CN220411858U - 磁控溅镀阴极模组的传送装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及输送装置技术领域，尤其是涉及一种磁控溅镀阴极模组的传送装置，磁控溅镀阴极模组的传送装置包括磁控溅镀阴极输送架，所述磁控溅镀阴极输送架上转动连接有支撑轮，所述磁控溅镀阴极输送架内开设有调节槽，所述调节槽内设有用于对所述支撑轮的高度进行调节的调节组件。通过调节组件对支撑轮进行调节，从而使两侧的支撑轮高度保持一致，在对载板进行输送时，能够使输送更加平稳，保持良好的输送效果。

Description

磁控溅镀阴极模组的传送装置

技术领域

本申请涉及硅片输送技术领域，尤其是涉及一种磁控溅镀阴极模组的传送装置。

背景技术

在晶体硅太阳能电池制造过程中，需要在硅片表面制备膜层，用于硅片表面的钝化、减少光的反射等。目前，通常将硅片排列在载板上，然后将载板输送至磁控溅镀阴极模组中，再通过磁控溅镀阴极模组中的输送装置将载板输送至镀膜位置处，通过磁控溅射镀膜的方式对硅片进行镀膜。

通常，载板的两侧设有C型支撑板，输送装置包括磁控溅镀阴极输送架和设置在磁控溅镀阴极输送架上的支撑轮，通过支撑轮对C型支撑板进行支撑，同时实现对载板的输送。

但是由于载板尺寸较大，在输送过程中，支撑轮的位置容易产生偏移，使得两侧支撑轮之间出现高度差，从而影响对载板的输送效果。

实用新型内容

为了解决支撑轮的位置容易出现偏移的问题，本申请提供一种磁控溅镀阴极模组的传送装置。

本申请提供的一种磁控溅镀阴极模组的传送装置，采用如下的技术方案：一种磁控溅镀阴极模组的传送装置，包括磁控溅镀阴极输送架，所述磁控溅镀阴极输送架上转动连接有支撑轮，所述磁控溅镀阴极输送架内开设有调节槽，所述调节槽内设有用于对所述支撑轮的高度进行调节的调节组件。

通过采用上述技术方案，通过设置调节组件，当支撑轮的高度出现偏移时，能够通过调节组件对支撑轮进行调节，从而使两侧的支撑轮高度保持一致，在对载板进行输送时，能够使输送更加平稳，保持良好的输送效果。

在一个具体的可实施方案中，所述调节组件包括转动丝杆和升降块，所述转动丝杆转动连接在所述调节槽内，所述升降块螺纹连接在所述转动丝杆上，所述支撑轮转动连接在所述升降块上。

通过采用上述技术方案，通过转动丝杆，丝杆带动升降块升降，升降块从而带动支撑轮升降，便于对支撑轮的高度进行调节，操作方便。

在一个具体的可实施方案中，所述调节槽内设有调节弹簧，所述调节弹簧一端与所述升降块的底壁接触，另一端与所述调节槽的底壁接触。

通过采用上述技术方案，通过设置调节弹簧，当升降块在下降过程中，升降块压缩调节弹簧，调节弹簧能够对升降块起到支撑作用，尽量避免升降块在升降过程中产生晃动，使升降块升降稳定。

在一个具体的可实施方案中，所述磁控溅镀阴极输送架上设有用于对所述转动丝杆进行限位的限位组件。

通过采用上述技术方案，通过设置限位组件，对支撑轮的高度调节完成后，便于对支撑轮进行定位，尽量避免在对载板输送过程中支撑轮产生晃动，使得对支撑轮的调节更加稳定。

在一个具体的可实施方案中，所述转动丝杆上固定有齿轮，所述限位组件包括限位块和导向块，所述限位块用于与所述齿轮卡合，所述导向块安装在限位块上，所述磁控溅镀阴极输送架上开设有限位槽，所述导向块滑动安装在所述限位槽内，所述限位槽内设有限位弹簧，所述限位弹簧一端与所述限位槽的内壁接触，另一端与所述导向块接触。

通过采用上述技术方案，通过向远离齿轮一侧移动限位块，限位块压缩弹簧，当导向块与齿轮分离时，能够对转动丝杆进行转动，从而调节支撑轮的高度；松开导向块后，在弹簧的复位作用下，限位块与齿轮卡合，实现对转动丝杆的限位，操作方便。

在一个具体的可实施方案中，所述支撑轮上安装有滑动块，所述滑动块与所述升降块滑动连接，所述升降块上设有用于对所述支撑轮进行定位的定位组件。

通过采用上述技术方案，通过滑动块与升降块滑动连接，便于对支撑轮的水平位置进行调节，从而便于根据载板的宽度，调节支撑轮的位置，有助于实现更好的输送效果。

在一个具体的可实施方案中，所述定位组件包括转动杆、锥齿轮一和锥齿轮二，所述转动杆转动连接在所述升降块上，所述锥齿轮一安装在所述转动杆上，所述滑动槽内转动连接有定位丝杆，所述锥齿轮二安装在所述定位丝杆上，所述锥齿轮一与所述锥齿轮二啮合，所述定位丝杆上螺纹连接有滑动块，所述滑动块上设有限位条，所述滑动槽的内壁上开设有卡槽，所述限位条滑动安装在所述卡槽内。

通过采用上述技术方案，通过转动转动杆，转动杆带动锥齿轮一转动，锥齿轮一带动锥齿轮二和定位丝杆转动，定位丝杆带动滑动块水平移动，实现对支撑轮水平位置的调节，便于操作，适应不同宽度的载板，有助于实现更好的输送效果。

在一个具体的可实施方案中，所述磁控溅镀阴极输送架上设有第一刻度，所述第一刻度沿着所述调节槽的长度方向设置。

通过采用上述技术方案，通过设置第一刻度，在对支撑轮的高度进行调节时，便于根据刻度观察对支撑轮的调节量，从而使调节更加精准，进而实现更好的输送效果。

在一个具体的可实施方案中，所述滑动块上设有第二刻度，所述第二刻度沿着所述滑动块的移动方向设置。

通过采用上述技术方案，通过设置第二刻度，在调节支撑轮的水平位置时，能够通过观察刻度，使调节更加精准，有助于实现更好的输送效果。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.当支撑轮的高度出现偏移时，能够通过调节组件对支撑轮进行调节，从而使两侧的支撑轮高度保持一致，在对载板进行输送时，能够使输送更加平稳，保持良好的输送效果；

2.调节弹簧能够对升降块起到支撑作用，尽量避免升降块在升降过程中产生晃动，使升降块升降稳定；

3.通过设置限位组件，对支撑轮的高度调节完成后，便于对支撑轮进行定位，尽量避免在对载板输送过程中支撑轮产生晃动，使得对支撑轮的调节更加稳定。

附图说明

图1是本申请实施例的整体结构示意图。

图2是本申请实施例中支撑轮与载板的位置关系示意图。

图3是本申请实施例中限位组件的结构示意图。

图4是本申请实施例中调节组件的内部结构剖视图。

图5是本申请实施例中限位组件的内部结构剖视图。

图6是本申请实施例中滑动块的内部结构剖视图。

附图标记说明：

1、磁控溅镀阴极输送架；2、支撑轮；3、调节组件；30、调节槽；31、转动丝杆；32、升降块；33、第一刻度；34、调节弹簧；4、限位组件；41、限位块；42、导向块；43、齿轮；44、限位槽；45、限位弹簧；46、拨块；5、定位组件；51、滑动槽；52、滑动块；53、转动杆；54、锥齿轮一；55、锥齿轮二；56、定位丝杆；57、限位条；58、卡槽；59、第二刻度。

具体实施方式

以下结合附图对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开了一种磁控溅镀阴极模组的传送装置，参照图1和图2，磁控溅镀阴极模组的传送装置包括磁控溅镀阴极输送架1，磁控溅镀阴极输送架1两侧的侧壁上转动连接有支撑轮2，支撑轮2用于对载板进行支撑，对载板进行输送。

参照图3和图4，磁控溅镀阴极输送架1上开设有调节槽30，调节槽30内设有用于对支撑轮2的高度进行调节的调节组件3，调节组件3包括转动丝杆31和升降块32，转动丝杆31转动连接在调节槽30内，升降块32螺纹连接在调节槽30内的转动丝杆31上，升降块32的侧壁与调节槽30的内壁接触，磁控溅镀阴极输送架1对升降块32进行限位。通过转动转动丝杆31，能够带动升降块32在调节槽30内升降，实现对支撑轮2高度的调节。升降块32的侧壁上设有第一刻度33，第一刻度33沿着升降块32的移动方向设置，从而在对支撑轮2的高度进行调节时，能够使调节更加精准，从而保持两侧支撑轮2的高度一致，保证对载板良好的支撑效果。调节槽30内设有调节弹簧34，调节弹簧34一端与调节槽30的内底壁接触，另一端与升降块32的底壁接触。当升降块32向下移动的过程中，升降块32压缩调节弹簧34，调节弹簧34能够使升降块32的移动更加稳定，尽量避免升降块32在移动过程中产生晃动。

参照图5，磁控溅镀阴极输送架1的顶壁上设有用于对转动丝杆31进行限位的限位组件4，转动丝杆31上固定有齿轮43，磁控溅镀阴极输送架1的顶壁上开设有限位槽44，限位组件4包括限位块41和导向块42，限位块41用于与齿轮43卡合，导向块42固定在限位块41的底壁上，导向块42滑动安装在限位槽44内，限位槽44内设有限位弹簧45，限位弹簧45一端与限位槽44的内壁接触，另一端与导向块42接触。限位块41的顶壁上固定有拨块46，通过移动拨块46，带动限位块41朝远离齿轮43一侧移动，限位块41带动导向块42移动，导向块42压缩限位弹簧45，使限位弹簧45收缩，限位块41与齿轮43分离，便于对转动丝杆31进行转动。松开拨块46后，限位块41和导向块42在限位弹簧45的复位作用下复位，使限位块41与齿轮43卡合，限制齿轮43的转动，同时限制转动丝杆31的转动。通过设置限位组件4，在不移动限位块41的前提下，能够尽量避免因误操作使转动丝杆31转动。

参照图4和图6，升降块32内水平开设有滑动槽51，滑动槽51内滑动安装有滑动块52，支撑轮2转动连接在滑动块52远离转动丝杆31的一端，升降块32上设有用于对支撑轮2进行定位的定位组件5，定位组件5包括转动杆53、锥齿轮一54和锥齿轮二55，转动杆53转动连接在升降块32上，锥齿轮一54同轴固定在转动杆53上，滑动槽51内转动连接有定位丝杆56，锥齿轮二55同轴固定在定位丝杆56上，锥齿轮二55与锥齿轮一54啮合，滑动块52与定位丝杆56螺纹连接，滑动块52的外壁上固定有限位条57，滑动槽51的内壁上开设有卡槽58，卡槽58平行于定位丝杆56的轴线开设，限位条57滑动安装在卡槽58内，卡槽58用于对限位条57限位。通过转动转动杆53，转动杆53带动锥齿轮一54转动，锥齿轮一54带动锥齿轮二55和定位丝杆56转动，在卡槽58的限位作用下，滑动块52能够沿着水平方向移动，从而带动支撑轮2在水平方向移动，实现对支撑轮2水平位置的调节。滑动块52上设有第二刻度59，第二刻度59沿着定位丝杆56的轴线方向设置，通过设置第二刻度59，能够对支撑轮2的位置进行精确调节，操作方便。

本申请实施例的实施原理为：移动限位块41，使限位块41与齿轮43分离，转动转动丝杆31，转动丝杆31带动升降块32在调节槽30内升降，升降块32带动支撑轮2升降，对支撑轮2的高度进行调节。调节完成后，松开限位块41，在限位弹簧45的复位作用下，使限位块41卡入齿轮43内，对齿轮43进行限位，从而能够尽量避免误操作对转动丝杆31进行转动。

再通过转动转动杆53，转动杆53带动锥齿轮一54转动，锥齿轮一54带动锥齿轮二55和定位丝杆56转动，定位丝杆56带动滑动块52沿着水平方向移动，从而实现对支撑轮2水平位置的调节。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种磁控溅镀阴极模组的传送装置，包括磁控溅镀阴极输送架(1)，其特征在于：所述磁控溅镀阴极输送架(1)上转动连接有支撑轮(2)，所述磁控溅镀阴极输送架(1)内开设有调节槽(30)，所述调节槽(30)内设有用于对所述支撑轮(2)的高度进行调节的调节组件(3)。

2.根据权利要求1所述的磁控溅镀阴极模组的传送装置，其特征在于：所述调节组件(3)包括转动丝杆(31)和升降块(32)，所述转动丝杆(31)转动连接在所述调节槽(30)内，所述升降块(32)螺纹连接在所述转动丝杆(31)上，所述支撑轮(2)转动连接在所述升降块(32)上。

3.根据权利要求2所述的磁控溅镀阴极模组的传送装置，其特征在于：所述调节槽(30)内设有调节弹簧(34)，所述调节弹簧(34)一端与所述升降块(32)的底壁接触，另一端与所述调节槽(30)的底壁接触。

4.根据权利要求2所述的磁控溅镀阴极模组的传送装置，其特征在于：所述磁控溅镀阴极输送架(1)上设有用于对所述转动丝杆(31)进行限位的限位组件(4)。

5.根据权利要求4所述的磁控溅镀阴极模组的传送装置，其特征在于：所述转动丝杆(31)上固定有齿轮(43)，所述限位组件(4)包括限位块(41)和导向块(42)，所述限位块(41)用于与所述齿轮(43)卡合，所述导向块(42)安装在限位块(41)上，所述磁控溅镀阴极输送架(1)上开设有限位槽(44)，所述导向块(42)滑动安装在所述限位槽(44)内，所述限位槽(44)内设有限位弹簧(45)，所述限位弹簧(45)一端与所述限位槽(44)的内壁接触，另一端与所述导向块(42)接触。

6.根据权利要求2所述的磁控溅镀阴极模组的传送装置，其特征在于：所述支撑轮(2)上安装有滑动块(52)，所述滑动块(52)与所述升降块(32)滑动连接，所述升降块(32)上开设有滑动槽(51)，所述滑动槽(51)内设有用于对所述支撑轮(2)进行定位的定位组件(5)。

7.根据权利要求6所述的磁控溅镀阴极模组的传送装置，其特征在于：所述定位组件(5)包括转动杆(53)、锥齿轮一(54)和锥齿轮二(55)，所述转动杆(53)转动连接在所述升降块(32)上，所述锥齿轮一(54)安装在所述转动杆(53)上，所述滑动槽(51)内转动连接有定位丝杆(56)，所述锥齿轮二(55)安装在所述定位丝杆(56)上，所述锥齿轮一(54)与所述锥齿轮二(55)啮合，所述定位丝杆(56)上螺纹连接有滑动块(52)，所述滑动块(52)上设有限位条(57)，所述滑动槽(51)的内壁上开设有卡槽(58)，所述限位条(57)滑动安装在所述卡槽(58)内。

8.根据权利要求1所述的磁控溅镀阴极模组的传送装置，其特征在于：所述磁控溅镀阴极输送架(1)上设有第一刻度(33)，所述第一刻度(33)沿着所述调节槽(30)的长度方向设置。

9.根据权利要求7所述的磁控溅镀阴极模组的传送装置，其特征在于：所述滑动块(52)上设有第二刻度(59)，所述第二刻度(59)沿着所述滑动块(52)的移动方向设置。