CS248426B1 - Zapojení řídícího obvodu - Google Patents
Zapojení řídícího obvodu Download PDFInfo
- Publication number
- CS248426B1 CS248426B1 CS759784A CS759784A CS248426B1 CS 248426 B1 CS248426 B1 CS 248426B1 CS 759784 A CS759784 A CS 759784A CS 759784 A CS759784 A CS 759784A CS 248426 B1 CS248426 B1 CS 248426B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- cathode target
- compound
- control circuit
- superconducting
- magnetron sputtering
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
Abstract
Zapojení řídícího obvodu, zejména pro krokové motory. Výstupy rozdělovače jsou zapojeny na první vstupy hradel, jejichž výstupy jsou spojeny přes fázové spínače s krokovým motorem. Zdroj hodinových pulzů je připojen na vstup časovacího obvodu, jehož výstup je připojen na druhé vstupy hradel
Description
Způsob výroby katodového targetu pro magnetronové naprašováni supravodivých vrstev
Způsob výroby katodového targetu pro magnetronové naprašováni supravodivých vrstev spočívá v tom, že směs prášku jednotlivých prvků tvořioíoh požadovanou sloučeninu se v poměru odpovídajícinu konečnému složení supravodivé sloučeniny vlisuje do nosiče katodového targetu.
248 426
248 426
Vynález se týká způsobu výroby katodového targetu pro magnetřov nové napravování supravodivých vrstev na drátěný nebo páskový nosič.
Dosud se povlak ze supravodivé sloučeniny vyrábí napravováním uvedené sloučeniny z katodového targetu, který je umístěn v magnetronu. Působením magnetického pole a elektrického doutnavého výboje se z katodového targetu uvolňují elementární částice sloučeniny a přenášejí se na nosič, kterým je bud drát, nebo pásek. Tato metoda vyžaduje, aby katodový target byl vyroben z uvedené supravodivé sloučeniny. Vzhledem ke křehkosti této sloučeniny je výroba katodového targetu velmi obtížná a ekonomicky náročná.
Uvedený-nedostatek odstraňuje způsob výroby katodového targetu pro magnetronové naprašování supravodivých vrstev na drátěný nebo páskový nosič podle vynálezu. Podstata způsobu spočívá v tom, že se do nosiče katodového targetu pro magnetronové naprašování vlisuje směs prášků jednotlivých prvků tvořících požadovanou supravodivou sloučeninu. Jednotlivé prvky jsou přitom ve směsi zastoupeny v takovém množství, které odpovídá stechiometrickému poměru prvků v konečné sloučenině.
Výhodou způsobu podle vynálezu je, že se při nanášení supravodivé sloučeniny uspoří náročná výroba sloučeniny, její mletí na prášek požadované zrnitosti a vlisování do katodového targetu magnetronu. Do nosiče katodového targetu se vlisuje směs prášků prvků - komponentů uvedené supravodivé sloučeniny. Důležité je, aby váhové podíly jednotlivých práškových prvků byly ve stechiometrických poměrech, v jakých jsou zastoupeny ve výsledné sloučenině, která vykazuje supravodivé vlastnosti právě jen při těchto poměrech·
248 428
Při magnetronovém napravování vyrážejí atomy argonu v doutnavém výboji z katodového targetu jednotlivé prvky, a to v množství úměrném váhovému množství příslušného prvku v katodovém targetu·
V doutnavém výboji se tak vytváří požadovaná supravodivá sloučenina a současně je přenášena na nosič, kterým je drát nebo pásek·
Konkrétní postup přípravy katodového targetu podle vynálezu je blíže osvětlen na následujícím příkladu·
Příklad
Bylo požadováno naprášení kovové supravodivé sloučeniny Nb^Sn· Atomová hmotnost niobu Nb je 92,91 atomová hmotnost cínu Sn je 118,70 váhový poměr obou prvků ve sloučenině je tedy 278,73 s 118,70.
Pro požadované množství 50 g bylo proto smícháno 35,05 g Nb a 14,95 g Sn. Prášky obou kovů byly homogenizovány v kulovém mlýnu po dobu 30 min. Držák katodového targetu z mědi čistoty 99,95 má tvar kruhového disku o průměru 60 mm a tlouštce 4 mm. V disku je vybrání tvaru mezikruží o vnějším průměru 57 mm, vnitřním průměru 24 mm a hloubce 3 mm. Držák se uloží na spodní kovadlo lisu, vybrání se naplní homogenizovanou směsí prášku Nb-Sn a povrch směsi se urovná s povrchem držáku· Potom se držák lisuje rovným kovadlem průměrným tlakem 6,8 MPa· Přitom dojde k vlisování homogenizované směsi prášku do vybrání, současně se tlouštka držáku sníží na 3 mm a jeho průměr se zvětší. Držák se potom osoustruží na konečný průměr 60 mm.
Takto upravený katodový target se již použije pro magnetronové naprašování uvedené supravodivé Sloučeniny.
Claims (1)
- PŘEDMĚT VYNÁLEZUZpůsob výroby katodového targetu pro magnetronové naprašování supravodivých vrstev na drátěný nebo páskový nosič, vyznačený tím, že do nosiče katodového targetu pro magnetronové naprašování se vlisuje směs prášků jednotlivých prvků tvořících požadovanou sloučeninu, přičemž prvky jsou ve směsi zastoupeny v množství odpovídajícím stechlometrickému poměru prvků v konečné sloučenině·Vytiskly Moravské tiskařské závody,
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS759784A CS248426B1 (cs) | 1984-10-08 | 1984-10-08 | Zapojení řídícího obvodu |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS759784A CS248426B1 (cs) | 1984-10-08 | 1984-10-08 | Zapojení řídícího obvodu |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS248426B1 true CS248426B1 (cs) | 1987-02-12 |
Family
ID=5425431
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS759784A CS248426B1 (cs) | 1984-10-08 | 1984-10-08 | Zapojení řídícího obvodu |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS248426B1 (cs) |
-
1984
- 1984-10-08 CS CS759784A patent/CS248426B1/cs unknown
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB1440196A (en) | Method of producing a specified solder layer thickness in the production of semiconductor components | |
| US4894097A (en) | Rare earth type magnet and a method for producing the same | |
| CS248426B1 (cs) | Zapojení řídícího obvodu | |
| US3775328A (en) | Composite soft magnetic materials | |
| US3140172A (en) | Production of alloy materials | |
| JPS572801A (en) | Production of sintered permanent magnet | |
| US2407234A (en) | Electromagnetic product and process of making the same | |
| JPS60230903A (ja) | 合金タ−ゲツトの製造方法 | |
| US4844751A (en) | Method for manufacturing a permanent magnet material from starting components in powder form | |
| DE1909936B1 (de) | Integriertes Mikrowellensystem mit einem Substrat aus nicht-magnetischem keramischem Material und Verfahren zur Herstellung derartiger Substrate | |
| CN88101380A (zh) | 在磁场作用下制造超导陶瓷的方法 | |
| JP3486640B2 (ja) | 超電導薄膜製造用ターゲットおよびその製造方法、それを用いた超電導体の製造方法 | |
| JP2905043B2 (ja) | 永久磁石粉末材料の製造法 | |
| USH639H (en) | Method of making a ferrite element | |
| JPS6386502A (ja) | 希土類磁石とその製造方法 | |
| JPH0344461A (ja) | スパッタ用銅セレン系ターゲット材料 | |
| JPS5220903A (en) | Process and apparatus for molding of metal powder for two-layered meta l | |
| JPS549905A (en) | Production of magnetic discs | |
| JPH03290377A (ja) | 超電導体及びその製造法 | |
| ES467302A1 (es) | Un procedimiento para fabricar un polvo adecuado para la fa-bricacion pulvimetalurgica de componentes magneticos blandos | |
| JPS57140341A (en) | Manufacture of glass seal-bonded body | |
| JPH032349A (ja) | 難加工性材料の製造方法 | |
| JPH01194214A (ja) | 酸化物超電導成形体の製造方法 | |
| Wohlleben et al. | Process for the Production of a Sintered Ceramic Body Made From a Superconducting Material Having a High Transition Temperature | |
| Staffler et al. | Advanced Coating Technology Based Upon Sputtering Targets Produced by Powder Metallurgy |