CZ235198A3 - Způsob výroby boridových vrstev na povrchy kovových materiálů, odolných vůči otěru - Google Patents
Způsob výroby boridových vrstev na povrchy kovových materiálů, odolných vůči otěru Download PDFInfo
- Publication number
- CZ235198A3 CZ235198A3 CZ982351A CZ235198A CZ235198A3 CZ 235198 A3 CZ235198 A3 CZ 235198A3 CZ 982351 A CZ982351 A CZ 982351A CZ 235198 A CZ235198 A CZ 235198A CZ 235198 A3 CZ235198 A3 CZ 235198A3
- Authority
- CZ
- Czechia
- Prior art keywords
- boron
- plasma
- hydrogen
- reaction gas
- resistant
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 239000007769 metal material Substances 0.000 title claims abstract description 5
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- WTEOIRVLGSZEPR-UHFFFAOYSA-N boron trifluoride Chemical compound FB(F)F WTEOIRVLGSZEPR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 20
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 16
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims abstract description 12
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- -1 boron halide Chemical class 0.000 claims abstract description 11
- 229910015900 BF3 Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 8
- ILAHWRKJUDSMFH-UHFFFAOYSA-N boron tribromide Chemical compound BrB(Br)Br ILAHWRKJUDSMFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- YMEKEHSRPZAOGO-UHFFFAOYSA-N boron triiodide Chemical compound IB(I)I YMEKEHSRPZAOGO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 5
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 claims description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 2
- 239000011369 resultant mixture Substances 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 9
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000005271 boronizing Methods 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 description 5
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hydrogen chloride Substances Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000005885 boration reaction Methods 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- FAQYAMRNWDIXMY-UHFFFAOYSA-N trichloroborane Chemical compound ClB(Cl)Cl FAQYAMRNWDIXMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 3
- 239000010445 mica Substances 0.000 description 3
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- YZCKVEUIGOORGS-UHFFFAOYSA-N Hydrogen atom Chemical compound [H] YZCKVEUIGOORGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- NMCUIPGRVMDVDB-UHFFFAOYSA-L iron dichloride Chemical compound Cl[Fe]Cl NMCUIPGRVMDVDB-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 239000006072 paste Substances 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 238000012552 review Methods 0.000 description 2
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 2
- BTBUEUYNUDRHOZ-UHFFFAOYSA-N Borate Chemical compound [O-]B([O-])[O-] BTBUEUYNUDRHOZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N Fe2+ Chemical compound [Fe+2] CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 1
- 150000001639 boron compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000001680 brushing effect Effects 0.000 description 1
- 239000007857 degradation product Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 1
- 229960002089 ferrous chloride Drugs 0.000 description 1
- 239000008246 gaseous mixture Substances 0.000 description 1
- 229910000856 hastalloy Inorganic materials 0.000 description 1
- FBAFATDZDUQKNH-UHFFFAOYSA-M iron chloride Chemical compound [Cl-].[Fe] FBAFATDZDUQKNH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 230000001988 toxicity Effects 0.000 description 1
- 231100000419 toxicity Toxicity 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/28—Deposition of only one other non-metal element
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
- Synthetic Leather, Interior Materials Or Flexible Sheet Materials (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
- Catalysts (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Description
Oblast techniky
Vynález se týká způsobu výroby boridových vrstev na povrchy kovových materiálů, oddolných vůči otěru.
Dosavadní stav techniky
Výroba boridových vrstev oddolných vůči otěru, se provádí v praxi většinou za použití pevných boračních materiálů, například ve formě prášků, past nebo granulátů.
Tyto způsoby vyžaduj í nevýhodně vysoké náklady na práci při balení, rozbalováni a čištění částí. Čištění se provádí pomocí kombinace mytí a kartáčování nebo tryskání. vzhledem k tomu, že prášky, pasty a granuláty jsou pouze jednou použitelné, vznikají problémy také při likvidaci spotřebovaného boračniho činidla.
Vedle toho je známé také použití kapalných boračních i činidel, například ve formě tavenin solí. Všechny tyto způsoby se však nedají provádět vzhledem k problémům, zásadně spojeným se solnými lázněmi se zřetelem na bezpečnost použití, čištění dílů po zpracování a likvidaci lázní, popřípadě jejich produktů odbourávání.
V souvislosti s tím byly prováděny různé pokusy boridace s plynnými boračními činidly (postup CVD). Při použití organických sloučenin boru (bortrimethyl, bortrialkyl) • · · · • ·
probíhá převážně nauhlíkováni namísto borace a při použití diboranu dochází k bezpečnostně technickým problémům kvůli jedovatosti a nebezpečí explose.
Použití chloridu boritého jako bor poskytujícího media se nemůže prosadit na základě provozních problémů při tvorbě vrstvy. Původem těchto problémů je tvorba chlorovodíku, nastávající při boraci ve směsích BC13-H2 .
Při boraci materiálů na basi železa pomoci chloridu boritého, probíhají následující základní reakce :
BC13 + 3 H2 + 2 Fe —> 2 FeB + 6 HCI
BC13 + 3 H2 + 4 Fe —> 2 Fe2B + 6 HCI
Plynný chlorovodík, vzniklý při boraci pomocí chloridu boritého, reaguje s železem podkladového materiálu za tvorby lehce těkavého chloridu železnatého :
HCI + Fe —> FeCl2
Chloridy železa mají při teplotách zpracování v rozmezí 500 °C až 1200 °C , přicházejících v úvahu při použití, vysoké tlaky par, takže dochází k trvalému silnému odpařování chloridů železa. To vede k torbě otvorů mezi boridovou vrstvou a podkladovým materiálem, což bylo j iž vytýkáno jako nedostatek při BCl3-postupu. Potlačení tvorby otvorů je pouze možné tehdy, když se podaří při počátku borace během krátkého času vyrobit těsně uzavřenou boridovou vrstvu. To je provozně technicky tak obtížné, že se to dosud spolehlivě a reprodukovatelně nepodařilo.
Vedle čistě termické varianty CVD-borace jsou známé také pokusy o boraci, podporovanou plasmou (PACVD-borace). Zde se používal pouze diboran a chlorid boritý s nevýhodami známými již z temického postupu CVD . Souhrn známých postupů se nachází v Review Engineering the Surface with Boron Based Materials, Surface Engineering 1985, Vol. 1, Nr. 3, str. 203-217 .
Úkolem předloženého vynálezu je vypracování způsobu výroby vůči otěru oddolných boridových vrstev na kovových materiálech, který by nebyl zatížen výše uváděnými nevýhodami .
Podstata vynálezu
Uvedený úkol byl podle předloženého vynálezu vyřešen vypracováním způsobu, jehož podstata spočívá v tom, že se jako nosič boru smísí alespoň jeden halogenid boru, zvolený ze skupiny zahrnující fluorid boritý, bromid boritý a jodid boritý, s vo- díkem a popřípadě argonem a/nebo dusíkem pro přípravu reakčního plynu, který obsahuje 1 až 35 % objemových halogenidu boru a takto získaná směs se pomocí plasmového výboje tak aktivuje, že se umožní přechod boru z plasmy na povrch kovu.
Reakční plyn může dodatečně obsahovat jako nosič boru chlorid boritý.
Výhodně obsahuje reakční plyn 5 až 20 % objemových halogenidu boru, obzvláště výhodně obsahuje 5 až 15 % objemových halogenidu boru.
Výhodně obsahuje reakční plyn 20 až 90 % objemových • · · · • · ·· ·· » · · « » · · · vodíku, obzvláště výhodně obsahuje 20 až 50 % objemových vodíku.
Výhodně obsahuje reakční plyn fluorid boritý.
Obzvláště výhodně se jako halogenid boru použije fluorid boritý.
Reakční plyn se do prostoru zpracování přivádí v množ ství výhodně 0,5 až 2 1 za minutu, obzvláště výhodně asi 1 1/min.
Borace se provádí výhodně za tlaku v rozmezí 0,1 až 1,0 kPa za působení plasmového výboje, jak je například známo ze zařízení pro potahování za působení plasmy.
Potřebné teploty zpracováni výhodně 400 °C až 1200 °C , obzvláště výhodně 850 °C až 950 °C se dosahují pomocí plasmy samotné, nebo především ve vysokoteplotní oblasti nad 900 °C za podpory dodatečného vytápění.
Výhodně činí doba zpracování 30 až 240 minut, obzvláště výhodně 30 až 120 minut.
Tloušťka boridové vrstvy se obvykle řídí dobou zpracování , přičemž se zvyšuj ící se dobou zpracování se také zvětšuje tloušťka vrstvy.
Jako další plyny může reakční plyn obsahovat ještě argon a/nebo dusík. Tím se dá řídit aktivita přenosu boru a dosáhne se dostatečného ohřátí vzorků plasmou. Složení reakčního plynu se tak může měnit v širokých mezích vždy podle podmínek zpracování a boridovaného materiálu.
• · · · • · • · ·
·· ··
Způsob podle předloženého vynálezu je vhodný obzvláště pro boraci železných materiálů.
Při způsobu podle předloženého vynálezu se pomocí plasmového výboje převedou molekuly vodíku, obsažené v reakčním plynu, na atomární vodík. Atomární vodík redukuje halogenid boru (BY3) a umožňuje tím přenos vodíku na povrch zpracovávaného materiálu. Tento přenos je možno znázornit pomocí následuj ícího reakčního schéma :
BY3 + 3 H -> B + 3 HY
Β + x Me -> ΜβχΒ
Je možné také převedení BY3 na BY2 pomocí plasmy, přičemž potom mohou probíhat následující reakce :
BY2 -> B + 2 BY3
B + x Me -> ΜβχΒ .
V návaznosti na boraci je možné podrobit boridovaný materiál následnému zpracování, aby se eventuelně vytvořený FeB přeměnil na Fe2B . Tohoto se může například dosáhnout procesem žíháni v návaznosti na zpracováni porací tak, že se ukončí přívod halogenidu boru a zpracovávaný materiál se ponechá ještě po určitou dobu při teplotě zpracování. Doba tohoto difusního zpracování se řídí podle množství přítomného FeB a činí obvykle 20 až 60 minut.
Provádění způsobu podle předloženého vynálezu může probíhat například v o sobě známém zařízení, vhodném pro potahování pomocí plasmy. Toto sestává v podstatě z následuj ících komponent :
- Z vakuového respicientu (reaktoru) pro podávání zpracovávaných dílů. Reaktor by měl být vyhřívatelný a měl by dovolovat práci při teplotě v rozmezí 400 °C až 1200 °C .
- Z čerpadlového systému pro evakuaci reaktoru a nastavení pracovního tlaku.
- Z plynem zásobující jednotky pro míšení a dávkování reakční směsi.
- Z napájení puls-plasma-proudem pro výrobu a udržení plasmového výboje ve vakuovém recipientu, přičemž použitý výkon může kolísat pulsní frekvencí, popřípadě pulsní šiří v širokém rozmezí.
- Ze systému neutralisace plynu a likvidace, jakož i systému pro řízení a kontrolu provozních parametrů, které průběh procesu řídí a kontrolují.
Příklady provedení vynálezu
Příklad 1
Po vnesení vzorku z oceli 100Cr6 do reaktoru se provede zahřátí v plasmě stejnosměrného slídového výboje konstantní pulsní frekvence (4 kHz) za tlaku 1,0 kPa. Zahřátí vzorku se provádí přídavně přes vyhřívání reaktoru, čímž se doba zahřívání zkrátí. Zahřívání a ochlazování vzorku se provádí ve směsi argonu a vodíku 1:1. Po dosažení teploty zpracování 850 °C se nosič boru fluorid boritý přidává tak, aby vznikla reakční směs o složení 45 % • ·
Ί
objemových vodíku, 40 % objemových argonu a 15 % objemových fluoridu boritého. Plynná směs se do recipientu přivádí v množství 1 1/min . Doba zpracování plasmou činí 200 minut.
Při metalografickém výbrusu se zjistila boridová vrstva o střední tloušťce 42 μπι . Mikrotvrdost je okolo 1800 HVq Vrstva neobsahuje FeB .
Příklad 2
Po vnesení vzorku z Hastelloy B do reaktoru se provádí zahřívání v plasmě stejnosměrného slídového výboje konstantní pulsní frekvence (4 kHz) . Pomocí plasmového výboje při 1,0 kPa se vzorek zahřeje na teplotu 850 °C . Hustota energie se řídí přes pulsní šíři. Zahřátí vzorku se provádí výhradně přes slídový výboj. Zahřátí a ochlazení vzorku se provádí ve směsi argonu a vodíku 1:1. Po dosažení teploty zpracováni se nosič boru fluorid boritý přidává tak, aby vznikla reakční směs o složení 45 % objemových vodíku, 45 % objemových argonu a 10 % objemových fluoridu boritého. Plynná směs se přivádí do recipientu v množství 1 1/min. Doba zpracování činí 240 minut.
Při metalografickém výbrusu se zjistila boridová vrstva o střední tloušťce 50 μπι . Mikrotvrdost je okolo 2400 HVo>o5.
Claims (6)
- PATENTOVÉ NÁROKY1. Způsob výroby boridových vrstev na povrchy kovových materiálů, oddolných vůči otěru, vyznačující se tím, že se jako nosič boru smísí alespoň jeden halogenid boru, zvolený ze skupiny zahrnující fluorid boritý, bromid boritý a jodid boritý, s vodíkem a popřípadě argonem a/nebo dusíkem pro přípravu reakčního plynu, který obsahuje 1 až 35 % objemových halogenidu boru a takto získaná směs se pomocí plasmového výboje tak aktivuje, že se umožní přechod boru z plasmy na povrch kovu.
- 2. Způsob podle nároku 1 , vyznačující se tím, že se jako nosič boru použije fluorid boritý.
- 3. Způsob podle nároku 1 nebo 2 , vyznačující se tím, že reakční plyn obsahuje 20 až 90 % objemových vodíku.
- 4. Způsob podle jednoho nebo několika z nároků 1 až 3, vyznačující se tím, že se reakční plyn přivádí do prostoru zpracování v množství 0,5 až 2 1 za minutu.• ·
- 5. Způsob podle jednoho nebo několika z nároků 1 až 4, vyznačující se tím, že se reakce provádí při teplotě v rozmezí 400 °C až 1200 °C .
- 6.v y z činíZpůsob podle jednoho nebo několika načující se tím, že 30 až 240 minut.z nároků 1 až 5,
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19602639A DE19602639A1 (de) | 1996-01-25 | 1996-01-25 | Verfahren zur Herstellung von verschleißfesten Boridschichten auf metallischen Werkstoffoberflächen |
PCT/EP1997/000298 WO1997027345A1 (de) | 1996-01-25 | 1997-01-23 | Verfahren zur herstellung von verschleissfesten boridschichten auf metallischen werkstoffoberflächen |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CZ235198A3 true CZ235198A3 (cs) | 1999-08-11 |
CZ289443B6 CZ289443B6 (cs) | 2002-01-16 |
Family
ID=7783662
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CZ19982351A CZ289443B6 (cs) | 1996-01-25 | 1997-01-23 | Způsob výroby boridových vrstev na povrchy kovových materiálů, odolných vůči otěru |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0876516B1 (cs) |
JP (1) | JP3222144B2 (cs) |
AT (1) | ATE193334T1 (cs) |
CA (1) | CA2244248C (cs) |
CZ (1) | CZ289443B6 (cs) |
DE (2) | DE19602639A1 (cs) |
HU (1) | HUP9900939A3 (cs) |
PL (1) | PL181781B1 (cs) |
SK (1) | SK282806B6 (cs) |
WO (1) | WO1997027345A1 (cs) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1143031A3 (de) * | 1997-12-15 | 2004-04-28 | Volkswagen AG | Plasmaborierung |
DE19842515C1 (de) * | 1998-09-17 | 2000-04-20 | Sabine Boehm | Verfahren zur Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe |
DE19845463A1 (de) * | 1998-10-02 | 2000-04-06 | Stiftung Inst Fuer Werkstoffte | Verfahren zur Herstellung von verschleißfesten Boridschichten |
CZ305986B6 (cs) * | 2013-02-15 | 2016-06-08 | Technická univerzita v Liberci | Povlakované nástroje závitořezné z rychlořezné oceli, zejména závitníky |
CZ305985B6 (cs) * | 2013-02-15 | 2016-06-08 | Technická univerzita v Liberci | Vodicí kladky z tvrzené oceli pro tažení drátu |
CN110512170A (zh) * | 2019-10-12 | 2019-11-29 | 河海大学常州校区 | 一种钛合金渗硼方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3677799A (en) * | 1970-11-10 | 1972-07-18 | Celanese Corp | Vapor phase boron deposition by pulse discharge |
JPH07286254A (ja) * | 1994-04-21 | 1995-10-31 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 耐二次加工脆性に優れた鋼板およびその製造方法 |
-
1996
- 1996-01-25 DE DE19602639A patent/DE19602639A1/de not_active Withdrawn
-
1997
- 1997-01-23 HU HU9900939A patent/HUP9900939A3/hu unknown
- 1997-01-23 DE DE59701754T patent/DE59701754D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1997-01-23 CA CA002244248A patent/CA2244248C/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-01-23 CZ CZ19982351A patent/CZ289443B6/cs not_active IP Right Cessation
- 1997-01-23 AT AT97901592T patent/ATE193334T1/de not_active IP Right Cessation
- 1997-01-23 WO PCT/EP1997/000298 patent/WO1997027345A1/de active IP Right Grant
- 1997-01-23 PL PL97328200A patent/PL181781B1/pl not_active IP Right Cessation
- 1997-01-23 EP EP97901592A patent/EP0876516B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-01-23 SK SK1012-98A patent/SK282806B6/sk not_active IP Right Cessation
- 1997-01-23 JP JP52653797A patent/JP3222144B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE59701754D1 (de) | 2000-06-29 |
HUP9900939A2 (hu) | 1999-07-28 |
SK282806B6 (sk) | 2002-12-03 |
PL181781B1 (pl) | 2001-09-28 |
ATE193334T1 (de) | 2000-06-15 |
HUP9900939A3 (en) | 2001-01-29 |
PL328200A1 (en) | 1999-01-18 |
DE19602639A1 (de) | 1997-07-31 |
EP0876516A1 (de) | 1998-11-11 |
CA2244248C (en) | 2001-11-20 |
SK101298A3 (en) | 1998-12-02 |
JP3222144B2 (ja) | 2001-10-22 |
EP0876516B1 (de) | 2000-05-24 |
CA2244248A1 (en) | 1997-07-31 |
CZ289443B6 (cs) | 2002-01-16 |
JPH11507993A (ja) | 1999-07-13 |
WO1997027345A1 (de) | 1997-07-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Archer | The plasma-assisted chemical vapour deposition of TiC, TiN and TiCxN1− x | |
KR101631855B1 (ko) | 확산 아연 코팅 방법 | |
Kulka et al. | Trends in thermochemical techniques of boriding | |
JPS62294160A (ja) | 反応性気体プラズマ中での材料の熱化学的表面処理方法 | |
Detroye et al. | Synthesis and characterisation of chromium carbides | |
AU2011331909B2 (en) | Surface treatment of metal objects | |
KR100252406B1 (ko) | 표면처리방법 | |
US6090223A (en) | Chromium nitride film and method for forming the same | |
JP5431348B2 (ja) | 高速電気分解プロセスを用いた被覆のホウ素化のための方法 | |
CZ235198A3 (cs) | Způsob výroby boridových vrstev na povrchy kovových materiálů, odolných vůči otěru | |
IL144500A0 (en) | A method for coating a substrate using a medium temperature chemical vapor deposition process | |
US6306225B1 (en) | Process for producing wear-resistant boride layers on metallic material surfaces | |
Wierzchon | The role of glow discharge in the formation of a boride layer on steel in the plasma boriding process | |
US5580397A (en) | Carbide and carbonitride surface treatment method for refractory metals | |
CA2623650A1 (en) | Plasma boriding method | |
CA1128378A (en) | Process for producing vanadium carbide layers on iron | |
SU1145051A1 (ru) | Способ получени диффузионных покрытий | |
Reynoldson | Advances in surface treatments using fluidised beds | |
KR940003096B1 (ko) | 금속표면의 탄화물 형성 처리제 및 표면 경화처리방법 | |
JPH0240735B2 (ja) | Tetsuutansogokinseihinnikakusantankabutsuhifukubutsuofuchakusuruhoho | |
JPS6350456A (ja) | アルミニウム材の表面処理方法 | |
SU1089170A1 (ru) | Способ нанесени карбидных покрытий на поверхность изделий из низкоуглеродистых сталей | |
KR920004014B1 (ko) | 철 또는 철합금 표면의 붕소화 처리제와 붕소화 침투표면 처리방법 | |
RU2156320C1 (ru) | Способ получения высокопрочных и износостойких покрытий на изделиях из тугоплавких металлов и их сплавов | |
EP0930377A1 (en) | Bonding diamond to substrate |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PD00 | Pending as of 2000-06-30 in czech republic | ||
MM4A | Patent lapsed due to non-payment of fee |
Effective date: 20100123 |