CN220282504U - 半导体芯片光罩盒循环移送装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供的一种半导体芯片光罩盒的循环移送装置，通过若干个治具的循环运转，实现了光罩盒的自动化循环进出料，提高了光罩盒的存储效率和安全性，避免了人工搬运和仓储管理的低效和风险；通过定位装置对治具的位置进行精确定位，保证了光罩盒在治具上的稳定性和对齐性，避免了光罩盒在传输过程中的偏移或掉落，保护了光罩盒运输稳定。其中，链条、链轮和电机组成驱动装置驱动滚轮在循环轨道上运转，使得光罩盒可以在机壳内按照预设程序进行循环移动和进出料。本实用新型提供了提供一种光罩盒进出料循环装置，能够实现光罩盒的自动化进出料和循环使用，提高光罩盒的使用效率和安全性。

Description

半导体芯片光罩盒循环移送装置

技术领域

本实用新型涉及半导体芯片存储技术领域，具体为一种对存储半导体芯片的光罩盒的进出料循环装置。

背景技术

半导体晶圆片是生产半导体芯片的基础材料。由于半导体晶圆片其精密无尘的要求，其存储方式通常将半导体晶圆片放置于光罩盒中存储。光罩盒是用于储存光罩的盒子，主要用于避免光罩遭受外部微尘粒子及化学污染。光罩盒在使用前后需要进行运输和存储，因此需要有相应的装置来保证光罩盒的安全和效率。

通常情况下光罩盒的运输和存储主要采用人工搬运或者简单的传送带等方式。这些方式存在以下不足：一是人工搬运效率低、易造成损坏或污染；二是传送带等方式不能实现光罩盒的自动化进出料和循环使用；三是传送带等方式不能对光罩盒进行精确的定位和控制，不利于机械手等设备的配合。

为了解决上述问题，现有技术不同类型的光罩盒传输和储存装置。例如，CN201910713837.0公开了一种基于SMIF系统的光罩盒传输装置，该装置包括传输机构、控制系统、检测系统和通信系统，可以实现光罩盒在不同设备之间的自动化传输。然而，该装置仅适用于特定类型的光罩盒和设备，并不能实现光罩盒的循环使用和管理。

因此，仍有必要提供一种能够实现光罩盒的自动化进出料和循环使用的装置。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供了提供一种光罩盒进出料循环装置，能够实现光罩盒的自动化进出料和循环使用，提高光罩盒的使用效率和安全性。

一种半导体芯片光罩盒的循环移送装置，包括

机壳，机壳内设置有循环导轨；

滚轮，若干个滚轮与所述循环导轨连接，所述滚轮能够沿着所述循环导轨循环运动；

治具，若干个治具分别固定在所述滚轮上，所述治具上设置有光罩盒座，用于放置光罩盒；

链条传动装置，包括驱动电机和链条，所述驱动电机与所述链条连接，所述链条与所述滚轮连接，用于驱动所述滚轮沿着所述循环导轨循环运动；

定位装置，包括定位块和定位传感器，所述定位块设置在所述循环导轨的一侧；

进料口和出料口，分别设置在所述机壳的一侧和另一侧，与所述循环导轨相连通，用于光罩盒的进出料；

控制单元，与所述驱动电机、所述定位传感器、进料口和出料口连接，用于控制整个装置的运行。

优选的，所述治具为扁平的矩形结构，所述治具上设置有光罩盒座，所述光罩盒座为凹槽状结构，所述光罩盒座的大小和形状与所述光罩盒的大小和形状相适应，以便将所述光罩盒稳固地放置在所述光罩盒座中，所述治具的底部设置有载体，所述载体与滚轮连接。

优选的，在所述机壳两侧设置有传动链轮，所述传动链轮与链条传动连接带动所述滚轮沿着所述循环轨道运动。

进一步的，所述载体上还设置有缺口，所述定位块能够卡接入所述缺口内，以固定所述治具的位置。

进一步的，所述定位块为直杆状结构，所述定位传感器为光电传感器；在所述载体的缺口为凹槽状结构，所述缺口的大小和形状与所述定位块的大小和形状相适应，以便将所述定位块卡接入所述缺口内，以固定所述治具的位置。

进一步的，所述定位块与一根连接轴连接，所述连接轴与一曲杆连接，所曲杆与一气缸连接。

本实用新型提供的一种眼罩，其有益效果在于，

1.本实用新型通过若干个治具的循环运转，实现了光罩盒的自动化循环进出料，提高了光罩盒的使用效率和安全性，避免了人工搬运和仓储管理的低效和风险；其中，链条、链轮和电机组成驱动装置驱动滚轮在循环轨道上运转，使得光罩盒可以在机壳内按照预设程序进行循环移动和进出料；

2.本实用新型通过定位装置对治具的位置进行精确定位，保证了光罩盒在治具上的稳定性和对齐性，避免了光罩盒在传输过程中的偏移或掉落，保护了光罩盒运输稳定；其中，所述的定位装置包括定位块、轴、曲杆和气缸，所述滚轮固定与载体上，所述载体上设置凹槽所述定位块在所述轴的驱动下与所述定位块配合，可以根据治具的位置转动并接入载体上的凹槽内，实现对治具的位置定位；

3.本实用新型适用于不同类型和尺寸的光罩盒，具有较强的通用性和适应性，可以满足不同设备和工艺的需求，降低了设备改造和维护的成本；其中，所述的机壳、循环导轨、滚轮等，构成了本实用新型的光罩盒进出料循环装置的通用结构和功能，使得光罩盒进出料循环装置可以根据不同类型和尺寸的光罩盒进行相应的调整和适配。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

附图1为本实用新型提供的一种光罩盒进出料循环装置的外观结构示意图；

附图2为本实用新型提供的一种光罩盒进出料循环装置去除外壳后的内部结构示意图；

附图3为本实用新型提供的一种光罩盒进出料循环装置的中治具的结构示意图；

附图4为本实用新型提供的一种光罩盒进出料循环装置中的链条传动装置的结构示意图；

附图5为附图4中A部分的局部放大图以体现定位装置与治具之间连接的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

如图1至图5所示，本实用新型提供了一种光罩盒进出料循环装置，包括机壳1、滚轮2、治具3、链条传动装置4、定位装置5、进料口6、出料口7和控制单元(图中未显示)。

机壳1为长方形结构，机壳1内设置有循环导轨9，循环导轨9设置于机壳1内的安装座上，所述的循环导轨9的长度和宽度与机壳1的长度和宽度相同或略小。

如图3和图4所示，所述滚轮2为圆柱形结构，若干个滚轮2与循环导轨9连接，滚轮2能够沿着循环导轨9循环运动。滚轮2的数量可以根据需要确定，本实施例中为四个。所述滚轮2通过一载体30设置与治具连接，所述治具3为扁平的矩形结构，若干个治具3分别固定在滚轮2上，治具3上设置有光罩盒座10，用于放置光罩盒11。光罩盒座10为凹槽状结构，光罩盒座10的大小和形状与光罩盒11的大小和形状相适应，以便将光罩盒11稳固地放置在光罩盒座10中。治具3的数量可以根据需要确定，本实施例中为四个。

如图4中所示链条传动装置4包括驱动电机41和机壳内的传动链轮43驱动连接，传动链轮43与链条42连接，链条42与滚轮2连接，用于驱动滚轮2沿着循环导轨9循环运动。驱动电机41可以根据需要设置在机壳1的任意位置，本实施例中设置在机壳1的一角。链条42可以根据需要设置在滚轮2的任意位置，本实施例中设置在滚轮2的外侧。链条传动装置4可以根据需要采用其他类型的传动装置，例如皮带传动装置、齿轮传动装置等。

如图5所示定位装置5包括定位块51和定位传感器，定位块51设置在循环导轨9的一侧，定位传感器设置在能够检测治具3的任何位置上，并向驱动电机41发送信号，使得驱动电机41停止或启动。所述的定位块51连接一转轴54，所述转轴54与一曲杆55连接，所述曲杆55和气缸52连接。所述气缸52带动所述曲杆55运动，进而带动所述转轴54正向或者逆向转动同步带动所述定位块51转动。定位块51为上设置有凸出部，定位块51的长度可以根据需要确定。所示治具3下的载体30上还设置有缺口53，缺口53为凹槽状结构，缺口53的大小和形状与定位块51的凸出部大小和形状相适应，以便将定位块51卡接入缺口53内，以固定治定治具3的位置。

当治具3运动到定位块51处时，定位传感器检测到治具3，并向驱动电机41发送信号，使得驱动电机41停止运转，此时治具3的位置被固定。当需要启动治具3时，定位块51从缺口53中脱出，定位传感器向驱动电机41发送信号，使得驱动电机41重新运转，治具3继续沿着循环导轨9运动。

如图1所示在所示机壳1上一侧设置进料口6，另一侧设置出料口7。当治具3运动到进料口6处时，定位传感器检测到治具3的缺口53，并向驱动电机41发送信号，使得驱动电机41停止运转，此时治具3的位置被固定。然后，通过人工或者机械手将光罩盒11从外部放入治具3的光罩盒座10中。之后，进料口6关闭，驱动电机41重新启动，带动滚轮2继续沿着循环导轨9循环运动，将光罩盒11送入装置内部。

当需要将光罩盒11从装置内部送出时，驱动电机41启动，带动滚轮2沿着循环导轨9循环运动闭。当治具3运动到出料口7处时，定位传感器检测到治具，并向驱动电机41发送信号，使得驱动电机41停止运转，此时治具3的位置被固定。然后，人工或者机械手1将光罩盒11从治具3的光罩盒座10中取出。之后带动滚轮2继续沿着循环导轨9循环运动。

通过上述方式，本实用新型实现了光罩盒11的自动化进出料和循环使用，提高了光罩盒11的使用效率和安全性；通过定位装置5对治具3的位置进行精确的定位和控制，便于机械手等设备的配合；通过控制单元对整个装置的运行进行统一的控制，方便了操作和管理。

进料口6和出料口7分别设置在机壳1的一侧和另一侧，与循环导轨9相连通，用于光罩盒11的进出料。进料口6和出料口7为开口状结构，进料口6和出料口7的大小和形状与光罩盒11的大小和形状相适应，以便将光罩盒11顺利地进出机壳1。进料口6和出料口7可以根据需要设置在机壳1的任意一侧或两侧，本实施例中设置在机壳1的对立两侧。

控制单元与驱动电机41、定位传感器、进料口6和出料口7连接，用于控制整个装置的运行。控制单元为微处理器或其他类型的控制器，控制单元可以根据需要设置在机壳1内或外，本实施例中设置在机壳1外。控制单元可以通过有线或无线方式与驱动电机41、定位传感器、进料口6和出料口7连接，本实施例中采用有线方式连接。控制单元可以根据预设的程序或者外部的指令来控制驱动电机41的启停、定位传感器的检测、进料口6和出料口7的开闭等。

本实用新型还提供了一种光罩盒进出料循环装置，所述控制单元还与一个机械手连接，所述机械手能够在所述进料口6和出料口7处吸取或放置光罩盒。机械手为多关节式结构，机械手包括吸盘、臂体和底座，吸盘用于吸取或放置光罩盒，臂体用于调整吸盘的位置和姿态，底座用于固定臂体。机械手1可以根据需要设置在机壳附近的任意位置，本实施例中设置在机壳1的一侧。机械手可以通过有线或无线方式与控制单元连接，本实施例中采用有线方式连接。控制单元可以根据预设的程序或者外部的指令来控制机械手的运动和动作。

通过上述方式，本实用新型实现了光罩盒11的自动化进出料和循环使用，提高了光罩盒11的使用效率和安全性；通过定位装置5对治具3的位置进行精确的定位和控制，便于机械手等设备的配合；通过控制单元对整个装置的运行进行统一的控制，方便了操作和管理。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (6)

1.一种半导体芯片光罩盒循环移送装置，其特征在于，包括

机壳，机壳内设置有循环导轨；

滚轮，若干个滚轮与所述循环导轨连接，所述滚轮能够沿着所述循环导轨循环运动；

治具，若干个治具分别固定在所述滚轮上，所述治具上设置有光罩盒座，用于放置光罩盒；

链条传动装置，包括驱动电机和链条，所述驱动电机与所述链条连接，所述链条与所述滚轮连接，用于驱动所述滚轮沿着所述循环导轨循环运动；

定位装置，包括定位块和定位传感器，所述定位块设置在所述循环导轨的一侧；

进料口和出料口，分别设置在所述机壳的一侧和另一侧，与所述循环导轨相连通，用于光罩盒的进出料；

控制单元，与所述驱动电机、所述定位传感器、进料口和出料口连接，用于控制整个装置的运行。

2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片光罩盒循环移送装置，其特征在于，所述治具为扁平的矩形结构，所述治具上设置有光罩盒座，所述光罩盒座为凹槽状结构，所述光罩盒座的大小和形状与所述光罩盒的大小和形状相适应，以便将所述光罩盒稳固地放置在所述光罩盒座中，所述治具的底部设置有载体，所述载体与滚轮连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体芯片光罩盒循环移送装置，其特征在于，在所述机壳两侧设置有传动链轮，所述传动链轮与链条传动连接带动所述滚轮沿着所述循环导轨运动。

4.根据权利要求2所述的一种半导体芯片光罩盒循环移送装置，其特征在于，所述载体上还设置有缺口，所述定位块能够卡接入所述缺口内，以固定所述治具的位置。

5.根据权利要求4所述的一种半导体芯片光罩盒循环移送装置，其特征在于，所述定位块为直杆状结构，所述定位传感器为光电传感器；在所述载体的缺口为凹槽状结构，所述缺口的大小和形状与所述定位块的大小和形状相适应，以便将所述定位块卡接入所述缺口内，以固定所述治具的位置。

6.根据权利要求5所述的一种半导体芯片光罩盒循环移送装置，其特征在于，所述定位块与一根连接轴连接，所述连接轴与一曲杆连接，所曲杆与一气缸连接。