CS237688B1 - Zařízení pro oboustranné mechanické čištění křemíkových a jiných tenkých kruhových destiček - Google Patents
Zařízení pro oboustranné mechanické čištění křemíkových a jiných tenkých kruhových destiček Download PDFInfo
- Publication number
- CS237688B1 CS237688B1 CS712283A CS712283A CS237688B1 CS 237688 B1 CS237688 B1 CS 237688B1 CS 712283 A CS712283 A CS 712283A CS 712283 A CS712283 A CS 712283A CS 237688 B1 CS237688 B1 CS 237688B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- lid
- silicon
- double
- symmetrically distributed
- circular plates
- Prior art date
Links
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
pouzdra, na jehož víku jsou symetricky rozloženy mycí segmenty, přičemž víko s pouzdrem statoru svírá unášecí lemy statoru a je opatřeno zasouvacím kolečkem na ose v palci a jednak z rotoru, na němž jsou symetricky rozloženy mycí segmenty a víčkem sevřeny unášecí lemy íotoru. Pohon celého zařízení zajišťuje jeden motor. Křemíková destička, vtlačena do pracovního prostoru vymezeného unášecími lemy statoru a unášecími lemy rotoru je jimi odyalována v určité rovině. Současně dochází k jejímu oboustrannému čištění mycími segmenty, jenž se také vzájemně čistí.
Description
Vynález se týká zařízení pro oboustranné mechanické čištění křemíkových a jiných tenkých kruhových destiček současně v jednom pracovním cyklu.
V současné době se při výrobě polovodičových prvků používají zařízení, v nichž je křemíková destička uchycena vakuem na pracovním otočném stolku za zadní stranu a je omývána jednostranně kartáči nebo proudem vysokotlaké vody. Pokud je nutné omýt i druhou stranu, je třeba křemíkovou destičku otočit a při tom opět dojde ke kontaktu čisté plochy se stolkem. Kvalita provedené operace je velmi závislá na manipulaci a čistotě.
Uvedené nedostatky odstraňuje zařízení pro oboustranné mechanické čištění křemíkových a jiných tenkých kruhových destiček podle vynálezu, jehož podstata spočívá v tom, že se skládá jednak ze statorového pouzdra, na jehož víku jsou symetricky rozloženy mycí segmenty, přičemž víko se statorovým pouzdrem svírá unášecí lemy statoru a je opatřeno zasouvacím kolečkem na ose s palci a jednak z rotoru, na němž jsou symetricky rozloženy mycí segmenty a víčkem sevřeny unášecí lemy rotoru. Pohon celého zařízení zajišťuje jeden motor.
Výhody vynálezu spočívají ve zvýšené na středové plochy křemíkové destičky při řizovacích nákladech zařízení.
kvalitě čištění zejmépodstatně nižších poVynález je blíže objasněn pomocí připojených výkresů, kde na obr. 1 je znázorněn bokorys zařízení a na obr. 2 řez rovinou zařízení.
Zařízení pro oboustranné mechanické čištění křemíkových a jiných tenkých kruhových destiček se skládá ze statorového pouzdra 1, na jehož víku 2 jsou symetricky rozloženy mycí segmenty 8.
- 2 237 688
Víko 2 se statorovým pouzdrem svírá unášecí lemy 7, 7' a je opatřeno zasouvacím kolečkem 13 na ose 11 s palci 18, 18 '. Dále se zařízení podle vynálezu skládá z rotoru 2» na němž jsou symetricky rozloženy mycí segmenty 8/ a víčkem 4 sevřeny unášecí lemy 6, 6_\ Pohon celého zařízení zajišťuje jeden motor.
Křemíková destička 20 vložená do vstupní štěrbiny je uchopena unášecími lemy <?, 9' zasouvacího kolečka 13 a palcem 18' a zasunuta do unášecích lemů 6, 6' rotoru a unášecích lemů 7, T_L statoru v pracovním prostoru. Mycí segmenty 8, 8Z ustaví křemíkovou destičku 20 v určené rovině. Jelikož hřídel 11 zasouvacího kolečka 13 a hřídel 5 rotoru jsou spojeny s motorem 17, řemeničkou 12 pomocí řemínku 14, dojde ihned po vtlačení křemíkové destičky 20 k jejímu odvalování po dráze vymezené unášecími lemy 7.» 7z statoru. Zároveň dochází ke stírání destičky 20 molita-: novými mycími segmenty 8' rotoru a 8 statoru. Pracovní dráha je zakončena vtlačením křemíkové destičky 20 do unášecích lemů 2» 9' zasouvacího kolečka 13 a pomocí palce 18 je křemíková destička 20 vytažena z pracovního prostoru. Není-li v pracovním prostoru křemíková destička 20, dochází k samočištění mycích segmentů 8, 8/ vzájemným otíráním. Sadování lze automatizovat.
Claims (1)
- PŘEDMĚT VYNÁLEZU237 688Zařízení pro oboustranné’ mechanické čištění křemíkových a jiných tenkých kruhových destiček vyznačené tím, že se skládá jednak ze statorového pouzdra /1/, na jehož víku /2/ jsou symetricky rozloženy mycí segmenty /8/, přičemž víko !2j se statorovým pouzdrem /1/ svírá unášecí lemy /7, 7*/ a je opatřeno zasouvacím kolečkem /13/ na ose /11/ s palci /18, 18*/, a jednak z rotoru /3/, na němž jsou symetricky rozloženy mycí segmenty /8*J a víčkem /4/ sevřeny unášecí lemy /6, 6'/, přičemž pohon celého zařízení zajišíuje jeden motor.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS712283A CS237688B1 (cs) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | Zařízení pro oboustranné mechanické čištění křemíkových a jiných tenkých kruhových destiček |
| SU847773512A SU1392602A1 (ru) | 1983-09-29 | 1984-08-02 | Устройство дл двухсторонней механической очистки кремниевых и других тонких круглых пластин |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS712283A CS237688B1 (cs) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | Zařízení pro oboustranné mechanické čištění křemíkových a jiných tenkých kruhových destiček |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS237688B1 true CS237688B1 (cs) | 1985-09-17 |
Family
ID=5419774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS712283A CS237688B1 (cs) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | Zařízení pro oboustranné mechanické čištění křemíkových a jiných tenkých kruhových destiček |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS237688B1 (cs) |
| SU (1) | SU1392602A1 (cs) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2275972C1 (ru) * | 2004-08-26 | 2006-05-10 | Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения" (ОАО "НИИПМ") | Устройство для двухсторонней очистки пластин |
| RU2328054C1 (ru) * | 2006-09-13 | 2008-06-27 | Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения" ОАО "НИИПМ" | Устройство для двухсторонней обработки пластин, например фотошаблонов |
-
1983
- 1983-09-29 CS CS712283A patent/CS237688B1/cs unknown
-
1984
- 1984-08-02 SU SU847773512A patent/SU1392602A1/ru active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| SU1392602A1 (ru) | 1988-04-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3841491B2 (ja) | ポリッシング装置 | |
| US4318749A (en) | Wettable carrier in gas drying system for wafers | |
| US3970471A (en) | Methods and apparatus for treating wafer-like articles | |
| US7276108B2 (en) | Filter device and cleaning method therefor | |
| JPH0645302A (ja) | 処理装置 | |
| JP3377414B2 (ja) | 処理装置 | |
| US4354292A (en) | Arrangement for cleaning circuit cards particularly for removing soldering and resin remnants | |
| JP2001096245A (ja) | 洗浄方法および洗浄装置 | |
| CS237688B1 (cs) | Zařízení pro oboustranné mechanické čištění křemíkových a jiných tenkých kruhových destiček | |
| US6837941B2 (en) | Cleaning and handling methods of electronic component and cleaning apparatus thereof | |
| US4101999A (en) | Battery operated device for cleaning phonograph records and the like | |
| EP0020088B1 (en) | Apparatus for cleaning glass masks | |
| JPH02253620A (ja) | 半導体基板の洗浄装置 | |
| CN210119077U (zh) | 一种试管清洗烘干装置 | |
| CN101180711A (zh) | 半导体晶片清洁系统 | |
| JP2000150441A (ja) | ローラブラシ洗浄装置 | |
| JPH0936076A (ja) | 洗浄装置 | |
| JPS6348678A (ja) | 表面清掃装置 | |
| JPS63178531A (ja) | 水洗式中間ステ−ジ | |
| CN209550053U (zh) | 一种电路面板端子清洗装置 | |
| KR20070118205A (ko) | 웨이퍼 세정 장치의 척 구조 | |
| JPH09321005A (ja) | スピン洗浄処理ユニット | |
| CN222343642U (zh) | 一种vcm清洁装置 | |
| JPS58139751A (ja) | 電気集じん機の清掃装置 | |
| CN221429215U (zh) | 一种pcb印刷电路板全自动清洗装置 |