CN220924766U - 一种超薄板材的膜板分离装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种超薄板材的膜板分离装置，包括机架、设于机架上用于传送产品的输送辊道、设置于所述输送辊道末端附近的撕膜装置，所述撕膜装置前方还间隔设置有下料工位，还包括用于将撕膜装置处的产品夹紧并平移至下料工位的夹紧平移装置，所述夹紧平移装置包括固定在机架上的一对导轨、固定在一对导轨上的支撑框架、固定在机架上用于驱动支撑框架沿导轨平移的横向驱动组件、以及夹具。夹紧平移装置夹取产品时，可以将产品边缘夹住并绷紧，避免产品在撕膜过程中或者平移过程中坍塌变形，且不会接触产品的功能区。

Description

一种超薄板材的膜板分离装置

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体涉及一种超薄板材的膜板分离装置。

背景技术

半导体显影蚀刻工艺过程中，会有一道撕膜的工艺，即完成蚀刻后将产品表面的薄膜去除。该工艺中，对于产品功能区的防护，行业内有很高要求。在撕膜之前，薄膜有一定保护功能区的作用，可以使用常规的传输方式(皮带或滚轮等传输)进行传输；薄膜去除后，产品功能区就暴露在外，需要避免与外界的直接接触。

中国专利202210103866.X公开了一种膜板分离装置，该膜板分离装置中采用下压夹紧产品前边缘方式对产品进行固定以实现撕膜，撕膜结束，采用交错滚轮式流道进行传送。但是对于超薄封装基板(一般厚度为0.08mm-0.1mm)，其基板本身比较柔软刚性不足，仅仅靠夹住基板前边缘，撕膜过程中容易变形或坍塌。而且撕膜结束，采用交错滚轮式流道传输，在传送过程中，滚轮不可避免地会与产品的功能区接触，从而会对产品表面造成损伤和污染。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种超薄板材的膜板分离装置，在使用夹紧平移装置夹取产品时，可以将产品边缘夹住并绷紧，避免产品在撕膜过程中或者平移过程中坍塌变形，且不会接触产品的功能区。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种超薄板材的膜板分离装置，包括机架、设于机架上用于传送产品的输送辊道、设置于所述输送辊道前端附近的撕膜装置，所述撕膜装置包括用于先将产品头部的部分薄膜从产品上粘起的粘膜机构和后夹住薄膜被粘起部分并将剩余薄膜完全撕除的撕膜夹爪，所述撕膜装置前方还间隔设置有下料工位，还包括用于将撕膜装置处的产品夹紧并平移至下料工位的夹紧平移装置，所述夹紧平移装置包括固定在机架上的一对导轨、固定在一对导轨上的支撑框架、固定在机架上用于驱动支撑框架沿导轨平移的横向驱动组件、以及分别设置于支撑框架上用于夹紧产品前、左、右边缘从而使该产品能够紧绷的夹具。

由于产品的基板厚度为0.08mm-0.1mm的超薄基板，该基板自身比较柔软刚性不足，且极易坍塌变形。采用上述结构后，夹紧平移装置中的前、左、右侧夹紧机构可以将产品边缘夹住并绷紧，且产品在撕膜过程中或者前移过程中产品底面不需要辊道支撑，这样可以避免与产品的功能区接触不会对产品表面造成污染和损伤，而且使用夹紧平移装置在对产品撕膜过程中或者平移过程中也不会坍塌变形。

作为本实用新型进一步的方案：通过夹块的外侧还设置有导轮的结构，产品传送到夹具处时，导轮能够起到前、左、右侧导向的作用。

作为本实用新型进一步的方案：粘膜机构上、下对称设置均包括支板、设于支板上的胶带放卷、胶带收卷及第一粘膜气缸、与第一粘膜气缸相连的压架、设于压架上的第二粘膜气缸、与第二粘膜气缸相铰接的胶带压块、设于压架一侧并与胶带压块相连且控制胶带压块转动的第三粘膜气缸、设于压架另一侧的第四粘膜气缸及与第四粘膜气缸相连用以涨紧胶带的涨紧轮。使用该结构，通过第一、二、三、四粘膜气缸的配合使用，能够使胶带与薄膜粘结的更紧更牢，有助于提粘起薄膜。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1是本实用新型一种超薄板材的膜板分离装置的结构示意图；

图2是本实用新型为支撑框架的结构示意图；

图3是本实用新型为夹具的结构示意图；

图4是本实用新型为撕膜夹爪的结构示意图；

图5是本实用新型为夹爪单元的结构示意图；

图6是本实用新型为粘膜机构的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1所示，本实用新型为一种超薄板材的膜板分离装置，包括机架10、设于机架10上用于传送产品的输送辊道20、设置于输送辊道20前端附近的撕膜装置30。撕膜装置30前方还间隔设置有下料工位50。

输送辊道20包括多根沿产品前进方向间隔设置的辊子，每根辊子上间隔设置有多个滚动方向与产品前进方向一致的滚轮。

结合图2和图3所示，该膜板分离装置中有用于将撕膜装置30处的产品夹紧并平移至下料工位50的夹紧平移装置40。夹紧平移装置40包括固定在机架10上的一对导轨43、固定在一对导轨43上的支撑框架44、固定在机架10上与支撑框架44连接用于驱动支撑框架44沿导轨43移动的横向驱动组件45、以及分别设置于支撑框架44上用于夹紧产品前、左、右边缘从而使该产品能够紧绷的夹具42。本实施例中，横向驱动组件45采用伺服电机驱动的直线模组。使用伺服电机驱动的直线模组驱动支撑框机44，使得产品在撕膜的过程中的传送平稳、传送位置准确，并且还可以实现平移速度可调，以适应撕膜时或者非撕膜时不同的速度要求，从而提了运行效率。

夹具42包括夹块伸缩气缸46、安装在夹块伸缩气缸46输出端的夹块升降气缸48、以及由夹块升降气缸48驱动的一对能上下开合用于夹住产品边缘的夹块49。每侧采用两组夹块49且夹块49长度较长，从而保证将产品绷紧，防止产品坍塌。夹块49的外侧还设置有导轮伸缩气缸471、及由导轮伸缩气缸471驱动用于对产品进行导向的导轮47。导轮伸缩气缸471通过前道机台(图中未显示)提供的产品信息驱动导轮47移动，从而使得夹具42对产品尺寸具有一定的兼容性。

撕膜装置30包括用于先将产品头部的部分薄膜从产品上粘起的粘膜机构60和后夹住薄膜被粘起部分并将剩余薄膜完全撕除的撕膜夹爪70。

结合如图6所示，本实施例中，粘膜机构60采用上、下相对设置。这里以设于上部的一粘膜机构60为例，该粘膜机构60包括支板61、设于支板61上的胶带放卷62、胶带收卷63及第一粘膜气缸64、与第一粘膜气缸64相连的压架65、设于压架65上的第二粘膜气缸66、与第二粘膜气缸66相铰接的胶带压块67、设于压架65一侧并与胶带压块67相连且控制胶带压块67转动的第三粘膜气缸68、设于压架65另一侧的第四粘膜气缸69及与第四粘膜气缸69相连用以张紧胶带98的张紧轮91。另外，粘膜机构60还布置有多个转向轮92-97，胶带98从胶带放卷62依次经转向轮、后绕回至胶带收卷63。

工作时，以上部粘膜机构60为例，当粘膜时，第一粘膜气缸64伸出带动下方整体伸出(粗步定位)，第二粘膜气缸66伸出带动胶带压块67伸出至产品附近(精确定位)，第三粘膜气缸68伸出使胶带松弛，第四粘膜气缸69伸出带动胶带压块67下摆并将胶带压紧在产品相应面的薄膜上；当粘膜后，第二粘膜气缸66收缩带动胶带压块67缩回，第三粘膜气缸68收缩使胶带涨紧，第四粘膜气缸69收缩使胶带压块67上摆复位的同时，第一粘膜气缸64收缩带动下方整体缩回并通过胶带将薄膜粘起。

结合图4和图5所示，撕膜夹爪70包括夹爪横向移动组件71、安装在夹爪横向移动组件71的输出端上的夹爪底座72、以及上、下对称设置在夹爪底座72上的夹爪单元73。这里以设于上部的一夹爪单元73为例，该夹爪单元73包括安装在夹爪底座72上的夹爪安装框架74、安装在夹爪安装框架74上的夹爪升降组件76、由夹爪升降组件76驱动的夹爪支撑座77、以及安装在夹爪支撑座77上由夹爪气缸78驱动开合的夹爪79。这样，通过夹爪横向移动组件71和夹爪升降组件76驱动夹爪79移动至产品前端的薄膜位置，通过夹爪气缸78驱动夹爪79夹住或松开薄膜，上部的夹爪79用于夹住产品上表面的薄膜，而下部的则用于夹住产品下表面的薄膜；夹爪横向移动组件71驱动夹住薄膜的夹爪79往后移动(与产品运行方向相反)，可实现薄膜的撕除。本实施例中，夹爪横向移动组件71、夹爪升降组件76都采用伺服电机驱动的直线模组。

当撕膜时，通过粘膜机构60将胶带分别粘在产品的薄膜上并将薄膜前端部拉起；通过撕膜夹爪70的夹爪79分别夹住被拉起的薄膜(胶带粘于薄膜中间部分，夹爪79夹住薄膜两侧)，由横向驱动组件45驱动夹具42夹着产品缓慢前行，同时，由夹爪横向移动组件71带动夹爪79向后反向撕下产品的薄膜，同时胶带收卷63带动胶带绕收一段。产品撕膜结束后，由横向驱动组件45驱动支撑框架44带着夹具42夹紧产品继续前行至下料工位50处，将产品传送给后道传输设备80并将产品传送出去。最后，横向驱动组件45驱动支撑框架44带着夹具42空载回程，继续完成下一片产品的双面撕膜。

综上所述，本发明在夹取和搬运产品时可以将产品边缘夹住从而使产品绷紧，避免产品的坍塌变形，且不会接触产品的功能区。

以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。

Claims (6)

1.一种超薄板材的膜板分离装置，包括机架、设于机架上用于传送产品的输送辊道、设置于所述输送辊道前端附近的撕膜装置，所述撕膜装置包括用于先将产品头部的部分薄膜从产品上粘起的粘膜机构和后夹住薄膜被粘起部分并将剩余薄膜完全撕除的撕膜夹爪，所述撕膜装置前方还间隔设置有下料工位，其特征在于：还包括用于将撕膜装置处的产品夹紧并平移至下料工位的夹紧平移装置，所述夹紧平移装置包括固定在机架上的一对导轨、固定在一对导轨上的支撑框架、固定在机架上用于驱动支撑框架沿导轨平移的横向驱动组件、以及分别设置于支撑框架上用于夹紧产品前、左、右边缘从而使该产品能够紧绷的夹具。

2.根据权利要求1所述的超薄板材的膜板分离装置,其特征在于：所述夹具包括夹块伸缩气缸、安装在夹块伸缩气缸上的夹块升降气缸、以及由夹块升降气缸驱动的一对能上下开合的夹块。

3.根据权利要求2所述的超薄板材的膜板分离装置,其特征在于：所述夹块的外侧还设置有用于对产品进行导向的导轮。

4.根据权利要求1所述的超薄板材的膜板分离装置,其特征在于：所述粘膜机构上、下对称设置均包括支板、设于支板上的胶带放卷、胶带收卷及第一粘膜气缸、与第一粘膜气缸相连的压架、设于压架上的第二粘膜气缸、与第二粘膜气缸相铰接的胶带压块、设于压架一侧并与胶带压块相连且控制胶带压块转动的第三粘膜气缸、设于压架另一侧的第四粘膜气缸及与第四粘膜气缸相连用以涨紧胶带的涨紧轮。

5.根据权利要求1所述的超薄板材的膜板分离装置,其特征在于：所述撕膜夹爪包括夹爪横向移动组件和由夹爪横向移动组件驱动的上、下对称设置的夹爪单元，两个所述夹爪单元均包括夹爪安装框架、安装在夹爪安装框架上的夹爪升降组件、安装在夹爪升降组件上的夹爪气缸、以及由所述夹爪气缸驱动的夹爪。

6.根据权利要求1所述的超薄板材的膜板分离装置,其特征在于：所述输送辊道包括多根沿产品前进方向间隔设置的辊子，每根所述辊子上间隔设置有多个滚动方向与产品前进方向一致的滚轮。