CN220162879U - 粘棒下棒翻转机构 - Google Patents

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朱仁德
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Wuxi Rongneng Semiconductor Material Co ltd
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Wuxi Rongneng Semiconductor Material Co ltd
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Abstract

本实用新型涉及粘棒下棒翻转机构,所述粘棒下棒翻转机构包括机架、设置在所述机架上的传送机构以及设置在所述机架前端的机械臂,所述传送机构用于传送工件,所述机械臂的端部连接夹持机构;所述机架前端设置支架,所述支架靠近传送机构一侧设置挡块以及传感器,所述机架两侧设置气缸;当所述传感器检测到工件抵住挡块,所述气缸的输出端带动推板推动工件,以对工件定位,再通过机械臂的夹持机构夹持、翻转工件。本实用新型的粘棒下棒翻转机构,通过两个传感器检测工件的姿态,机架两侧设置气缸通过推板从两侧推动工件调整工件姿态,确保夹持机构能够精准夹持工件,实现自动化夹持、翻转工件,提高生产效率。

Description

粘棒下棒翻转机构
技术领域
本实用新型涉及硅片生产设备技术领域,尤其涉及粘棒下棒翻转机构。
背景技术
目前,在晶棒粘胶工序中物料翻转前后的简要生产过程为:晶托粘接树脂板,树脂板粘接晶棒,固化,物料翻转,晶棒切割,且以上所有工步均由人工手动完成。
传统的物料翻转过程一般为人工抬着翻转。因此,目前的物料翻转过程会造成员工劳动强度大、生产效率低、工作环境差等问题,且存在安全风险;在研究机械自动翻转晶棒时,由于晶棒、树脂板、晶托之间粘接位置有所差异,因此,如何精确定位、夹持物料并翻转是本申请所要解决的问题。
实用新型内容
针对上述现有技术的缺点,本实用新型的目的是提供粘棒下棒翻转机构,以解决现有技术中的一个或多个问题。
为实现上述目的,本实用新型的技术方案如下:
粘棒下棒翻转机构,所述粘棒下棒翻转机构包括机架、设置在所述机架上的传送机构以及设置在所述机架前端的机械臂,所述传送机构用于传送工件,所述机械臂的端部连接夹持机构;
所述机架前端设置支架,所述支架靠近传送机构一侧设置挡块以及传感器,所述机架两侧设置气缸;
当所述传感器检测到工件抵住挡块,所述气缸的输出端带动推板推动工件,以对工件定位,再通过机械臂的夹持机构夹持、翻转工件。
进一步的,所述支架上位于挡块两侧分别设置传感器。
进一步的,所述传感器为激光测距传感器。
进一步的,所述传送机构包括设置在所述机架侧面的减速电机,所述减速电机的输出端连接转轴,所述转轴可旋转地穿过机架,所述转轴上设置两个带轮,所述带轮外侧套设传送带。
进一步的,所述工件包括晶托、设置在所述晶托远端的树脂板、设置在所述树脂板远端的晶棒,所述晶托、树脂板、晶棒之间通过胶黏剂粘连。
进一步的,所述晶托两侧具有U型槽。
进一步的,所述夹持机构包括支撑板,所述支撑板远端具有双头气缸以及设置在双头气缸两侧的滑轨,所述双头气缸两侧的输出端连接滑块,所述滑块能够在滑轨上滑动,每个所述滑块后端设置夹臂。
进一步的,所述夹臂相对一侧开设凹槽。
与现有技术相比,本实用新型的有益技术效果如下:
(一)本实用新型的粘棒下棒翻转机构,通过两个传感器检测工件的姿态,机架两侧设置气缸通过推板从两侧推动工件调整工件姿态,确保夹持机构能够精准夹持工件,实现自动化夹持、翻转工件,提高生产效率。
(二)进一步的,夹持机构包括支撑板,所述支撑板远端具有双头气缸以及设置在双头气缸两侧的滑轨,所述双头气缸两侧的输出端连接滑块,所述滑块能够在滑轨上滑动,每个所述滑块后端设置夹臂,所述夹臂相对一侧开设凹槽,便于抱持U型槽处,夹持、翻转稳定性好。
附图说明
图1示出了本实用新型实施例一提供的粘棒下棒翻转机构中传送机构的俯视结构示意图。
图2示出了本实用新型实施例一提供的粘棒下棒翻转机构中机械臂和夹持机构的俯视结构示意图。
图3示出了本实用新型实施例一提供的粘棒下棒翻转机构中传送机构的正视结构示意图。
图4示出了本实用新型实施例一提供的粘棒下棒翻转机构中机械臂和夹持机构的正视结构示意图。
图5示出了本实用新型实施例一提供的粘棒下棒翻转机构中工件的结构示意图。
附图中标记:
1、机架;11、支架;12、挡块;13、传感器;14、气缸;15、推板;2、减速电机;21、转轴;22、带轮;3、传送带;4、晶托;41、U型槽;5、树脂板;6、晶棒;7、机械臂;8、夹持机构;81、支撑板;82、双头气缸;83、滑轨;84、滑块;85、夹臂;851、凹槽。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、特征和优点能够更加明显易懂,请参阅附图。须知,本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等,均仅用以配合说明书所揭示的内容,以供熟悉此技术的人士了解与阅读,并非用以限定本实用新型实施的限定条件,故不具技术上的实质意义,任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整,在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下,均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容能涵盖的范围内。
在本实用新型的描述中,限定术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
为了更加清楚地描述上述粘棒下棒翻转机构的结构,本实用新型限定术语“远端”和“近端”,具体而言,“远端”表示远离地面的一端,“近端”表示靠近地面的一端,以图1为例,图1中机架1的下端为近端,图1中机架1的上端为远端。
实施例一
请参考图1、图2、图3和图4,粘棒下棒翻转机构,所述粘棒下棒翻转机构包括机架1、设置在所述机架1上的传送机构以及设置在所述机架1前端的机械臂7,所述传送机构用于传送工件,所述机械臂7的端部连接夹持机构8;
所述机架1前端设置支架11,所述支架11靠近传送机构一侧设置挡块12以及传感器13,所述机架1两侧设置气缸14;
当所述传感器13检测到工件抵住挡块12,所述气缸14的输出端带动推板15推动工件,以对工件定位,再通过机械臂7的夹持机构8夹持、翻转工件。
下面描述所述机架1的具体结构如下:
请参考图1和图3,进一步的,所述支架11上位于挡块12两侧分别设置传感器13,通过两个传感器13检测能够判断工件正面是否与传送方向垂直。
请参考图1和图3,进一步的,所述传感器13为激光测距传感器13,优选为市售的GOLDTRUE光电传感器13。
请参考图1和图3,进一步的,所述传送机构包括设置在所述机架1侧面的减速电机2,所述减速电机2的输出端连接转轴21,所述转轴21可旋转地穿过机架1,所述转轴21上设置两个带轮22,所述带轮22外侧套设传送带3。
下面描述所述工件和夹持机构8的具体结构如下:
请参考图5,进一步的,所述工件包括晶托4、设置在所述晶托4远端的树脂板5、设置在所述树脂板5远端的晶棒6,所述晶托4、树脂板5、晶棒6之间通过胶黏剂粘连。
请参考图5,进一步的,所述晶托4两侧具有U型槽41。
所述机械臂7优选为市售的发那科六轴机械臂7。
请参考图2和图4,进一步的,所述夹持机构8包括支撑板81,所述支撑板81远端具有双头气缸82以及设置在双头气缸82两侧的滑轨83,所述双头气缸82两侧的输出端连接滑块84,所述滑块84能够在滑轨83上滑动,每个所述滑块84后端设置夹臂85。
请参考图2和图4,进一步的,所述夹臂85相对一侧开设凹槽851,便于抱持U型槽41处,避免工件晃动。
本实用新型的具体工作流程如下:
减速电机2输出端驱动转轴21转动,转轴21的带轮22带动传送带3转动传送工件,当工件传送到刚好抵住挡块12时,两个传感器13检测工件的姿态,同时气缸14的输出端驱动推板15从两侧推动工件调整工件姿态。当两个传感器13检测到工件姿态正确,机械臂7带动夹持机构8移动并对准工件,使夹持机构8的夹臂85伸入晶托4的U型槽41内,双头气缸82两侧输出端带动滑块84和夹臂85收缩,使夹臂85夹紧工件,机械臂7带动夹持机构8和工件进行翻转并下料至料车。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。因此,本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (8)

1.粘棒下棒翻转机构,其特征在于:所述粘棒下棒翻转机构包括机架、设置在所述机架上的传送机构以及设置在所述机架前端的机械臂,所述传送机构用于传送工件,所述机械臂的端部连接夹持机构;
所述机架前端设置支架,所述支架靠近传送机构一侧设置挡块以及传感器,所述机架两侧设置气缸;
当所述传感器检测到工件抵住挡块,所述气缸的输出端带动推板推动工件,以对工件定位,再通过机械臂的夹持机构夹持、翻转工件。
2.如权利要求1所述的粘棒下棒翻转机构,其特征在于:所述支架上位于挡块两侧分别设置传感器。
3.如权利要求2所述的粘棒下棒翻转机构,其特征在于:所述传感器为激光测距传感器。
4.如权利要求1所述的粘棒下棒翻转机构,其特征在于:所述传送机构包括设置在所述机架侧面的减速电机,所述减速电机的输出端连接转轴,所述转轴可旋转地穿过机架,所述转轴上设置两个带轮,所述带轮外侧套设传送带。
5.如权利要求1所述的粘棒下棒翻转机构,其特征在于:所述工件包括晶托、设置在所述晶托远端的树脂板、设置在所述树脂板远端的晶棒,所述晶托、树脂板、晶棒之间通过胶黏剂粘连。
6.如权利要求5所述的粘棒下棒翻转机构,其特征在于:所述晶托两侧具有U型槽。
7.如权利要求6所述的粘棒下棒翻转机构,其特征在于:所述夹持机构包括支撑板,所述支撑板远端具有双头气缸以及设置在双头气缸两侧的滑轨,所述双头气缸两侧的输出端连接滑块,所述滑块能够在滑轨上滑动,每个所述滑块后端设置夹臂。
8.如权利要求7所述的粘棒下棒翻转机构,其特征在于:所述夹臂相对一侧开设凹槽。
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