CN220584065U - 一种ic元件3d检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种IC元件3D检测装置，包括底座、安装于所述底座的Y轴滑动组件、安装于所述Y轴滑动组件的Y轴驱动组件和X轴滑动组件、安装于所述X轴滑动组件的X轴驱动组件和放置台、安装于所述底座的机架、安装于所述机架的Z轴移动组件、安装于所述Z轴移动组件的检测组件、安装于所述机架的外罩，所述Y轴驱动组件与所述X轴滑动组件的底部连接，所述X轴驱动组件与所述放置台的底部连接，所述检测组件位于所述放置台的正上方；通过设置的Z轴移动组件可以改变检测组件Z轴向上的位置，以根据需求进行Z轴向上位置的调节，调节简单方便、适用性强，不需要更换检测镜头，节省了生产成本。

Description

一种IC元件3D检测装置

技术领域

本实用新型涉及检测技术领域，尤指一种IC元件3D检测装置。

背景技术

视觉检测就是用机器代替人眼来做测量和判断。视觉检测是指通过机器视觉产品将被摄取目标转换成图像信号，传送给专用的图像处理系统，根据像素分布和亮度、颜色等信息，转变成数字化信号；图像系统对这些信号进行各种运算来抽取目标的特征，进而得到判别的结果；现有的视觉相机镜头被固定在固定的机构上，无法进行高度的调节，由此，当更换不同厚度的待测半导体元件时，需更换不同的长度的镜头，故而增加了检测成本。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供一种IC元件3D检测装置，通过设置Y轴驱动组件可以驱动X轴滑动组件在Y轴滑动组件上滑动，X轴驱动组件可以驱动放置台在X轴滑动组件上滑动，以此来对放置台进行X轴向上的位移和Y轴向上的位移，以此来跟检测组件进行匹配，Z轴移动组件可以改变检测组件Z轴向上的位置，以根据需求进行Z轴向上位置的调节，调节简单方便、适用性强，不需要更换检测镜头，节省了生产成本。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是提供一种IC元件3D检测装置，包括底座、安装于所述底座的Y轴滑动组件、安装于所述Y轴滑动组件的Y轴驱动组件和X轴滑动组件、安装于所述X轴滑动组件的X轴驱动组件和放置台、安装于所述底座的机架、安装于所述机架的Z轴移动组件、安装于所述Z轴移动组件的检测组件、安装于所述机架的外罩，所述Y轴驱动组件与所述X轴滑动组件的底部连接，所述X轴驱动组件与所述放置台的底部连接，所述检测组件位于所述放置台的正上方。

作为一种优选方案，所述Y轴滑动组件包括安装于所述底座的Y轴安装架、安装于所述Y轴安装架的Y轴第一滑动模组和Y轴第二滑动模组、安装于所述X轴滑动组件的Y轴第三滑动模组和Y轴第四滑动模组，所述Y轴第三滑动模组与所述Y轴第一滑动模组匹配设置，所述Y轴第四滑动模组与所述Y轴第二滑动模组匹配设置。

作为一种优选方案，所述Y轴驱动组件包括安装于所述Y轴安装架的Y轴电机座、安装于所述Y轴电机座的Y轴电机、安装于所述Y轴安装架的Y轴第一丝杆座和Y轴第二丝杆座、Y轴丝杆、安装于所述Y轴丝杆的Y轴螺母座，所述Y轴丝杆一端安装于所述Y轴第一丝杆座，所述Y轴丝杆另一端安装于所述Y轴第二丝杆座，所述Y轴丝杆与所述Y轴电机传动连接，所述Y轴螺母座与所述X轴滑动组件固定连接。

作为一种优选方案，所述X轴滑动组件包括X轴安装架、安装于所述X轴安装架的X轴第一滑动模组和X轴第二滑动模组、安装于所述放置台的X轴第三滑动模组和X轴第四滑动模组，所述X轴第三滑动模组与所述X轴第一滑动模组匹配设置，所述X轴第四滑动模组与所述X轴第二滑动模组匹配设置，所述Y轴第三滑动模组和Y轴第四滑动模组均安装于所述X轴安装架的底部，所述Y轴螺母座与所述X轴安装架底部固定连接。

作为一种优选方案，所述X轴驱动组件包括安装于所述X轴安装架的X轴电机座、安装于所述X轴电机座的X轴电机、安装于所述X轴安装架的X轴第一丝杆座和X轴第二丝杆座、X轴丝杆、安装于所述X轴丝杆的X轴螺母座，所述X轴丝杆一端安装于所述X轴第一丝杆座，所述X轴丝杆另一端安装于所述X轴第二丝杆座，所述X轴丝杆与所述X轴电机传动连接，所述X轴螺母座与所述放置台固定连接。

作为一种优选方案，所述Z轴移动组件包括安装于所述机架的Z轴移动架、安装于所述Z轴移动架的Z轴第一滑座和Z轴第二滑座、安装于所述Z轴第一滑座的Z轴第一滑块、安装于所述Z轴第二滑座的Z轴第二滑块、安装板、及安装于所述Z轴移动架的Z轴驱动模块，所述安装板一端安装于所述Z轴第一滑块，所述安装板另一端安装于所述Z轴第二滑块，所述Z轴驱动模块与所述安装板固定连接，所述检测组件安装于所述安装板。

作为一种优选方案，还包括安装于所述Z轴移动架的上导向座和下导向座、导向柱、安装于所述导向柱的导向套筒、及连接件，所述导向柱一端安装于所述上导向座，所述导向柱另一端安装于所述下导向座，所述连接件一端安装于所述导向套筒，所述连接件另一端安装于所述安装板。

作为一种优选方案，所述检测组件包括安装于所述安装板的检测护罩、安装于所述检测护罩的检测架、安装于所述检测架的检测相机，所述检测相机位于所述放置台的上方。

作为一种优选方案，还包括电控箱，所述电控箱分别与所述Y轴滑动组件、X轴滑动组件、Z轴移动组件和检测组件电连接。

本实用新型的有益效果在于：通过设置Y轴驱动组件可以驱动X轴滑动组件在Y轴滑动组件上滑动，X轴驱动组件可以驱动放置台在X轴滑动组件上滑动，以此来对放置台进行X轴向上的位移和Y轴向上的位移，以此来跟检测组件进行匹配，Z轴移动组件可以改变检测组件Z轴向上的位置，以根据需求进行Z轴向上位置的调节，调节简单方便、适用性强，不需要更换检测镜头，节省了生产成本。

附图说明

图1是本实用新型一种IC元件3D检测装置的整体结构示意图。

图2为图1一种IC元件3D检测装置中Y轴滑动组件的结构示意图。

图3为图1一种IC元件3D检测装置中Y轴驱动组件的结构示意图。

图4为图1一种IC元件3D检测装置中X轴滑动组件的结构示意图。

图5为图1一种IC元件3D检测装置中X轴驱动组件的结构示意图。

图6为图1一种IC元件3D检测装置中Z轴移动组件的结构示意图。

图7为图1一种IC元件3D检测装置中检测组件的结构示意图。

附图标号说明：100、底座；110、机架；120、外罩；200、Y轴滑动组件；210、Y轴安装架；220、Y轴第一滑动模组；230、Y轴第二滑动模组；240、Y轴第三滑动模组；250、Y轴第四滑动模组；300、Y轴驱动组件；310、Y轴电机座；320、Y轴电机；330、Y轴第一丝杆座；340、Y轴第二丝杆座；350、Y轴丝杆；360、Y轴螺母座；400、X轴滑动组件；410、X轴安装架；420、X轴第一滑动模组；430、X轴第二滑动模组；440、X轴第三滑动模组；450、X轴第四滑动模组；500、X轴驱动组件；510、X轴电机座；520、X轴电机；530、X轴第一丝杆座；540、X轴第二丝杆座；550、X轴丝杆；560、X轴螺母座；600、放置台；700、Z轴移动组件；710、Z轴移动架；720、Z轴第一滑座；730、Z轴第二滑座；740、Z轴第一滑块；750、Z轴第二滑块；760、安装板；770、上导向座；780、下导向座；790、导向柱；791、导向套筒；792、连接件；800、检测组件；810、检测护罩；820、检测架；830、检测相机。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1至图7所示，本实用新型提供一种IC元件3D检测装置，包括底座100、安装于底座100的Y轴滑动组件200、安装于Y轴滑动组件200的Y轴驱动组件300和X轴滑动组件400、安装于X轴滑动组件400的X轴驱动组件500和放置台600、安装于底座100的机架110、安装于机架110的Z轴移动组件700、安装于Z轴移动组件700的检测组件800、安装于机架110的外罩120，Y轴驱动组件300与X轴滑动组件400的底部连接，X轴驱动组件500与放置台600的底部连接，检测组件800位于放置台600的正上方；通过设置Y轴驱动组件300可以驱动X轴滑动组件400在Y轴滑动组件200上滑动，X轴驱动组件500可以驱动放置台600在X轴滑动组件400上滑动，以此来对放置台600进行X轴向上的位移和Y轴向上的位移，以此来跟检测组件800进行匹配，Z轴移动组件700可以改变检测组件800Z轴向上的位置，以根据需求进行Z轴向上位置的调节，调节简单方便、适用性强，不需要更换检测镜头，节省了生产成本。

Y轴滑动组件200包括安装于底座100的Y轴安装架210、安装于Y轴安装架210的Y轴第一滑动模组220和Y轴第二滑动模组230、安装于X轴滑动组件400的Y轴第三滑动模组240和Y轴第四滑动模组250，Y轴第三滑动模组240与Y轴第一滑动模组220匹配设置，Y轴第四滑动模组250与Y轴第二滑动模组230匹配设置，Y轴第三滑动模组240可以相对于Y轴第一滑动模组220滑动，Y轴第四滑动模组250可以相对于Y轴第二滑动模组230滑动，以此来带动X轴滑动组件400移动。

Y轴驱动组件300包括安装于Y轴安装架210的Y轴电机座310、安装于Y轴电机座310的Y轴电机320、安装于Y轴安装架210的Y轴第一丝杆座330和Y轴第二丝杆座340、Y轴丝杆350、安装于Y轴丝杆350的Y轴螺母座360，Y轴丝杆350一端安装于Y轴第一丝杆座330，Y轴丝杆350另一端安装于Y轴第二丝杆座340，Y轴丝杆350与Y轴电机320传动连接，Y轴螺母座360与X轴滑动组件400固定连接，Y轴电机320工作带动Y轴螺母座360在Y轴丝杆350上滑动，以此带动X轴滑动组件400在Y轴滑动组件200上滑动。

X轴滑动组件400包括X轴安装架410、安装于X轴安装架410的X轴第一滑动模组420和X轴第二滑动模组430、安装于放置台600的X轴第三滑动模组440和X轴第四滑动模组450，X轴第三滑动模组440与X轴第一滑动模组420匹配设置，X轴第四滑动模组450与X轴第二滑动模组430匹配设置，Y轴第三滑动模组240和Y轴第四滑动模组250均安装于X轴安装架410的底部，Y轴螺母座360与X轴安装架410底部固定连接，X轴第三滑动模组440可以相对于X轴第一滑动模组420滑动，X轴第四滑动模组450可以相对于X轴第二滑动模组430滑动，以此带动放置台600进行移动。

X轴驱动组件500包括安装于X轴安装架410的X轴电机座510、安装于X轴电机座510的X轴电机520、安装于X轴安装架410的X轴第一丝杆座530和X轴第二丝杆座540、X轴丝杆550、安装于X轴丝杆550的X轴螺母座560，X轴丝杆550一端安装于X轴第一丝杆座530，X轴丝杆550另一端安装于X轴第二丝杆座540，X轴丝杆550与X轴电机520传动连接，X轴螺母座560与放置台600固定连接，X轴电机520工作带动X轴螺母座560在X轴丝杆550上滑动，以此带动放置台600在X轴滑动组件400上滑动。

Z轴移动组件700包括安装于机架110的Z轴移动架710、安装于Z轴移动架710的Z轴第一滑座720和Z轴第二滑座730、安装于Z轴第一滑座720的Z轴第一滑块740、安装于Z轴第二滑座730的Z轴第二滑块750、安装板760、及安装于Z轴移动架710的Z轴驱动模块，安装板760一端安装于Z轴第一滑块740，安装板760另一端安装于Z轴第二滑块750，Z轴驱动模块与安装板760固定连接，检测组件800安装于安装板760，还包括安装于Z轴移动架710的上导向座770和下导向座780、导向柱790、安装于导向柱790的导向套筒791、及连接件792，导向柱790一端安装于上导向座770，导向柱790另一端安装于下导向座780，连接件792一端安装于导向套筒791，连接件792另一端安装于安装板760，Z轴驱动模块工作带动安装板760移动，安装板760移动带动检测组件800移动，以此可以对检测组件800的位置进行调节。

检测组件800包括安装于安装板760的检测护罩810、安装于检测护罩810的检测架820、安装于检测架820的检测相机830，检测相机830位于放置台600的上方，检测相机830可以对放置于放置台600上的产品进行检测。

还包括电控箱，电控箱分别与Y轴滑动组件200、X轴滑动组件400、Z轴移动组件700和检测组件800电连接，电控箱用于控制Y轴滑动组件200、X轴滑动组件400、Z轴移动组件700和检测组件800进行工作，保证检测的正常进行。

以上实施方式仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通工程技术人员对本实用新型的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本实用新型的权利要求书确定的保护范围内。

Claims (9)

1.一种IC元件3D检测装置，其特征在于，包括底座、安装于所述底座的Y轴滑动组件、安装于所述Y轴滑动组件的Y轴驱动组件和X轴滑动组件、安装于所述X轴滑动组件的X轴驱动组件和放置台、安装于所述底座的机架、安装于所述机架的Z轴移动组件、安装于所述Z轴移动组件的检测组件、安装于所述机架的外罩，所述Y轴驱动组件与所述X轴滑动组件的底部连接，所述X轴驱动组件与所述放置台的底部连接，所述检测组件位于所述放置台的正上方。

2.根据权利要求1所述的一种IC元件3D检测装置，其特征在于：所述Y轴滑动组件包括安装于所述底座的Y轴安装架、安装于所述Y轴安装架的Y轴第一滑动模组和Y轴第二滑动模组、安装于所述X轴滑动组件的Y轴第三滑动模组和Y轴第四滑动模组，所述Y轴第三滑动模组与所述Y轴第一滑动模组匹配设置，所述Y轴第四滑动模组与所述Y轴第二滑动模组匹配设置。

3.根据权利要求2所述的一种IC元件3D检测装置，其特征在于：所述Y轴驱动组件包括安装于所述Y轴安装架的Y轴电机座、安装于所述Y轴电机座的Y轴电机、安装于所述Y轴安装架的Y轴第一丝杆座和Y轴第二丝杆座、Y轴丝杆、安装于所述Y轴丝杆的Y轴螺母座，所述Y轴丝杆一端安装于所述Y轴第一丝杆座，所述Y轴丝杆另一端安装于所述Y轴第二丝杆座，所述Y轴丝杆与所述Y轴电机传动连接，所述Y轴螺母座与所述X轴滑动组件固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种IC元件3D检测装置，其特征在于：所述X轴滑动组件包括X轴安装架、安装于所述X轴安装架的X轴第一滑动模组和X轴第二滑动模组、安装于所述放置台的X轴第三滑动模组和X轴第四滑动模组，所述X轴第三滑动模组与所述X轴第一滑动模组匹配设置，所述X轴第四滑动模组与所述X轴第二滑动模组匹配设置，所述Y轴第三滑动模组和Y轴第四滑动模组均安装于所述X轴安装架的底部，所述Y轴螺母座与所述X轴安装架底部固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种IC元件3D检测装置，其特征在于：所述X轴驱动组件包括安装于所述X轴安装架的X轴电机座、安装于所述X轴电机座的X轴电机、安装于所述X轴安装架的X轴第一丝杆座和X轴第二丝杆座、X轴丝杆、安装于所述X轴丝杆的X轴螺母座，所述X轴丝杆一端安装于所述X轴第一丝杆座，所述X轴丝杆另一端安装于所述X轴第二丝杆座，所述X轴丝杆与所述X轴电机传动连接，所述X轴螺母座与所述放置台固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种IC元件3D检测装置，其特征在于：所述Z轴移动组件包括安装于所述机架的Z轴移动架、安装于所述Z轴移动架的Z轴第一滑座和Z轴第二滑座、安装于所述Z轴第一滑座的Z轴第一滑块、安装于所述Z轴第二滑座的Z轴第二滑块、安装板、及安装于所述Z轴移动架的Z轴驱动模块，所述安装板一端安装于所述Z轴第一滑块，所述安装板另一端安装于所述Z轴第二滑块，所述Z轴驱动模块与所述安装板固定连接，所述检测组件安装于所述安装板。

7.根据权利要求6所述的一种IC元件3D检测装置，其特征在于：还包括安装于所述Z轴移动架的上导向座和下导向座、导向柱、安装于所述导向柱的导向套筒、及连接件，所述导向柱一端安装于所述上导向座，所述导向柱另一端安装于所述下导向座，所述连接件一端安装于所述导向套筒，所述连接件另一端安装于所述安装板。

8.根据权利要求7所述的一种IC元件3D检测装置，其特征在于：所述检测组件包括安装于所述安装板的检测护罩、安装于所述检测护罩的检测架、安装于所述检测架的检测相机，所述检测相机位于所述放置台的上方。

9.根据权利要求1所述的一种IC元件3D检测装置，其特征在于：还包括电控箱，所述电控箱分别与所述Y轴滑动组件、X轴滑动组件、Z轴移动组件和检测组件电连接。