CN220456386U - 一种具有载台的晶圆检验挑粒机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种具有载台的晶圆检验挑粒机，包括工作台、底座、晶圆载台和检验台，所述工作台的底面一侧设置有底座，所述工作台下方一侧安装有晶圆载台，所述底座的一侧连接有检验台，所述晶圆载台和检验台之间设置有挑粒机械臂，所述挑粒机械臂位于工作台的底面一侧边缘，所述工作台的表面两侧分别设置有照射灯和移动座架，所述照射灯位于晶圆载台的上方，所述移动座架位于检验台上方一侧，所述工作台的中部设置有机座，所述机座位于照射灯和移动座架之间的位置，所述机座的外壁设置有防护标牌。该实用新型工作台表面与晶圆载台相对应位置设置有照射灯，可以对晶圆载台提供可视化的光源，以便于操作人员观察更加清晰。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆技术领域，具体涉及一种具有载台的晶圆检验挑粒机。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅。
现有的晶圆检验挑粒装置在使用中不具有上下灯光同时进行且对晶圆检验对照的功能，且用于放置晶圆的载台不便配合操作，例如申请号为CN201520042355.7公开的一种可视化自动空跳晶圆挑粒机。晶圆在设备完成切割后，需要对其进行挑粒工作，将圆片上的多种类型的晶粒放到各种规格的晶粒盒上，从而完成挑粒和拣晶的工作，而晶圆颗粒较小在挑粒的过程中操作人员进行可视化观察，通常载盘上缺少上下对焦照射的灯具，增加了操作人员进行晶圆挑粒时的难度，且晶圆载台的对于晶粒的放置稳定性也不够好，降低了装置的工作效率。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种具有载台的晶圆检验挑粒机，以解决技术中不具有上下灯光同时进行且对晶圆检验对照的功能，且用于放置晶圆的载台不便配合操作的问题，晶圆在设备完成切割后，需要对其进行挑粒工作，将圆片上的多种类型的晶粒放到各种规格的晶粒盒上，从而完成挑粒和拣晶的工作，而晶圆颗粒较小在挑粒的过程中操作人员进行可视化观察，通常载盘上缺少上下对焦照射的灯具，增加了操作人员进行晶圆挑粒时的难度，且晶圆载台的对于晶粒的放置稳定性也不够好，降低了装置的工作效率。
为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有载台的晶圆检验挑粒机，包括工作台、底座、晶圆载台、检验台、挑粒机械臂、照射灯、移动座架、机座和防护标牌，所述工作台的底面一侧设置有底座，所述工作台下方一侧安装有晶圆载台，所述底座的一侧连接有检验台，所述晶圆载台和检验台之间设置有挑粒机械臂，所述挑粒机械臂位于工作台的底面一侧边缘，所述工作台的表面两侧分别设置有照射灯和移动座架，所述照射灯位于晶圆载台的上方，所述移动座架位于检验台上方一侧，所述工作台的中部设置有机座，所述机座位于照射灯和移动座架之间的位置，所述机座的外壁设置有防护标牌。
优选的，所述晶圆载台的表面一侧安装有气缸箱体，所述气缸箱体的顶部与工作台的底部连接，所述晶圆载台的表面两侧均开设有滑动槽，所述滑动槽的上方设置有载板，所述载板的底部与滑动槽之间设置有滑块。
优选的，所述载板的外壁一侧与气缸箱体之间安装有两个伸缩杆，所述载板的表面两侧均固定焊接有L形卡块，所述卡块四个为一组，每组所述卡块内侧卡箍暗转有晶圆板，所述晶圆板的表面开设有凹陷槽。
优选的，所述检验台的表面中部设置有支脚架，所述支脚架的顶端设置有玻璃板，所述支脚架的中部安装有第一辅助灯，所述第一辅助灯位于玻璃板底面中部的正下方。
优选的，所述挑粒机械臂的一端连接有摆臂连接轴，所述摆臂连接轴的顶端与工作台的底面一侧连接，所述挑粒机械臂的输出端下方安装有顶针。
优选的，所述照射灯的背部设置有控制台，所述照射灯的底部一侧设置有灯头，所述灯头的输出端朝下，且对准下方晶圆载台。
优选的，所述移动座架的外侧分别设置有纵向移动座和横向移动座，所述纵向移动座的外壁上安装有第二辅助灯，所述第二辅助灯可根据纵向移动座和横向移动座的移动发生位置改变，所述第二辅助灯的位置与下方检验台的位置相对应。
在上述技术方案中，本实用新型提供的技术效果和优点：
该具有载台的晶圆检验挑粒机，通过晶圆载台表面设置的载板，且晶圆板放置后置于四个L形卡块之间，使其能够稳固放置，工作台表面与晶圆载台相对应位置设置有照射灯，可以对晶圆载台提供可视化的光源，以便于操作人员观察更加清晰，在支脚架的中部设置有第一辅助灯，可以与上方移动座架中的第二辅助灯形成对焦，对焦的光面会聚在玻璃板上，从而提高晶圆粒在玻璃板上可视的明显度。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图；
图2为本实用新型的仰视结构示意图；
图3为本实用新型的晶圆载台结构示意图；
图4为本实用新型的挑粒机械臂结构示意图；
图5为本实用新型的移动座架结构示意图。
附图标记说明：
1、工作台；2、底座；3、晶圆载台；301、气缸箱体；302、滑动槽；303、载板；304、伸缩杆；305、卡块；306、晶圆板；307、凹陷槽；4、检验台；401、支脚架；402、玻璃板；403、第一辅助灯；5、挑粒机械臂；501、摆臂连接轴；502、顶针；6、照射灯；601、控制台；602、灯头；7、移动座架；701、第二辅助灯；8、机座；9、防护标牌。
具体实施方式
为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面将结合附图对本实用新型作进一步的详细介绍。
本实用新型提供了如图1-5所示的一种具有载台的晶圆检验挑粒机，包括工作台1、底座2、晶圆载台3、检验台4、挑粒机械臂5、照射灯6、移动座架7、机座8和防护标牌9，工作台1的底面一侧设置有底座2，工作台1下方一侧安装有晶圆载台3，底座2的一侧连接有检验台4，晶圆载台3和检验台4之间设置有挑粒机械臂5，挑粒机械臂5位于工作台1的底面一侧边缘，工作台1的表面两侧分别设置有照射灯6和移动座架7，照射灯6位于晶圆载台3的上方，移动座架7位于检验台4上方一侧，工作台1的中部设置有机座8，机座8位于照射灯6和移动座架7之间的位置，机座8的外壁设置有防护标牌9。
实施例一：该晶圆检验挑粒机在使用过程中通过将多块有晶圆的板块放在晶圆载台3上，然后通过晶圆载台3余检验台4之间的挑粒机械臂5的摆动，使晶圆载台3上的晶粒转换到检验台4上进行检验，检验过程中晶圆载台3和移动座架7会随着装置的运行需求进行调节，能够更加适应装置的操作要求提高装置操作效率。
本实用工作原理：
参照说明书附图1-5，对于该类具有载台的晶圆检验挑粒机，在使用时首先将盛放有晶粒的晶圆板306放置在晶圆载台3表面的载板303上，晶圆板306置于四个L形卡块305之间，使其能够稳固放置，工作台1表面与晶圆载台3相对应位置设置有照射灯6，可以对晶圆载台3提供可视化的光源，以便于操作人员观察更加清晰，然后工作台1底部安装的挑粒机械臂5可以随着摆臂连接轴501进行左右摆臂转动，从而使挑粒机械臂5输出端底部的顶针对晶圆载台3上的晶圆粒进行挑拣，挑粒机械臂5上的晶圆粒会跟这摆臂连接轴501的转动至工作台1外部下方另一侧的检验台4上方，且放置在检验台4上方的玻璃板402上，由于支脚架401的中部设置有第一辅助灯403，可以与上方移动座架7中的第二辅助灯701形成对焦，对焦的光面会聚在玻璃板402上，从而提高晶圆粒在玻璃板402上可视的明显度，检验过程中晶圆载台3通过伸缩杆304被后方的气缸箱体301连接，可实现伸缩调节功能，以便于自动调节晶圆载台3与照射灯6对光的位置，移动座架7会随着装置的运行需求进行调节，从而使第二辅助灯701能够更加适应与第一辅助灯403在玻璃板402上的对焦聚光位置，从而提高装置的操作效率效率，这就是该具有载台的晶圆检验挑粒机的操作方法。
Claims (7)
1.一种具有载台的晶圆检验挑粒机，包括工作台(1)、底座(2)、晶圆载台(3)、检验台(4)、挑粒机械臂(5)、照射灯(6)、移动座架(7)、机座(8)和防护标牌(9)，其特征在于，所述工作台(1)的底面一侧设置有底座(2)，所述工作台(1)下方一侧安装有晶圆载台(3)，所述底座(2)的一侧连接有检验台(4)，所述晶圆载台(3)和检验台(4)之间设置有挑粒机械臂(5)，所述挑粒机械臂(5)位于工作台(1)的底面一侧边缘，所述工作台(1)的表面两侧分别设置有照射灯(6)和移动座架(7)，所述照射灯(6)位于晶圆载台(3)的上方，所述移动座架(7)位于检验台(4)上方一侧，所述工作台(1)的中部设置有机座(8)，所述机座(8)位于照射灯(6)和移动座架(7)之间的位置，所述机座(8)的外壁设置有防护标牌(9)。
2.根据权利要求1所述的一种具有载台的晶圆检验挑粒机，其特征在于：所述晶圆载台(3)的表面一侧安装有气缸箱体(301)，所述气缸箱体(301)的顶部与工作台(1)的底部连接，所述晶圆载台(3)的表面两侧均开设有滑动槽(302)，所述滑动槽(302)的上方设置有载板(303)，所述载板(303)的底部与滑动槽(302)之间设置有滑块。
3.根据权利要求2所述的一种具有载台的晶圆检验挑粒机，其特征在于：所述载板(303)的外壁一侧与气缸箱体(301)之间安装有两个伸缩杆(304)，所述载板(303)的表面两侧均固定焊接有L形卡块(305)，所述卡块(305)四个为一组，每组所述卡块(305)内侧卡箍暗转有晶圆板(306)，所述晶圆板(306)的表面开设有凹陷槽(307)。
4.根据权利要求1所述的一种具有载台的晶圆检验挑粒机，其特征在于：所述检验台(4)的表面中部设置有支脚架(401)，所述支脚架(401)的顶端设置有玻璃板(402)，所述支脚架(401)的中部安装有第一辅助灯(403)，所述第一辅助灯(403)位于玻璃板(402)底面中部的正下方。
5.根据权利要求1所述的一种具有载台的晶圆检验挑粒机，其特征在于：所述挑粒机械臂(5)的一端连接有摆臂连接轴(501)，所述摆臂连接轴(501)的顶端与工作台(1)的底面一侧连接，所述挑粒机械臂(5)的输出端下方安装有顶针(502)。
6.根据权利要求1所述的一种具有载台的晶圆检验挑粒机，其特征在于：所述照射灯(6)的背部设置有控制台(601)，所述照射灯(6)的底部一侧设置有灯头(602)，所述灯头(602)的输出端朝下，且对准下方晶圆载台(3)。
7.根据权利要求1所述的一种具有载台的晶圆检验挑粒机，其特征在于：所述移动座架(7)的外侧分别设置有纵向移动座和横向移动座，所述纵向移动座的外壁上安装有第二辅助灯(701)，所述第二辅助灯(701)可根据纵向移动座和横向移动座的移动发生位置改变，所述第二辅助灯(701)的位置与下方检验台(4)的位置相对应。
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