CN216430383U - 一种隔振装置及具有其的分子泵 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供的一种隔振装置及具有其的分子泵，属于分子泵技术领域，隔振装置包括：连接组件，具有适于与真空腔室连接的第一连接件和适于与分子泵连接的第二连接件；所述第一连接件和第二连接件之间设置有缓冲结构；连通管，一端与第一连接件连接，另一端与第二连接件连接；本实用新型的隔振装置，所述连接组件内设置有缓冲结构，当该真空腔室具有较大的振动时，该隔振装置可以吸收一些振动，减弱传递到分子泵的振动，使得分子泵工作在良好的工况，且分子泵自身具有好的工作性能，不易发生故障。

Description

一种隔振装置及具有其的分子泵

技术领域

本实用新型涉及分子泵技术领域，具体涉及一种隔振装置及具有其的分子泵。

背景技术

分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。分子泵是一种主流的真空获得设备，因其稳定的性能、耐大气冲击能力强和几乎无油蒸气污染等优点，广泛用于需要获得高真空度的应用领域。

但是，当分子泵应用于一些便携式仪器和车载仪器中，其使用环境具有较强的振动和冲击，因此，在使用的过程中，分子泵受到较大的振动和冲击，容易导致分子泵的性能不足或者发生故障。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的分子泵受到较大的振动和冲击，容易导致分子泵的性能不足或者发生故障，从而提供一种隔振装置。

本实用新型还提供一种具有该隔振装置的分子泵。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的一种隔振装置，包括：

连接组件，具有适于与真空腔室连接的第一连接件和适于与分子泵连接的第二连接件；所述第一连接件和第二连接件之间设置有缓冲结构；

连通管，一端与第一连接件连接，另一端与第二连接件连接。

作为优选方案，所述缓冲结构包括：

第一安装件，成环状，套设在所述连通管的外圈；所述第一安装件的一端与第一连接件连接；

第二安装件，成环状，套设在所述连通管的外观；所述第二安装件的一端与第二连接件连接；所述第一安装件和第二安装件之间通过固定结构连接；

减震垫，设置在第一安装件和第二安装件之间。

作为优选方案，所述固定结构具有多组；围绕所述连通管间隔设置。

作为优选方案，所述固定结构包括：

第一固定部，与第一安装件连接，朝向远离所述连通管的中心方向伸出；

第二固定部，与第二安装件连接，朝向远离所述连通管的中心方向伸出；所述第二固定部与所述第一固定部相对设置；

连接件，穿设在第一固定部和第二固定部上。

作为优选方案，所述第一固定部和所述第二固定部上均设置有安装孔；所述连接件为螺杆；所述螺杆穿设在所述安装孔内，且上端旋拧有螺母。

作为优选方案，还包括：

减震件，套设在所述螺杆上；所述减震件的两端分别与螺母和固定部固定部抵接。

作为优选方案，所述第一连接件所述第二连接件均为法兰。

作为优选方案，还包括：

密封中心支架，设置在第一连接件与真空腔室之间。

作为优选方案，所述第一连接件与所述真空腔室之间、所述第二连接件与所述分子泵之间均由多个卡钳螺钉固定连接。

本实用新型还提供一种分子泵，包括上述中任一项所述的隔振装置。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的隔振装置，包括：连接组件和连通管；在安装的过程中，将隔振装置竖直安装在真空腔室的底部，分子泵吊装在隔振装置的下面；所述连接组件内设置有缓冲结构，当该真空腔室具有较大的振动时，该隔振装置可以吸收一些振动，减弱传递到分子泵的振动，使得分子泵工作在良好的工况，且分子泵自身具有好的工作性能，不易发生故障。

2.本实用新型提供的隔振装置，所述缓冲结构包括：第一安装件、第二安装件和减震垫；当受到振动时，减震垫会吸收振动，减少振动对分子泵的影响。

3.本实用新型提供的隔振装置，还包括套设在所述螺杆上的减震件；所述减震件为弹簧，增加隔振效果，减小冲击。

4.本实用新型提供的隔振装置，所述第一连接件和第二连接件之间连接有连通管，该连通管优选为波纹管，起到密封的作用。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的隔振装置与真空腔室、分子泵的连接关系示意图。

图2为本实用新型的隔振装置的结构示意图。

附图标记说明：

1、真空腔室；2、分子泵；3、第一连接件；4、第二连接件；5、卡钳螺钉；6、第一安装件；7、第二安装件；8、第一固定部；9、第二固定部；10、减震垫；11、螺杆；12、螺母；13、减震件；14、连通管；15、密封中心支架。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例1

本实施例提供的隔振装置，设置在真空腔室1和分子泵2之间；如图1所示，在真空腔室1的下端竖直安装有隔振装置，分子泵2竖直吊装在隔振装置的下面，当真空腔室1内具有较大的振动时，隔振装置可以吸收振动，减弱到传递到分子泵2的振动，使得分子泵2可以工作在较良好的工况。

如图2所示，隔振装置包括第一连接件3和第二连接件4；第一连接件3位于该隔振装置的最上端，第一连接件3为法兰，用于实现与真空腔室1的连接，具体的，在真空腔室1的下端设置有连接法兰，第一连接件3和真空腔室1的连接法兰之间通过卡钳螺钉5进行固定连接，所述卡钳螺钉5具有多个，沿周向方向间隔设置。

第二连接件4位于该隔振装置的最下端，第二连接件4为法兰，用于实现与分子泵2的连接，具体的，在分子泵2的上端设置有连接法兰，第二连接件4和分子泵2的连接法兰之间通过卡钳螺钉5进行固定连接，所述卡钳螺钉5具有多个，沿周向方向间隔设置。

在第一连接件3的下端连接有环状的第一安装件6，在第二连接件4的上端连接有环状的第二安装件7，所述第一安装件6和所述第二安装件7相对设置。

所述第一安装件6和所述第二安装件7的相对面分别连接有第一固定部8和第二固定部9；所述第一固定部8和第二固定部9朝向远离安装件的轴心伸出，形成第一环形凸缘和第二环形凸缘；

在所述第一固定部8和所述第二固定部9之间设置有减震垫10，所述减震垫10为橡胶材质，当受到振动时，减震垫10会吸收振动，减少振动对分子泵2的影响。

在所述第一环形凸缘和所述第二环形凸缘间隔开设有多组对应设置的安装孔，在安装孔内穿设有螺杆11，在螺杆11的上端旋拧有螺母12；在本方案中，螺杆11有第二固定部9朝向所述第一固定部8穿设设置，在第一固定部8的上端旋拧有螺母12，在螺母12和第一固定部8之间设置的减震件13，在本方案中，减震件13优选为弹簧，该弹簧处于压缩状态，该弹簧的设置可以增加隔振效果，减小冲击。

在第一连接件3和第二连接件4之间连接有连通管14，所述连通管14为波纹管，通过连通管14实现真空腔室1和分子泵2之间的连通，起到密封的作用。

在第一连接件3和真空腔室1之间安装有密封中心支架15，起到良好的密封效果。

使用方法及原理

当真空腔室1内具有较大的振动时，振动会传递到第一连接件3，第一连接件3传递给第一安装件6，通过设置在第一安装件6和第二安装件7之间的减震垫10和减震件13实现对振动的吸收，进而减少通过第二安装件7和第二连接件4传递给分子泵2的振动；该方案中，抵抗冲击和振动能力强，能在恶劣环境下工作，可靠性高，隔振效果强，结构简单，加工方便。

实施例2

本实施例提供的分子泵，包括实施例1所述的隔振装置。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种隔振装置，其特征在于，包括：

连接组件，具有适于与真空腔室(1)连接的第一连接件(3)和适于与分子泵(2)连接的第二连接件(4)；所述第一连接件(3)和第二连接件(4)之间设置有缓冲结构；

连通管(14)，一端与第一连接件(3)连接，另一端与第二连接件(4)连接。

2.根据权利要求1所述的隔振装置，其特征在于，所述缓冲结构包括：

第一安装件(6)，成环状，套设在所述连通管(14)的外圈；所述第一安装件(6)的一端与第一连接件(3)连接；

第二安装件(7)，成环状，套设在所述连通管(14)的外观；所述第二安装件(7)的一端与第二连接件(4)连接；所述第一安装件(6)和第二安装件(7)之间通过固定结构连接；

减震垫(10)，设置在第一安装件(6)和第二安装件(7)之间。

3.根据权利要求2所述的隔振装置，其特征在于，所述固定结构具有多组；围绕所述连通管(14)间隔设置。

4.根据权利要求3所述的隔振装置，其特征在于，所述固定结构包括：

第一固定部(8)，与第一安装件(6)连接，朝向远离所述连通管(14)的中心方向伸出；

第二固定部(9)，与第二安装件(7)连接，朝向远离所述连通管(14)的中心方向伸出；所述第二固定部(9)与所述第一固定部(8)相对设置；

连接件，穿设在第一固定部(8)和第二固定部(9)上。

5.根据权利要求4所述的隔振装置，其特征在于，所述第一固定部(8)和所述第二固定部(9)上均设置有安装孔；所述连接件为螺杆(11)；所述螺杆(11)穿设在所述安装孔内，且上端旋拧有螺母(12)。

6.根据权利要求5所述的隔振装置，其特征在于，还包括：

减震件(13)，套设在所述螺杆(11)上；所述减震件(13)的两端分别与螺母(12)和固定部固定部抵接。

7.根据权利要求2所述的隔振装置，其特征在于，所述第一连接件(3)所述第二连接件(4)均为法兰。

8.根据权利要求1所述的隔振装置，其特征在于，还包括：

密封中心支架(15)，设置在第一连接件(3)与真空腔室(1)之间。

9.根据权利要求1-7中任一项所述的隔振装置，其特征在于，所述第一连接件(3)与所述真空腔室(1)之间、所述第二连接件(4)与所述分子泵(2)之间均由多个卡钳螺钉(5)固定连接。

10.一种分子泵，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的隔振装置。

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