CN219768743U - 喷淋装置、切割液系统及线切割机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及线切割机技术领域，具体提供喷淋装置、切割液系统及线切割机，旨在解决淋装置的喷淋效果不佳，导致不同喷淋位置的喷淋效果不同，影响切割质量的问题。为此目的，本实用新型的一种喷淋装置，包括喷淋管，喷淋管上开设有进液口和多个喷淋口，喷淋管的截面积沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小；并且/或者喷淋口直径沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小；并且/或者喷淋口的排布密度沿液体流动方向逐渐增大或呈阶梯状增大；并且/或者喷淋口内连接有喷嘴，喷嘴的出水口直径沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小。整体上不同喷淋位置的喷淋效果趋近于相同，有利于提升喷淋装置的喷淋效果和整体的切割质量。

Description

喷淋装置、切割液系统及线切割机

技术领域

本实用新型涉及线切割机技术领域，具体提供喷淋装置、切割液系统及线切割机。

背景技术

目前，线切割技术由于具有生产效率高、作业成本低、作业精度高等特点，被广泛应用于半导体工件切割生产中。以金刚线切割硅棒为例，金刚线在对硅棒切片时，金刚线高速运动并在线切割机的切割主辊带动下在硅棒表面高速往复磨削，将硅棒切削加工为硅片。

现有的线切割机，无论是金刚线切割机还是砂浆线切割机，在切割硅棒过程中，都需要采用喷淋装置向待切割件喷淋切削液，从而对待切割件和金刚线进行冷却和润滑，但是现有的喷淋装置的喷淋效果不佳，导致不同喷淋位置的喷淋效果不同，影响了切割质量。

因此，本领域需要一种新的技术方案来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型旨在解决上述技术问题，解决喷淋装置的喷淋效果不佳，导致不同喷淋位置的喷淋效果不同，影响切割质量的问题。

本实用新型提供一种喷淋装置，包括喷淋管，所述喷淋管上开设有进液口和多个喷淋口，所述喷淋管的截面积沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小；并且/或者

所述喷淋口直径沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小；并且/或者

所述喷淋口的排布密度沿液体流动方向逐渐增大或呈阶梯状增大；并且/或者

所述喷淋口内连接有喷嘴，所述喷嘴的出水口直径沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小。

在采用上述技术方案的情况下，通过进液口能够将液体通入到喷淋管内，并且能够通过喷淋口喷出，通过喷淋管的截面积沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小的设置，使得不同的喷淋口喷出的液体的流量趋于相等，对待切割件喷淋的更加均匀，喷淋效果更好。同样的，喷淋口直径沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小，能够使得不同的喷淋口喷出的液体的流量趋于相等，对待切割件喷淋的更加均匀，喷淋效果更好；喷淋口的排布密度沿液体流动方向逐渐增大或呈阶梯状增大，使得一段喷淋管上的喷淋口喷出的液体的流量趋于相等，对待切割件喷淋的更加均匀，喷淋效果更好；喷淋口内连接有喷嘴，喷嘴的出水口直径沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小，使得不同的喷嘴喷出的液体的流量趋于相等，对待切割件喷淋的更加均匀，喷淋效果更好。整体上不同喷淋位置的喷淋效果趋近于相同，有利于提升喷淋装置的喷淋效果和整体的切割质量_。

在上述喷淋装置的具体实施方式中，喷淋装置还包括进液管，所述进液管一端与所述进液口连通。

在采用上述技术方案的情况下，液体通过进液管、进液口，进入到喷淋管内，通过喷淋管的喷淋口将液体喷到待切割件上。

在上述喷淋装置的具体实施方式中，所述喷淋管的一端密封，所述进液口设置于所述喷淋管的另一端；或者

所述喷淋管的两端密封，所述进液口设置于所述喷淋管的中部；或者

所述进液口设置于所述喷淋管的两端。

在采用上述技术方案的情况下，首先，喷淋管的一端密封，进液口设置于喷淋管的另一端，采用一端供液的方式方便进液管与进液口连通。喷淋管的两端密封，进液口设置于喷淋管的中部，采用中间向两端供液的方式，使得液体在喷淋管内流动的距离减少，从而更容易控制不同的喷淋口的流量。所述进液口设置于所述喷淋管的两端，采用喷淋管的两端向中间供液的方式，使得液体在喷淋管内流动的距离减少，从而更容易控制不同的喷淋口的流量，并且进液口设置在喷淋管的两端也更容易与进液管连通。

在上述喷淋装置的具体实施方式中，所述喷淋管上设置有安装支架。

在采用上述技术方案的情况下，安装支架能够方便喷淋管连接，喷淋管能够设置在任何位置，使得喷淋管上的喷淋口能够从不同的角度对待切割件进行喷淋。

本实用新型还公开了一种切割液系统，包括至少一个上述的喷淋装置。

在采用上述技术方案的情况下，通过进液口能够将液体通入到喷淋管内，并且能够通过喷淋口喷出，通过喷淋管的截面积沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小的设置，使得不同的喷淋口喷出的液体的流量趋于相等，对待切割件喷淋的更加均匀，喷淋效果更好。同样的，喷淋口直径沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小，能够使得不同的喷淋口喷出的液体的流量趋于相等，对待切割件喷淋的更加均匀，喷淋效果更好；喷淋口的排布密度沿液体流动方向逐渐增大或呈阶梯状增大，使得一段喷淋管上的喷淋口喷出的液体的流量趋于相等，对待切割件喷淋的更加均匀，喷淋效果更好；喷淋口内连接有喷嘴，喷嘴的出水口直径沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小，使得不同的喷嘴喷出的液体的流量趋于相等，对待切割件喷淋的更加均匀，喷淋效果更好。整体上不同喷淋位置的喷淋效果趋近于相同，有利于提升喷淋装置的喷淋效果和整体的切割质量。

在上述切割液系统的具体实施方式中，所述喷淋装置安装于线切割机的进给机构的底部。

在采用上述技术方案的情况下，喷淋装置安装于线切割机的进给机构的底部，喷淋装置跟随进给机构运动，喷淋口能够始终朝向待切割件并与待切割件的相对位置固定，待切割件始终处于被喷淋的状态，有利于提高喷淋稳定性。

在上述切割液系统的具体实施方式中，所述喷淋装置安装于线切割机的切割框架上，且位于所述线切割机的碎片盒的上方。

在采用上述技术方案的情况下，喷淋装置安装于线切割机的切割框架上，能够对待切割件和切割线进行喷淋，起到降温和润滑作用。

在上述切割液系统的具体实施方式中，所述喷淋装置安装于线切割机的切割框架上，且位于所述线切割机的碎片盒宽度方向的两侧。

在采用上述技术方案的情况下，喷淋装置安装于线切割机的切割框架上，安装更加方便，喷淋装置位于所述线切割机的碎片盒宽度方向的两侧，使得喷淋装置能够从碎片盒一侧的位置对待切割件进行喷淋，结合上述安装位置能够实现对待切割件的多角度喷淋。

在上述切割液系统的具体实施方式中，所述碎片盒设有通孔，所述喷淋口的轴线穿过所述通孔。

在采用上述技术方案的情况下，喷淋口喷出的液体能够通过通孔进入到碎片盒内，并且能够对待切割件的下侧进行喷淋，从而能够实现多角度喷淋。

在上述切割液系统的具体实施方式中，其特征在于，还包括增压泵，所述增压泵的排液口与所述进液口连通。

在采用上述技术方案的情况下，通过增压泵能够提高喷淋管内的压力，从而提高喷淋口流出的液体的压力和喷淋稳定性。

本实用新型还公开了一种线切割机，所述线切割机包括上述的喷淋装置或上述的切割液系统。

在采用上述技术方案的情况下，通过进液口能够将液体通入到喷淋管内，并且能够通过喷淋口喷出，通过喷淋管的截面积沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小的设置，使得不同的喷淋口喷出的液体的流量趋于相等，对待切割件喷淋的更加均匀，喷淋效果更好。同样的，所述喷淋口直径沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小，能够使得不同的喷淋口喷出的液体的流量趋于相等，对待切割件喷淋的更加均匀，喷淋效果更好；喷淋口的排布密度沿液体流动方向逐渐增大或呈阶梯状增大，使得一段喷淋管上的喷淋口喷出的液体的流量趋于相等，对待切割件喷淋的更加均匀，喷淋效果更好；所述喷淋口内连接有喷嘴，所述喷嘴的出水口直径沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小，使得不同的喷嘴喷出的液体的流量趋于相等，对待切割件喷淋的更加均匀，喷淋效果更好。整体上不同喷淋位置的喷淋效果趋近于相同，有利于提升喷淋装置的喷淋效果和整体的切割质量。

附图说明

下面结合附图来描述本实用新型的优选实施方式，附图中：

图1是喷淋装置一种实施例的结构图；

图2是喷淋装置另一种实施例的结构图；

图3是喷淋装置第三种实施例的结构图；

图4是喷淋装置中采用喷嘴的喷淋管的结构图；

图5是喷淋装置与线切割机连接的结构图；

图6是喷淋装置与线切割机连接的另一种实施方式的结构图。

附图标记列表：1-喷淋装置；11-喷淋管；111-喷淋口；12-进液管；13-安装支架；14-喷嘴；2-线切割机；21-进给机构；22-碎片盒；3-待切割件。

具体实施方式

下面参照附图来描述本申请的优选实施方式。本领域技术人员应当理解的是，这些实施方式仅仅用于解释本申请的技术原理，并非用于限制本申请的保护范围。本领域技术人员可以根据需要对其作出调整，以便适应具体的应用场合。例如，尽管说明书中的进液口位于喷淋管的一端，但是，本申请中进液口现任可以位于喷淋管的任意位置，例如中间或两端。

需要说明的是，在本申请的描述中，术语“底部”“上”“侧”“内”“中”等指示位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系，这仅仅是为了便于描述，而不是指示或暗示相关装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，还需要说明的是，在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”等应作广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接或一体连接；可以是机械连接，也可以是其他连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域技术人员而言，可根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。另外，本申请中的“多个”表示至少两个。

如图1-4所示，为解决喷淋装置1的喷淋效果不佳，导致不同喷淋位置的喷淋效果不同，影响了切割质量的问题，本实用新型提供了一种喷淋装置1，包括喷淋管11，喷淋管11上开设有进液口(图纸未示出)和多个喷淋口111，其中，喷淋装置1以下列至少一种方式设置：

喷淋管11的截面积沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小；并且/或者

喷淋口111直径沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小；并且/或者

喷淋口111的排布密度沿液体流动方向逐渐增大或呈阶梯状增大；并且/或者

喷淋口111内连接有喷嘴14，喷嘴14的出水口直径沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小。

如此，通过进液口能够将液体通入到喷淋管11内，并且能够通过喷淋口111喷出，通过喷淋管11的截面积沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小的设置，使得不同的喷淋口111喷出的液体的流量趋于相等，对待切割件3喷淋的更加均匀，喷淋效果更好。同样的，喷淋口111直径沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小，能够使得不同的喷淋口111喷出的液体的流量趋于相等，对待切割件3喷淋的更加均匀，喷淋效果更好。喷淋口111的排布密度沿液体流动方向逐渐增大或呈阶梯状增大，使得一段喷淋管11上的喷淋口111喷出的液体的流量趋于相等，对待切割件3喷淋的更加均匀，喷淋效果更好。喷淋口111内连接有喷嘴14，喷嘴14的出水口直径沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小，使得不同的喷嘴14喷出的液体的流量趋于相等，对待切割件3喷淋的更加均匀，喷淋效果更好。整体上不同喷淋位置的喷淋效果趋近于相同，有利于提升喷淋装置1的喷淋效果和整体的切割质量。

如图1-3所示，本实用新型的一种优选实施例，本实用新型的喷淋管11上开设有进液口和多个喷淋口111，喷淋管11的截面积沿液体流动方向呈阶梯状减小。如此，通过阶梯状的设置使得喷淋管11不同段的流量趋于相同，使得在对待切割件3进行喷淋时，对待切割件3的不同位置喷淋效果相同。

需要说明的是，喷淋管11的截面积沿液体流动方向呈阶梯状减小，是指将喷淋管11分为多段，同一段的喷淋管11的截面积相同，不同段的喷淋管11的截面积沿液体流动方向逐渐减小。

需要进一步说明的是，喷淋管11呈阶梯状的设置并非必须，本领域技术人员可以基于具体应用场景选择喷淋管11的具体构造，只要能够满足每个位置的流量分布均匀即可，例如喷淋管11的截面积沿液体流动方向均匀减小，换句话说，喷淋管11沿流动方向为锥形管。

本实用新型的一种可替换的实施例，喷淋口111直径沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小。如此，通过阶梯状的设置使得喷淋管11不同位置的流量趋于相同，使得在对待切割件3进行喷淋时，对待切割件3的不同位置喷淋效果相同。

需要说明的是，喷淋口111直径沿液体流动方向呈阶梯状减小，是指相邻的几个喷淋口111为一组，并且每一组的喷淋口111直径的大小相同，不同组的喷淋口111直径沿液体流动方向逐渐减小。

本实用新型的另一种可替换的实施例，喷淋口111的排布密度沿液体流动方向逐渐增大或呈阶梯状增大。如此，使得一段喷淋管11上的喷淋口111喷出的液体的流量趋于相等，对待切割件3喷淋的更加均匀，喷淋效果更好。

需要说明的是，喷淋口111的排布密度沿液体流动方向呈阶梯状增大，是指将喷淋管11分为多段，同一段喷淋管11上的喷淋口111间距相同，不同段喷淋管11上的喷淋口111的间距沿液体流动方向逐渐减小。

如图4所示，本实用新型的另一种可替换的实施例，喷淋口111内连接有喷嘴14，喷嘴14的出水口直径沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小。如此，使得不同的喷嘴14喷出的液体的流量趋于相等，对待切割件3喷淋的更加均匀，喷淋效果更好。

需要说明的是，喷嘴14的出水口直径沿液体流动方向呈阶梯状减小，是指相邻的几个喷嘴14为一组，并且每一组的喷嘴14的出水口直径相同，不同组的喷嘴14的出水口直径沿液体流动方向逐渐减小。

如图1所示，本实用新型的一种优选的实施例，喷淋装置1还包括进液管12，进液管12一端与进液口连通，喷淋管11的一端密封，进液口设置于喷淋管11的另一端。如此，液体通过进液管12、进液口，进入到喷淋管11内，通过喷淋管11的喷淋口111将液体喷到待切割件3上，并且采用一端供液的方式方便进液管12与进液口连通。

需要说明的是，进液管12为能够连通进液口的管路，只要能够为喷淋管11进行输送液体即可。进液口的位置可以由本领域技术人员基于具体应用场景选择，相对应的喷淋管11密封的位置也可以由本领域技术人员基于具体应用场景选择。

如图2所示，本实用新型的一种可替换的实施例，喷淋管11的两端密封，进液口设置于喷淋管11的中部。如此，采用中间向两端供液的方式，使得液体在喷淋管11内流动的距离减少，从而更容易控制不同的喷淋口111的流量。

需要说明的是，进液口的位置位于喷淋管11长度方向的中部为最优的选择，进液口也可以位于喷淋管11的其他位置，本领域技术人员可以根据实际需要进行选择。

如图3所示，本实用新型的另一种可替换的实施例，进液口设置于喷淋管11的两端。如此，采用喷淋管11的两端向中间供液的方式，使得液体在喷淋管11内流动的距离减少，从而更容易控制不同的喷淋口111的流量，并且进液口设置在喷淋管11的两端也更容易与进液管12连通

如图5所示，本实用新型的一种实施例，喷淋管11上设置有安装支架13。如此，安装支架13能够方便喷淋管11的连接，喷淋管11能够设置在任何位置，使得喷淋管11上的喷淋口能够从不同的角度对待切割件3进行喷淋。

需要说明的是，安装支架13的设置并非必须，本领域技术人员可以基于具体应用场景选择是否设置安装支架13以及安装支架13的具体构造，当然也可以不设置安装支架13。

针对上述所有实施例，需要说明的是，上述的不同实施例可以任意组合，以达到提高喷淋效果的目的。比如，可以在喷淋管11的截面积沿液体流动方向逐渐减小的情况下，喷淋口111直径沿液体流动方向逐渐减小，以此类推。同时在上述组合的基础上，进液口的开口位置也可以根据本领域技术人员的需要进行选择，可以开设在喷淋管11的一端、两端或中间。

如图1-6所示，本实用新型还提供了一种切割液系统，包括上述的喷淋装置1。如此，通过进液口能够将液体通入到喷淋管11内，并且能够通过喷淋口111喷出，通过喷淋管11的截面积沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小的设置，使得不同的喷淋口111喷出的液体的流量趋于相等，对待切割件3喷淋的更加均匀，喷淋效果更好。同样的，喷淋口111直径沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小，能够使得不同的喷淋口111喷出的液体的流量趋于相等，对待切割件3喷淋的更加均匀，喷淋效果更好；喷淋口111的排布密度沿液体流动方向逐渐增大或呈阶梯状增大，使得一段喷淋管11上的喷淋口111喷出的液体的流量趋于相等，对待切割件3喷淋的更加均匀，喷淋效果更好；喷淋口111内连接有喷嘴14，喷嘴14的出水口直径沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小，使得不同的喷嘴14喷出的液体的流量趋于相等，对待切割件3喷淋的更加均匀，喷淋效果更好。整体上不同喷淋位置的喷淋效果趋近于相同，有利于提升喷淋装置1的喷淋效果和整体的切割质量。

需要说明的是，喷淋装置1的设置数量不作限制，喷淋装置1的数量至少为一个，只要有一个喷淋装置1对待切割件3进行喷淋即可。

如图5所示，本实用新型的一种优选的实施方式，两个喷淋装置1分别安装于线切割机2的进给机构21的底部的两侧。如此，喷淋装置1安装于线切割机2的进给机构21的底部，喷淋装置1跟随进给机构21运动，喷淋口111能够始终朝向待切割件3并与待切割件3的相对位置固定，待切割件3始终处于被喷淋的状态，有利于提高喷淋稳定性。

需要说明的是，在线切割机2的进给机构21的底部的两侧分别安装有一个喷淋装置1为最优的选择，本领域技术人员可以基于具体应用场景选择喷淋装置1的安装位置，当然也可以将两个喷淋装置1设置在进给机构21的底部的一侧，或者直接设置到进给装置的底部，只要喷淋装置1对待切割件3进行喷淋即可。

还需要说明的是，两个喷淋装置1为最优的选择，本领域技术人员可以基于具体应用场景选择在该位置设置一个喷淋装置1，或者不在该位置设置喷淋装置1。

需要进一步说明的是，喷淋装置1安装于进给机构21的底部的设置并非必须，本领域技术人员可以基于具体应用场景选择喷淋装置1的安装位置，当然也可以将喷淋装置1安装在除进给机构21的其他位置，当然可以将喷淋装置1安装在线切割机2的切割框架上。

如图6所示，本实用新型的一种可替换的实施例，两个喷淋装置1安装于线切割机2的切割框架上，且位于线切割机2的碎片盒22的上方靠近两侧的位置。如此，喷淋装置1安装于线切割机2的切割框架上，能够对待切割件3和切割线进行喷淋，起到降温和润滑作用。

需要说明的是，喷淋装置1设置到上述位置为最优的选择，本领域技术人员可以基于具体应用场景选择喷淋装置1的安装位置，只要喷淋装置1对待切割件3进行喷淋即可。

还需要说明的是，两个喷淋装置1为最优的选择，本领域技术人员可以基于具体应用场景选择在该位置设置一个喷淋装置1，或者不在该位置设置喷淋装置1。

如图6所示，本实用新型的另一种可替换的实施例，两个喷淋装置1安装于线切割机2的切割框架上，且位于线切割机2的碎片盒22宽度方向的两侧且位于切割线缠绕形成的线网内部，碎片盒22设有通孔，喷淋口111的轴线穿过通孔，并与通孔连通。如此，喷淋装置1安装于线切割机2的切割框架上，安装更加方便，喷淋装置1位于线切割机2的碎片盒22宽度方向的两侧，使得喷淋装置1能够从碎片盒22一侧的位置对待切割件3进行喷淋。具体的，喷淋口111喷出的液体能够通过通孔进入到碎片盒22内，并且能够对待切割件3的下侧进行喷淋，结合以上两个实施例能够实现多角度喷淋。

需要说明的是，喷淋装置1设置到上述位置为最优的选择，本领域技术人员可以基于具体应用场景选择喷淋装置1的安装位置，只要喷淋装置1对待切割件3进行喷淋即可。

还需要说明的是，两个喷淋装置1为最优的选择，本领域技术人员可以基于具体应用场景选择在该位置设置一个喷淋装置1，或者不在该位置设置喷淋装置1。

需要进一步说明的是，上述只是对喷淋装置1可能的安装位置的限定，当然可以喷淋装置1可以设置在除上述安装位置的其他安装位置，只要能够实现对待切割件3的喷淋即可。

本实用新型的一种优选的实施例，切割液系还包括增压泵，增压泵的排液口与进液口连接，增压泵的进液口与进液管12连通。通过增压泵能够提高喷淋管11内的压力，从而提高喷淋口111流出的液体的压力和喷淋稳定性。

需要说明的是，增压泵连接于进液口为最优的选择，本领域技术人员可以基于具体应用场景选择增压泵的连接位置，当然增压泵的排液口也可以不与进液口连接，只要增压泵与进液口连通即可。例如，进液管12分成两段，增压泵的进液口和排液口均与进液管12连接。当然，增压泵也可以不设置。

如图5-6所示，本实用新型还公开了一种线切割机2，线切割机2包括上述的喷淋装置1或上述的切割液系统。如此，通过进液口能够将液体通入到喷淋管11内，并且能够通过喷淋口111喷出，通过喷淋管11的截面积沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小的设置，使得不同的喷淋口111喷出的液体的流量趋于相等，对待切割件3喷淋的更加均匀，喷淋效果更好。同样的，喷淋口111直径沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小，能够使得不同的喷淋口111喷出的液体的流量趋于相等，对待切割件3喷淋的更加均匀，喷淋效果更好；喷淋口111的排布密度沿液体流动方向逐渐增大或呈阶梯状增大，使得一段喷淋管11上的喷淋口111喷出的液体的流量趋于相等，对待切割件3喷淋的更加均匀，喷淋效果更好；喷淋口111内连接有喷嘴14，喷嘴14的出水口直径沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小，使得不同的喷嘴14喷出的液体的流量趋于相等，对待切割件3喷淋的更加均匀，喷淋效果更好。整体上不同喷淋位置的喷淋效果趋近于相同，有利于提升喷淋装置1的喷淋效果和整体的切割质量。

本领域的技术人员能够理解，尽管在此所述的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本申请的范围之内并且形成不同的实施例。例如，在本申请的权利要求书中，所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。

至此，已经结合附图所示的优选实施方式描述了本实用新型的技术方案，但是，本领域技术人员容易理解的是，本实用新型的保护范围显然不局限于这些具体实施方式。在不偏离本实用新型的原理的前提下，本领域技术人员可以对相关技术特征作出等同的更改或替换，这些更改或替换之后的技术方案都将落入本实用新型的保护范围之内。

Claims (11)

1.一种喷淋装置，其特征在于，包括喷淋管，所述喷淋管上开设有进液口和多个喷淋口，所述喷淋管的截面积沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小；并且/或者

所述喷淋口直径沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小；并且/或者

所述喷淋口的排布密度沿液体流动方向逐渐增大或呈阶梯状增大；并且/或者

所述喷淋口内连接有喷嘴，所述喷嘴的出水口直径沿液体流动方向逐渐减小或呈阶梯状减小。

2.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，还包括进液管，所述进液管一端与所述进液口连通。

3.根据权利要求2所述的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋管的一端密封，所述进液口设置于所述喷淋管的另一端；或者

所述喷淋管的两端密封，所述进液口设置于所述喷淋管的中部；或者

所述进液口设置于所述喷淋管的两端。

4.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋管上设置有安装支架。

5.一种切割液系统，其特征在于，包括至少一个权利要求1-4任一项所述的喷淋装置。

6.根据权利要求5所述的切割液系统，其特征在于，所述喷淋装置安装于线切割机的进给机构的底部。

7.根据权利要求5所述的切割液系统，其特征在于，所述喷淋装置安装于线切割机的切割框架上，且位于所述线切割机的碎片盒的上方。

8.根据权利要求5所述的切割液系统，其特征在于，所述喷淋装置安装于线切割机的切割框架上，且位于所述线切割机的碎片盒宽度方向的两侧。

9.根据权利要求8所述的切割液系统，其特征在于，所述碎片盒设有通孔，所述喷淋口的轴线穿过所述通孔。

10.根据权利要求5至9中任一项所述的切割液系统，其特征在于，还包括增压泵，所述增压泵的排液口与所述进液口连通。

11.一种线切割机，其特征在于，所述线切割机包括权利要求1至4任一项所述的喷淋装置或权利要求6至10任一项所述的切割液系统。