CN218429263U - 一种划片机真空固定盘 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种划片机真空固定盘，包括固定盘本体，所述固定盘本体包括：不锈钢圆盘，所述不锈钢圆盘的顶面设置有圆形的装配槽，所述装配槽的四周设置有环形密封槽和第一环形定位槽，所述第一环形定位槽设于所述环形密封槽和所述装配槽之间，且所述第一环形定位槽内设置有螺丝装配孔和真空吸气孔，所述真空吸气孔与所述不锈钢圆盘内设置的气体通道连接。本申请的固定盘本体不仅能够通过设置的装配槽和第一环形定位槽与陶瓷吸盘的底面进行连接定位，而且能够通过真空抽气的方法将陶瓷吸盘吸附在固定盘本体，使吸附在固定盘本体上的陶瓷吸盘不易移动，并且能够在关闭真空抽气时更换陶瓷吸盘，从而有助于陶瓷吸盘的拆换。

Description

一种划片机真空固定盘

技术领域

本申请涉及半导体晶圆划片机领域，具体为一种划片机真空固定盘。

背景技术

晶圆划片机也叫晶圆切割机，主要用于半导体晶圆、集成电路、QFN、发光二极管、LED芯片、太阳能电池、电子基片等的划切，适用于包括硅、石英、 氧化铝、氧化铁、砷化镓、铌酸锂、蓝宝石和玻璃等材料。其工作原理是通过空气静压主轴带动金刚石砂轮划切刀具高速旋转，将晶圆或器件沿切割道方向进行切割或开槽。

目前，现有晶圆划片机中的陶瓷吸盘一般通过螺丝进行定位、并锁紧在DD马达顶部的绝缘陶瓷上，使其陶瓷吸盘在使用过程中不能移动，然而，根据切割工件的形状和大小不同，需要配以不同形状和尺寸的陶瓷吸盘，因此，采用螺丝进行定位和锁紧，在使用过程中不方便进行拆换。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种划片机真空固定盘，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：

一种划片机真空固定盘，包括固定盘本体，所述固定盘本体包括：不锈钢圆盘，所述不锈钢圆盘的顶面设置有圆形的装配槽，所述装配槽的四周设置有环形密封槽和第一环形定位槽，所述第一环形定位槽设于所述环形密封槽和所述装配槽之间，且所述第一环形定位槽内设置有螺丝装配孔和真空吸气孔，所述真空吸气孔与所述不锈钢圆盘内设置的气体通道连接；所述不锈钢圆盘的底面设置有定位槽，所述定位槽内设置有真空抽气孔，所述真空抽气孔包括贯通所述装配槽的第一真空抽气孔以及连接于所述气体通道的第二真空抽气孔，所述第二真空抽气孔和所述第一真空抽气孔上设置有安装气管接头的螺纹孔。

实现上述技术方案，装配槽的设计用于安装定位环与顶部陶瓷吸盘上的定位槽进行装配定位，环形密封槽的设计用于安装密封圈，使顶部陶瓷吸盘与不锈钢圆盘的四周进行密封，第一环形定位槽的设计用于与顶部陶瓷吸盘顶部的环形定位台进行连接，且环形定位台的底部与第一环形定位槽之间留有间隙，螺丝装配孔的设计用于将不锈钢圆盘1通过螺丝锁紧在底部DD马达顶部的绝缘陶瓷上，真空吸气孔在气体通道所连接的第一真空抽气孔进行抽吸真空时，将顶部安装的陶瓷吸盘吸附在不锈钢圆盘上，定位槽的设计一方面用于气管接头的安装避让，另一方面用于安装连接陶瓷绝缘座的定位块，而第一真空抽气孔的设计，通过抽吸真孔使装配槽上方的陶瓷吸盘抽吸气体产生负压，将陶瓷吸盘上的工件吸附在陶瓷吸盘的表面。

作为本申请的一种优先方案，所述环形定位槽设置有两个，且两个所述环形定位槽中均设置有与所述气体通道连接的真空吸气孔。

实现上述技术方案，用于增加不锈钢圆盘与顶部陶瓷吸盘底部定位台的吸附面积。

作为本申请的一种优先方案，所述不锈钢圆盘的侧壁设置有定位平面，所述定位平面均匀的设置在所述不锈钢圆盘侧壁的四周，且所述定位平面上设置有螺纹锁紧孔。

实现上述技术方案，定位平面的设计一方面用于不锈钢圆盘的装夹，另一方面通过螺纹锁紧孔用于安装压抓。

作为本申请的一种优先方案，所述不锈钢圆盘的四周设置有与底部连接的环形定位台，所述环形定位台上设置有环形定位槽，所述环形定位槽上设置有密封槽和螺纹锁紧孔。

实现上述技术方案，环形定位台的设计用于与DD马达顶部陶瓷绝缘座上的定位槽进行安装定位，而密封槽的设计用于安装密封圈与DD马达防护罩进行密封，环形定位槽的设计用于与DD马达防护罩上的定位孔连接，螺纹锁紧孔用于DD马达防护罩通过螺丝进行锁紧。

作为本申请的一种优先方案，所述气体通道的一端连接于所述第二真空抽气孔，另一端与所述不锈钢圆盘侧壁上的定位平面连接，且安装有密封堵头。

实现上述技术方案，使其气体通道在第二真空抽气孔抽吸真空时通过真空吸气孔将不锈钢圆盘顶部安装的陶瓷吸盘吸附在不锈钢圆盘的顶部；而连接于定位平面的气体通道，有助于以定位平面作为基准进行加工。

作为本申请的一种优先方案，所述定位槽中设置有定位孔和螺纹锁紧孔。

实现上述技术方案，定位孔的设计用于与DD马达顶部陶瓷绝缘座上的定位柱进行安装定位，以便于安装后的不锈钢圆盘上的螺丝装配孔与陶瓷绝缘座上的螺纹锁紧孔进行对位，而螺纹锁紧孔的设置用于将连接陶瓷绝缘座的定位块锁紧在定位槽中。

本申请的有益效果是：

本申请的固定盘本体不仅能够通过设置的装配槽和第一环形定位槽与陶瓷吸盘的底面进行连接定位，而且能够通过真空抽气的方法将陶瓷吸盘吸附在固定盘本体的顶部，使吸附在固定盘本体上的陶瓷吸盘不易移动，并且能够在关闭真空抽气时更换陶瓷吸盘，从而有助于陶瓷吸盘的拆换。

附图说明

图1为本申请涉及的示意图；

图2为本申请涉及的背面示意图；

图3为本申请涉及的局部剖面结构示意图。

图中：1、不锈钢圆盘；101、定位平面；102、螺纹锁紧孔；2、装配槽；3、环形密封槽；4、第一环形定位槽；5、螺丝装配孔；6、真空吸气孔；7、气体通道；8、定位槽；801、定位孔；9、真空抽气孔；901、第一真空抽气孔；902、第二真空抽气孔；10、螺纹孔； 11、环形定位台；111、环形定位槽；112、密封槽。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

实施例

一种划片机真空固定盘，参照1、图2和图3，包括固定盘本体，固定盘本体包括不锈钢圆盘1，不锈钢圆盘1顶面的中间开设有圆形的装配槽2，装配槽2的四周开设有环形密封槽3和第一环形定位槽4，第一环形定位槽4设于环形密封槽3和装配槽2之间，且第一环形定位槽4内加工有螺丝装配孔5和真空吸气孔6，真空吸气孔6与不锈钢圆盘1内设置的气体通道7连接；不锈钢圆盘1底面的中间开设有定位槽8，定位槽8内加工有真空抽气孔9，真空抽气孔9包括贯通装配槽2的第一真空抽气孔901以及连接于气体通道7的第二真空抽气孔902，第二真空抽气孔902和第一真空抽气孔901上均设有安装气管接头的螺纹孔10。在本实施例中，第一环形定位槽4设置有内外两个第一环形定位槽4，且两个第一环形定位槽4中均设置有与气体通道7连接的真空吸气孔6，用于增加不锈钢圆盘1与顶部陶瓷吸盘底部定位台的吸附面积。

参照图1，为了便于不锈钢圆盘的装夹以及安装压抓。在本实施例中，不锈钢圆盘1的侧壁设置有四个带有螺纹锁紧孔102的定位平面101，且四个定位平面101均匀的设置在不锈钢圆盘1侧壁的四周。在其它实施例中，定位平面101的数量可设置在六个或八个。

参照图1和图3，不锈钢圆盘1的四周设置有与底部连接的环形定位台11，环形定位台11上设置有第二环形定位槽111，第二环形定位槽111上设置有密封槽112和螺纹锁紧孔102。在本实施例中，环形定位台11的设计用于与DD马达顶部陶瓷绝缘座上的定位槽进行安装定位，而密封槽112的设计用于安装密封圈与DD马达防护罩进行密封，第二环形定位槽111的设计用于与DD马达防护罩上的定位孔连接，螺纹锁紧孔102用于DD马达防护罩通过螺丝进行锁紧。

回到图1和图3，气体通道7的一端连接于第二真空抽气孔902，另一端与不锈钢圆盘1侧壁上的定位平面101连接，且安装有密封堵头。在本实施例中，使其气体通道7在第二真空抽气孔902抽吸真空时通过真空吸气孔6将不锈钢圆盘1顶部安装的陶瓷吸盘吸附在不锈钢圆盘1的顶部；而连接于定位平面101的气体通道7，有助于以定位平面101作为基准进行加工。

参照图2和图3，定位槽8中设置有定位孔801和螺纹锁紧孔102。在本实施例中，定位孔801的设计用于与DD马达顶部陶瓷绝缘座上的定位柱进行安装定位，以便于安装后的不锈钢圆盘1上的螺丝装配孔5与陶瓷绝缘座上的螺纹锁紧孔102进行对位，而螺纹锁紧孔102的设置用于将连接陶瓷绝缘座的定位块锁紧在定位槽8中。

具体的，在实际使用时，装配槽2的设计用于安装定位环与顶部陶瓷吸盘上的定位槽进行装配定位，环形密封槽3的设计用于安装密封圈，使顶部陶瓷吸盘与不锈钢圆盘1的四周进行密封，第一环形定位槽4的设计用于与顶部陶瓷吸盘顶部的环形定位台进行连接，且环形定位台的底部与第一环形定位槽4之间留有间隙，用于气体流动，螺丝装配孔5的设计用于将不锈钢圆盘1通过螺丝锁紧在底部DD马达顶部的绝缘陶瓷上，真空吸气孔6在气体通道7所连接的第一真空抽气孔901进行抽吸真空时，将顶部安装的陶瓷吸盘吸附在不锈钢圆盘1上，定位槽8的设计一方面用于气管接头的安装避让，另一方面用于安装连接陶瓷绝缘座的定位块，而第一真空抽气孔901的设计，通过抽吸真孔使装配槽2上方的陶瓷吸盘抽吸气体产生负压，将陶瓷吸盘上的工件吸附在陶瓷吸盘的表面。

对于本领域技术人员而言，显然本申请不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本申请的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本申请。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本申请的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本申请内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种划片机真空固定盘，包括固定盘本体，其特征在于，所述固定盘本体包括：不锈钢圆盘（1），所述不锈钢圆盘（1）的顶面设置有圆形的装配槽（2），所述装配槽（2）的四周设置有环形密封槽（3）和第一环形定位槽（4），所述第一环形定位槽（4）设于所述环形密封槽（3）和所述装配槽（2）之间，且所述第一环形定位槽（4）内设置有螺丝装配孔（5）和真空吸气孔（6），所述真空吸气孔（6）与所述不锈钢圆盘（1）内设置的气体通道（7）连接；所述不锈钢圆盘（1）的底面设置有定位槽（8），所述定位槽（8）内设置有真空抽气孔（9），所述真空抽气孔（9）包括贯通所述装配槽（2）的第一真空抽气孔（901）以及连接于所述气体通道（7）的第二真空抽气孔（902），所述第二真空抽气孔（902）和所述第一真空抽气孔（901）上设置有安装气管接头的螺纹孔（10）。

2.根据权利要求1所述的一种划片机真空固定盘，其特征在于，所述第一环形定位槽（4）设置有两个，且两个所述第一环形定位槽（4）中均设置有与所述气体通道（7）连接的真空吸气孔（6）。

3.根据权利要求1所述的一种划片机真空固定盘，其特征在于，所述不锈钢圆盘（1）的侧壁设置有定位平面（101），所述定位平面（101）均匀的设置在所述不锈钢圆盘（1）侧壁的四周，且所述定位平面（101）上设置有螺纹锁紧孔（102）。

4.根据权利要求1所述的一种划片机真空固定盘，其特征在于，所述不锈钢圆盘（1）的四周设置有与底部连接的环形定位台（11），所述环形定位台（11）上设置有第二环形定位槽（111），所述第二环形定位槽（111）上设置有密封槽（112）和螺纹锁紧孔（102）。

5.根据权利要求1所述的一种划片机真空固定盘，其特征在于，所述气体通道（7）的一端连接于所述第二真空抽气孔（902），另一端与所述不锈钢圆盘（1）侧壁上的定位平面（101）连接，且安装有密封堵头。

6.根据权利要求1所述的一种划片机真空固定盘，其特征在于，所述定位槽（8）中设置有定位孔（801）和螺纹锁紧孔（102）。

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