CN221065005U - 一种led晶圆的焊接固定设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体加工技术领域，提出了一种LED晶圆的焊接固定设备，包括支撑柱，其上滑动设置有升降托板，升降托板用于支撑晶圆；连杆组件，其设置有多个，多个连杆组件围绕支撑柱外壁周向布置；连杆组件包括：伸缩杆，其一端与支撑柱外壁纵向滑动连接，其另一端铰接有卡板，卡板用于对晶圆进行限位；限位杆，其一端与支撑柱外壁铰接，其另一端与伸缩杆中部铰接；限位杆用于支撑所述伸缩杆，以使伸缩杆沿支撑柱的外壁纵向移动的同时发生偏转。通过上述技术方案，解决了现有技术中由于晶圆特别薄且不同规格的晶圆的大小不同，普通的夹持工具不适用于对不同规格的晶圆固定和焊接的问题。

Description

一种LED晶圆的焊接固定设备

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体的，涉及一种LED晶圆的焊接固定设备。

背景技术

晶圆是指制作半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨、抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。

晶圆在进行加工中需要在晶圆上进行焊接连接点，为了保证晶圆在焊接过程中的稳定，需要对晶圆进行固定，但由于晶圆特别薄且不同规格的晶圆的大小不同，因此在装夹固定时需要特别小心，普通的夹持工具夹持效果不佳，且不适用于对不同规格的晶圆固定和焊接。

相应的，本领域需要一种新的LED晶圆的焊接固定设备以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型提出一种LED晶圆的焊接固定设备，解决了相关技术中的由于晶圆特别薄且不同规格的晶圆的大小不同，因此在装夹固定时需要特别小心，普通的夹持工具夹持效果不佳，不适用于对不同规格的晶圆固定和焊接的问题。

本实用新型的技术方案如下：

一种LED晶圆的焊接固定设备，包括：

支撑柱，其上滑动设置有升降托板，所述升降托板用于支撑晶圆；

连杆组件，其设置有多个，多个所述连杆组件围绕所述支撑柱外壁周向布置；所述连杆组件包括：

伸缩杆，其一端与所述支撑柱外壁纵向滑动连接，其另一端铰接有卡板，所述卡板用于对晶圆进行限位；

限位杆，其一端与所述支撑柱外壁铰接，其另一端与所述伸缩杆中部铰接；所述限位杆用于支撑所述伸缩杆，以使所述伸缩杆沿所述支撑柱的外壁纵向移动的同时发生偏转。

优选的，所述连杆组件还包括：

驱动器，所述驱动器的活动端与所述伸缩杆的底端连接，所述驱动器用于驱动所述伸缩杆沿所述支撑柱外壁纵向移动。

优选的，所述支撑柱外壁周向上等间隔设置有滑槽，所述滑槽内部滑动连接有滑块，所述滑块与所述伸缩杆远离所述卡板的一端铰接。

优选的，所述滑块呈L型，所述滑块底面与所述驱动器的活动端固定连接。

优选的，所述伸缩杆包括：

固定筒，其一端与所述滑块铰接，所述固定筒外壁中部与所述限位杆远离所述支撑柱的一端铰接；所述固定筒的筒身上开设有多个螺纹孔，多个所述螺纹孔沿所述固定筒轴线的方向等间距间隔布置；

活塞杆，其滑动设置于所述固定筒内部，所述活塞杆远离所述固定筒的一端与所述卡板底面铰接；所述活塞杆上开设有至少一个圆孔；

螺栓，其与所述螺纹孔螺纹连接，所述螺栓依次贯穿所述螺纹孔和所述圆孔，所述螺栓用于将所述活塞杆固定于所述固定筒内。

优选的，所述卡板包括：

固定板，其上开设有用于压紧晶圆侧边的卡槽；

连接件，其设置于所述固定板下方，用于与所述活塞杆端部铰接。

优选的，所述连接件包括：

挡块，其设置有两个，两个所述挡块之间设置有连接轴，所述连接轴的两端分别与两所述挡块固定连接，所述活塞杆的一端与所述连接轴转动连接；两个所述挡块上均水平开设有通槽；

调节件，其滑动设置于所述通槽内部，所述调节件与所述活塞杆搭接，所述调节件用于保持所述固定板水平。

优选的，所述调节件包括：

圆杆，所述圆杆的两端分别与两个所述通槽滑动连接，所述圆杆的杆身与所述活塞杆搭接；所述圆杆端部开设有螺纹通孔；

调节螺杆，其贯穿所述挡块侧壁并伸入所述通槽中，所述调节螺杆与所述通槽平行布置，所述调节螺杆与所述螺纹通孔螺纹连接，所述调节螺杆用于控制所述圆杆沿所述通槽滑动。

本实用新型的有益效果为：

1、本实用新型中通过支撑柱中的升降托板对晶圆的中部进行支撑，防止在焊接的过程中，晶圆中部发生破裂，其次，通过设置多个连杆组件对晶圆的四周进行限位固定，防止在焊接的过程中晶圆出现位移，导致出现焊接效果不佳的情况。

2、本实用新型的升降托板可以相对支撑柱进行升降，连杆组件中的伸缩杆可以进行伸缩以及伸缩杆整体相对支撑柱可以进行升降和偏转，使固定设备整体可以适配不同规格的晶圆，提高的焊接固定设备的实用性。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

图1为本实用新型固定装置结构示意图；

图2为图1中A处局部放大图；

图3为本实用新型固定装置主视图；

图4为图3中B处局部放大图；

图5为本实用新型固定装置俯视图。

图中，1、支撑柱；2、伸缩杆；201、活塞杆；202、固定筒；203、螺纹孔；3、限位杆；4、升降托板；5、卡板；501、固定板；502、卡槽；503、挡块；504、通槽；505、圆杆；506、调节螺杆；6、驱动器；7、滑槽；8、滑块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都涉及本实用新型保护的范围。

如图1~5所示，本实施例提出了一种LED晶圆的焊接固定设备，包括：

支撑柱1，其上滑动设置有升降托板4，升降托板4用于支撑晶圆。

连杆组件，其设置有多个，多个连杆组件围绕支撑柱1外壁周向等间距布置；连杆组件包括：

伸缩杆2，其一端与支撑柱1外壁纵向滑动连接，其另一端铰接有卡板5，卡板5用于对晶圆进行限位。

限位杆3，其一端与支撑柱1外壁铰接，其另一端与伸缩杆2中部铰接；限位杆3用于支撑伸缩杆2，以使伸缩杆2沿支撑柱1的外壁纵向移动的同时发生偏转。

在上述技术方案中，支撑柱1为顶部开口、内部是空腔的柱体，升降托板4滑动设置于支撑柱1内部，升降托板4可以采用气缸、电动推杆作为动力源，在升降托板4的上方设置有圆盘，圆盘用于支撑晶圆。本方案中的连杆组件设置有四个，四个连杆组件分别对应支撑柱1的四个面，因此，四个连杆组件关于支撑柱1为中心对称布置。

需要说明的是，本方案中的伸缩杆2和限位杆3的设置方式与雨伞的伞骨的原理相似，其中限位杆3主要用于对伸缩杆2进行限位，当伸缩杆2沿支撑柱1侧壁上下移动时，限位杆3也会随之张开或者收回，以使伸缩杆2在移动的过程中发生偏转，实现伸缩杆2对不同规格的晶圆进行夹紧。位于伸缩杆2上的卡板5既用于支撑晶圆也用于对晶圆进行限位，且四个卡板5相互组合可以完成对整个晶圆的固定。

进一步的，还包括：

驱动器6，其设置有多个，多个驱动器6围绕支撑柱1外壁周向等间距布置，驱动器6用于驱动伸缩杆2沿支撑柱1外壁纵向移动。驱动器6为气缸、电动推杆或者电机带动丝杠螺母的形式。驱动器6用于推动伸缩杆2沿支撑柱1外壁纵向进行往复移动。驱动器6也设置有四个，四个驱动器6与四个伸缩杆2分别一一对应。

进一步的，支撑柱1外壁周向上等间隔设置有滑槽7，滑槽7内部滑动连接有滑块8，滑块8与伸缩杆2远离卡板5的一端铰接。滑块8与滑槽7不会滑脱，滑槽7内部设置有用于防止滑块8滑脱的限位槽，限位槽与滑块8滑动连接。另外需要说明的是，驱动器6的活动端在不工作时位于滑槽7底部，保证伸缩杆2可以伸到滑槽7最底部。

进一步的，滑块8呈L型，滑块8底面与驱动器6的活动端固定连接。滑块8包括横板和竖板，竖板沿滑槽7滑动连接，竖板上设置有铰接部，铰接部用于与伸缩杆2的底端铰接，横板用于与驱动器6的活动端连接，在驱动器6的带动下，滑块8沿滑槽7滑动连接。

进一步的，伸缩杆2包括：

固定筒202，其一端与滑块8铰接，固定筒202外壁中部与限位杆3远离支撑柱1的一端铰接；固定筒202的筒身上开设有多个螺纹孔203，多个螺纹孔203沿固定筒202轴线的方向等间距间隔布置。

活塞杆201，其滑动设置于固定筒202内部，活塞杆201远离固定筒202的一端与卡板5底面铰接；活塞杆201上开设有至少一个圆孔，圆孔的孔径与螺纹孔203的孔径相同。

螺栓，其与螺纹孔203螺纹连接，螺栓用于将活塞杆201固定于固定筒202内。螺栓在使用时依次贯穿螺纹孔203和圆孔，以提高活塞杆201的连接强度。

在上述方案中，螺栓可以采用蝶形螺栓，方便使用者手动调整螺栓的安装位置。当需要伸缩活塞杆201时，只需要手动拧动螺栓并将螺栓拔出即可，然后手动拉出或者收回活塞杆201，再用螺栓将活塞杆201相对于固定筒202固定即可。需要说明的是，通过调整活塞杆201的伸出长度，可以调整卡板5的夹持尺寸。

进一步的，卡板5包括：

固定板501，其上开设有用于压紧晶圆侧边的卡槽502。

连接件，其设置于固定板501下方，用于与活塞杆201端部铰接。

在上述方案中，卡槽502的纵截面呈L型，卡槽502既可以支撑晶圆也可以挤压晶圆的侧边，保证晶圆固定的稳定性。

进一步的，连接件包括：

挡块503，其设置有两个，两个挡块503之间设置有连接轴，活塞杆201的一端与连接轴转动连接；两个挡块503上均水平开设有通槽504。

调节件，其滑动设置于通槽504内部，调节件与活塞杆201搭接，调节件用于保持固定板501水平。

在上述方案中，两个挡块503关于固定板501的中心对称布置，两个挡块503之间留有容纳活塞杆201端部的间隙。连接轴设置于两挡块503之间并位于两挡块503之间一侧，当卡板5静止时，调节件可以搭接在活塞杆201的表面，以保证卡板5水平放置，也提高了稳定性。可以理解的是，由于伸缩杆2可以在移动时会发生偏转，因此，需要通过调整活塞杆201在通槽504内的位置保持卡板5的水平。

进一步的，调节件包括：

圆杆505，圆杆505的两端分别与两个通槽504滑动连接，圆杆505的杆身与活塞杆201端部搭接；圆杆505端部开设有螺纹通孔。

调节螺杆506，其贯穿挡块503侧壁并伸入通槽504中，调节螺杆506与通槽504平行布置，调节螺杆506与螺纹通孔螺纹连接，调节螺杆506用于控制圆杆505沿通槽504滑动。

在上述方案中，圆杆505与通槽504滑动连接且圆杆505与滑槽7不会滑脱，通过转动调节螺杆506，可以使圆杆505沿通槽504移动，进而实现对卡板5的水平度进行调整。

工作过程：首先启动升降托板4，升降托板4沿支撑柱1向上滑出，然后将晶圆放置在升降托板4上部，调整升降托板4的高度，当升降托板4调整完毕后，同时启动多个驱动器6，驱动器6推动伸缩杆2沿滑槽7上移，在伸缩杆2上移的同时，限位杆3会使伸缩杆2偏转，当伸缩杆2带动卡板5向上移动到与晶圆接近的位置时，调整伸缩杆2上活塞杆201的位置，直至卡板5与晶圆侧边接触即可，然后调整调节螺杆506，进而实现对卡板5水平度的调整，此时晶圆的工作结束。当焊接工作完成后，只需要驱动器6再次向上移动即可松开晶圆，此时工作人员将焊接后的晶圆取下即可。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种LED晶圆的焊接固定设备，其特征在于，包括：

支撑柱（1），其上滑动设置有升降托板（4），所述升降托板（4）用于支撑晶圆；

连杆组件，其设置有多个，多个所述连杆组件围绕所述支撑柱（1）外壁周向布置；所述连杆组件包括：

伸缩杆（2），其一端与所述支撑柱（1）外壁纵向滑动连接，其另一端铰接有卡板（5），所述卡板（5）用于对晶圆进行限位；

限位杆（3），其一端与所述支撑柱（1）外壁铰接，其另一端与所述伸缩杆（2）中部铰接；所述限位杆（3）用于支撑所述伸缩杆（2），以使所述伸缩杆（2）沿所述支撑柱（1）的外壁纵向移动的同时发生偏转。

2.根据权利要求1所述的一种LED晶圆的焊接固定设备，其特征在于，所述连杆组件还包括：

驱动器（6），所述驱动器（6）的活动端与所述伸缩杆（2）的底端连接，所述驱动器（6）用于驱动所述伸缩杆（2）沿所述支撑柱（1）外壁纵向移动。

3.根据权利要求2所述的一种LED晶圆的焊接固定设备，其特征在于，所述支撑柱（1）外壁周向上等间隔设置有滑槽（7），所述滑槽（7）内部滑动连接有滑块（8），所述滑块（8）与所述伸缩杆（2）远离所述卡板（5）的一端铰接。

4.根据权利要求3所述的一种LED晶圆的焊接固定设备，其特征在于，所述滑块（8）呈L型，所述滑块（8）底面与所述驱动器（6）的活动端固定连接。

5.根据权利要求3所述的一种LED晶圆的焊接固定设备，其特征在于，所述伸缩杆（2）包括：

固定筒（202），其一端与所述滑块（8）铰接，所述固定筒（202）外壁中部与所述限位杆（3）远离所述支撑柱（1）的一端铰接；所述固定筒（202）的筒身上开设有多个螺纹孔（203），多个所述螺纹孔（203）沿所述固定筒（202）轴线的方向等间距间隔布置；

活塞杆（201），其滑动设置于所述固定筒（202）内部，所述活塞杆（201）远离所述固定筒（202）的一端与所述卡板（5）底面铰接；所述活塞杆（201）上开设有至少一个圆孔；

螺栓，其与所述螺纹孔（203）螺纹连接，所述螺栓依次贯穿所述螺纹孔（203）和所述圆孔，所述螺栓用于将所述活塞杆（201）固定于所述固定筒（202）内。

6.根据权利要求5所述的一种LED晶圆的焊接固定设备，其特征在于，所述卡板（5）包括：

固定板（501），其上开设有用于压紧晶圆侧边的卡槽（502）；

连接件，其设置于所述固定板（501）下方，用于与所述活塞杆（201）端部铰接。

7.根据权利要求6所述的一种LED晶圆的焊接固定设备，其特征在于，所述连接件包括：

挡块（503），其设置有两个，两个所述挡块（503）之间设置有连接轴，所述连接轴的两端分别与两所述挡块（503）固定连接，所述活塞杆（201）的一端与所述连接轴转动连接；两个所述挡块（503）上均水平开设有通槽（504）；

调节件，其滑动设置于所述通槽（504）内部，所述调节件与所述活塞杆（201）搭接，所述调节件用于保持所述固定板（501）水平。

8.根据权利要求7所述的一种LED晶圆的焊接固定设备，其特征在于，所述调节件包括：

圆杆（505），所述圆杆（505）的两端分别与两个所述通槽（504）滑动连接，所述圆杆（505）的杆身与所述活塞杆（201）搭接；所述圆杆（505）端部开设有螺纹通孔；

调节螺杆（506），其贯穿所述挡块（503）侧壁并伸入所述通槽（504）中，所述调节螺杆（506）与所述通槽（504）平行布置，所述调节螺杆（506）与所述螺纹通孔螺纹连接，所述调节螺杆（506）用于驱动所述圆杆（505）沿所述通槽（504）滑动。