CN2746181Y - 一种真空吸盘 - Google Patents
一种真空吸盘 Download PDFInfo
- Publication number
- CN2746181Y CN2746181Y CN 200420055406 CN200420055406U CN2746181Y CN 2746181 Y CN2746181 Y CN 2746181Y CN 200420055406 CN200420055406 CN 200420055406 CN 200420055406 U CN200420055406 U CN 200420055406U CN 2746181 Y CN2746181 Y CN 2746181Y
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- suction cup
- ring
- sucker
- base plate
- vacuum suction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 30
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims abstract description 4
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims abstract description 4
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 5
- 239000004568 cement Substances 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 10
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000013404 process transfer Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型一种真空吸盘属于真空吸盘领域，适用于吸附很薄的硬脆材料。真空吸盘由吸盘底板和多孔陶瓷上板组成，真空吸盘采用分体式结构，陶瓷密封环装在多孔陶瓷上板的外圈，两者之间用环氧树脂粘牢，安放在吸盘底板上面；在吸盘底板的上平面外圈安装有金属吸盘上环，用螺钉将金属吸盘上环固定在吸盘底板上；金属吸盘上环和陶瓷密封环与吸盘底板相接触的径向部分采用粘合剂粘牢。本实用新型降低了加工难度，寿命长，特别适用于吸附半导体硅片材料。
Description
技术领域
本实用新型属于真空吸盘领域，特别适用于吸附很薄的硬脆材料。
背景技术
半导体材料硅片，是一种很薄的硬脆材料，它的两个面都要进行磨削、抛光等加工。对这种工件的定位夹紧通常采用真空吸盘来吸附。
目前，常用的真空吸盘是由两种陶瓷材料粘接而成。其中，传递真空的部分使用多孔陶瓷板，多孔陶瓷的微孔孔径为2～50μm；多孔陶瓷板装配在底座的沉孔中，其周边与底座粘结密封；底座是不透气的密实陶瓷材料加工而成。两部分陶瓷虽然在材质上不同，但它们有相近的耐磨性和其它机械性能，这样才能使陶瓷吸盘表面经磨削修整后能达到所要求的平整度。传统的真空吸盘存在如下缺点：底座全部采用整体的精细密实陶瓷，当多孔陶瓷板经磨削修整到一定厚度而不能再用时，密实陶瓷底座随之报废，精细陶瓷材料利用率低，真空吸盘的材料成本高；整体的密实陶瓷底座结构较复杂，需要加工装配多孔陶瓷板的沉孔，以及安装用的定位孔和面，而且加工精度要求较高，陶瓷可加工性差，加工费时费力，所以吸盘的制造成本高；陶瓷脆性大，以陶瓷作为底座直接与机床工作台连接，容易产生破碎损坏。
发明内容
本实用新型的目的是为了克服现有吸盘的不足，以降低加工难度，降低成本，改善加工工艺。
本实用新型采用的技术方案是一种真空吸盘由吸盘底板2和多孔陶瓷上板3组成，真空吸盘采用分体式结构，陶瓷密封环4装在多孔陶瓷上板3的外圈，两者之间用环氧树脂6粘牢，安放在吸盘底板2上面；在吸盘底板2的上平面外圈安装有金属吸盘上环1，用螺钉5将金属吸盘上环1固定在吸盘底板2上；金属吸盘上环1和陶瓷密封环4与吸盘底板2相接触的径向部分采用粘合剂7粘牢；在吸盘底板2的中间开有一个小孔A，吸盘底板2的上平面上开有多个环形沟槽B和辐射状的径向沟槽C。
本实用新型的有益效果是，真空吸盘采用分体式结构，吸盘底座由金属材料制作，精细陶瓷仅用来做密封环，当多孔陶瓷板经磨削修整到一定厚度而不能再用时，整个陶瓷部分可以更换，精细陶瓷材料得到充分利用，从材料上降低真空吸盘的成本，并延长了使用寿命；传统真空吸盘要对陶瓷进行复杂的加工，本实用新型把这些精度要求较高的工艺转移到对金属加工上来，大大地降低了加工的难度。节约制造成本；含有金属底座的真空吸盘与机床工作台连接方便，且易拆卸和更换。本实用新型特别适用于吸附很薄的硬脆材料，如半导体硅片。
附图说明
附图1是本实用新型的结构图，其中：1-吸盘上环，2-吸盘底板，3-多孔陶瓷上板，4-陶瓷密封环，5-螺钉，6-环氧树脂，7-粘合剂，A-小孔，B-环形沟槽，C-径向沟槽。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型进一步说明其实施方式。
磨削加工时，硅片放在多孔陶瓷上板3和陶瓷密封环4之上，真空负压通过吸盘底板2中央的小孔A，经过径向沟槽C和环形沟槽B，均匀地传到多孔陶瓷上板3上，并在多孔陶瓷上板3内部形成真空室。于是，硅片在其上下压力差的作用下牢牢地被吸附在吸盘上。多孔陶瓷上板3的外径略小于硅片直径，以防止真空外泄。吸盘上环1和吸盘底板2之间在端面由4个螺钉连接，起固定作用；径向采用粘合剂粘接，主要起密封作用，防止真空外泄。吸盘上环1和陶瓷密封环4之间采用同样粘合剂粘接，起密封和连接固定作用。
真空吸盘使用时，每隔一定的时间，都要求对吸盘进行修整，以保证吸盘的平整度。这样，当多孔陶瓷上板3和陶瓷密封环4被修整到不能使用时，本实用新型可以更换多孔陶瓷和密封环陶瓷，延长了真空吸盘的使用寿命。
Claims (1)
1.一种真空吸盘由吸盘底板[2]和多孔陶瓷上板[3]组成，其特征是，真空吸盘采用分体式结构，陶瓷密封环[4]装在多孔陶瓷上板[3]的外圈，两者之间用环氧树脂[6]粘牢，安放在吸盘底板[2]上面；在吸盘底板[2]的上平面外圈安装有金属吸盘上环[1]，用螺钉[5]将金属吸盘上环[1]固定在吸盘底板[2]上；金属吸盘上环[1]和陶瓷密封环[4]与吸盘底板[2]相接触的径向部分采用粘合剂[7]粘牢；在吸盘底板[2]的中间开有一个小孔[A]，吸盘底板[2]的上平面上开有多个环形沟槽[B]和辐射状的径向沟槽[C]。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 200420055406 CN2746181Y (zh) | 2004-11-30 | 2004-11-30 | 一种真空吸盘 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 200420055406 CN2746181Y (zh) | 2004-11-30 | 2004-11-30 | 一种真空吸盘 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN2746181Y true CN2746181Y (zh) | 2005-12-14 |
Family
ID=35582762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 200420055406 Expired - Fee Related CN2746181Y (zh) | 2004-11-30 | 2004-11-30 | 一种真空吸盘 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN2746181Y (zh) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101780890A (zh) * | 2010-03-19 | 2010-07-21 | 中国电子科技集团公司第二研究所 | 薄软带输送工作台 |
| CN102080683A (zh) * | 2011-02-16 | 2011-06-01 | 合肥芯硕半导体有限公司 | 一种多功能真空吸盘 |
| CN101672312B (zh) * | 2008-09-12 | 2011-12-07 | 钟奇龙 | 物件的结合固定结构 |
| CN103217115A (zh) * | 2012-01-19 | 2013-07-24 | 昆山思拓机器有限公司 | wafer厚度及平面度的测量装置 |
| CN103341818A (zh) * | 2013-07-04 | 2013-10-09 | 浙江工业大学 | 用于非球曲面加工的真空吸附夹具 |
| CN104385019A (zh) * | 2014-09-28 | 2015-03-04 | 杭州汽轮机股份有限公司 | 油缸活塞密封环加工方法及车削夹具 |
| CN105299023A (zh) * | 2015-12-10 | 2016-02-03 | 北京中电科电子装备有限公司 | 一种真空陶瓷吸盘 |
| CN106862966A (zh) * | 2015-12-11 | 2017-06-20 | 焱智精密机械（上海）有限公司 | 薄板的加工方法 |
| CN108466191A (zh) * | 2017-02-23 | 2018-08-31 | 台濠科技股份有限公司 | 影像量测装置 |
| CN111403328A (zh) * | 2020-03-13 | 2020-07-10 | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 | 一种晶片承片台 |
| CN112407936A (zh) * | 2020-10-30 | 2021-02-26 | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 | 一种多孔真空吸盘及其制备方法 |
| CN113858248A (zh) * | 2021-09-23 | 2021-12-31 | 苏州璟丰机电有限公司 | 一种超薄铜箔的成品取放工艺 |
-
2004
- 2004-11-30 CN CN 200420055406 patent/CN2746181Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101672312B (zh) * | 2008-09-12 | 2011-12-07 | 钟奇龙 | 物件的结合固定结构 |
| CN101780890A (zh) * | 2010-03-19 | 2010-07-21 | 中国电子科技集团公司第二研究所 | 薄软带输送工作台 |
| CN102080683A (zh) * | 2011-02-16 | 2011-06-01 | 合肥芯硕半导体有限公司 | 一种多功能真空吸盘 |
| CN103217115A (zh) * | 2012-01-19 | 2013-07-24 | 昆山思拓机器有限公司 | wafer厚度及平面度的测量装置 |
| CN103341818A (zh) * | 2013-07-04 | 2013-10-09 | 浙江工业大学 | 用于非球曲面加工的真空吸附夹具 |
| CN104385019A (zh) * | 2014-09-28 | 2015-03-04 | 杭州汽轮机股份有限公司 | 油缸活塞密封环加工方法及车削夹具 |
| CN105299023A (zh) * | 2015-12-10 | 2016-02-03 | 北京中电科电子装备有限公司 | 一种真空陶瓷吸盘 |
| CN105299023B (zh) * | 2015-12-10 | 2017-09-29 | 北京中电科电子装备有限公司 | 一种真空陶瓷吸盘 |
| CN106862966A (zh) * | 2015-12-11 | 2017-06-20 | 焱智精密机械（上海）有限公司 | 薄板的加工方法 |
| CN108466191A (zh) * | 2017-02-23 | 2018-08-31 | 台濠科技股份有限公司 | 影像量测装置 |
| CN111403328A (zh) * | 2020-03-13 | 2020-07-10 | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 | 一种晶片承片台 |
| CN112407936A (zh) * | 2020-10-30 | 2021-02-26 | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 | 一种多孔真空吸盘及其制备方法 |
| CN113858248A (zh) * | 2021-09-23 | 2021-12-31 | 苏州璟丰机电有限公司 | 一种超薄铜箔的成品取放工艺 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN201257599Y (zh) | 一种真空吸盘 | |
| CN2746181Y (zh) | 一种真空吸盘 | |
| CN111393180A (zh) | 碳化硅陶瓷吸盘及其制备方法 | |
| CN101221920A (zh) | 晶片吸附机构 | |
| CN204857698U (zh) | 一种半导体真空吸盘 | |
| CN205928237U (zh) | 一种柔性模块化的真空吸盘 | |
| CN102581750A (zh) | 一种双镶嵌层无蜡研磨抛光模板 | |
| KR102079740B1 (ko) | 반도체용 쿼츠제품 제작을 위한 진공흡착지그 | |
| CN101503599B (zh) | 一种化学机械磨削液制备方法 | |
| CN201077033Y (zh) | 一种用于硅片无蜡抛光的整体式抛光陶瓷盘 | |
| CN108555773B (zh) | 一种超薄零件研磨抛光夹具 | |
| CN203006472U (zh) | 陶瓷真空吸盘 | |
| CN210938923U (zh) | 一种适于含能回转零件柔性快调式自定心吸具 | |
| CN201126816Y (zh) | 多孔陶瓷承片台 | |
| CN209477960U (zh) | 一种真空吸附式游星轮夹具 | |
| CN219123193U (zh) | 工装构件及工装套件 | |
| CN103659592A (zh) | 对平板工件定位的负压定位系统 | |
| CN110666722A (zh) | 一种适于含能回转零件柔性快调式自定心吸具及定心方法 | |
| CN113707593B (zh) | 一种碳纤维晶圆搬运手指的制作方法 | |
| JP2538511B2 (ja) | 半導体基板の研磨用保持板 | |
| CN111403328A (zh) | 一种晶片承片台 | |
| CN205428892U (zh) | 一种真空吸盘 | |
| CN205928695U (zh) | 一种快换柔性模块化的真空吸盘 | |
| CN102151643A (zh) | 带升降式对中装置的离心机 | |
| CN103208445B (zh) | 一种led刻蚀机托盘的加工工艺 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C19 | Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |