CN220585215U - 一种多通道吸盘 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种多通道吸盘，包括吸盘本体，吸盘本体包括第一吸盘和第二吸盘，第一吸盘呈圆环形结构的吸盘，第二吸盘呈圆形结构，第二吸盘装嵌在圆环形结构的第一吸盘的环孔内，沿第一吸盘的圆环形结构内设有第一吸附腔，第一吸盘的背面上至少开设有3个第一吸附孔，第一吸附孔上连接有第一吸附接头，第一吸附接头通过吸附孔与第一吸附腔相连通设置，第一吸附腔上盖设有第一吸附面，第二吸盘内开设有第二吸附腔，第二吸盘的背面上开设有第二吸附孔，第二吸附孔上连接有第二吸附接头，第二吸附接头通过第二吸附孔与第二吸附腔相连通，第二吸附腔设有第二吸附面。本实用新型可以实现对不同尺寸的吸附，提高工作效率。

Description

一种多通道吸盘

技术领域

本实用新型涉及一种多通道吸盘，尤其涉及一种适用于不同尺寸晶圆的多通道吸盘。

背景技术

晶圆吸盘是用来承载晶圆以进行各种的制程，经常使用在各种半导体机台内。经检索，专利：晶圆用真空吸盘(CN202123259865.4)，包括基座和芯部，所述芯部嵌设于所述基座内，二者共轴，所述基座的轴心具有一用于抽真空的中心孔，所述芯部内具有一组贯穿其上下表面的透气孔，所述透气孔与所述中心孔相连通，所述基座和芯部之间设置有一用于感应晶圆的感应机构，所述感应机构包括透光孔和光电传感器，所述透光孔设置于所述芯部上，且所述透光孔与所述芯部的轴心不共轴，所述基座具有一与所述通光孔共轴的安装孔，所述光电传感器设置于安装孔内并与所述透光孔相连通。上述的结构只能针对单一的尺寸进行吸附，在针对不同尺寸时，需要进行更换或者更换设备，从而增加了成本。

有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的多通道吸盘，使其更具有产业上的利用价值。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种多通道吸盘。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种多通道吸盘，包括吸盘本体，所述吸盘本体包括第一吸盘和第二吸盘，所述第一吸盘呈圆环形结构的吸盘，所述第二吸盘呈圆形结构，且所述第二吸盘装嵌在圆环形结构的第一吸盘的环孔内，沿所述第一吸盘的圆环形结构内设有第一吸附腔，所述第一吸盘的背面上至少开设有3个第一吸附孔，所述第一吸附孔上连接有第一吸附接头，所述第一吸附接头通过吸附孔与第一吸附腔相连通设置，所述第一吸附腔上盖设有第一吸附面，所述第二吸盘内开设有第二吸附腔，所述第二吸盘的背面上开设有第二吸附孔，所述第二吸附孔上连接有第二吸附接头，所述第二吸附接头通过第二吸附孔与第二吸附腔相连通，所述第二吸附腔设有第二吸附面。

优选地，所述的一种多通道吸盘，所述第一吸盘和第二吸盘的吸附棉在同一平面设置。

优选地，所述的一种多通道吸盘，所述第一吸附面与第一吸盘之间连接有密封圈。

优选地，所述的一种多通道吸盘，所述第二吸附面与第二吸盘之间连接有密封圈。

优选地，所述的一种多通道吸盘，所述第一吸附孔设有3个，它们等分布置在第一吸盘的背面上。

优选地，所述的一种多通道吸盘，所述第二吸附孔位于第二吸盘的中心设置。

借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：

本实用新型可以通过第一吸盘和第二吸盘实现对不同尺寸(4、6、8和12)产品的吸附，有效提高工作效率并能达到降低成本的目的。本实用新型结构简单，操作方便快捷。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的内部结构图。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

实施例

如图1所示，一种多通道吸盘，包括吸盘本体1，所述吸盘本体1包括第一吸盘2和第二吸盘3，所述第一吸盘2呈圆环形结构的吸盘，所述第二吸盘3呈圆形结构，且所述第二吸盘3装嵌在圆环形结构的第一吸盘2的环孔内，沿所述第一吸盘2的圆环形结构内设有第一吸附腔4，所述第一吸盘2的背面上至少开设有3个第一吸附孔5，所述第一吸附孔5上连接有第一吸附接头，所述第一吸附接头通过吸附孔与第一吸附腔4相连通设置，所述第一吸附腔4上盖设有第一吸附面6，所述第二吸盘3内开设有第二吸附腔7，所述第二吸盘3的背面上开设有第二吸附孔8，所述第二吸附孔8上连接有第二吸附接头，所述第二吸附接头通过第二吸附孔与第二吸附腔7相连通，所述第二吸附腔7设有第二吸附面9。

本实用新型中所述第一吸盘2和第二吸盘3的吸附棉在同一平面设置，防止出现大尺寸(12寸)的产品时，第一吸盘无法对产品正常的吸附，提高吸附的稳定性。

本实用新型中所述第一吸附面6与第一吸盘2之间连接有密封圈；所述第二吸附面9与第二吸盘3之间连接有密封圈。

本实用新型中所述第一吸附孔5设有3个，它们等分布置在第一吸盘的背面上；所述第二吸附孔位于第二吸盘的中心设置，提高吸附的稳定性。

本实用新型的工作原理如下：

具体工作时，依据产品的尺寸，4和6寸的通过第二吸盘进行吸附，而8和12寸的产品(晶圆)，则通过第一吸盘和第二吸盘共同作用进行吸附，吸附的工作为本领域技术人员已知的现有技术，这边不作任何的赘述。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或竖直，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本申请的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，并不用于限制本实用新型，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种多通道吸盘，其特征在于：包括吸盘本体(1)，所述吸盘本体(1)包括第一吸盘(2)和第二吸盘(3)，所述第一吸盘(2)呈圆环形结构的吸盘，所述第二吸盘(3)呈圆形结构，且所述第二吸盘(3)装嵌在圆环形结构的第一吸盘(2)的环孔内，沿所述第一吸盘(2)的圆环形结构内设有第一吸附腔(4)，所述第一吸盘(2)的背面上至少开设有3个第一吸附孔(5)，所述第一吸附孔(5)上连接有第一吸附接头，所述第一吸附接头通过吸附孔与第一吸附腔(4)相连通设置，所述第一吸附腔(4)上盖设有第一吸附面(6)，所述第二吸盘(3)内开设有第二吸附腔(7)，所述第二吸盘(3)的背面上开设有第二吸附孔(8)，所述第二吸附孔(8)上连接有第二吸附接头，所述第二吸附接头通过第二吸附孔与第二吸附腔(7)相连通，所述第二吸附腔(7)设有第二吸附面(9)。

2.根据权利要求1所述的一种多通道吸盘，其特征在于：所述第一吸盘(2)和第二吸盘(3)的吸附棉在同一平面设置。

3.根据权利要求1所述的一种多通道吸盘，其特征在于：所述第一吸附面(6)与第一吸盘(2)之间连接有密封圈。

4.根据权利要求1所述的一种多通道吸盘，其特征在于：所述第二吸附面(9)与第二吸盘(3)之间连接有密封圈。

5.根据权利要求1所述的一种多通道吸盘，其特征在于：所述第一吸附孔(5)设有3个，它们等分布置在第一吸盘的背面上。

6.根据权利要求1所述的一种多通道吸盘，其特征在于：所述第二吸附孔位于第二吸盘的中心设置。