CN219824339U - 一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置，属于镀膜机辅助设备技术领域。本实用新型的一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置，包括输送机、升降机构、升降板、固定座和卡合板，所述输送机的前侧表面设置有第一电动机，所述升降机构位于输送机的上端表面，所述升降板位于升降机构的内侧表面。本实用新型解决了现有的磁控溅射镀膜机上下料装置，自动化效果不佳、镀件表面清理效果不佳的问题，通过驱动卡合板前侧表面的第三电动机旋转，第三电动机具体为一种往复电机，第三电动机通过第三螺纹杆可带动安装板前后移动，安装板前后移动则带动海绵前后移动，海绵前后移动时则可以对镀件表面进行擦拭，从而防止镀件表面有污渍。

Description

一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置

技术领域

本实用新型涉及镀膜机辅助设备技术领域，具体为一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置。

背景技术

磁控溅射镀膜是指高速带粒子轰击固体表面并使固体原子从表面发射的现象，溅射涂层是在电场作用下，由辉光放电产生的正离子对阴极靶表面进行高速轰击，使原子或分子溅射出来，然后在基体表面沉积原子或者分子形成的薄膜。

磁控溅射镀膜机在对镀件进行镀膜时，需要借助镀膜机自动上下料装置对镀件进行上下料工作。

而在磁控溅射镀膜机自动上下料装置的使用过程中往往会出现以下问题：

1、常见的磁控溅射镀膜机自动上下料装置，往往自动化效果不佳，比如上料时需要人工操作夹持件对镀件进行夹持，下料时需要人工将镀件卸下，非常费时费力；

2、在镀件进行磁控溅射镀膜工作时，需要保证镀件表面干净、整洁，如果镀件表面出现异物、污渍等现象，则会影响镀膜效果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置，实用、方便，解决了现有的磁控溅射镀膜机上下料装置，自动化效果不佳、清理镀件效果不佳的问题，以解决上述背景技术提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置，包括输送机、升降机构、升降板、固定座和卡合板，所述输送机的上端表面开设有三个驱动槽，所述输送机的前侧表面设置有第一电动机，所述驱动槽的内部设置有第一螺纹杆，所述升降机构位于输送机的上端表面，所述升降机构用于升降板的升降工作，所述升降板位于升降机构的内侧表面，所述固定座位于升降板的上端，所述固定座用于放置镀件，所述卡合板位于固定座的内部，所述卡合板固定镀件。

优选的，所述第一电动机的输出端穿入驱动槽的内部与第一螺纹杆传动连接，所述升降机构通过第一螺纹杆与输送机滑动连接，所述输送机的下端表面固定安装有支腿。

优选的，所述升降机构的上端表面设置有第二电动机，所述升降机构的内部设置有第二螺纹杆，所述第二电动机的输出端穿入升降机构的内部与第二螺纹杆传动连接，所述升降板通过第二螺纹杆与升降机构升降连接。

优选的，所述升降板的上端表面设置有弹簧和电子伸缩杆，所述弹簧的下端通过固定块与升降板固定连接，所述弹簧的上端通过固定块与固定座固定连接，所述电子伸缩杆的下端通过固定块与固定座固定连接，所述电子伸缩杆输出端的外表面设置有转动座，所述电子伸缩杆的输出端通过转动座与固定座的下端表面活动连接。

优选的，所述固定座的上端表面设置有气缸，所述气缸的输出端贯穿固定座的上端表面与卡合板固定连接，所述卡合板的下端表面设置有橡胶垫。

优选的，所述卡合板的前侧表面设置有第三电动机，所述卡合板的内部设置有第三螺纹杆，所述第三电动机的输出端穿入卡合板的内部与第三螺纹杆传动连接，所述卡合板的下端表面设置有安装板，所述安装板通过固定块与第三螺纹杆固定连接，所述安装板的下端表面固定连接有海绵。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

(1)本实用新型的一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置，当将镀件固定后，需要进行上料工作时，可驱动驱动槽内部的第一电动机，第一电动机带动第一螺纹杆，进而可通过第一螺纹杆带动升降机构前后移动，升降机构移动则可以带动升降板、固定座和卡合板前后移动，进而带动镀件前后移动，从而完成自动化上下料，增加整体自动化效果，当镀件移动至上下料地点后，可驱动升降机构的上端表面的第二电动机，第二电动机可通过第二螺纹杆带动升降板和固定座上升或下降，进而可带动镀件上升或下降，从而可对高处进行上下料工作，进一步地使整体自动化效果更佳，增加了整体的适用性。

(2)本实用新型的一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置，使用时，当将镀件被运到指定地点需要装卸时，可驱动升降板的上端表面的电子伸缩杆，电子伸缩杆通过转动座可将卡合板顶起，再配合弹簧可使固定座呈倾斜状，此时工人只需托起镀件的一端，即可将镀件毫不费力地缓缓拖出，从而丰富了整体的功能，增加了整体的适用性。

(3)本实用新型的一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置，当镀件被压合固定后，可驱动卡合板前侧表面的第三电动机旋转，第三电动机具体为一种往复电机，第三电动机通过第三螺纹杆可带动安装板前后移动，安装板前后移动则可以带动海绵前后移动，海绵前后移动时则可以对镀件表面进行擦拭，从而防止镀件表面有异物粘黏或有污渍，提高了后续镀件镀膜的效果，丰富了整体的功能，增加了整体的适用性。

附图说明

图1为本实用新型的整体的立体图；

图2为本实用新型的整体另一角度的示意图；

图3为本实用新型的输送机的示意图；

图4为本实用新型的升降机构的示意图；

图5为本实用新型的固定座的示意图；

图6为本实用新型的卡合板的示意图。

图中：1、输送机；11、驱动槽；12、第一电动机；13、第一螺纹杆；14、支腿；2、升降机构；21、第二电动机；22、第二螺纹杆；3、升降板；31、弹簧；32、电子伸缩杆；321、转动座；4、固定座；41、气缸；5、卡合板；51、橡胶垫；52、第三电动机；53、第三螺纹杆；54、安装板；55、海绵。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施条例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-6，一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置，包括输送机1、升降机构2、升降板3、固定座4和卡合板5，输送机1的上端表面开设有三个驱动槽11，输送机1的前侧表面设置有第一电动机12，驱动槽11的内部设置有第一螺纹杆13，升降机构2位于输送机1的上端表面，升降机构2用于升降板3的升降工作，升降板3位于升降机构2的内侧表面，固定座4位于升降板3的上端，固定座4用于放置镀件，卡合板5位于固定座4的内部，卡合板5固定镀件，使用时，通过卡合板5，可将镀件放置在固定座4的内部，进而完成对镀件的上下料工作。

进一步地，第一电动机12的输出端穿入驱动槽11的内部与第一螺纹杆13传动连接，升降机构2通过第一螺纹杆13与输送机1滑动连接，输送机1的下端表面固定安装有支腿14，当将镀件固定后，需要进行上料工作时，可驱动驱动槽11内部的第一电动机12，第一电动机12带动第一螺纹杆13，进而可通过第一螺纹杆13带动升降机构2前后移动，升降机构2移动则可以带动升降板3、固定座4和卡合板5前后移动，进而带动镀件前后移动，从而完成自动化上下料，增加整体自动化效果。

进一步地，升降机构2的上端表面设置有第二电动机21，升降机构2的内部设置有第二螺纹杆22，第二电动机21的输出端穿入升降机构2的内部与第二螺纹杆22传动连接，升降板3通过第二螺纹杆22与升降机构2升降连接，当镀件移动至上下料地点后，可驱动升降机构2的上端表面的第二电动机21，第二电动机21可通过第二螺纹杆22带动升降板3和固定座4上升或下降，进而可带动镀件上升或下降，从而可对高处进行上下料工作，进一步地使整体自动化效果更佳。

进一步地，升降板3的上端表面设置有弹簧31和电子伸缩杆32，弹簧31的下端通过固定块与升降板3固定连接，弹簧31的上端通过固定块与固定座4固定连接，电子伸缩杆32的下端通过固定块与固定座4固定连接，电子伸缩杆32输出端的外表面设置有转动座321，电子伸缩杆32的输出端通过转动座321与固定座4的下端表面活动连接，当将镀件被运到指定地点需要装卸时，可驱动升降板3的上端表面的电子伸缩杆32，电子伸缩杆32通过转动座321可将卡合板5顶起，再配合弹簧31可使固定座4呈倾斜状，此时工人只需托起镀件的一端，即可将镀件毫不费力地缓缓拖出。

进一步地，固定座4的上端表面设置有气缸41，气缸41的输出端贯穿固定座4的上端表面与卡合板5固定连接，卡合板5的下端表面设置有橡胶垫51，使用前，可将镀件放置在固定座4的底表面，然后驱动固定座4的上端表面的气缸41，气缸41带动卡合板5下压，卡合板5通过橡胶垫51可对镀件进行压合固定，橡胶垫51为一种橡胶材质，具有高弹性、防滑的特点，高弹性可使压合时减少对镀件的伤害，一定程度上可保护镀件，而防滑则可以使镀件被压合固定时更加稳定。

进一步地，卡合板5的前侧表面设置有第三电动机52，卡合板5的内部设置有第三螺纹杆53，第三电动机52的输出端穿入卡合板5的内部与第三螺纹杆53传动连接，卡合板5的下端表面设置有安装板54，安装板54通过固定块与第三螺纹杆53固定连接，安装板54的下端表面固定连接有海绵55，当镀件被压合固定后，可驱动卡合板5前侧表面的第三电动机52旋转，第三电动机52具体为一种往复电机，第三电动机52通过第三螺纹杆53可带动安装板54前后移动，安装板54前后移动则可以带动海绵55前后移动，海绵55前后移动时则可以对镀件表面进行擦拭，从而防止镀件表面有异物粘黏或有污渍，提高了后续镀件镀膜的效果，丰富了整体的功能，增加了整体的适用性。

工作原理：本实用新型的一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置，使用时，在上料时，可先将镀件平稳放置在固定座4的内部，然后驱动气缸41，气缸41带动卡合板5下压，通过卡合板5下端表面环形分布的橡胶垫51可对镀件进行压合固定，橡胶垫51具有一定的弹性和防滑性能，弹性可在一定程度保护镀件不受损，防滑则可以使镀件固定的更加牢固，镀件被压合固定后，可驱动第三电动机52，第三电动机52通过第三螺纹杆53可带动安装板54往复移动，安装板54往复移动则可以带动海绵55往复移动，进而可对镀件表面的污渍和异物进行擦除，从而使镀件在后续镀膜工作时，效果更佳，通过驱动第一电动机12，第一电动机12通过第一螺纹杆13可带动升降机构2前后移动，进而带动升降板3、固定座4、卡合板5和镀件前后移动，从而方便整体进行自动化上下料工作，通过驱动第二电动机21，第二电动机21通过第二螺纹杆22，可带动升降板3、固定座4、卡合板5和镀件进行上下升降，从而进一步地方便整体进行自动化上料，使整体自动化效果更佳，可在一定程度上减少人工参与，节省了人力、物力，下料时，可驱动电子伸缩杆32，电子伸缩杆32通过转动座321可将固定座4的一侧微微顶起，从而使固定座4呈倾斜状态，便可仅需工人轻轻将托起镀件的一端，即可使镀件缓缓滑出，从而轻松下料，丰富了整体的功能，增加了整体的适用性。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置，包括输送机(1)、升降机构(2)、升降板(3)、固定座(4)和卡合板(5)，其特征在于：所述输送机(1)的上端表面开设有三个驱动槽(11)，所述输送机(1)的前侧表面设置有第一电动机(12)，所述驱动槽(11)的内部设置有第一螺纹杆(13)，所述升降机构(2)位于输送机(1)的上端表面，所述升降机构(2)用于升降板(3)的升降工作，所述升降板(3)位于升降机构(2)的内侧表面，所述固定座(4)位于升降板(3)的上端，所述固定座(4)用于放置镀件，所述卡合板(5)位于固定座(4)的内部，所述卡合板(5)固定镀件。

2.根据权利要求1所述的一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置，其特征在于：所述第一电动机(12)的输出端穿入驱动槽(11)的内部与第一螺纹杆(13)传动连接，所述升降机构(2)通过第一螺纹杆(13)与输送机(1)滑动连接，所述输送机(1)的下端表面固定安装有支腿(14)。

3.根据权利要求1所述的一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置，其特征在于：所述升降机构(2)的上端表面设置有第二电动机(21)，所述升降机构(2)的内部设置有第二螺纹杆(22)，所述第二电动机(21)的输出端穿入升降机构(2)的内部与第二螺纹杆(22)传动连接，所述升降板(3)通过第二螺纹杆(22)与升降机构(2)升降连接。

4.根据权利要求3所述的一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置，其特征在于：所述升降板(3)的上端表面设置有弹簧(31)和电子伸缩杆(32)，所述弹簧(31)的下端通过固定块与升降板(3)固定连接，所述弹簧(31)的上端通过固定块与固定座(4)固定连接，所述电子伸缩杆(32)的下端通过固定块与固定座(4)固定连接，所述电子伸缩杆(32)输出端的外表面设置有转动座(321)，所述电子伸缩杆(32)的输出端通过转动座(321)与固定座(4)的下端表面活动连接。

5.根据权利要求1所述的一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置，其特征在于：所述固定座(4)的上端表面设置有气缸(41)，所述气缸(41)的输出端贯穿固定座(4)的上端表面与卡合板(5)固定连接，所述卡合板(5)的下端表面设置有橡胶垫(51)。

6.根据权利要求1所述的一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置，其特征在于：所述卡合板(5)的前侧表面设置有第三电动机(52)，所述卡合板(5)的内部设置有第三螺纹杆(53)，所述第三电动机(52)的输出端穿入卡合板(5)的内部与第三螺纹杆(53)传动连接，所述卡合板(5)的下端表面设置有安装板(54)，所述安装板(54)通过固定块与第三螺纹杆(53)固定连接，所述安装板(54)的下端表面固定连接有海绵(55)。