des Aufteilungselements 2, das den prismatischen Raum 14 verschließt»

Dieser Raum 14 ist in drei Teile unterteilt durch zwei Metallbänder 15 und 16, die sich in Längsrichtung über die gesamte Länge des prismatischen Raums 14 erstrecken und quer von der Seite 'des Raums 14, die aus der unteren Seite des Aufteilungselements 2 in Richtung auf den Scheitelpunkt des dieser Seite gegenüberliegenden Prismas gebildet wird. Auf jeden Fall wird dieser Raum 14 durch ein Prisma gebildet, dessen Scheitelpunkt neben den beiden Schrägseiten der beiden rechtwinkligen Trapeze, die aus den beiden geradlinigen Abschnitten der Profile 12 und 13 besteht, abgestumpft ist, so daß die beiden durch die spitzen Winkel dieser Trapeze gebildeten Kanten voneinander getrennt sind und parallel zueinander verlaufen«, Da die Metallbänder 15

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und 16 quer zur abgestumpften Spitze des prismatischen Raums 14 ausgerichtet sind, münden ihre Kanten zwischen den in Abstand befindlichen Kanten der Profile 12 und 13 ein und bilden so drei parallele Verteilerspalte, die jeweils am Auslaß eines der prismatischen Räume 14a; 14b und 14c liegen, die durch die Bänder 15 und 16 in dem Raum gebildet werden. Diese drei Räume 14a; 14b und 14c sind im wesentlichen gleich, und die Metallbänder 15 und 16 sind so angeordnet, daß jeder Raum 14a; 14b und 14c mittels einer der verschiedenen Durchlässe 10 mit den Kammern 7; bzw« 9 in Verbindung steht. Deder Raum 14a; 14b und 14c ist vom daneben liegenden Raum auf dichte Weise durch eine Dichtung 17 bzw. 18 getrennt, die in einer längsverlaufenden Nut 19 bzw, 20 angeordnet ist, wobei in jede dieser eine der Längskanten der Metallbänder 15 bzw. 16 eingebracht ist. Zwei mit Schrauben 23 befestigte Spannbänder 21 und 22 drücken die Dichtungen 17 bzw, 18 in die Nuten bzw. 20. Auf diese Weise werden die Längskanten der Metallbänder 15 und 16 zwischen dem Rand der Nuten 19 und 20 und den Dichtungen 17 und 18 eingespannt.

Der Düsenkörper wird weiterhin von einem ülzirkulationskreis durchlaufen, von dem eine Zuleitung 24 und zwei in das Profil 12 bzw. 13 eingebrachte Längskanäle 25 und 26 dargestellt sind. Diese ölzirkulation ist an ein Außensystem für die Thermostabilisierung des Düsenkörpers so angeschlossen, daß seine Temperatur auf etwa 110 ⁰C gehalten wird.

Die Fig. 2 und 3 zeigen Führungs- und Befestigungsmittel für die Metallbänder 15 und 16 an den beiden Enden des Düsenkörpers» Oedes Metallband 15 bzw. 16 liegt an einer Auf-

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lagefläche 27 bzw* 28 an, die diesen Metallbändern 15 bzw, 16 ihre entsprechende Schräge geben sollen, so daß sie den prismatischen Raum 14 in drei im wesentlichen gleiche Räume aufteilen und in Querrichtung diese Bänder so ausrichten, daß ihre Verlängerungen durch den abgestumpften Scheitelpunkt des prismatischen Raums 14 hindurch verlaufen, wodurch die Kanten dieser Bänder zwischen den Kanten der Profile und 13 drei parallele Spalte von gleicher Größe bilden. Die gegenüberliegenden Enden der Metallbänder 15 und 16 liegen an zwei identischen Führungsflächen an, die am anderen Ende des Düsenkörpers angeordnet sind_e Diese Auflageflächen 27 und 28 sind senkrecht an zwei Wänden 35 bzw« 36 befestigt, die in der Verlängerung des Düsenkörpers liegen.

Dedes Ende dieser Bänder ist zwischen zwei durch Schrauben 31 befestigten Klemmbacken 29 und 30 eingespannte Da das Befestigungssystem für die vier Enden der beiden Bänder gleich ist, wird hier nur eine dieser Befestigungen beschrieben. Die eine dieser Klemmbacken 30 ist formschlüssig mit einer Gewindespindel 32 verbunden» die frei durch ein außen mit Gewinde versehenes Rohr 33 hindurch in Eingriff steht. Dieses Rohr 33 ist in einer Platte 34 verschraubt, die an den beiden Wänden 35 und 36 befestigt ist, welche in der Verlängerung der Profile 12 bzw, 13 liegen und die AuflagefIächen27 und 28 tragen« Die mit Gewinde versehenen öffnungen, in denen die Rohre 33 verschraubt sind, sind von einer vertikalen Ebene entfernt, die durch den abgestumpften Scheitelpunkt des prismatischen Raums 14 verläuft, und bilden einen Winkel mit dieser Ebene dergestalt, daß der Scheitelpunkt dieses Winkels im wesentlichen auf der Ebene der Auflageflächen 27 und 28 liegt. Eine Mutter 37 ist außerhalb des zwischen den Wänden 35; 36 und der Platte 34 vorhandenen Raums formschlüssig mit dem Rohr 33 verbunden« Eine

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zweite Regelmutter 38 ist am äußeren Ende der Stange 32 aufgeschraubt, und die Belleville-Unterlegscheiben 39 sind so zwischen den Muttern 37 und 38 eingesetzt, daß eine ungewollte Drehung der Regelschraube verhindert wird«

Ein Teil 40 in Dreiecksform, das am Ende des Aufteilungselements 2 eingeschraubt ist, ist zwischen den Auflageflächen 27 und 28 angeordnet und dient zum Schließen des Endes des prismatischen Raums 14.

Auf Grund dieser Zugkraft und des Winkels, mit dem sie auf die Enden der Metallbänder 15 und 16 ausgeübt wird, sind diese dicht gegen die Auflageflächen 27 und 28 angelegt und haben quer die gleiche Schräge wie die Auflageflächen· Da die Genauigkeit der Auflageflächen einen hohen Grad erreichen kann, insbesondere, was die Schräge und die Zentrierung am abgestumpften Scheitelpunkt des prismatischen Raums 14 betrifft, erlaubt das Anlegen der Metallbänder 15 und gegen die Flächen mit einer gewissen Spannung genau die gleiche Stellung entlang der Düse aufrechtzuerhalten, daß der Abstand der drei zwischen den Profilen 12 und 13 angebrachten Verteilerspalte gleichmäßig gehalten wird, und zwar unabhängig von den Fragen der Wärmeausdehnung auf Grund der federnden Zugkräfte, die auf diese Bänder ausgeübt werden.

Korrekturschrauben 41 laufen quer durch die Profile 12 und 13 parallel zu den Parallelseiten ihrer Abschnitte in Form eines rechtwinkligen Trapezes und im wesentlichen in halber Entfernung von diesen beiden Flächen. Diese Korrekturschrauben 41 sollen auf die Metallbänder 15 und 16 einwir-

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ken. Die quergerichtete Ebenheit der Metallbänder 15 und kann nicht vollkommen sein, weil diese Bänder gewaltsam durch Stanzen erzeugt werden. Die Scherkräfte, die im Verlauf dieses Vorganges auftreten, erzeugen eine leichte quergerichtete Verformung des Bandes· Die auf die Bänder ausgeübte Zugkraft neigt dazu, diese Verformung zwischen den beiden Auflageflächen 27 bzw, 28 noch zu betonen, indem sie eine ganz leicht gebogene Form in Querrichtung des Bandes verleiht» Die entlang dem prismatischen Raum 14 verteilten Korrekturschrauben 41 sollen von der konvexen Seite der Metallbänder 15 und 16 her einwirken, die so ausgerichtet sind, daß diese Konvexität von der Seite der Korrekturschrauben 41 umgekehrt wird. Ein leichter Druck dieser Schrauben gegen die Mitte der Bänder, und zwar in gleichmäßigem Abstand über die volle Länge dieser Bänder ermöglicht, die quergerichtete Ebenheit der Bänder wiederherzustellen, ohne im übrigen die Geradlinigkeit der freien Kante dieser an den beiden Enden gespannten Bänder zu beeinträchtigen.

Besondere Sorge ist auf -die Endbearbeitung der Stücke aufzuwenden, die zur Bildung des prismatischen Raums 14 verwendet werden, und auf die der Metallbänder 15 und 16 dieses Raums, insbesondere, was den Zustand der Oberflächen dieser Teile betrifft, damit ein "laminarer" und tangentialer Durchfluß der Gasvorhänge gewährleistet wird, bis sie sich am Scheitelpunkt des prismatischen Raums 14 treffen, ivo die Reaktion stattfinden soll und wo sie mit dem zu beschichtenden Substrat zusammentreffen. Außerdem bestehen alle in Kontakt mit den Reaktionsgasen stehenden Oberflächen aus einem Material, das resistent gegen die durch diese Gase erzeugte Korrosion ist. In diesem Beispiel

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sind alle diese Oberflächen, einschließlich derer der Metallbänder 15 und 16, durch galvanische Ablagerung vergoldet. Die mit Hilfe einer solchen Düse angestellten Versuche erlaubten die Schaffung von Beschichtungen von einer außerordentlich zufriedenstellenden Qualität und Gleichmäßigkeit,

Claims

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Erfindunpsanspruch

!♦ Düse zum kontinuierlichen Ablagern einer Schicht aus einem Feststoff auf einem Substrat durch Reaktion mindestens zweier Reaktionsmittel in Gasform oder in Lösung in einem Gas, die unmittelbar in der Nähe des auf eine nahe der Reaktionstemperatur dieser Reaktionsmittel liegenden Temperatur gebrachten Substrats aneinander gebracht werden, gekennzeichnet dadurch, daß die Verteileröffnung dieser Düse aus einem Längsschlitz besteht, der seinerseits mittels zweier in Längsrichtung verlaufender Zwischenkanten in drei parallele Spalte unterteilt ist; daß diese Düse an einem abgestumpften Scheitelpunkt eines prismatischen Raums in Erscheinung tritt, wobei die Zwischenkanten zwei Ränder zweier entsprechender metallischer Bänder bilden, die sich über die gesamte Höhe dieses prismatischen Raums erstrecken; daß Auflageflächen nahe einem jeden der Enden dieser Bänder angeordnet und so gebildet sind, daß sie ihnen entsprechende Schrägen verleihen, die durch den abgestumpften Scheitelpunkt verlaufen und diesen prismatischen Raum in drei im wesentlichen gleiche prismatische Räume unterteilen, wobei jeder dieser Räume mindestens eine öffnung zum Einlaß eines der Reaktionsmittel aufweist, und wobei jedes dieser Bänder mit seinen entsprechenden Enden mit Mitteln zur Verbringung unter Längsspannung verbunden ist, um sie gegen ihre entsprechenden Auflageflächen anzulegen.

2. Düse nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß eine Vielzahl von regulierbaren Anschlagschrauben durch die

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beiden Flächen des prismatischen Raums verlaufen nahe dem abgestumpften Scheitelpunkt, um mit den Abschnitten dieser Bänder in Kontakt zu treten, die im wesentlichen auf der Mitte ihrer Breite liegen, und um die möglichen Unregelmäßigkeiten in der querverlaufenden Ebenheit dieser Bänder zu korrigieren,

3. Düse nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß die entsprechenden Kanten dieser Bänder gegenüber den die Düse unterteilenden Kanten am Boden des prismatischen Raums - gegenüber dem abgestumpften Scheitelpunkt mit Hilfe von Dichtungsmitteln verbunden sind«

4i Düse nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß die entsprechenden öffnungen der prismatischen Räume zur Zuführung der Reaktionsmittel mit einer offeinzeiligen Schaumschicht aus einem gegen Korrosion resistenten Material auf einer Temperatur in der Größenordnung von 110 ⁰C versehen sind, um eine gleichmäßige Verteilung der Gase über die gesamte Länge dieser prismatischen Volumen zu gewährleisten,

5, Düse nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß die Mittel zum Verbringen unter Längsspannung auf die Enden dieser Bänder mittels federnder Kompressionselemente einwirken,

6. Düse nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß der prismatische Raum zwischen einer der Seiten eines Aufteilungselements für die Gase"und einem Verteilerelement gebildet ist, das zwei Profile aufweist, deren Quer-

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schnitte die Form von rechtwinkligen Trapezen aufweisen, deren spitze Winkel nebeneinander liegen und spiegelsymmetrisch sind, wobei diese Profile zwischen sich den Längsspalt begrenzen und jedes von ihnen an dem Verteilerelement mittels federnder Kompressionsorgane angebracht ist, die zwischen einer formschlüssig mit dem Verteilerelement verbundenen Schraube und den entsprechenden Profilen eingesetzt sind, wobei die Dichtungen zwischen diesem Verteilerelement und diesen Profilen eingesetzt sind, und dadurch, daß drei Reihen von Durchlässen in die Fläche des prismatischen Raums einmünden, wobei jeder dieser Durchlässe den einen der durch die Bänder unterteilten prismatischen Räume mit einem Zuführelement verbindet.

7» Düse nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß mindestens eines der Enden der Bänder zwischen zwei Klemmbacken eingeklemmt ist, die mit einer Schraube formschlüssig verbunden sind, die frei durch ein röhrenförmiges Organ verläuft, das mit einem festen Teil der Düse formschlüssig verbunden ist und bei dem der Teil, der aus diesem röhrenförmigen Organ austritt, mit einer Schraube in Eingriff steht, wobei ein federndes Kompressionselement zwischen dieser Schraube und dem Ende des röhrenförmigen Organs eingesetzt ist.

Hierzu... ..^„Seiten Zeichnungen