CS246578B1

CS246578B1 - Photosensitive dielectric compound

Info

Publication number: CS246578B1
Application number: CS831312A
Authority: CS
Inventors: Irina P Stepanova; Vladimir A Sichanov; Natalja A Tichonova
Original assignee: Irina P Stepanova; Vladimir A Sichanov; Natalja A Tichonova
Priority date: 1983-02-09
Filing date: 1983-02-25
Publication date: 1986-10-16
Also published as: CS131283A1; DD234196A3

Description

Ha3BaHne Η3ο6ρβτβΗΗΗί ΦΟΤΟΗΥΒϋΤΒΗΤΕΠΒΗΑΗ Í1H3J1EKTPHHECKAH ΚΟΜΠΟ3HUHH Η3θ6ρβΤβΗΗβ OTHOCHTCH Κ 3ΠΘΚΤρθΤΘΧΗΗΚΘ Η ΜΟΪΚβΤ HaňTH ΠρΗΜβΗθΗΗΘ Β HaCT-HOCTH flJIH Η3Γ0Τ0ΒίΐεΗΗΗ TOJICTOnJieHOHHblX cxeM. H3BecTHa ýoTo^yBCTBHTenbHaH HHSJíeKTpHnecKaH κομπο3Ηηηη noJiHMepH3aiíHOH-ΗΟΓΟ THna B BHfle naCTbl flJIH TOJICTOruieHOHHblX MHKpoCXeM. OHa COflepJKHT CBHHeu;-coflepTKamee CTeK.no, noJiHMepHoe CBH3ywmee Ha ochobc noJiHaKpHJiaTOB hjih ijo-jiHMeTaKpmiaTOB, noJiHMepH3aHHOHHo-cnoco6Hbie MOHOMepbi aKpunaTHoro pana,(frOTOHHHIJHaTOp - ΜβΤΗΗΟΒΜΗ 3φκρ 6eH3OHHa, , ΗΗΓΗ6ΗΤΟΡ - HHTpO3OflHMepHOe COefíH-HeHHe, oKHCHoe coep;HHeHne xpoMa h pacTBopHTejib [i],

Hep;ocTaTKaMH η3βθοτηοη κομπο3ηηηη hbjihiotch' ee MHoroKOMnoHeHTHocTb,yBejiHHHBaromaH TpyflOEMKocTb. πρηγοτοβπθημη nacTbi, h cpaBHHTejibHo HH3Kaa pa3-peuiaiomaH cnocoČHocTb. B JiyniuHX npHMepax ynaeTCH noJiynHTh pa3Mep KaHaJioBb cjioe flH3JieKTpHKa ihhphhoh 75 mkm h 6oJiee.

HanBoJiee 6jih3koh no TexHHnecKoň cymHocTH κ npeflJioaceHHOH HBJíaeTCH H3BecTnaa (JjoTonyBCTBnTejibHaH HHSJíeKTpHnecKaa κομπο3Ηηηη hjih noJiyneHHa penbeijmoroH3o6paaceHHH b cnoe rnasypn, BKJironaiomaa 31-49 BecoBbix nacTeň CBHHen;coflep-ačamero CTeKJia h 51-69 BecoBbix nacTeň pacTBopa πο3Ητηβηογο (Ha ocnoBe 3φκ-ΡΟΒ o-XHH0HflHa3Hfl0B) HJIH ΗβΓΒΤΗΒΗΟΓΟ <|)OTOpe3HCTa [Ž] .

HeflocTaTKaMH H3BecTHoň κομπο3Ηη;ηη hbjihiotch ee njioxHe peoJiorHnecKHe xa-paKTepncTHKH (HH3Kaa BH3K0CTb), HCKjnonaiomHe HcnoJib3OBaHHe hjih HaHeceHHH3Toň κομπο3Ηη,ηη HaH6anee yflo&Horo MeTofla TpatfcapeTHoň nena™, h HenocTa-TOHHaa pa3pemawmaH cnocoÓHocTb. pejibetJíHoro H3o6paxceHHH b cnoe rjia3ypH(125 mkm).

Uejib Η3ο6ρετβΗΗΗ - noBbímeHHe pa3peniaiomeň chocoBhocth κομπο3Ηηηη h ynynuieHHe ee peoJiorHnecKHX xapaKTepHCTHK.

rio,CTaBJieHHaH pejib nocTHraeTca τεΜ, ητο H3BecTHan ýoTonyBCTBHTeJibHaH hh-3JieKTpHHecKan κομπο3ηηηη, BKJironaiomaH CBHHeHCoflepacamée οτεκπο h pacTBopΠΟ3ΗΤΗΒΗΟΓΟ <})OTOpe3HCTa Ha OCHOBe 3φΗΡθΒ O“XHHOHflHa3HflOB B. OpraHHHeCKOMpacTBópHTejie, HonoJiHHTejibHo conepsKHT pacTBop conoJiHMepa H3o6yTHJieHa c πη-nepHJieHOM H HHTPHJIOM aKpHJIOBOH KHCJlOTbl o6njeň φopMyJIbI 246578 2

CH., I - ch2 - Ο- - - ch-ch=chch2 - - - CH, - CH -| Ι ch3 tn I . ch3 h · I CN cpeflHHH MOJieKyjiHpHHH Macca 800000 b ΑΗΜετκπφορΜΒΜΗ,ηβ, a b KauecTBe pacTBopaΠΟ3ΗΤΗΒΗΟΓΟ <£>OTOpe3HCTa Ha OCHOBe 3φΗρθΒ O~XHHOHflHa3HflOB B opraHHHeCKOMpaCTBOpHT&Jie COflepXHT paCTBOp ΠΟ3ΗΤΗΒΗΟΓΟ φθΤθρ63Μ0Τ3 Ha OCHOBe εγΗΒφοΒφΗ-POB o-XHHOH9Ha3HflOB B flHOKCaHe ΠρΗ CJieflytOmeM COflepjHaHHH ΚΟΜΠΟΗΘΗΤΟΒ,BecoBbix nacTeň: CBHHeu,coflep»amee CTewio

PaCTBOP ΠΟ3ΗΤΗΒΗΟΓΟ φθΤθρβ3ΗΘΤ3Ha OCHOBe ΟγΗΒφΟΒφΗρΟΒO“XHHOHflHa3HflOB B flHOKCaHe (b Πβ~pecneTe Ha cyxoň octhtok)ConojiHMep H3o6yTHJieHa, nnnepHneHah HHTpana aKpHJioBoň KHCJioTbi oCmeňφορΜγπω flHMeΤΗπφopMaMHfl 40,5-60,0 12,2-23,8 0,8-2,06,2-11,1 Κομπο3Ηη,ηη Taiose μο&θτ coflepacaTb 0,1-5,0 BecoBbix nacTeň oó -TepnHHeona.CBHHepcoflepjKainee θτθκπο ΗΜβετ cnep;yromHň cocTaB: 45,5% PbO, 29,5% Sí02, 18,5% ZnO, 4,0% Ti02, 2,5% Al203 . . B KaneCTBe ΠΟ3ΗΤΗΒΗΟΓΟ φθΤθρθ3ΗΘΤ3 HCnOJIb3yroT φθΤΟρβ3ΗΘΤ, CÓCTOHIHHň H3 1,2“Η9φΤΟΧΗΗΟΗ^Η93Η9—(2)—5“0γΗΒφθ3φΗρ3 6poMHpOB3HHOň HOBOJiaHHOň φβΗΟΠ-φορΜΒΗΒΛΘΓΗβΗΟΗ CMOJIbl, HOBOJiaHHOň φθΗΟΠφθρΜ3ΠΒΠΘΓΗΠΗθή CMOJIbl H flHOKCaHa.

TeXHOJlorHH ΠρΗΓΟΤΟΒΠΘΗΗΗ CMeCH (npHMepbl 1~6) flJlH ΠΟΠγΗβΗΗΗ φΟΤΟΗΥΒΟΤΒΗ“TejIbHOH flH3JieKTpHHeCKOH ΚΟΜΠΟ3ΗΗ,ΗΗ. B φ3ρφοροΒθΗ nauiKe CMeuiHBaroT npeflBapHTenbHo npnroToBJíeHHbiH pacTBop conoHHMepa H3o6yTHJieHa, nHnepHJieHa η ηητρηπθ aKpHJioBoň κηθποτμ b ΑΗΜετΗπφορΜθ-MHfle c pacTBopoM (b nepecneTe Ha cyxoň ocTaTox) πο3Ητηβηογο φοτορβ3ΗθΤ8 bflHOKcaHe h floSaBJíaioT CBHHeu;coflep«amee οτεκπο c pa3MepoM nacTHfl 0,5-2,5 mkmCMecb TmaTeJibHo neperaparoT c pejibio roMoreHimHHH h ycpeflHeHHH cocTaBa CHa-. Hana b φβρφοροΒοή Hanixe b TeneHňe 5 μηηυτ, a 3aTeM Ha nacTOTepxe c Kanpoňo-HOBMMH BaJIKaMH B ΤΘΗβΗΗΘ 30 MHHyT. ΠοπγΗΘΙΟΤ naCTy C BH3KOCTbK), o6eCneHHBa-ramen xopouiHe peonorHnecKHe xapaKTepncTHKH rjih HaHeceHHH μθτοαομ τραΦηρθτ-Hoň nenaTH. flacTy H3HOCHT Ha KepaMHnecKHe ποα,ποκκη nepe3 KanpoHOByra ceTKy Ha ycTa*»HoBxe HaHeceHHH h cyrnaT Ha BO3flyxe npn 80°C b TeneHHe 20 μηηυτ. OnepauHHHaHeceHHH h cyuiKH ποβτορηιοτ flBa«flbi h nonynaroT BbicyineHHoe ποκρητηθ c o6íneňTOJimHHOH 35 MKM. BblCyiUeHHblH CJIOH φοΤΟΗΥΒΟΤΒΗΤΘΗΒΗΟΗ flH3JieKTpHHeCKOň ΚΟΜΠΟ“3HflHH SKCnOHHpyiOT Ηθρθ3 φθΤΟΙΠ36ΠΟΗ C ΤΗΠΟΠΟΓΗΗβΟΚΗΜ pHCyHKOM flHH ΟΠρβ,ΑΘΠΘ“hhh pa3peuiaromeň cnocočHocTH, coflepacamHM jihhhh ιπηρηηοη 25-200 mkm c paccTO“ηηηθμ Mexfly hhmh 25-300 mkm, Ha ycTaHOBKe c ρτγτΗοή naMnoň MomnocTbio 375 BtIlocne 3KCnOHHpOBaHHH CJIOH npOHBJIJHOT 0,5%-HbIM paCTBOpOM ΤρΗΗ3ΤρΗήφθθφ3Τ3,πρΗ 3TOM oĎJiyneHHbie ynacTKH cnon BbiMbiBaraTca, φορΜπργπ pncyHOK flHsneKTpHKaCXeMbl, npOMblBaiOT flHCTHJIJIHpOBaHHOH BOflOň, CyUiaT ΠρΗ 150 C B TeneHHe 60 MHHyTh BJKHraroT B KOHBeňepHoň πθηη npn MaKCHManbHoň TeMnepaType 750 C. ΠρΗ stomb flHaneKTpHHecKOM cnoe o6pa3yroTCH KaHanbi, uihphhoh, H3MepeHHoň Ha mhkpocko-ne h onpefleJiHwmeň pa3peinawmyra cnocoÓHOCTb npennaraeMoň κομπο3Ηη;ηη. B Ta6jiHne 1 npHBefleHbí cocTaBbi CMeceň flnn npnroTOBJíeHHH npeflnoaceHHoň kom-ΠΟ3ΗΗΗΗ. 246578

TaSjímja 1 npHMep PaCTBOp COnOJIH-Mepa H3o6yTHJie-Ha.nunepHjieHah HHTpnna aKpn- JIOBOH KHCJIOTbl B flHMeTHJI<í>OPMa- PaCTBOp ΠΟ3ΗΤΗΒ— ΗΟΓΟ ýOTOpe3HCTab AHOKCaHe (b ne-pecqeTe na cy- C b η h e u;c op; epacaine eοτβκπο MapKH c' pa3MepoM qacraij0,5-2,5 mkm xoň eec) KOJiHne- CTBO, Γ MHfle Kpe- IIOCTb, 7. KOJ1H- necT- BO, r • ř, κρβ- nOCTb, 7» 1 11,4 2,1 45,3 15,75 12,15 2 11,4 2,64 40,0 12,36 15,0 3 15,3 3,93 45,3 8,07 • 18,0 4 8,3 1,8 40,2 12,3 15,9 5 17,1 4,38 50,0 9,9 15,72 6* 11,4 ' 2,64 45,3 10,86 15,0 * flonojiHHTejThHo BBefleHo 1,5 r oó-TepnHHeona.

CocTaBH h cpaBHHTfijiBHaH oifeHKa npe/yiaraeMoň κομπο3Ηβ;ηη h npoTorana řípusefleHbí b Ta6nnu;e 2. ' - TaSjíHna 2 Ν’ npH-Mep a CocTaB ýoTonyBCTBHTejibHoň κομπο3Ηιιηη BecoBbix nacTeň CBHHen- co#ep3ca- mee οτβκπο pacTBop ΠΟ3ΗΤΗΒ-ΗΟΓΟ φθ~T0pe3HC- Ta COnOJlH- Μβρ H30- SyrmieHa, nnnepHJie- Ha Η HHT- pHJia ax-pHJIOBOH KHCJIOTbl flHMGTHJl- φθρΜ3ΜΗΑ ού-ΤβρΠΗ- HeoJi Προτο- ΤΗΠ 31-48 51-69 - - - 4 53,0 41,0 0,5 5,5 - 1 40,5 52,5 0,8 6,2 - 246578 h- npoflO.JDKeHHe Ta6n.2 ---—- N> npH-Mepa Coctsb <J»oTo*iyBCTBHTejibHoň κομποβηκηη aecoBbix «tacTeň CBHHeií- coflepaca- mee ετβκηο pacTBop ΠΟ3ΗΤΗΒ“ΗΟΓΟ φθ~TOpe3HC- Ta COnOJlH” Mep H3O“ ĎyTuneHa, nwiepmie- Ha H HHT“ pHJia aK- pHJlOBOň KHCJIOTbl ΗΗΜβΤΗΠ- φορΜβΜΗΑ 06-ΤβρΠΗ- ΗβΟΠ 2 50,0 41,2 1,0 7,8 3 60,0 26,9 2,0 11,1 - 5 52,4 33,0 2,5 12,1 - 6 50,0 36,2 1,0 7,8 5,0 IIpoflOJixeHHe Ta6n.2 Ν* ΠΡΗ-Mepa ΒρβΜΗ 3KC-noHHpoBa- ΗΗΗ, MHHyT UlnpHHa Ka- HaJTOB Β cjioe flH-sneKTpHKa, mkm IIpHMenaHMe Προτο- ΤΗΠ 1-3 125 JKHflKaH ΚΟΜΠΟ3ΗΐχΗΗ,HaHeceHHe Ha ueHTpH-ýyre 4 2,0 75 IIacToo6pa3HaH kom-πο3ηπηη, HaHeceHHeΤρ3φ3ρθΤΗΟΗ nenaTblO 1 1,5 65 2 2,0 60 3 3,0 65 5 IlacTooSpasHaH oneHbBbICOKOBH3KaH ΚΟΜΠΟ“ 3ΗΠΗΗ, npH HaHeCeHHH3a6HBaeT ceTKy τρπφπρβτβ 6 2,0 50 nacToo6pa3Ha« κομποβη-u;hh, HaHeceHHe τρβφπρβτ-Hoň nenaTbio 246578 Κβκ ÉMflHo H3 npHBefleHHbix npHMepoB, npeřpiaraeMaH Φοτομυβοτβητ&πβη3Η ρ,η-aneKTpiraecKajt κομπο3Ηιρ«ι HMeer 6onee BbicoKyio no cpaBHeHHio c H3BecTHoň paa-petnaromyio cnocoSHocTb, oSecnenHBaiomyro nonyneHne xaHanoB b cnoe ρ,ΗΒΠβκτρηκβΠΜρΗΗοή 50-65 mkm, ητο πο3ΒοηΗβτ 3HanHTejibHo yBanHHHTb mioTHocTb pacnono-χβΗΗΗ 3JieMeHTOB b ToncTonneHonHbix MHKpocxeMax, noBbnnan creneHb HHTerpauHHnocneflHHx ho TpeTbero ypoBHH, npennaraeMaa komiio3Huhh o6naflaeT χοροπιημηpeonormiecKHMH xapaKTepHCTHKaMH, no3BonjnotHHMH HcnonbaoBaTb flnn HaHeceHHHΚΟΜΠΟ3ΗΗΗΗ HaHČonee yfloBHbiň Μβτοη Tpa^apeTHoů nenara, a Tax»e TpaflHUHOHHoeo6opynoBaHne ona nonyneHHH ToncTonneHonHbix MHxpocxeM. 246578 6 ΦΟΡΜΥΠΑ Η3ΟΒΡΕΤΕΗΗΗ

1. «DoTOHyBCTBHTertbuaH flHSJíeKTpHqecKaa κομπο3Ηαηη npeHMymecTBeHHo απηH3r0T0BJieHHH TOJlCTOrUieHOHHblX MHKpOCXeM, BKJHOHawmaH CBHHeiJCOflepJKaníee CTeKJIOH paCTBOp ΠΟ3ΗΤΗΒΗΟΓΟ 3>OTOpe3HCTa Ha OCHOBe 3ΦΗΡΟΒ O-XHHOHAHaSHAOB B ΟΡΓ3~HHHecKOM pacTBopHTejie, oTJimiaioinaHCH τθμ, mto, c Aejibio noBbnneHHH pas-pemawmeň cnocoSHocTH n yjiynuieHHH peoJiorimecKHx cboííctb, OHa aoiiojihh-TejibHo coflepjKHT pacTBop conojiHMepa H3o6yTHJieHa c nnnepnneHOM h hhtphjiomaKpHJioBoň KHCJioTbi o6meň $OpMyjIbI CH, | 1 - CH - C -| - - CH - CH =I = CH - CH2 - - - CH, - CH I 1 L ch3 . m 1 L ch3 n CN . cpeflHHH i^oJieKyjiHpHaa Macca - 800000 b ΑΗΜβτκπφορΜβΜΜΑβ, a b xaqecTBe pacT-BOpa Π03ΗΤΗΒΗ0ΓΟ φθΤΟΡβ3ΗΟΤΗ Ha OCHOBe θφΗΡΟΒ O“XHHOHflHa3HAOB B ΟΡΓβΗΗ- necKOM pacTBopHTene co^epacaT pacTBop πο3Ητηβηογο φοτορβΒΗρτβ Ha OCHOBeCyJIbφO^φHpOB O-XHH0HflHa3HflOB B flHOKCaHe npH CJieflyiOineM COflepacaHHH ΚΟΜΠΟΗβΗtob, BecoBbiX qacTeň: CBHHeucoflepwamee CTexjio 40,5-60,0

PaCTBOp ΠΟ3ΗΤΗΒΗΟΓΟ φ0Τ0ρβ3Η0Τ3Ha OCHOBe CyJlbφ0^φHP0B o-xhhoh- AHa3HflOB b AHOKcaHe ν,Β nepecueTeHa cyxoň ocTaTox)

CononHMep H3o6yTHJieHa, nHnepHJie-Ha H HHTpHJia aKpHJIOBOň KHCJIOTbloBnjeň φορι^ΠΜΑΗΜβΤΗίίφοΡΜΗΜΗΑ 2. ΚΟΜΠΟ3ΗΑΗΗ no π.1, oTininaKMuaHca:0,1-5,0 BecoBbix nacTeň ώ -TepnHHeoJia. 12,2-23,8 0,8-2,0 6,2-11,1

TeM, hto OHa βοπο,πηητθπβηο coflepscHT 246578

OoTOHyBCTBHTejibHaH flHaneKTpHHecxaH κομπο3Ηηηη othochtch k 3ηβκτροτεχ-HHKe.

Uejihio Η3οδρβτθΗΗΗ HBJíHeTCH noBbiiueHHe pa3peniaromeň ciiocoShocth h ynyniue-HHe peonorimecKKx cbořctb κομποβηηηη.

OoToqyBCTBHT&ribHaH flHanexTpHHecxaH κομπο3Ηι;ηη BxmonaeT CBHHeijcoflepjKaiueeCTeKJIO H paCTBOp ΠΟ3ΗΤΗΒΗΟΓΟ φθΤθρβ3Η<2Τ3 Ha OCHOBe 3φΗρθΒ O—XHHOHflHaaHflOBb opraHnweCKOM pacTBopHTene, cornacHo HaoCpeTeHHio, flononHHTejibHo coflepacHTpacTBop conoJiHMepa HaoSyraneHa c nHnepnneHoM h hhtphjiom axpHnoBoň κηοποτμo6meň φορΜγπω

Γ CH, ' 1 - ch, - ο-ι — - CH - CH =I = CH - CH2 - - - CH, - CH I 1 ch3 . m 1 L ch3 h 1 L CN J cpeflHHH MoneKyjiHpHas Macca - 800000 b πΗΜβτΗηφορΜβΜΗΑβ, a b xanecTBepacTBopa πο3ητηβηογο φοτορβ3Ηοτ3 Ha OCHOBe 3φπροΒ o-XHHoH,E(Ha3HflOB b opra-HHHeCKOM pacTBopHTene COflepJKHT pacTBop Π03ΗΤΗΒΗΟΓΟ φθΤθρβ3ΗΟΤ3 Ha OCHOBeΟνΠΒφΟΒφΗρΟΒ O-XHHOHAHa3HflOB B flHOKCaHe ΠρΗ CJieflyKMUeM COflepJKaHHH ΚΟΜΠΟΗβΗ-tob, BecoBbix qacTeťí: CBHHeucoflepwamee CTex.no

PacTBop ΠΟ3ΗΤΗΒΗΟΓΟ (J)OTOpe3HCTaHa OCHOBe 0^ΠΒφ03φΗρ0Β O“XHHOH“nna3HfloB b nHoxcaHe (b nepecneTeHa cyxoň οοτβτοκ)

CononHMep H3o6y™neHa, nHnepHneHah HHTpHna axpanoBOH KHcnoTbi oSmeňφορΝΓ/ίΙΗ ΑΗΜΘΤΗηφορΜΒΜΗη 40,5-60,0 12,2-23,8 0,8-2,0 6,2-11,1 ΠρΗ3Η3Ηο H3o6peTeHHeM no pe3ynbTaTaM 3KcnepTH3bi, ocyiuecTBneHHoň Tocyflap-CTBeHHbíM ΚοΜΗτβτΟΜ CCCP no nenaM Η3ο6ρετβΗΗή η οτκρητηΑ. 246578

Claims

246 578 Ρ β E D Μ 5 T VYNÁLEZU 1« Potocitlivá dielektrická sloučenina a výhodou používanápro výrobu mikroobvodů na silných vrstvách, zahrnujícíolovnaté sklo a roztok pozitivního fotorezistu na základěesterů o-chinondiazidů v organickém rozpouštědle, vyznaču-jící se tím, že pro zvýšení rozlišovací schopnosti a zlep-šení reologických vlastností, obsahuje jako doplněk roztokkopolymeru izobutylenu s piperilenem a nitrilem kyselinyakrylové o střední molekulové hmotě 800 000 obecného vzorce CH-, 5 — — " — f 1 - CH2 - c - rá3J m -CH - CH - CH - CEL - 1 CHX - 5 J »í - CH2 - CN I CN » Á6 v dimetylformamidu a jako roztok pozitivního fotorezistuna základě esterů o-chinondiazidů v organickém rozpouštědleobsahuje roztok pozitivního fotorezistu na základě sulfo-eSterů o-chinondiazidů v dioxanu při následujícím obsahu slo-žek. v hmotnostních dílech ; . olovnaté sklo roztok pozitivního fotorezistu nazákladě sulfoesterů o-chinondiazidův dioxanu - v přepočtu na suchýzbytek kopolymer izobutylenu, piperilenu anitrilu kyseliny akrylovéobecného vzorce dimetyformamid 40,5 až 60,0 12,2 až 25,8 0,8 až 2,06,2 až 11,1
2. Fotocitlivá dielektrická sloučenina podle bodu 1, vyzna-čující se tím, že obsahuje jako doplněk 0,1 až 5»θ hmotnostníchdílůoC - terpinolu.