CS260079B1 - Zapojeni kodéru cyklického kódu k elektronice řízení elektronového svazku elektronové optického přístroje - Google Patents

Abstract

Zapojení se týká elektronově optických přístrojů. Podstatou zapojení je připojení kodéru cyklického kódu pomocí adresní sběrnice a datové sběrnice k místu kontroly datové cesty přístroje, to je k bloku pomalého vychylováni, bloku rychlého vychylování, bloku rozměru svazku a k bloku hodnoty osvitu. Datová cesta minimálně na dobu kontroly přenosu dat nesmí korigovat data vlivem náhodných stavů vnějšího prostředí, respektive po dobu testování musí být zajištěna opakovatelnost toku dat.

Description

Vynález popisuje zapojeni kodéru cyklického kódu v elektronice řízení elektronového svazku elektronově optického přístroje.

V současné době elektronově optické přístroje - elektronové litografy a testovací mikroskopy nejsou vybaveny pro počítačové testování. Chyby se analyzují vyhodnocením expozic a rastrovaných obrazů. V případě, že dojde k podezření na chybu v přenosu dat, provádí se rozbor chyby na jednodušších - testovacích obrazech. Postup analýzy je pak dán individuálními schopnostmi a metodou pracovníka.

Tyto dosavadní nedostatky odstraňuje zapojení kodéru cyklického kódu k elektronice řízení elektronového svazku elektronově optického přístroje, jehož podstatou je, že sestává z bloku řízení funkcí elektroniky elektronového svazku spojeného pomocnou sběrnicí s blokem kodéru cyklického kódu a oba jsou spojeny s adresní sběrnicí a datovou sběrnicí, ke kterým jsou paralelně spojeny blok pomalého vychylování, blok rychlého vychylování, blok rozměru svazku, blok hodnoty osvitu, jejichž výstupní sběrnice jsou spojeny s digitálně analogovými převodníky elektronické soustavy optického přístroje.

Hlavní předností zapojení podle vynálezu je, že můžeme porovnáním hodnot vypočítaného cyklického kódu v daném bodě datové cesty se známou hodnotou kódu pro daná testovací data a daný bod cesty předem vyhodnotit bezchybnost celé datové cesty - sběrnice - od zdroje až po testovací bod, axaktně a v reálném čase. Je však nutné na dobu kontroly zamezit korekci dat vlivem náhodných stavů vnějšího prostředí, respektive po dobu kontroly musí být zajištěna opakovatelnost toku dat.

Vynález blíže objasní přiložené blokové schéma zapojeni u elektronového litografu.

Sběrnice 101 pomalého vychylování tvoří vstup bloku 2 pomalého vychylování s první výstupní sběrnicí 201 spojenou s D/A převodníkem v elektronické soustavě T_ optického přístroje. Sběrnice 102 rychlého vychylování tvoří vstup bloku 2 rychlého vychylování s druhou výstupní sběrnicí 202 spojenou s D/A převodníkem v elektronické soustavě Ί_ optického přístroje.

Sběrnici 103 rozměru elektronového svazku tvoří vstup bloku 2 rozměru svazku se třetí výstupní sběrnicí 203 spojenou s D/A převodníkem v elektronické soustavě T_ optického přístroje.

Sběrnice 104 hodnoty expozice tvoří vstup bloku 2 hodnoty osvitu se čtvrtou výstupní sběrnicí 204 spojenou s D/A převodníkem v elektronické soustavě T. optického přístroje. Dále pak je provedeno paralelní spojení s adresní sběrnicí 108 a s datovou sběrnicí 109 bloku 1 pomalého vychylování, bloku 2 rychlého vychylování, bloku 2 rozměru elektronového svazku, bloku 2 hodnoty osvitu, bloku 5 řízení funkcí a bloku 2 kodéru cyklického kódu. Blok 2 kodéru cyklického kódu je ještě spojen pomocnou sběrnici 106 s blokem 2 řízení funkcí se vstupní sběrnicí 105 příkazu funkcí z počítače.

Při běžném provozu vstupuji informace - data - sběrnicemi 101 pomalého vychylování,

102 rychlého vychylování, 103 rozměru elektronového svazku, 104 hodnoty osvitu do bloků 2 pomalého vychylování, 2_ rychlého vychylování, 2 rozměru elektronového svazku, 2 hodnoty osvitu. Na jejich první, druhé, třetí a čtvrté výstupní sběrnici 201, 202, 203, 204 vyvolávají potřebná data pro D/A převodníky a analogové zesilovače vychylovacích oktupólů v elektronické soustavě 2 optického přístroje. Při testování se před přenosem testovaných dat se sběrnicí 105 příkazu funkcí od počítače sdělí adresa testovaného místa datové cesty do bloku 2 řízení funkcí, který vynuluje pomocnou sběrnici 106 vnitřní registry bloku 2 kodéru cyklického kódu a na adresní sběrnici 108 vyhradluje adresu testovaného místa. Jeden z bloků 2 pomalého vychylování, 2 rychlého vychylování, 2 rozměru elektronového svazku, 2 hodnoty osvitu, který zná příslušnou vyhradlovanou adresu, připojí daný bod datové cesty na datovou sběrnici 109. Po této fázi se spustí přenos testovacích dat běžným způsobem, nejlépe však s maximální frekvencí přenosu. Blok 2 cyklického kódu synchronně s tokem dat generuje cyklický kód. Po ukončení přenosu testovacích dat počítač sběrnicí 105 příkazu funkcí od počítače přečte vygenerovaný cyklický kód z bloku 2 kodéru cyklického kódu přes blok 2 řízení funkcí.

Na základě srovnání přečtené hodnoty cyklického kódu s předpokládanou hodnotou se pak volí další postup činnosti. '

Zapojení připojení kodéru cyklického kódu je možné použít ve všech elektronových litografech, elektronových mikroskopech a elektronových testovacích mikroskopech.

Claims (1)

1. Zapojení kodéru cyklického kódu k elektronice řízení elektronového svazku elektronově optického přístroje, vyznačené tím, že blok (5) řízeni funkcí elektroniky elěktrohového svazku je spojen pomocnou sběrnicí (106) s blokem (6) kodér cyklického kódu, které jsou spojeny s adresní sběrnicí (108) a datovou sběrnicí (109), ke kterým jsou paralelně spojeny blok (1) pomalého vychylování, blok (2) rychlého vychylování, blok (3) rozměru elektronového svazku, blok (4) hodnoty osvitu, jejichž první, druhá, třetí a čtvrtá výstupní sběrnice (201, 202, 203, 204) jsou spojeny s digitálně analogovými převodníky elektronické soustavy (7) optického přístroje.