CS274255B2 - Jet for pad's continuous coating with solid substance layer - Google Patents
Jet for pad's continuous coating with solid substance layer Download PDFInfo
- Publication number
- CS274255B2 CS274255B2 CS797580A CS797580A CS274255B2 CS 274255 B2 CS274255 B2 CS 274255B2 CS 797580 A CS797580 A CS 797580A CS 797580 A CS797580 A CS 797580A CS 274255 B2 CS274255 B2 CS 274255B2
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- metal strips
- longitudinal
- nozzle
- prismatic
- space
- Prior art date
Links
- 239000007787 solid Substances 0.000 title description 7
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 title description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 51
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 51
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 18
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 9
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000006260 foam Substances 0.000 claims description 5
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims description 3
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 2
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 7
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 5
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 2
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 2
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 229910021626 Tin(II) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 238000010099 solid forming Methods 0.000 description 1
- 235000011150 stannous chloride Nutrition 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- AXZWODMDQAVCJE-UHFFFAOYSA-L tin(II) chloride (anhydrous) Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Sn+2] AXZWODMDQAVCJE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- ZWYDDDAMNQQZHD-UHFFFAOYSA-L titanium(ii) chloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Ti+2] ZWYDDDAMNQQZHD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000009827 uniform distribution Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/12—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the method of spraying
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/453—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating passing the reaction gases through burners or torches, e.g. atmospheric pressure CVD
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
- C03C17/23—Oxides
- C03C17/245—Oxides by deposition from the vapour phase
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
- C03C2217/21—Oxides
- C03C2217/211—SnO2
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
- C03C2217/21—Oxides
- C03C2217/212—TiO2
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2218/00—Methods for coating glass
- C03C2218/10—Deposition methods
- C03C2218/15—Deposition methods from the vapour phase
- C03C2218/152—Deposition methods from the vapour phase by cvd
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Nozzles (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Description
(57) Řešení se týká trysky pro kontinuální povlékání podložky vrstvou pevné látky reakcí alespoň dvou reakčních plynných složek, uváděných do vzájemného styku v bezprostřední blízkosti podložky zahřáté na reakční teplotu uvedených reakčních složek, přičemž výstupní otvor trysky je tvořen podélnou přímou štěrbinou, která je dvěma^podélnými^břity rozdělena na tři paralelní podélné štěrbiny, nacházející se v úrovni zkoseného vrcholu hranolovitého prostoru (14). Podstata řešení spočívá v tom, že uvedené dva podélné břity jsou tvořeny podélnými hranami dvou kovových pásů (15, 16), přičemž uvedené dvě podélné hrany probíhají po celé délce zkoseného vrcholu hranolovitého prostoru (14) a kovové páay spočívají v blízkosti svých konců na opěrných plochách a jsou v této poloze drženy držákovým systémem.
| (11) | |
| (13) | B2 |
| (51) | Int. Cl.5 B 05 B 1/04 |
Vynález se týká trysky pro kontinuální povlékáni podložky vrstvou pevné látky reakcí alespoň dvou reakčních plynných složek nebo reakčních složek suspendovaných v nosném plynu, uváděných do vzájemného styku v bezprostřední blízkosti uvedené podložky zahřáté na reakčni teplotu reakčních složek, přičemž distribuční výstupní otvor uvedené trysky je tvořen přímou podélnou štěrbinou, která je dvěma podélnými mezilehlými břity rozdělena na tři paralelní podélné štěrbiny, nacházející se na zkoseném vrcholu hranolovitého prostoru trysky.
V patentu CH č. 628 600 byl navržen způsob kontinuálního nanášení vrstvy pevné látky na podložku reakcí dvou plynných reakčních složek nebo reakčních složek zředěných nosným plynem, přičemž je možné tímto způsobem povlékat velkoplošné podložky, například skleněné tabule nebo nekonečné páay skla o šířce několika metrů. Jedná se o chemické naprašování. Tímto způsobem se nanášejí tenké průhledné vrstvy, například oxidu cíničitého nebo oxidu titaničitého využitím reakce chloridu cíničitého nebo chloridu titaničitého, které jsou zředěné nosným plynem, s vodou, přičemž se uvedené reakčni složky uvádějí do styku s povrchem podložky, tvořené například sklem, zahřátým na teplotu 400 až 600 °C.
Zařízení k provádění tohoto způsobu obsahuje nanáěecí hlavu obsahující tři přímé, podélné, vzájemně přilehlé dílčí trysky, přičemž roviny, ve kterých leží boční stěny, vymezující tyto trysky, se sbíhají do společné přímky, ležící v rovině povrchu podložky, určeného k nanesení vrstvy pevné látky. Proudy reakčních složek, vytvářené na výstupu z těchto dílčích trysek, jsou tvořeny třemi laminárními proudy, vedenými proti povrchu uvedené podložky a uváděnými takto do reakce vzájemným tangenciálním stykem.
K vytvoření tangenciálního styku musí být stěny oddělující jednotlivé dílčí trysky velmi tenké. Vytvoření takové trysky, mající například délku 3 metry, je značně výrobně náročné. Ve skutečnosti je nutné, aby šířka výstupní štěrbiny každé dílčí trysky byla po celé její délce stejná. Jinak by totiž nebyla stejná množství reakčních plynných složek vystupující z dílčích trysek za časovou jednotku, v důsledku čehož by nebyla nanesená vrstva homogenní v celé své ploše. K problémům souvisejícím s výrobou samotné trysky přistupují ještě problémy pramenící z pracovní teploty této trysky /kolem 110 °C/, Tato relativně vysoká provozní teplota trysky může mít za následek změnu velikosti výstupních štěrbin trysky a narušení jejich přímosti, což by mohlo vážně narušit provádění chemického naprašování.
Nepravidelnosti výstupních štěrbin dílčích trysek mají nepříznivý vliv zejména na jakost nanesené vrstvy, V případě nanášení vrstvy oxidu cíničitého mohou nepravidelnosti způsobit vytvoření bílého prášku na povrchu podložky a na výstupu z dílčích trysek, což by mohlo do značné míry snížit průchodnost dílčích trysek. Lokální změny v poměru reakčních plynných složek mohou mít za následek změny v tlouštce nanesené vrstvy, což se zase odráží ve vzniku nežádoucích odrazů světla na skle povlečeným takovou vrstvou v důsledku lokálních změn v odrazivosti nanesené vrstvy pro viditelnou oblast světla. Pokud se nanáší na sklo vrstva oxidu zinečnatého za účelem vytvoření elektricky vodivé vrstvy, určené k ohřevu skla za účelem jeho odmlžení, potom nepravidelnosti v tloušíce nanesené vrstvy se odrazí v lokálních nepravidelnostech elektrického odporu nanesené vrstvy a tedy i v nestejnoměrném ohřevu takto povlečeného skla.
Výše uvedené nedostatky odstraňuje tryska pro kontinuální povlékáni podložky vrstvou pevné látky reakcí alespoň dvou reakčních plynných složek nebo reakčních složek suspendovaných v nosném plynu, uváděných do vzájemného styku v bezprostřední blízkosti uvedené podložky zahřáté na reakčni teplotu uvedených reakčních složek, přičemž výstupní otvor uvedené trysky je tvořen přímou podélnou štěrbinou, která je dvěma podélnými mezilehlými břity rozdělena na tři paralelní podélné štěrbiny, nacházející se na zkoseném vrcholu hranolovitého prostoru trysky, jejíž podstata spočívá v tom, že uveCS 274255 B2 děné dva podélné mezilehlé břity jsou tvořeny podélnými hranami dvou kovových pásů, přičemž uvedené dvě podélné hrany probíhají po celé délce zkoseného vrcholu hranolovitého prostoru a kovové pásy epočívají v blízkosti svých konců na opěrných plochách, přičemž všechny konce kovových pásů jsou fixovány držákovým systémem, s výhodou tvořeným dvěma upínacími čelistmi pevně spojenými s nosným dříkem opatřeným závitem a pro bíhajícím skrze dutý aretační šroub s vnějším závitem.
V trysce podle vynálezu s výhodou prochází skrze šikmé stěny, vymezující uvedený hranolovitý prostor trysky, množina stavitelných korekčních šroubů, jejichž čela se opírají o uvedené kovové pásy v polovině šířky těchto kovových pásů.
V trysce podle vynálezu jsou s výhodou zbývající podélné hrany kovových pásů, kte ré tvoří protějšek k podélným hranám kovových pásů, dělícím podélnou štěrbinu trysky na tři paralelní výstupní štěrbiny, spojeny se základnou uvedeného hranolovitého prostoru, která tvoří protějšek k uvedenému zkosenému vrcholu hranolovitého prostoru, těs ničími prostředky, výhodně tvořenými těsněními,
V trysce podle vynálezu jsou výhodně jednotlivé vstupní otvory do hranolovitého prostoru, ústící do uvedené základny tohoto hranolovitého prostoru, opatřeny vrstvou pěny s otevřenými póry z materiálu odolného vůči korozi a zvýšené teplotě.
V trysce podle vynálezu jsou s výhodou držákové systémy pro fixování konců kovových pásů připojeny k pružným tlačným prvkům, výhodně tvořeným talířovými pružinami.
Výhodně je tryska podle vynálezu vytvořena tak, že uvedený hranolovitý prostor je tvořen jednou stěnou distribučního členu a dvěma stěnami nanášecího členu, tvořeného dvěma podélnými profily s příčným průřezem ve tvaru pravoúhlého lichoběžníku, při čemž ostré úhly pravoúhlých lichoběžníků k sobě zrcadlově symetricky přiléhají a vymezují mezi sebou uvedenou podélnou štěrbinu a každý z profilů nanášecího členu je připevněn k distribučnímu členu talířovými pružinami, uspořádanými mezi šroubem fixovaným v distribučním členu a profilem nanášecího členu, přičemž mezi distribučním členem a profily nanášecího členu jsou uložena těsnění a do stěny hranolovitého prostoru, tvořené distribučním členem, ÚBtí tři řady svislých průchodů spojujících tři dílčí pro story, vytvořené rozdělením hranolovitého prostoru kovovými pásy, s napájecím členem.
Pokusy se zařízením podle vynálezu umožnily vytvořit povlaky o krajně uspokojivé jakosti i rovnoměrnosti.
Příkladné provedení trysky podle vynálezu je znázorněno na výkresech, kde obr.
znázorňuje svislý příčný řez tryskou podle vynálezu, obr. 2 znázorňuje řez tryskou podle vynálezu v místě jednoho z jejích podélných konců a obr. 3 znázorňuje pohled na koncovou část trysky podle vynálezu ve směru šipek III-III, vyznačených na obr. 2.
Znázorněná tryska je použita k provádění známého chemického naprašování a z tohoto důvodu zde nebude popisována ani soustava pro napájení trysky reakčními plynnými složkami, ani soustava zajišíující transport podložky určené k nanešení vrstvy pod touto tryskou, a to zejména vzhledem k tomu, že se vynález týká pouze tělesného vytvoření samotné trysky.
Tryska podle vynálezu, znázorněna' na obr. 1, se skládá z napájecího členu 1, pod kterým je upevněn distribuční člen 2. Pod tímto distribučním členem 2 je zase šrouby £ s pružnými talířovými pružinami 5 upevněn nanášeei člen _3. Mezi distribučním členem £ a nanášecím členem 3 je uloženo těsnění
Nanášeei člen J má tři komory 7, 8 a 9, přičemž každá z těchto komor 7, 8 a 9 probíhá po celé délce trysky a má přívodní otvor(na obr. 1 je znázorněn pouze přívodní otvor 8a komory 8, neboí přívodní otvory komor 7 a 9 jsou podélně odsazeny, takže je řez na obr. 1 nepostihuje). Distribuční člen 2 obsahuje tři řady svislých průcho3 dň 10, spojujících každou z komor 7, 8 a 9 s nanášecím členem _3. Na začátku i konci svislých průchodů 10 jsou uloženy vrstvy pěny 11 s otevřenými póry, například pěny vy robené z teflonu. Tyto vrstvy pěny slouží k vytvoření tlakového spádu a tím i k dosažení rovnoměrného rozdělení proudů reakčnich složek po celé délce trysky.
Nanášecí člen 3 se skládá ze dvou profilů 12 a 13, jejichž příčný průřez má tvar pravoúhlého lichoběžníka, přičemž oba tyto profily 12 a 13 jsou uloženy zrcadlově symetricky vzhledem ke svislé rovině souměrnosti trysky a ostré úhly uvedených pravoúhlých lichoběžníků přiléhají k uvedené svislé rovině souměrnosti trysky. Šikmé stěny obou profilů 12 a 13 vymezují meziksebou hranolovitý proetor 14, přičemž třetí stěna tohoto hranolovitého prostoru 14 je tvořena částí spodní plochy distribučního členu 2 a do této části spodní plochy distribučního členu 2, uzavírající hranolovitý prostor 14, ústí tři řady svislých průchodů 10.
Hranolovitý prostor 14 je dvěma kovovými pásy 15 a 16, které probíhají podélně po celé délce profilů 12 a 13 a příčně od spodní plochy distribučního členu 2 až ke zkosenému vrcholu hranolovitého prostoru 14, rozdělen na tři dílčí prostory 14a, 14b a 14c stejného objemu. Hranolovitý prostor 14 má tvar hranolu, jehož hrana přilehlá k oběma Šikmým stranám profilů 12 a 13 je zkosena, takže obě hrany tvořené ostrými úhly lichoběžníků profilů 12 a 13 jsou uspořádány rovnoběžně a s určitým rozestupem. Jelikož kovové pásy 15 a 16 jsou nasměrovány ke zkosenému vrcholu hranolovitého prostoru 14, vytváří jejich podélné hrany, ležící mezi hranami profilů 12 a 13, tři navzá jem rovnoběžné výstupní štěrbiny, přičemž každá z výstupních štěrbin je uspořádána vždy na výstupu jednoho ze tří dílčích prostorů 14a, 14b a 14c, které mají stejný objem, přičemž kovové pásy jsou uloženy tak, že každý z dílčích prostorů 14a, 14b a 14c je spojen s jednou řadou svislých průchodů 10 a tím i s jednou z komor 7, 8 a 9. Každý dílčí prostor 14a, 14b a 14c je utěsněn vzhledem k přilehlému dílčímu prostoru, popř. k přilehlým dílčím prostorům těsněním 17 nebo 18, uloženým v podélné drážce 19 nebo 20, ve které je rovněž uložena horní hrana kovového pásu 15 nebo 16. Svěrné pásky 21 a 22, upevněné šrouby 23, tlačí těsnění 17 a 18 do podélných drážek 19 a 20. Tímto způsobem jsou hrany kovových pásů 15 a 16 sevřeny mezi stěnami podélných drážek 19 a 20 a těsněními 17 a 18.
Tryska podle vynálezu je vybavena cirkulací oleje, zahrnující přívodní potrubí 24 a dva podélné kanály 25 a 26, vytvořené v profilech 12 a 13. Tento olejový okruh je napojen na neznázorněnou teplotně regulační soustavu pro udržování teploty trysky asi 110 °C.
Obr. 2 a obr. 3 znázorňují vodicí a upevňovací prostředky kovových pásů 15 a 16, uspořádané na obou podélných koncích trysky. Oba kovové pásy 15 a 16 jsou uloženy na opěrných plochách 27, resp. 28, sloužících k držení kovových pásů 15 a 16 v příslušných šikmých polohách svírajících s vertikálou určitý ostrý úhel, a tím i k rozdělení hranolovitého proetoru 14 na tři dílčí prostory 14a, 14b a 14c, přičemž roviny proložené kovovými pásy 15 a 16 se protínají ve společné přímce a hrany kovových pásů 15 a 16 spoluvytváří ve zkoseném vrcholu hranolovitého prostoru 14 tři stejně široké výstupní štěrbiny. Desky s opěrnými plochami 27 a 28 jsou upevněny kolmo na dvou bočních deskách 35 a 36 upevněných na bocích trysky.
Oba konce kovových pásů 15 a 16 jsou sevřeny vždy mezi dvěma čelistmi 29 a 30 spojenými šrouby 31. První čelist 30 je pevně spojena s nosným dříkem 32 uloženým volně v aretačním šroubu 33 s vnějším závitem. Aretační šroub 33 je zašroubován v čel ní desce 34, připevněné k bočním deskám 35 a 36 trysky. Otvor se závitem, ve kterém je zašroubován aretační šroub 33, má osu skloněnou vůči vertikální rovině procházející zkoseným vrcholem hranolovitého prostoru 14 v určitém úhlu, přičemž vrchol úhlu se nachází v pomyslné hraně styku opěrných ploch 27 a 28 s kovovými pásy 15 a 16, Are tacní šroub 33 má na konci odvráceném od čelní desky 34 hlavu, vytvořenou ve tvaru vroubkovaného nákružku 37. Na volném konci nosného dříku 32 je našroubována regulační matka 38 a mezi ní a nákružkem 37 aretačního šroubu 33 jsou vloženy talířové pružiny 39.
Na konci distribučního členu £ mezi opěrnými plochami 27 a 28 je vložena trojúhelníková deska 40 přišroubovaná k distribučnímu členu £ a uzavírající bok hranolovitého prostoru 14.
S ohledem na tažnou sílu a úhel, pod kterým tato tažná síla působí na konce kovových pásů 15 a 16, jsou tyto kovové pásy 15 a 16 přidržovány u opěrných povrchů 27 a 28 a zaujímají v příčném průřezu stejný sklon jako tyto opěrné plochy 27 a 28. Jelikož opěrné plochy 27 a 28 mohou být vyrobeny s vysokou přesností a s ohledem na skutečnost, že mohou být přesně polohovány vůči zkosenému vrcholu hranolovitého prostoru 14, umožňuje tažná síla talířových pružin držení kovových pásů 15 a 16 ve stejné poloze v celé délce trysky, takže tři výstupní štěrbiny vytvořené mezi hranami profilů 12 a 13 budou mít stálou šířku v důsledku toho, že je zabráněno deformaci volných podélných hran kovových pásů 15 a 16 v dŮBledku pronesení kovových pásů 15 a 16,
Rovnoběžně se spodní plochou profilů 12 a 13 jsou v těchto profilech 12 a 13 zašroubovány korekční šrouby 41 a to tak, že přicházejí do styku s kovovými pásy 15 a 16 přibližně v polovině jejich šířky. Tyto korekční šrouby 41 jsou určeny pro přesné vyrovnání kovových pásů 15 a 16, jejichž přesný rovinný průběh v příčném směru nemůže být dokonalý, neboť kovové pásy 15 a 16 jsou vyrobeny stříháním. Střihové síly, které se uplatňují při vystřižení kovového pásu 15 nebo 16 z tabule plechu, způsobí nepatrnou příčnou deformaci kovových pásů 15 a 16, ještě zvětšenou tahem na kovové pásy 15 a 16, v důsledku čehož mají kovové pásy 15 a 16 mezi opěrnými plochami 27 a 28 mírně zakřivený tvar. Korekční šrouby 41 rozmístěné po celé délce hranolovitého prostoru 14 působí z té strany kovových pásů 15 a 16, na kterou jsou kovové pásy vypouklé. Mírný tlak korekčních šroubů 41, uspořádaných v pravidelných vzdálenostech po celé délce trysky, umožňuje ustavit rovinný tvar kovových pásů 15 a 16, aniž by se tím současně narušila přímočarost výstupních štěrbin trysky tvořených spodními podélnými hranami kovových pásů 15 a 16.
Zvláštní pozornost je třeba věnovat hladkosti povrchu stěn tvořících hranolovitý prostor 14 a kovových pásů 15 a 16 za účelem zaručení laminárního proudění a tangenciálního směru proudů plynných reakčních složek až do jejich vzájemného styku na úrovni zkoseného vrcholu hranolovitého prostoru 14, kde má dojít k příslušné chemické reakci, vytvářející pevnou látku, tvořící nanesenou vrstvu. Všechny povrchy, přicházející do styku s reakčními plynnými složkami, jsou zhotoveny z materiálů odolných vůči korozi, způsobené těmito reakčními plynnými složkami, V daném případě jsou všechny uvedené povrchy, včetně povrchů kovových pásů 15 a £6, galvanicky pozlaceny. Pomocí trysky podle vynálezu byly vytvořeny vrstvy pevné látky, zejména oxidu cíničitého nebo oxidu titaničitého, na podložce, tvořené zejména skleněnou deskou, požadovaných optických, elektrických a mechanických vlastností, přičemž hodnoty vlastností jsou stejné v celé ploše nanesené vrstvy.
PŘEDMĚT VYNÁLEZU
1. Tryska pro kontinuální povlékání podložky vrstvou pevné látky reakcí alespoň dvou reakčních plynných složek nebo reakčních složek suspendovaných v nosném plynu, uváděných do vzájemného styku v bezprostřední blízkosti uvedené podložky zahřáté na teplotu reakce reakčních složek, přičemž výstupní otvor trysky je tvořen podélnou přímou štěrbinou, která je dvěma podélnými břity rozdělena na tři paralelní podélné
Claims (6)
- přímou štěrbinou, která je dvěma podélnými břity rozdělena na tři paralelní podélné štěrbiny, nacházející ee v úrovni zkoseného vrcholu hranolovitého prostoru trysky, vyznačena tím, že uvedené dva podélné břity jsou tvořeny podélnými hranami dvou kovových pásů (15, 16), přičemž uvedené dvě podélné hrany probíhají po celé délce zkoseného vrcholu hranolovitého prostoru (14) a kovové pásy (15, 16) spočívají v blízkosti svých konců na opěrných plochách (27, 28), přičemž všechny konce kovových pásů (15, 16) jsou fixovány držákovým systémem, například tvořeným dvěma upínacími čelistmi (29, 30), pevně spojenými s nosným dříkem (32) opatřeným závitem a probíhajícím skrze dutý aretační šroub (33) a vnějším závitem.
- 2. Tryska podle bodu 1, vyznačená tím, že skrze obě stěny, vymezující hranolovitý prostor (14), prochází množina stavitelných korekčních šroubů (41), jejichž čela se opírají o uvedené kovové pásy (15, 16) v polovině šířky kovových pásů (15, 16).
- 3. Tryska podle hodu 1, vyznačená tím, že zbývající podélné hrany kovových pásů (15, 16), které tvoří protějšek k podélným hranám kovových pásů (15, 16) dělícím podélnou štěrbinu trysky na tři paralelní štěrbiny, Jaou spojeny se základnou hranolovitého prostoru (14), která tvoří protějšek k uvedenému zkosenému vrcholu hranolovitého prostoru (14), těsnicími prostředky, výhodně tvořenými těsněními (17, 18).
- 4. Tryska podle bodu 1, vyznačená tím, že jednotlivé vstupní otvory do hranolovitého prostoru (14) ústící do jeho základny jsou opatřeny vrstvou pěny (11) s otevřenými póry z materiálu odolného vůči korozi a zvýšené teplotě,
- 5. Tryska podle bodu 1, vyznačená tím, že držákové systémy pro fixování konců kovových pásů (15, 16) jsou připojeny k pružným tlačným prvkům, výhodně tvořeným talířovými pružinami (39).
- 6. Tryska podle bodu 1, vyznačená tím, že uvedený hranolovitý prostor (14) je vytvořen jednou stěnou distribučního členu (2) a dvěma stěnami nanášeciho členu (3), tvořeného dvěma podélnými profily (12, 13) s příčným průřezem ve tvaru pravoúhlého lichoběžníku, přičemž ostré úhly těchto pravoúhlých lichoběžníků k sobě zrcadlově symetricky přiléhají a vymezují mezi sebou uvedenou podélnou štěrbinu a každý z profilů (12, 13) nanášeciho členu (3) je připevněn k distribučnímu členu (2) talířovými pružinami (5), uspořádanými mezi šroubem (4) fixovaným v distribučním členu (2) a profilem (12, 13), přičemž mezi distribučním členem (2) a profily (12, 13) nanášeciho členu (3) jsou uložena těanšní (17, 18) a do stěny hranolovitého prostoru (14), tvořené distribučním členem (2), ústí tři řady svislých průchodů (10) spojujícím tři dílčí prostory (14a, 14b, 14c), vytvořené rozdělením hranolovitého prostoru (14) kovovými pásy (15, 16), s napájecím členem (1).2 výkresy /2 /3Obr .· /1
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH1037779 | 1979-11-21 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS797580A2 CS797580A2 (en) | 1990-09-12 |
| CS274255B2 true CS274255B2 (en) | 1991-04-11 |
Family
ID=4362579
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS797580A CS274255B2 (en) | 1979-11-21 | 1980-11-21 | Jet for pad's continuous coating with solid substance layer |
Country Status (16)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4361284A (cs) |
| EP (1) | EP0029809B1 (cs) |
| JP (1) | JPS5687451A (cs) |
| KR (2) | KR830004448A (cs) |
| AU (1) | AU544964B2 (cs) |
| CA (1) | CA1150749A (cs) |
| CS (1) | CS274255B2 (cs) |
| DD (1) | DD154584A5 (cs) |
| DE (1) | DE3066643D1 (cs) |
| ES (1) | ES8107052A1 (cs) |
| IT (1) | IT1134153B (cs) |
| MX (1) | MX153336A (cs) |
| PL (1) | PL129254B1 (cs) |
| SU (1) | SU1187705A3 (cs) |
| TR (1) | TR21534A (cs) |
| ZA (1) | ZA807242B (cs) |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH643469A5 (fr) * | 1981-12-22 | 1984-06-15 | Siv Soc Italiana Vetro | Installation pour deposer en continu, sur la surface d'un substrat porte a haute temperature, une couche d'une matiere solide. |
| US4524718A (en) * | 1982-11-22 | 1985-06-25 | Gordon Roy G | Reactor for continuous coating of glass |
| WO1985002418A1 (en) * | 1983-12-01 | 1985-06-06 | Shatterproof Glass Corporation | Gas distribution system for sputtering cathodes |
| US4928627A (en) * | 1985-12-23 | 1990-05-29 | Atochem North America, Inc. | Apparatus for coating a substrate |
| DE3869793D1 (de) * | 1987-01-27 | 1992-05-14 | Asahi Glass Co Ltd | Gaszufuehrungsrohr fuer die reaktive abscheidung aus der gasphase. |
| US4793282A (en) * | 1987-05-18 | 1988-12-27 | Libbey-Owens-Ford Co. | Distributor beam for chemical vapor deposition on glass |
| US5136975A (en) * | 1990-06-21 | 1992-08-11 | Watkins-Johnson Company | Injector and method for delivering gaseous chemicals to a surface |
| DE4103413C1 (cs) * | 1991-02-05 | 1992-11-12 | Gunter M. 8918 Diessen De Voss | |
| US6379466B1 (en) * | 1992-01-17 | 2002-04-30 | Applied Materials, Inc. | Temperature controlled gas distribution plate |
| FR2724923B1 (fr) * | 1994-09-27 | 1996-12-20 | Saint Gobain Vitrage | Technique de depot de revetements par pyrolyse de composition de gaz precurseur(s) |
| JP3836217B2 (ja) * | 1997-05-21 | 2006-10-25 | 株式会社ベルデックス | 封止液供給器具および方法 |
| CN102154628B (zh) * | 2004-08-02 | 2014-05-07 | 维高仪器股份有限公司 | 用于化学气相沉积反应器的多气体分配喷射器 |
| DE102006043543B4 (de) * | 2006-09-12 | 2012-05-10 | Innovent E.V. | Homogenisator für der Beschichtung von Oberflächen dienende Gasströme |
| DE102006043542B4 (de) * | 2006-09-12 | 2012-05-16 | Innovent E.V. | Verfahren zum Beschichten von Oberflächen |
| EP2097153B1 (en) * | 2006-12-28 | 2017-02-22 | Korea Institute of Industrial Technology | Manufacturing method of filter media for medium and high temperature exhaust gas using foam coating technology |
| JP5116313B2 (ja) * | 2007-02-07 | 2013-01-09 | 東洋刃物株式会社 | 塗布ヘッド |
| KR20110014653A (ko) * | 2008-05-19 | 2011-02-11 | 이 아이 듀폰 디 네모아 앤드 캄파니 | 전자 소자에서 증기 코팅 장치 및 방법 |
| WO2013019285A2 (en) * | 2011-03-23 | 2013-02-07 | Pilkington Group Limited | Apparatus for depositing thin film coatings and method of deposition utilizing such apparatus |
| CN102921600B (zh) * | 2012-11-30 | 2016-04-06 | 贵州贵航汽车零部件股份有限公司 | 涂油机涂油装置 |
| KR102786474B1 (ko) * | 2022-03-31 | 2025-03-27 | 참엔지니어링(주) | 노즐형 증착장치 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3511703A (en) * | 1963-09-20 | 1970-05-12 | Motorola Inc | Method for depositing mixed oxide films containing aluminum oxide |
| GB1282866A (en) | 1968-08-16 | 1972-07-26 | Pilkington Brothers Ltd | Improvements in or relating to the production of glass having desired surface characteristics |
| CH544156A (de) | 1971-04-16 | 1973-11-15 | Bbc Brown Boveri & Cie | Verfahren zur Herstellung von oxydischen Halbleiterschichten und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
| US3970037A (en) * | 1972-12-15 | 1976-07-20 | Ppg Industries, Inc. | Coating composition vaporizer |
| GB1516032A (en) | 1976-04-13 | 1978-06-28 | Bfg Glassgroup | Coating of glass |
| US4270702A (en) * | 1978-04-26 | 1981-06-02 | Albany International Corp. | Adjustable orifice air knife |
| CH628600A5 (fr) * | 1979-02-14 | 1982-03-15 | Siv Soc Italiana Vetro | Procede pour deposer en continu, sur la surface d'un substrat porte a haute temperature, une couche d'une matiere solide et installation pour la mise en oeuvre de ce procede. |
-
1980
- 1980-11-03 IT IT25742/80A patent/IT1134153B/it active
- 1980-11-05 MX MX184627A patent/MX153336A/es unknown
- 1980-11-07 US US06/204,806 patent/US4361284A/en not_active Expired - Lifetime
- 1980-11-14 AU AU64404/80A patent/AU544964B2/en not_active Ceased
- 1980-11-18 EP EP80810354A patent/EP0029809B1/fr not_active Expired
- 1980-11-18 DE DE8080810354T patent/DE3066643D1/de not_active Expired
- 1980-11-19 TR TR21534A patent/TR21534A/xx unknown
- 1980-11-19 JP JP16212080A patent/JPS5687451A/ja active Granted
- 1980-11-20 KR KR1019800004451A patent/KR830004448A/ko not_active Withdrawn
- 1980-11-20 CA CA000365132A patent/CA1150749A/fr not_active Expired
- 1980-11-20 ES ES497005A patent/ES8107052A1/es not_active Expired
- 1980-11-20 DD DD80225360A patent/DD154584A5/de not_active IP Right Cessation
- 1980-11-20 PL PL1980227980A patent/PL129254B1/pl unknown
- 1980-11-20 ZA ZA00807242A patent/ZA807242B/xx unknown
- 1980-11-20 SU SU803210742A patent/SU1187705A3/ru active
- 1980-11-21 CS CS797580A patent/CS274255B2/cs unknown
-
1985
- 1985-07-15 KR KR2019850008862U patent/KR860000024Y1/ko not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| AU6440480A (en) | 1981-05-28 |
| EP0029809A1 (fr) | 1981-06-03 |
| CS797580A2 (en) | 1990-09-12 |
| MX153336A (es) | 1986-09-22 |
| CA1150749A (fr) | 1983-07-26 |
| AU544964B2 (en) | 1985-06-27 |
| US4361284A (en) | 1982-11-30 |
| PL129254B1 (en) | 1984-04-30 |
| EP0029809B1 (fr) | 1984-02-15 |
| JPS6148988B2 (cs) | 1986-10-27 |
| IT8025742A0 (it) | 1980-11-03 |
| DD154584A5 (de) | 1982-04-07 |
| JPS5687451A (en) | 1981-07-16 |
| PL227980A1 (cs) | 1981-09-04 |
| DE3066643D1 (en) | 1984-03-22 |
| IT1134153B (it) | 1986-07-31 |
| ES497005A0 (es) | 1981-10-01 |
| SU1187705A3 (ru) | 1985-10-23 |
| ZA807242B (en) | 1981-11-25 |
| KR860000024Y1 (ko) | 1986-01-30 |
| TR21534A (tr) | 1984-08-22 |
| KR830004448A (ko) | 1983-07-13 |
| ES8107052A1 (es) | 1981-10-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CS274255B2 (en) | Jet for pad's continuous coating with solid substance layer | |
| US4880163A (en) | Gas feeding nozzle for a chemical vapor deposition apparatus | |
| EP4147791A1 (en) | Dual-slot die coater | |
| US4019906A (en) | Curtain coating method | |
| US6471775B1 (en) | Slit nozzle for coating trips of material, especially paper or board strips, with a pigment coating | |
| US6159544A (en) | Apparatus and method for forming a coating layer of multiple stripes | |
| US20020121239A1 (en) | Devices and methods for applying liquid coatings to substrates | |
| PL112391B1 (en) | Scraper head for application of layers of plastic | |
| US5234500A (en) | Liquid distribution system for photographic coating device | |
| US4109611A (en) | Coating device | |
| DK146996B (da) | Apparat til homogen fordeling af et pulveragtigt produkt gennem en langagtig spalte | |
| WO1985001522A1 (en) | Method and apparatus for coating a substrate | |
| US5614260A (en) | Extrusion system with slide dies | |
| TWI689616B (zh) | 用於塗佈大型基板之裝置 | |
| CZ317694A3 (en) | Method of producing a coating on a glass substrate and apparatus for making the same | |
| CN100575538C (zh) | 带状基底镀覆装置及其配置方法 | |
| ITBO20010315A1 (it) | Gruppo distributore di colla in particolare per macchine per la lavorazione di pannelli di legno | |
| US5242500A (en) | Apparatus for the continuous coating of band-type substrate | |
| JP2004160274A (ja) | 塗膜の形成方法、塗膜の形成装置および積層膜付きシート状物の製造方法 | |
| JPH0663089B2 (ja) | 帯状のサブストレートを連続的にコーティングする装置 | |
| GB2351458A (en) | Fluid knife | |
| FI113197B (fi) | Levityslaite | |
| JP2007504943A (ja) | 繊維ウェブコーティング装置用のノズルビームの配置 | |
| JP2534368B2 (ja) | 平ガラスの被覆装置 | |
| JP2023502680A (ja) | ダイスロットコーティングにおける目やに防止のためのブランクシムプレートの使用 |