CN221262311U - 一种晶圆贴片治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆贴片技术领域，具体涉及一种晶圆贴片治具。该晶圆贴片治具，包括：治具本体，治具本体内具有圆形通孔，治具本体具有环形凹槽，子母扩晶环固定设置在环形凹槽内，环形凹槽的外侧设置有环形凸部，治具本体设置在贴片铁环内，治具本体通过胶膜与贴片铁环固定连接，胶膜的一端与环形凸部粘贴，胶膜的一端与贴片铁环粘贴；压环，与环形凸部固定连接，胶膜设置在环形凸部和压环之间。将子母扩晶环固定设置在环形凹槽内，胶膜的两端分别与环形凸部和贴片铁环粘贴，压环固定设在环形凸部上，对胶膜进行固定，从而可将治具本体连同贴片铁环一起放置在贴片机的工作台上，使贴片机可对子母扩晶环上的晶圆进行贴片作业。

Description

一种晶圆贴片治具

技术领域

本实用新型涉及晶圆贴片技术领域，具体涉及一种晶圆贴片治具。

背景技术

晶圆贴片作业中，一般具有标准铁环来料和子母扩晶环来料两种来料方式，两种来料方式分别采用不同的生产工艺。其中，子母扩晶环来料是将切割后的晶圆通过扩膜工序与子母扩晶环扣合在一起而得到的。

在现有技术中，市面上大部分的贴片机通常只支持直径为8&12英寸的标准铁环来料的贴片作业，而子母扩晶环来料的直径小于标准铁环来料，导致大部分的贴片机无法对子母扩晶环来料进行贴片作业，因此，亟需一种可以辅助贴片机对子母扩晶环来料贴片作业的治具。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于子母扩晶环来料的直径小于标准铁环来料，导致大部分的贴片机无法对子母扩晶环来料进行贴片作业的缺陷，从而提供一种晶圆贴片治具。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种晶圆贴片治具，包括：

治具本体，所述治具本体内具有圆形通孔，所述治具本体具有环形凹槽，子母扩晶环固定设置在所述环形凹槽内，所述环形凹槽的外侧设置有环形凸部，所述治具本体设置在贴片铁环内，所述治具本体通过胶膜与所述贴片铁环固定连接，所述胶膜的一端与所述环形凸部粘贴，所述胶膜的一端与所述贴片铁环粘贴；

压环，与所述环形凸部固定连接，所述胶膜设置在所述环形凸部和所述压环之间。

进一步的，所述环形凹槽内设置有固定组件，所述固定组件适于将所述子母扩晶环固定设置在所述环形凹槽内。

进一步的，所述环形凸部与所述压环上均设置有连接孔，所述环形凸部的连接孔与所述压环的连接孔对应设置，固定销依次穿过两个连接孔将所述环形凸部与所述压环固定连接。

进一步的，所述固定组件包括至少两个固定件，所述固定件间隔设置在所述环形凹槽上，任一所述固定件上设置有伸缩销，所述伸缩销的一端与所述子母扩晶环的外周面抵接。

进一步的，任一所述固定件内设置有弹簧，所述弹簧的两端分别与所述固定件和所述伸缩销的另一端连接。

进一步的，所述治具本体设置在所述贴片铁环内，所述治具本体和所述贴片铁环同心设置。

进一步的，所述子母扩晶环上设置有晶圆。

进一步的，所述连接孔内具有内螺纹，所述固定销表面设置有外螺纹，所述固定销与所述连接孔螺纹连接。

本实用新型具有以下优点：

本实用新型公开了一种晶圆贴片治具，将治具本体设置在贴片铁环内，将子母扩晶环固定设置在环形凹槽内，治具本体通过胶膜与贴片铁环固定连接，胶膜的两端分别与环形凸部和贴片铁环粘贴，压环固定设在环形凸部上，对胶膜进行固定，从而可将治具本体连同贴片铁环一起放置在贴片机的工作台上，使贴片机可对子母扩晶环上的晶圆进行贴片作业，进一步的，提高了工作效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例中晶圆贴片治具的爆炸图；

附图标记说明：

1、治具本体；2、环形凹槽；3、环形凸部；4、贴片铁环；5、压环；6、连接孔；7、固定件；8、伸缩销。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

如图1所示，本实用新型提供了一种晶圆贴片治具，包括：治具本体1和压环5。治具本体1内具有圆形通孔，治具本体1具有环形凹槽2，子母扩晶环固定设置在环形凹槽2内，环形凹槽2的外侧设置有环形凸部3，治具本体1设置在贴片铁环4内，治具本体1通过胶膜与贴片铁环4固定连接，胶膜的一端与环形凸部3粘贴，胶膜的一端与贴片铁环4粘贴。压环5与环形凸部3固定连接，胶膜设置在环形凸部3和压环5之间。

进一步的，治具本体1设置在贴片铁环4内，治具本体1和贴片铁环4同心设置。

进一步的，子母扩晶环上设置有晶圆。

具体的，治具本体1设置在贴片铁环4的圆孔内，治具本体1和贴片铁环4同心设置。圆孔的治具本体1为圆环形结构，治具本体1内具有圆形通孔，圆形通孔的直径与子母扩晶环上晶圆的直径相同，治具本体1上具有环形凹槽2，子母扩晶环固定设置在环形凹槽2内，子母扩晶环上固定设置有晶圆，晶圆与圆形通孔相互对应。环形凹槽2的外周具有环形凸部3，环形凹槽2通过胶膜与贴片铁环4固定连接，胶膜的一端与环形凹槽2的上端面粘贴，胶膜的另一端与贴片铁环4的上端面粘贴，从而实现了对治具本体1的定位。压环5固定设置在环形凸部3的上端面，压环5可将与环形凸部3粘贴的胶膜进行固定，压环5的外径与治具本体1的外径相同，压环5的内径与环形凹槽2的外径相同。将压环5固定在治具本体1上后，将治具本体1和贴片铁环4放置在贴片机的工作台上，工作台上的限位结构将贴片铁环4固定后，可对子母扩晶环上的晶圆进行作业。

进一步的，环形凹槽2内设置有固定组件，固定组件适于将子母扩晶环固定设置在环形凹槽2内。

进一步的，固定组件包括至少两个固定件7，固定件7间隔设置在环形凹槽2上，任一固定件7上设置有伸缩销8，伸缩销8的一端与子母扩晶环的外周面抵接。

优选的，如图1所示，在本实施例中，环形凹槽2上设置有三个固定件7，三个固定件7均匀间隔设置，固定件7上还设置有卡勾，卡勾可卡设在子母扩晶环的内径面，将子母扩晶环固定在环形凹槽2上。一个固定件7上还设置有伸缩销8，伸缩销8的一端设置在固定件7内，伸缩销8的另一端可与子母扩晶环的周面抵接，伸缩销8可对子母扩晶环提供作用力，使子母扩晶环更好的固定在环形凹槽2上。同时，伸缩销8可进行伸缩，使不同尺寸的子母扩晶环均可设置在环形凹槽2上。

在其他可选实施例中，环形凹槽2上可设置有四个、五个等其他数量的固定件7。

进一步的，任一固定件7内设置有弹簧，弹簧的两端分别与固定件7和伸缩销8的另一端连接。伸缩销8的一端可穿过固定件7的侧壁与弹簧的一端连接，弹簧可驱动伸缩销8进行伸缩，弹簧可为伸缩销8提供推力，使伸缩销8的另一端与子母扩晶环的外周面抵接。

进一步的，环形凸部3与压环5上均设置有连接孔6，环形凸部3的连接孔6与压环5的连接孔6对应设置，固定销依次穿过两个连接孔6将环形凸部3与压环5固定连接。

优选的，如图1所示，在本实施例中，环形凸部3与压环5上均设置有八个连接孔6，环形凸部3的连接孔6与压环5的连接孔6对应设置，固定销依次穿过环形凸部3和压环5相对应的连接孔6，从而可将环形凸部3和压环5固定连接。在其他可选实施例中，环形凸部3与压环5上可分别设置有七个或九个等其他数量的连接孔6。

进一步的，连接孔6内具有内螺纹，固定销表面设置有外螺纹，固定销与连接孔6螺纹连接。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (8)

1.一种晶圆贴片治具，其特征在于，包括：

治具本体(1)，所述治具本体(1)内具有圆形通孔，所述治具本体(1)具有环形凹槽(2)，子母扩晶环固定设置在所述环形凹槽(2)内，所述环形凹槽(2)的外侧设置有环形凸部(3)，所述治具本体(1)设置在贴片铁环(4)内，所述治具本体(1)通过胶膜与所述贴片铁环(4)固定连接，所述胶膜的一端与所述环形凸部(3)粘贴，所述胶膜的一端与所述贴片铁环(4)粘贴；

压环(5)，与所述环形凸部(3)固定连接，所述胶膜设置在所述环形凸部(3)和所述压环(5)之间。

2.根据权利要求1所述的晶圆贴片治具，其特征在于：

所述环形凹槽(2)内设置有固定组件，所述固定组件适于将所述子母扩晶环固定设置在所述环形凹槽(2)内。

3.根据权利要求2所述的晶圆贴片治具，其特征在于：

所述环形凸部(3)与所述压环(5)上均设置有连接孔(6)，所述环形凸部(3)的连接孔(6)与所述压环(5)的连接孔(6)对应设置，固定销依次穿过两个连接孔(6)将所述环形凸部(3)与所述压环(5)固定连接。

4.根据权利要求2或3所述的晶圆贴片治具，其特征在于：

所述固定组件包括至少两个固定件(7)，所述固定件(7)间隔设置在所述环形凹槽(2)上，任一所述固定件(7)上设置有伸缩销(8)，所述伸缩销(8)的一端与所述子母扩晶环的外周面抵接。

5.根据权利要求4所述的晶圆贴片治具，其特征在于：

任一所述固定件(7)内设置有弹簧，所述弹簧的两端分别与所述固定件(7)和所述伸缩销(8)的另一端连接。

6.根据权利要求1所述的晶圆贴片治具，其特征在于：

所述治具本体(1)设置在所述贴片铁环(4)内，所述治具本体(1)和所述贴片铁环(4)同心设置。

7.根据权利要求5或6所述的晶圆贴片治具，其特征在于：

所述子母扩晶环上设置有晶圆。

8.根据权利要求3所述的晶圆贴片治具，其特征在于：

所述连接孔(6)内具有内螺纹，所述固定销表面设置有外螺纹，所述固定销与所述连接孔(6)螺纹连接。