CN220043786U - 一种新型蚀刻装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种新型蚀刻装置，包括反应处理池，所述反应处理池包括蚀刻腔、清洗腔；所述蚀刻腔设有振动机构、喷淋机构，所述振动机构上方设置有限位卡座，所述喷淋机构面向蚀刻腔内部；还包括挂篮，所述挂篮包括限位配合部，所述限位配合部下方对称设有限位板，所述限位板上部对称设有卡接块；所述限位板与限位卡座固定配合连接；还包括隔离板，所述隔离板与卡接块配合连接，所述隔离板设置于限位板之间；所述限位配合部的一侧连接有XZ轴驱动装置。本实用新型可同时蚀刻若干块尺寸不同的PCB板，极大地提高生产效率；同时，通过设置的振动机构和喷淋机构有效解决蚀刻速率不均匀和边缘效应的问题。
Description
技术领域
本实用新型属于蚀刻设备技术领域，具体涉及一种新型蚀刻装置。
背景技术
蚀刻系统是一种用于加工材料表面的设备和工艺流程。它通过化学或物理方法，将材料表面上的一部分材料逐渐去除，从而在材料表面形成所需结构或图案。在蚀刻加工过程中，需要根据所需加工特性和材料特性选择不同的蚀刻介质、控制参数和机械参数，以确保蚀刻过程的可控性和稳定性，并避免对加工物造成负面影响，在此基础上完成精细加工的目的。
现有技术的蚀刻加工的过程中，仍存在以下问题：蚀刻速率不均匀：蚀刻速率不均匀可能导致加工结果不符合要求，由于蚀刻液浓度分布不均匀、流体动力学效应、气泡聚集等因素引起的；边缘效应：在蚀刻过程中，边缘处的材料往往会受到更强的蚀刻作用，导致边缘效应。这可能是由于蚀刻液流动不均匀、电流密度分布不均等原因造成的。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型提供一种新型蚀刻装置。
本实用新型的技术方案为：
一种新型蚀刻装置，其特征在于，包括反应处理池，所述反应处理池包括蚀刻腔、清洗腔；
所述蚀刻腔设有振动机构、喷淋机构，所述振动机构上方设置有限位卡座，所述喷淋机构面向蚀刻腔内部；
还包括挂篮，所述挂篮包括限位配合部，所述限位配合部下方对称设有限位板，所述限位板上部对称设有卡接块；
所述限位板与限位卡座固定配合连接；
还包括隔离板，所述隔离板与卡接块配合连接，所述隔离板设置于限位板之间；
所述限位配合部的一侧连接有XZ轴驱动装置。
本实用新型通过XZ轴驱动装置控制待蚀刻的覆铜板定时上下左右移动，自动腐蚀、清洗铜板；可同时蚀刻若干块尺寸不同的PCB板，极大地提高生产效率；同时，通过设置的振动机构和喷淋机构有效解决蚀刻速率不均匀和边缘效应的问题。
进一步的，所述蚀刻腔的两端分别连接有第一进液口、第一出液口；所述清洗腔的两端分别连接有第二进液口、第二出液口。
进一步的，所述限位板上对称设有第一通孔，所述隔离板上对称设有第二通孔。
进一步的，所述XZ轴驱动装置包括安装框架，所述安装框架与限位配合部对应配合设置，可实现对挂篮的升降提拉和水平位移。
进一步的，所述振动机构包括振动座，所述振动座内对称设有震动部，所述震动部连接有传导部。
进一步的，所述传导部包括爪形传导杆，所述传导杆末端设有传导头。
进一步的，所述震动部与爪形传导杆连接，所述传导头与限位卡座下端相抵。
通过本实用新型振动机构的设置，可以促进蚀刻剂与待蚀刻物表面的混合和扩散，增加反应界面的接触频率，从而提高蚀刻速率；同时，震动能够破坏边界层的存在，使得新鲜的蚀刻剂不断接触到待蚀刻表面，有效地加快了材料的去除速度；相比较于现有技术中在无震动条件下，蚀刻过程可能会在一些局部区域发生过蚀或者欠蚀现象，导致不均匀的蚀刻结果。本实用新型通过引入适量的震动，可以使蚀刻剂更加均匀地分布在待蚀刻物表面，减少局部过蚀或者欠蚀的出现，改善蚀刻的均匀性。
另外，震动可以破坏表面的极化层或气泡层，避免它们对蚀刻剂的阻挡作用，从而减小表面的粗糙度。此外，震动还可以帮助排除产生的气泡，防止气泡在蚀刻过程中附着在待蚀刻表面上，减少缺陷的形成。
进一步的，所述喷淋机构包括喷淋泵，所述喷淋泵分别设有进液管、出液管，所述进液管与蚀刻腔内部连通，所述出液管对称设有喷头，所述喷头面向蚀刻腔内部。
通过设置的喷淋机构，可以帮助去除可能形成在工件表面的气泡。气泡存在时可能会导致刻蚀不均匀或产生缺陷，而喷淋可以将气泡带走，提高蚀刻质量；同时，可以增强溶质的扩散，从而增加了溶质和溶剂之间的物质交换速率。这样可以更快地将溶剂中的活性物质输送到被蚀刻的表面，加速蚀刻速率；另外，当喷淋使得液体流动时，它可以清除被蚀刻表面的废品或障碍物。这有助于保持蚀刻表面的清洁，使蚀刻剂更容易接触到被蚀刻材料，从而增加蚀刻速率。因此，通过设置的喷淋机构，可以显著加快蚀刻速率。
进一步的，所述限位卡座包括底板，所述底板表面对称设有限位卡条。
进一步的，所述限位卡条的水平截面为梯形。
进一步的，所述限位卡条表面设有耐腐蚀阻尼层。
进一步的，所述耐腐蚀阻尼层为氟碳聚合物层，能够在极端的化学环境中提供出色的耐腐蚀保护，并且通过特定形状的设置，可以有效增加与隔离板或蚀刻板的连接稳定性，同时具备良好的机械性能。
本实用新型限位卡条与卡接块的配合，通过形状相匹配、位置限制和方向控制来确保零件的正确对位和运动范围控制，提高了隔离板或蚀刻板在工作过程的准确性和可靠性。
本实用新型通过XZ轴驱动装置控制待蚀刻的覆铜板定时上下左右移动，自动腐蚀、清洗铜板；可同时蚀刻若干块尺寸不同的PCB板，极大地提高生产效率；同时，通过设置的振动机构和喷淋机构有效解决蚀刻速率不均匀和边缘效应的问题。
附图说明
图1为本实用新型一实施例的结构示意图；
图2为本实用新型一实施例的局部结构示意图；
图3为本实用新型一实施例的局部结构示意图；
图4为本实用新型一实施例的局部结构示意图；
图5为本实用新型一实施例的局部结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例1
一种新型蚀刻装置，其特征在于，包括反应处理池100，所述反应处理池包括蚀刻腔10、清洗腔20；
所述蚀刻腔设有振动机构1、喷淋机构2，所述振动机构上方设置有限位卡座3，所述喷淋机构面向蚀刻腔内部；
还包括挂篮4，所述挂篮包括限位配合部41，所述限位配合部下方对称设有限位板42，所述限位板上部对称设有卡接块43；
所述限位板与限位卡座固定配合连接；
还包括隔离板5，所述隔离板与卡接块配合连接，所述隔离板设置于限位板之间；
所述限位配合部的一侧连接有XZ轴驱动装置6。
进一步的，所述蚀刻腔的两端分别连接有第一进液口101、第一出液口102；所述清洗腔的两端分别连接有第二进液口201、第二出液口202。
进一步的，所述限位板上对称设有第一通孔421，所述隔离板上对称设有第二通孔（未标注）。
进一步的，所述XZ轴驱动装置包括安装框架61，所述安装框架与限位配合部对应配合设置，可实现对挂篮的升降提拉和水平位移。
进一步的，所述振动机构包括振动座11，所述振动座内对称设有震动部12，所述震动部连接有传导部13。
进一步的，所述传导部包括爪形传导杆131，所述传导杆末端设有传导头132。
进一步的，所述震动部与爪形传导杆连接，所述传导头与限位卡座下端相抵。
进一步的，所述喷淋机构包括喷淋泵21，所述喷淋泵分别设有进液管22、出液管23，所述进液管与蚀刻腔内部连通，所述出液管对称设有喷头24，所述喷头面向蚀刻腔内部。
进一步的，所述限位卡座包括底板31，所述底板表面对称设有限位卡条32。
进一步的，所述限位卡条的水平截面为梯形。
进一步的，所述限位卡条表面设有耐腐蚀阻尼层（未标注）。
进一步的，所述耐腐蚀阻尼层为氟碳聚合物层。
本实用新型通过XZ轴驱动装置控制待蚀刻的覆铜板定时上下左右移动，自动腐蚀、清洗铜板；可同时蚀刻若干块尺寸不同的PCB板，极大地提高生产效率；同时，通过设置的振动机构和喷淋机构有效解决蚀刻速率不均匀和边缘效应的问题。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。需注意的是，本实用新型中所未详细描述的技术特征，均可以通过任一现有技术实现。
Claims (10)
1.一种新型蚀刻装置，其特征在于，包括反应处理池，所述反应处理池包括蚀刻腔、清洗腔；
所述蚀刻腔设有振动机构、喷淋机构，所述振动机构上方设置有限位卡座，所述喷淋机构面向蚀刻腔内部；
还包括挂篮，所述挂篮包括限位配合部，所述限位配合部下方对称设有限位板，所述限位板上部对称设有卡接块；
所述限位板与限位卡座固定配合连接；
还包括隔离板，所述隔离板与卡接块配合连接，所述隔离板设置于限位板之间；
所述限位配合部的一侧连接有XZ轴驱动装置。
2.根据权利要求1所述的新型蚀刻装置，其特征在于，所述蚀刻腔的两端分别连接有第一进液口、第一出液口；所述清洗腔的两端分别连接有第二进液口、第二出液口。
3.根据权利要求1所述的新型蚀刻装置，其特征在于，所述限位板上对称设有第一通孔，所述隔离板上对称设有第二通孔。
4.根据权利要求1所述的新型蚀刻装置，其特征在于，所述XZ轴驱动装置包括安装框架，所述安装框架与限位配合部对应配合设置。
5.根据权利要求4所述的新型蚀刻装置，其特征在于，所述振动机构包括振动座，所述振动座内对称设有震动部，所述震动部连接有传导部。
6.根据权利要求5所述的新型蚀刻装置，其特征在于，所述传导部包括爪形传导杆，所述传导杆末端设有传导头。
7.根据权利要求6所述的新型蚀刻装置，其特征在于，所述震动部与爪形传导杆连接，所述传导头与限位卡座下端相抵。
8.根据权利要求7所述的新型蚀刻装置，其特征在于，所述喷淋机构包括喷淋泵，所述喷淋泵分别设有进液管、出液管，所述进液管与蚀刻腔内部连通，所述出液管对称设有喷头，所述喷头面向蚀刻腔内部。
9.根据权利要求8所述的新型蚀刻装置，其特征在于，所述限位卡座包括底板，所述底板表面对称设有限位卡条；所述限位卡条的水平截面为梯形。
10.根据权利要求9所述的新型蚀刻装置，其特征在于，所述限位卡条表面设有耐腐蚀阻尼层；所述耐腐蚀阻尼层为氟碳聚合物层。
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