CN219977359U - 陶瓷基板平整度检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了陶瓷基板平整度检测设备，包括操作面，所述操作面顶部两侧分别连接有支撑架，两个所述支撑架顶部分别固定连接有限位板，两个所述限位板对立两侧分别竖直滑动有连接柱，两个所述限位板表面均设有滑动两个连接柱的滑动机构，所述操作面顶部转动有两个圆辊，两个所述圆辊两端中心处分别固定连接有转轴，两个所述连接柱底端分别固定连接有连接板，四个所述转轴分别套设于两个连接板内部，两个所述连接板表面设有转动两个圆辊的转动机构。本实用新型通过两个圆辊的设置，可在对陶瓷基板表面平整度进行检测时，更好的进行传输和按压，从而可避免在检测时陶瓷基板产生晃动，导致检测结果不够准确。

Description

陶瓷基板平整度检测设备

技术领域

本实用新型涉及陶瓷基板表面检测设备技术领域，尤其涉及陶瓷基板平整度检测设备。

背景技术

陶瓷基板是一种用于电子元件制造的基板材料，通常采用氧化铝或氮化铝等陶瓷材料制成。它具有高温稳定性、机械强度高、化学稳定性好、绝缘性能优良等优点，被广泛应用于半导体器件、传感器、热敏电阻、电容器等领域。在半导体工业中，陶瓷基板常用于高功率晶体管、微波集成电路、压电声波器件等高频电子元件的制造。

陶瓷基板在生产的过程中需要对其表面平整度进行检测，现有部分对陶瓷基板表面平整度检测时，通常需要先将其进行夹持固定，再通过平整度检测装置进行检测，该方式在检测时虽然夹持可带来较好的稳定性，但同时会降低对陶瓷基板的检测效率，导致较为浪费时间，从而降低了生产效率因此，亟需解决这一问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的陶瓷基板平整度检测设备。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

陶瓷基板平整度检测设备，包括操作面，所述操作面顶部两侧分别连接有支撑架，两个所述支撑架顶部分别固定连接有限位板，两个所述限位板对立两侧分别竖直滑动有连接柱，两个所述限位板表面均设有滑动两个连接柱的滑动机构，所述操作面顶部转动有两个圆辊，两个所述圆辊两端中心处分别固定连接有转轴，两个所述连接柱底端分别固定连接有连接板，四个所述转轴分别套设于两个连接板内部，两个所述连接板表面设有转动两个圆辊的转动机构。

作为本实用新型的进一步方案，所述滑动机构包括滑块，所述限位板表面开设有滑槽，所述滑块滑动于滑槽内部，所述滑槽内部竖直固定连接有限位柱，所述滑块套设于限位柱表面，所述限位柱表面套设有弹簧，所述弹簧底部设置于滑块顶部，所述限位板底部固定连接有限位块，所述连接柱套设于限位块内部。

作为本实用新型的进一步方案，所述转动机构包括皮带，其中一个所述连接板表面转动有皮带，所述皮带内部设有两个滑轮，两个所述滑轮分别固定连接于其中两个转轴一端，另一个所述连接板表面固定连接有电机，所述电机输出轴固定连接于另一个转轴一端。

作为本实用新型的进一步方案，两个所述连接板对立两侧分别固定连接有激光测量仪，两个所述激光测量仪相互配合，所述操作面底部四角分别固定连接有支撑腿。

本实用新型的有益效果为：

1.再检测过程中，陶瓷基板将会通过两个圆辊进行滑动，从而使套系基板在运输的过程中对其进行检测，从而可有效的提高该装置的使用效率。

2.在使用过程中，通过两个弹簧的作用，可使两个圆辊对陶瓷基板进行按压效果，再保证套系基板输送稳定的情况下，可使该装置对不同厚度的基板同时进行使用，从而提高该装置的使用效果。

附图说明

图1为本实用新型提出的陶瓷基板平整度检测设备的结构示意图；

图2为本实用新型提出的陶瓷基板平整度检测设备的局部结构示意图；

图3为本实用新型提出的陶瓷基板平整度检测设备的局部结构示意图。

图中：1、操作面；11、支撑腿；2、限位板；21、滑槽；22、限位柱；23、弹簧；24、支撑架；25、限位块；3、连接柱；31、滑块；32、连接板；4、圆辊；41、转轴；42、滑轮；43、皮带；5、电机；6、激光测量仪。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-3，陶瓷基板平整度检测设备，包括操作面1，操作面1顶部两侧分别连接有支撑架24，两个支撑架24顶部分别固定连接有限位板2，两个限位板2对立两侧分别竖直滑动有连接柱3，两个限位板2表面均设有滑动两个连接柱3的滑动机构，操作面1顶部转动有两个圆辊4，两个圆辊4两端中心处分别固定连接有转轴41，两个连接柱3底端分别固定连接有连接板32，四个转轴41分别套设于两个连接板32内部，两个连接板32表面设有转动两个圆辊4的转动机构，通过该装置的设置，可在对陶瓷基板表面平整度进行检测时，更好的进行传输和按压，从而可避免在检测时陶瓷基板产生晃动。

参照图1和图2，在一个优选的实施方式中，滑动机构包括滑块31，限位板2表面开设有滑槽21，滑块31滑动于滑槽21内部，滑槽21内部竖直固定连接有限位柱22，滑块31套设于限位柱22表面，限位柱22表面套设有弹簧23，弹簧23底部设置于滑块31顶部，限位板2底部固定连接有限位块25，连接柱3套设于限位块25内部，用于限制两个滑块31上下滑动。

参照图1-3，在一个优选的实施方式中，转动机构包括皮带43，其中一个连接板32表面转动有皮带43，皮带43内部设有两个滑轮42，两个滑轮42分别固定连接于其中两个转轴41一端，另一个连接板32表面固定连接有电机5，电机5输出轴固定连接于另一个转轴41一端，用于限制两个圆辊4同时转动。

参照图1和图2，在一个优选的实施方式中，两个连接板32对立两侧分别固定连接有激光测量仪6，两个激光测量仪6相互配合，操作面1底部四角分别固定连接有支撑腿11，用于对陶瓷基板平整度进行检测。

从以上的描述中，可以看出，本实用新型上述的实施例实现了如下技术效果：再实际使用时，通过两个圆辊4的设置，可使陶瓷基板在检测时更加的平整个稳定，当使用时，先将陶瓷基板放置在操作面1上，再将陶瓷基板进行输送至其中一个圆辊4底部，此时驱动电机5带动其中一个转轴41转动，从而可带动其中一个圆辊4转动，再两个滑轮42和皮带43的相互作用下，使另一个圆辊4同时同向转动，此时可对陶瓷基板进行输送，再头通过两个圆辊4之间的两个测光测量仪的相互配合，可对陶瓷基板表面进行水平测量，从而使测量更加方便，当对陶瓷基板进行输送的同时，在两个弹簧23的作用下，两个弹簧23将会对两个滑块31向下进行按压，同时带动两个连接柱3和两个连接板32向下滑动，从而使两个圆辊4对陶瓷基板表面进行按压，从而使对不同厚度的陶瓷基板表面进行检测时都会更加稳定和精准，进而提高该装置的使用效果。

为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施方式例如能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.陶瓷基板平整度检测设备，包括操作面(1)，其特征在于，所述操作面(1)顶部两侧分别连接有支撑架(24)，两个所述支撑架(24)顶部分别固定连接有限位板(2)，两个所述限位板(2)对立两侧分别竖直滑动有连接柱(3)，两个所述限位板(2)表面均设有滑动两个连接柱(3)的滑动机构，所述操作面(1)顶部转动有两个圆辊(4)，两个所述圆辊(4)两端中心处分别固定连接有转轴(41)，两个所述连接柱(3)底端分别固定连接有连接板(32)，四个所述转轴(41)分别套设于两个连接板(32)内部，两个所述连接板(32)表面设有转动两个圆辊(4)的转动机构。

2.根据权利要求1所述的陶瓷基板平整度检测设备，其特征在于，所述滑动机构包括滑块(31)，所述限位板(2)表面开设有滑槽(21)，所述滑块(31)滑动于滑槽(21)内部，所述滑槽(21)内部竖直固定连接有限位柱(22)，所述滑块(31)套设于限位柱(22)表面。

3.根据权利要求2所述的陶瓷基板平整度检测设备，其特征在于，所述限位柱(22)表面套设有弹簧(23)，所述弹簧(23)底部设置于滑块(31)顶部，所述限位板(2)底部固定连接有限位块(25)，所述连接柱(3)套设于限位块(25)内部。

4.根据权利要求1所述的陶瓷基板平整度检测设备，其特征在于，所述转动机构包括皮带(43)，其中一个所述连接板(32)表面转动有皮带(43)，所述皮带(43)内部设有两个滑轮(42)，两个所述滑轮(42)分别固定连接于其中两个转轴(41)一端。

5.根据权利要求4所述的陶瓷基板平整度检测设备，其特征在于，另一个所述连接板(32)表面固定连接有电机(5)，所述电机(5)输出轴固定连接于另一个转轴(41)一端。

6.根据权利要求1所述的陶瓷基板平整度检测设备，其特征在于，两个所述连接板(32)对立两侧分别固定连接有激光测量仪(6)，两个所述激光测量仪(6)相互配合，所述操作面(1)底部四角分别固定连接有支撑腿(11)。