CN219978119U - 用于对接光学检查机的大基板搬运系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种用于对接光学检查机的大基板搬运系统，包括：上下料机、对接平台、移栽和吸盘机构以及翻转机构；所述移栽和吸盘机构包括：第二X轴移栽机构、Z轴移栽机构以及吸盘机构；所述Z轴移栽机构安装在所述第二X轴移栽机构上，所述吸盘机构安装在所述Z轴移栽机构上；所述Z轴移栽机构周侧设置所述上下料机、所述对接平台以及所述翻转机构，所述对接平台靠近所述上下料机。本申请解决了大基板在AOI检测过程中依赖人工搬运的问题，避免了大基板在搬运过程中造成的易损坏和混乱放置。

Description

用于对接光学检查机的大基板搬运系统

技术领域

本实用新型涉及基板生产加工系统领域，具体地，涉及用于对接光学检查机的大基板搬运系统。

背景技术

大基板为基板未切割前的最大规格尺寸，根据半导体原件大小切割，是芯片封装后电路连接重要组成器件。

目前，当大基板需要进行光学检查机(AOI)检测时，普遍通过人工搬运的方式把大基板搬到AOI台面上，由AOI进行检测。对于两面检测的基板，需要人工翻转基板后AOI进行背面检测。基板的尺寸和重量大，AOI检测时间较短，人工搬运基板上下料耗时耗力，极容易在搬运过程中损伤大基板。且由于大基板层数多，抽取大基板容易造成混乱，长期弯腰搬运基板，也会损伤人的健康。

实用新型内容

针对现有技术中的缺陷，本实用新型的目的是提供一种用于对接光学检查机的大基板搬运系统。

根据本实用新型提供的一种用于对接光学检查机的大基板搬运系统，包括：上下料机、对接平台、移栽和吸盘机构以及翻转机构；

所述移栽和吸盘机构包括：第二X轴移栽机构、Z轴移栽机构以及吸盘机构；

所述Z轴移栽机构安装在所述第二X轴移栽机构上，所述吸盘机构安装在所述Z轴移栽机构上；

所述移栽和吸盘机构周侧设置所述上下料机、所述对接平台以及所述翻转机构，所述对接平台靠近所述上下料机。

优选地，所述对接平台、所述移栽和吸盘机构、所述翻转机构以及所述传送台外侧安装机架。

优选地，所述上下料机包括：基板料仓机构、基板搬运机构、轴向移动装置以及出料口；

所述基板料仓机构和所述出料口之间设置所述轴向移动装置，所述基板搬运机构安装在所述轴向移动装置上并通过所述轴向移动装置在所述基板料仓机构和所述出料口之间移动。

优选地，所述对接平台包括：对接平台台面、第一X轴移栽机构、U轴旋转机构、顶升机构、夹紧机构以及第一伺服电机；

所述U轴旋转机构安装在所述第一X轴移栽机构上并通过所述第一X轴移栽机构实现直线移动，所述对接平台台面安装在所述U轴旋转机构上并通过所述U轴旋转机构旋转；

所述对接平台台面上安装所述顶升机构、所述夹紧机构和第一伺服电机，所述第一伺服电机带动磁力轮转动实现基板传输。

优选地，所述翻转机构包括：基板平台、翻转机架、Z轴升降机构、X轴定位机构、Y轴定位机构、翻转机构主体以及边支撑机构；

所述Z轴升降机构和所述翻转机构主体安装在所述翻转机架上，所述基板平台安装在所述Z轴升降机构上；

所述翻转机构主体上安装Y轴定位机构，所述基板平台上安装X轴定位机构和边支撑机构。

优选地，所述Z轴移栽机构周侧设置光学检查机。

优选地，所述Z轴升降机构采用伺服电机驱动丝杠带动丝杠上的基板平台移动；

所述X轴定位机构由气缸带动连杆机构运动并通过所述连杆机构夹紧基板；

所述Y轴定位机构通过两侧的滑台气缸推动夹爪夹紧基板；

所述翻转机构主体两侧设置伺服电机和减速机；

所述边支撑机构设置在所述基板平台两侧朝向所述翻转机架方向，所述边支撑机构设置有气缸，所述边支撑机构的气缸朝向所述翻转机架实现支撑。

与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：

1、本申请解决了大基板在AOI检测过程中依赖人工搬运的问题，避免了大基板在搬运过程中造成的易损坏和混乱放置，搬运平稳，不会引入新的干扰物，效率高；

2、本申请通过上下料机实现基板的上料和回收，通过对接平台实现基板对接和旋转，通过移栽和吸盘机构搬运基板，通过翻转机构实现基板的翻转；

3、本申请通过各机构上的夹持或吸附方式可以兼容各种规格芯片产品，可以通过各机构的平台带动芯片产品在AOI相机下多次成像，实现拼接；

4、本申请的起始位置开放，方便连接上下游设备，整机结构紧凑，占地空间小，方便布置。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为大基板搬运系统原理图；

图2为机架结构示意图；

图3为上下料机结构示意图；

图4为对接平台结构示意图；

图5为移栽和吸盘机构结构示意图；

图6为翻转机构结构示意图；

图中所示：

具体实施方式

下面结合具体实施例对本实用新型进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本实用新型，但不以任何形式限制本实用新型。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变化和改进。这些都属于本实用新型的保护范围。

实施例1

如图1和图2所示，本实施例包括：上下料机100、对接平台200、移栽和吸盘机构300以及翻转机构400；移栽和吸盘机构300周侧设置上下料机100、对接平台200以及翻转机构400，对接平台200靠近上下料机100。对接平台200、移栽和吸盘机构300、翻转机构400以及传送台外侧安装机架500。移栽和吸盘机构300周侧设置光学检查机。

如图3所示，上下料机100包括：基板料仓机构101、基板搬运机构102、轴向移动装置以及出料口；基板料仓机构101和出料口之间设置轴向移动装置，基板料仓机构101负责将料仓中基板推至基板搬运机构102中，基板搬运机构102安装在轴向移动装置上并通过轴向移动装置在基板料仓机构101和出料口之间移动。

如图4所示，对接平台200包括：对接平台台面、第一X轴移栽机构201、U轴旋转机构202、顶升机构203、夹紧机构204以及第一伺服电机205；U轴旋转机构202安装在第一X轴移栽机构201上并通过第一X轴移栽机构201实现直线移动，对接平台台面安装在U轴旋转机构202上并通过U轴旋转机构202旋转，对接平台台面上安装顶升机构203、夹紧机构204和第一伺服电机205。第一伺服电机205带动磁力轮转动，基板放置在磁力轮上并通过磁力轮的转动实现基板传输。

如图5所示，移栽和吸盘机构300包括：第二X轴移栽机构301、Z轴移栽机构302以及吸盘机构303；Z轴移栽机构302安装在第二X轴移栽机构301上，吸盘机构303安装在Z轴移栽机构302上；

如图6所示，翻转机构400包括：基板平台、翻转机架、Z轴升降机构401、X轴定位机构402、Y轴定位机构403、翻转机构主体404以及边支撑机构405；Z轴升降机构401和翻转机构主体404安装在翻转机架上，基板平台安装在Z轴升降机构401上。翻转机构主体404上安装Y轴定位机构403，基板平台上安装X轴定位机构402和边支撑机构405。Z轴升降机构401采用伺服电机驱动丝杠带动丝杠上的基板平台移动；X轴定位机构402由气缸带动连杆机构运动并通过连杆机构夹紧基板；Y轴定位机构403通过两侧的滑台气缸推动夹爪夹紧基板；翻转机构主体404两侧设置伺服电机和减速机。边支撑机构405设置在基板平台两侧朝向翻转机架方向，边支撑机构405设置有气缸，边支撑机构405的气缸朝向翻转机架实现支撑。

实施例2

实施例2作为实施例1的优选例。

如图1和图2所示，本实施例主要包括以下部分：上下料机100、对接平台200、移栽和吸盘机构300、翻转机构400、机架500。

如图3所示，上下料机100主要由基板料仓机构101、基板搬运机构102组成。

基板料仓机构101：用于基板定位与基板取出，防止取料位置出现偏差；

基板搬运机构102：用于从基板料仓机构101中取出基板搬运到出料口，基板搬运机构102使用两套伺服电机控制轴向移动装置沿X轴水平方向和Z轴竖直方向的移动。

如图4所示，对接平台200主要由第一X轴移栽机构201、U轴旋转机构202、顶升机构203、夹紧机构204，第一伺服电机205组成。

第一X轴移栽机构201：通过气缸带动对接平台台面上的基板在X轴水平方向上移动，来实现与上下料机100的出料口对接，减小对接缝隙有利于基板平稳输送；

U轴旋转机构202：通过U轴旋转机构202上的旋转模组旋转基板90度，使基板ID标记始终在左前侧，旋转模组通过本领域常见的旋转装置实现；

顶升机构203：通过顶升的方式使基板脱离磁力轮，在一种实施方式中，顶升方式的实现通过气缸顶起支柱实现；

夹紧机构204：用于夹紧基板，便于更高好的旋转基板；

第一伺服电机205：第一伺服电机205通过同步带带动磁力轮转动，基板通过与磁力轮接触，在磁力轮的转动下实现移动，用于使基板流入对接平台200。

移栽和吸盘机构300主要由第二X轴移栽机构301、Z轴移栽机构302、吸盘机构303组成。两套第二X轴移栽机构301和Z轴移栽机构302实现两套吸盘机构303的移栽；

第二X轴移栽机构301：为伺服电机驱动丝杠使得基板X轴水平方向上移动；

Z轴移栽机构302：为伺服电机驱动丝杠使得基板Z轴方向上移动；

吸盘机构303：为真空吸盘吸附基板，便于更平稳的搬运基板。

翻转机构400主要由Z轴升降机构401、X轴定位机构402、Y轴定位机构403、翻转机构主体404、边支撑机构405组成。

Z轴升降机构401：为伺服电机驱动丝杠沿着Z轴直线运动；

X轴定位机构402：由气缸带动连杆机构实现中心定位功能；

Y轴定位机构403：由两侧滑台气缸推动夹爪实现中心定位功能，通过Y轴定位机构403夹紧基板实现固定在翻转机构主体404上

翻转机构主体404：翻转机构主体404由两端的伺服电机和减速机带动，实现转动功能。

边支撑机构405：边支撑机构405沿Y轴方向定位在放置基板平台的两边，通过气缸沿Z轴方向推动实现支撑基板的功能。

整体的运行流程为：

上下料机100传输大基板的料盘到下层的对接平台200，下层的对接平台200的气缸缩回后水平旋转90度使大基板旋转，移栽和吸盘机构300移动到对接平台200的出料口启动真空吸附大基板，然后移栽和吸盘机构300移动到AOI装置上方，通过Z轴移栽机构302缓慢把大基板放到AOI台面上。AOI进行检测后移栽和吸盘机构300搬运AOI上的大基板到翻转机构400上，翻转机构400夹持大基板进行翻转后，移栽和吸盘机构300再搬运翻转机构400上的大基板到AOI上，AOI再次进行检测。移栽和吸盘机构300搬运AOI上的大基板到上层的对接平台200，上层的对接平台200旋转-90度，气缸伸出实现对接平台200与上下料机100对接，流入设备内。

在一种实施方式中，本实施例的直线运动方式可通过气缸、直线电机等实现，本申请不同直线移动的顺序可以调换。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

以上对本实用新型的具体实施例进行了描述。需要理解的是，本实用新型并不局限于上述特定实施方式，本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变化或修改，这并不影响本实用新型的实质内容。在不冲突的情况下，本申请的实施例和实施例中的特征可以任意相互组合。

Claims (10)

1.一种用于对接光学检查机的大基板搬运系统，其特征在于，包括：上下料机(100)、对接平台(200)、移栽和吸盘机构(300)以及翻转机构(400)；

所述移栽和吸盘机构(300)包括：第二X轴移栽机构(301)、Z轴移栽机构(302)以及吸盘机构(303)；

所述Z轴移栽机构(302)安装在所述第二X轴移栽机构(301)上，所述吸盘机构(303)安装在所述Z轴移栽机构(302)上；

所述移栽和吸盘机构(300)周侧设置所述上下料机(100)、所述对接平台(200)以及所述翻转机构(400)，所述对接平台(200)靠近所述上下料机(100)。

2.根据权利要求1所述用于对接光学检查机的大基板搬运系统，其特征在于：所述对接平台(200)、所述移栽和吸盘机构(300)、所述翻转机构(400)以及传送台外侧安装机架(500)。

3.根据权利要求1所述用于对接光学检查机的大基板搬运系统，其特征在于，所述上下料机(100)包括：基板料仓机构(101)、基板搬运机构(102)、轴向移动装置以及出料口；

所述基板料仓机构(101)和所述出料口之间设置所述轴向移动装置，所述基板搬运机构(102)安装在所述轴向移动装置上并通过所述轴向移动装置在所述基板料仓机构(101)和所述出料口之间移动。

4.根据权利要求1所述用于对接光学检查机的大基板搬运系统，其特征在于，所述对接平台(200)包括：对接平台台面、第一X轴移栽机构(201)、U轴旋转机构(202)、顶升机构(203)、夹紧机构(204)以及第一伺服电机(205)；

所述U轴旋转机构(202)安装在所述第一X轴移栽机构(201)上并通过所述第一X轴移栽机构(201)实现直线移动，所述对接平台台面安装在所述U轴旋转机构(202)上并通过所述U轴旋转机构(202)旋转；

所述对接平台台面上安装所述顶升机构(203)、所述夹紧机构(204)和第一伺服电机(205)。

5.根据权利要求1所述用于对接光学检查机的大基板搬运系统，其特征在于，所述翻转机构(400)包括：基板平台、翻转机架、Z轴升降机构(401)以及翻转机构主体(404)；

所述Z轴升降机构(401)和所述翻转机构主体(404)安装在所述翻转机架上，所述基板平台安装在所述Z轴升降机构(401)上。

6.根据权利要求5所述用于对接光学检查机的大基板搬运系统，其特征在于：所述翻转机构主体(404)上安装Y轴定位机构(403)，所述基板平台上安装X轴定位机构(402)和边支撑机构(405)。

7.根据权利要求1所述用于对接光学检查机的大基板搬运系统，其特征在于：所述Z轴移栽机构(302)周侧设置光学检查机。

8.根据权利要求4所述用于对接光学检查机的大基板搬运系统，其特征在于：所述第一伺服电机(205)带动磁力轮转动，基板放置在所述磁力轮上并通过所述磁力轮的转动实现基板传输。

9.根据权利要求6所述用于对接光学检查机的大基板搬运系统，其特征在于：所述Z轴升降机构(401)采用伺服电机驱动丝杠带动丝杠上的基板平台移动；

所述X轴定位机构(402)由气缸带动连杆机构运动并通过所述连杆机构夹紧基板；

所述Y轴定位机构(403)通过滑台气缸推动夹爪夹紧基板；

所述翻转机构主体(404)两侧设置伺服电机和减速机。

10.根据权利要求6所述用于对接光学检查机的大基板搬运系统，其特征在于：所述边支撑机构(405)设置在所述基板平台两侧朝向所述翻转机架方向，所述边支撑机构(405)设置有气缸，所述边支撑机构(405)的气缸朝向所述翻转机架实现支撑。