CN220850065U - 一种分子泵机组 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种分子泵机组，包括：机组底座、分子泵、连接管路和吊耳；所述前级负压件设于所述机组底座上；所述分子泵设于所述机组底座上所述连接管路的第一连接部连接于所述分子泵，所述连接管路的第二连接部连接于前级负压件；所述吊耳设于所述机组底座上，所述吊耳用于吊装。此结构的一种分子泵机组，通过设置有吊耳，可将吊耳和连接绳连接进行吊装，无需手工搬运，便于运输。

Description

一种分子泵机组

技术领域

本实用新型涉及泵技术领域，具体涉及一种分子泵机组。

背景技术

在高校、科研机构、实验室里进行科研工作，在质谱分析、表面分析、溅射和蒸发镀膜等领域，众多的分析仪器、检测设备、生产工艺线等在实现其功能时，需要具备一定的清洁真空环境，其中可采用分子泵机组来创造真空环境。

现有技术公开了一种分子泵机组，其包括分子泵、隔膜泵、机组机箱、模拟量真空计和减震组件，其中分子泵安装在机组机箱的上方且与模拟真空计连接，隔膜泵安装在机组机箱的后部，减震组件安装在隔膜泵的下方能够对隔膜泵进行减震。

但是，上述的一种分子泵机组，在对其进行搬运时需要操作人员用手托住机组机箱进行搬运，不便于运输。

实用新型内容

因此，本实用新型所要解决的技术问题在于在对分子泵机组进行搬运时需要操作人员用手托住机组机箱进行搬运，不便于运输。

为此，本实用新型提供一种分子泵机组，包括

机组底座；

前级负压件，所述前级负压件设于所述机组底座上；

分子泵，所述分子泵设于所述机组底座上；

连接管路，所述连接管路的第一连接部连接于所述分子泵，所述分子泵连接于被抽真空件，所述连接管路的第二连接部连接于前级负压件；

吊耳，所述吊耳设于所述机组底座上，所述吊耳用于吊装。

可选地，还包括安装环，所述安装环连接于所述机组底座，所述安装环用于吊装或者用于安装把手。

可选地，所述连接管路包括连接的第一连接管和第二连接管，所述第一连接管具有所述第一连接部，所述第二连接管具有所述第二连接部。

可选地，所述第一连接管为波纹管。

可选地，所述第二连接管连接有真空测量仪。

可选地，所述第一连接管和所述第二连接管通过固定件连接。

可选地，还包括减震组件，所述减震组件设于所述前级负压件和所述机组底座之间。

可选地，所述机组底座上设有多组第一安装孔，多组所述第一安装孔用于适配于不同的所述前级负压件。

可选地，还包括脚轮组件，所述脚轮组件设于所述机组底座的底部。

可选地，还包括控制箱，所述控制箱设于所述机组底座上，所述机组底座设有散热孔，所述散热孔用于所述控制箱散热。

本实用新型提供的技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的一种分子泵机组，包括机组底座、前级负压件、分子泵、连接管路和吊耳，所述前级负压件通过螺栓固定连接在所述机组底座上；所述分子泵也固定连接在所述机组底座上；所述连接管路的第一连接部连接于所述分子泵，所述分子泵连接于被抽真空件，所述连接管路的第二连接部连接于前级负压件，所述连接管路的第三连接部连接于被抽真空件；所述吊耳固定连接在所述机组底座上，所述吊耳用于吊装。此结构的一种分子泵机组，通过设置有吊耳，可将吊耳和连接绳连接进行吊装，无需手工搬运，便于运输。

2.本实用新型提供的一种分子泵机组，包括安装环，所述安装环连接于所述机组底座，所述安装环用于吊装或者用于安装把手。此结构的一种分子泵机组，通过设置有安装环，其中安装环可用于安装把手，便于施加着力点，以及可与脚轮组件配合，便于水平移动；或者安装环、吊耳均可用于和连接绳连接进行吊装，无需人工搬动，便于运输，使得吊装更加平稳。

3.本实用新型提供的一种分子泵机组，还包括减震组件，所述减震组件设于所述前级负压件和所述机组底座之间。此结构的一种分子泵机组，通过设置有减震组件，能够过滤高频低频振动，从而降低整个分子泵机组的振动及噪音。

4.本实用新型提供的一种分子泵机组，所述机组底座上设有多组第一安装孔，多组所述第一安装孔用于适配于不同的所述前级负压件。此结构的一种分子泵机组，通过设置有多组第一安装孔，可适配于不同的前级负压件，以满足分子泵对不同前级真空压力的需求。

5.本实用新型提供的一种分子泵机组，还包括控制箱，所述控制箱设于所述机组底座上，所述机组底座设有散热孔，所述散热孔用于所述控制箱散热。此结构的一种分子泵机组，通过设置有散热孔，可提高控制箱的散热性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型中分子泵机组的结构示意图；

图2为图1中的减震组件的结构示意图；

图3为图1中的机组底座显示有的第一安装孔、第二安装孔和第三安装孔的结构示意图；

图4为图3中的机组底座的仰视图；

附图标记说明：

1-机组底座，11-第一安装孔，12-第二安装孔，13-第三安装孔，14-散热孔，2-前级负压件，3-分子泵，4-连接管路，41-第一连接管，42-第二连接管，43-真空测量仪，44-固定件，5-吊耳，61-安装环，62-把手，7-减震组件，71-减震连接杆，72-减震上盖，73-减震弹簧，74-减震底座，8-脚轮组件，81-脚轮支架，82-脚轮。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

本实施例提供如图1至图4所示的一种分子泵机组,包括机组底座1、前级负压件2、分子泵3、连接管路4、吊耳5、安装环61、减震组件7、脚轮组件8和控制箱。

本实施例中的前级负压件2设于机组底座1上。具体参见图1，机组底座1上设有多组第一安装孔11，多组第一安装孔11用于适配于不同的前级负压件2，其中第一安装孔11和前级负压件2可通过如螺栓等的紧固件连接。其中，前级负压件2可为油封式旋片真空泵或干式涡旋真空泵等的前级真空泵或者其他。通过设置有多组第一安装孔11，可适配于不同的前级负压件2，以满足分子泵3对不同前级真空压力的需求。

本实施例中的分子泵3设于机组底座1上，分子泵3连接有被抽真空件，以对被抽真空件抽真空。具体参见图1和图3，机组底座1上设有第二安装孔12，第二安装孔12和分子泵3可通过如螺栓等的紧固件连接。

本实施例中的连接管路4的第一连接部连接于分子泵3，连接管路4的第二连接部连接于前级负压件2。具体参见图1，连接管路4包括连接的第一连接管41和第二连接管42，第一连接管41具有第一连接部；第二连接管42具有第二连接部，第二连接管42连接有真空测量仪43且第二连接管42设有前级阀。其中，第一连接管41为波纹管或者其他。以及，第一连接管41和第二连接管42通过固定件44连接。具体地，固定件44可为卡箍或者其他。

如图1所示，吊耳5设于机组底座1上，吊耳5用于吊装。通过设置有吊耳5，可将吊耳5和连接绳连接进行吊装，无需手工搬运，便于运输。

如图3所示，安装环61连接于机组底座1，安装环61用于吊装或者用于安装如图1所示的把手62。通过设置有安装环61，其中安装环61可用于安装把手62，便于施加着力点，以及可与脚轮组件8配合，便于水平移动；或者安装环61、吊耳5均可用于和连接绳连接进行吊装，无需人工搬动，便于运输，使得吊装更加平稳。

本实施例中的减震组件7设于前级负压件2和机组底座1之间。具体参见图1和图2，减震组件7包括减震连接杆71、减震上盖72、减震弹簧73和减震底座74。其中，减震上盖72盖设于减震底座74上且两者通过如螺栓等的紧固件连接，减震上盖72和减震底座74之间形成有减震空腔；减震连接杆71贯穿减震上盖72设置，且减震连接杆71连接于前级负压件2的底部；减震弹簧73位于减震空腔内，减震弹簧73的其中一端部位于减震连接杆71的第一安装槽内且减震弹簧73的另一端部位于减震底座74的第二安装槽内。

由于前级负压件2工作时会产生震动，而通过设置有减震组件7，使得当前级负压件2工作产生震动时可将减震连接杆71向下推动，下移的减震连接杆71会挤压减震弹簧73使减震弹簧73发生形变，从而能够过滤高频低频振动，从而降低整个分子泵机组的振动及噪音情况。

本实施例中的脚轮组件8设于机组底座1的底部。具体参见图1，脚轮组件8包括脚轮支架81和脚轮82，脚轮支架81与机组底座1连接，脚轮支架81上设有脚轮82。通过设置有脚轮组件8，便于移动分子泵机组。

如图1、图3和图4所示，控制箱设于机组底座1上，机组底座1设有散热孔14，散热孔14用于控制箱散热。具体参见图3，机组底座1上设有第三安装孔13，第三安装孔13和控制箱可通过如螺栓等的紧固件连接。通过设置有散热孔14，可提高控制箱的散热性。需要说明的是，控制箱内的控制系统可采用现有技术中的控制系统，在此不进行赘述。

本实用新型的一种分子泵机组的使用过程，在需要竖直方向移动分子泵机组时，可将连接绳一端连接在吊耳5上，连接绳的另一端可连接在起重设备上进行吊装；或者，为了使得分子泵机组在移动时能够保持稳定，也可将吊耳5和安装环61同时连接绳用于起吊；

在需要水平方向移动分子泵机组时，将把手62安装在安装环61内，推动把手62能够推动分子泵机组的水平移动；

在将分子泵机组移动到指定位置后，按下控制箱上的启动键，前级负压件2启动对分子泵进行抽气，其中前级负压件2可为分子泵3提供前级压力，当前级压力值达到分子泵3的启动值时启动分子泵3，分子泵3启动对被抽真空件进行抽气。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种分子泵机组，其特征在于，包括：

机组底座；

前级负压件，所述前级负压件设于所述机组底座上；

分子泵，所述分子泵设于所述机组底座上；

连接管路，所述连接管路的第一连接部连接于所述分子泵，所述连接管路的第二连接部连接于前级负压件；

吊耳，所述吊耳设于所述机组底座上，所述吊耳用于吊装。

2.根据权利要求1所述的一种分子泵机组，其特征在于，还包括安装环，所述安装环连接于所述机组底座，所述安装环用于吊装或者用于安装把手。

3.根据权利要求1所述的一种分子泵机组，其特征在于，所述连接管路包括连接的第一连接管和第二连接管，所述第一连接管具有所述第一连接部，所述第二连接管具有所述第二连接部。

4.根据权利要求3所述的一种分子泵机组，其特征在于，所述第一连接管为波纹管。

5.根据权利要求3所述的一种分子泵机组，其特征在于，所述第二连接管连接有真空测量仪。

6.根据权利要求3所述的一种分子泵机组，其特征在于，所述第一连接管和所述第二连接管通过固定件连接。

7.根据权利要求1所述的一种分子泵机组，其特征在于，还包括减震组件，所述减震组件设于所述前级负压件和所述机组底座之间。

8.根据权利要求1所述的一种分子泵机组，其特征在于，所述机组底座上设有多组第一安装孔，多组所述第一安装孔用于适配于不同的所述前级负压件。

9.根据权利要求1所述的一种分子泵机组，其特征在于，还包括脚轮组件，所述脚轮组件设于所述机组底座的底部。

10.根据权利要求1所述的一种分子泵机组，其特征在于，还包括控制箱，所述控制箱设于所述机组底座上，所述机组底座设有散热孔，所述散热孔用于所述控制箱散热。