CN218286232U - 摆动喷淋机构、切割液系统及线切割机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及线切割技术领域，具体涉及一种摆动喷淋机构、切割液系统及线切割机。本申请旨在解决切割过程中待切割件内外温差过大的问题。为此目的，本申请的摆动喷淋机构包括：滑板箱；摆动装置，摆动装置可摆动地设置于滑板箱，摆动装置的底部能够安装待切割件；喷淋装置，喷淋装置安装于摆动装置，并且喷淋装置用于向待切割件喷淋切割液。通过将喷淋装置设置在摆动装置上，使得喷淋装置喷出的切割液能够喷洒到待切割件的上部，进而提高切割液在待切割件的不同位置的带液量，降低待切割件的内外温差，减小切片的热变形，提高待切割件的整体切割质量，提高待切割件的切割良率。

Description

摆动喷淋机构、切割液系统及线切割机

技术领域

本实用新型涉及线切割技术领域，具体涉及一种摆动喷淋机构、切割液系统及线切割机。

背景技术

目前，线切割技术由于具有生产效率高、作业成本低、作业精度高等特点，被广泛应用于半导体工件切割生产中。以金刚线切割高硬脆材料为例，金刚线在对待切割件进行切片时，金刚线高速运动并在线切割机的切割主辊带动下在待切割件表面高速往复磨削，将待切割件切削加工为切片。

待切割件在切割时会产生大量热，由此便需要对其进行冷却降温。现有的线切割机上设置有喷淋机构，通过喷洒切割液的方式对待切割件降温，清洁切割下来的粉末，从而提高切割良率。目前，喷淋机构都固定设置在待切割件的侧面，喷淋时只能对金刚线和待切割件的下部表面进行冷却，而切缝内部和待切割件上部则无法有效冷却，容易导致待切割件内外温差过大，产生热变形，严重影响切割质量。

相应地，本领域需要一种新的技术方案来解决上述问题。

实用新型内容

为了解决现有技术中的上述至少一个问题，即为了解决切割过程中待切割件内外温差过大的问题，本申请提供了一种摆动喷淋机构，包括：

滑板箱；

摆动装置，所述摆动装置可摆动地设置于所述滑板箱，所述摆动装置的底部能够安装待切割件；

喷淋装置，所述喷淋装置安装于所述摆动装置，并且所述喷淋装置用于向所述待切割件喷淋切割液。

上述技术方案，通过将喷淋装置设置在摆动装置上，使得喷淋装置喷出的切割液能够喷洒到待切割件的上部，切割液沿着待切割件由上至下流动，使得待切割件的上半部分覆盖切割液，进而提高线切割过程中切割液在待切割件的不同位置的带液量，并可以通过切割液来调节待切割件的内外温差，减小切片的热变形，提高待切割件的整体切割质量，提高待切割件的切割良率。另外，将喷淋装置设置在摆动装置上，使得摆动装置在摆动的同时，喷淋装置也能同步摆动，实现喷淋效果稳定。

在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述摆动装置包括摆动上板和摆动下板，所述摆动下板可摆动地连接于所述摆动上板，所述喷淋装置连接在所述摆动下板上。

上述技术方案，通过将喷淋装置连接在摆动下板上，可以在摆动下板相对于摆动上板摆动时，实现喷淋装置的随摆。

在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述喷淋装置固定连接于所述摆动下板的底面或外周面。

上述技术方案，通过喷淋装置固定在摆动下板的底面或外周面，安装方式简单，成本低。

在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述摆动喷淋机构还包括输送部，所述输送部设置于所述滑板箱上，所述喷淋装置通过所述输送部与切割液源接通。

上述技术方案，通过通过在滑板箱上设置输送部，可以在实现向喷淋装置输送切割液的同时，避免供液管路布置杂乱以及与其他机构相干涉，提高布置合理性，降低故障率。

在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述输送部包括第一固定块，所述第一固定块固定连接于所述滑板箱上，且所述第一固定块上设置有彼此连通的第一进口和第一出口，所述第一进口与所述切割液源连通，所述第一出口与所述喷淋装置连通。

上述技术方案，通过设置第一固定块，方便切割液管路的固定与导向，且改造成本低。

在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述输送部还包括第二固定块，所述第二固定块连接于所述滑板箱上，且所述第二固定块上设置有彼此连通的第二进口和第二出口，所述二进口与所述第一出口连通，所述第二出口与所述喷淋装置连通。

上述技术方案，通过设置第二固定块，可以有效实现第一固定块与第二固定块之间的管路固定，以及第二固定块与喷淋装置之间的管路导向，提高管路连接稳固性。

在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述喷淋装置至少设置为两个。

上述技术方案，通过设置两个喷淋装置，可以实现两个喷淋装置对待切割件不同位置的喷淋，提高喷淋均匀性。

在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述喷淋装置沿所述待切割件的长度方向安装在所述摆动装置的底部，并且/或者

所述喷淋装置分别位于所述待切割件的两侧。

上述技术方案，通过将喷淋装置安装在摆动装置的底部，且喷淋装置沿待切割件的长度方向设置，能够提高待切割件的整体冷却效果。通过将两个喷淋装置设置在待切割件的两侧，使得喷淋装置能够将切割液相对地喷洒在待切割件的两侧上部，利于切割液将待切割件包裹，提高待切割件的冷却效果。

在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述第一固定块包括一个所述第一进口和两个所述第一出口，所述第二固定块设置有两个，所述第一进口与所述切割液源连通，每个所述第一出口与一个所述第二进口连通，每个所述第二出口与一个所述喷淋装置连通。

上述技术方案，通过第一固定块设置一个第一进口和两个第一出口，方便切割液的引入，简化引入管路的设置数量，同时方便对两个喷淋装置的切割液进行分流。

在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述第一固定块上开设有通孔，所述通孔的两端封堵，所述第一进口和所述第一出口同时与所述通孔连通。

上述技术方案，通过开设通孔并将通孔两端封堵，方便对第一固定块的加工，降低加工成本。

在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述第一固定块包括彼此连接的第一结构段和第二结构段，所述第二结构段的端面固定连接于所述滑板箱的顶部，所述第一结构段向远离所述滑板箱的方向延伸，所述通孔开设于所述第一结构段，所述第一进口开设于所述第一结构段的端面，所述第一出口开设于所述第一结构段的下侧面。

上述技术方案，第二结构段的端面固定连接在滑板箱的顶面边缘，方便第一固定块的固定。第一进口开设于第一结构段的端面，方便第一进口与切割液源的管路连接。第一出口开设于第一结构段的下侧面，方便第一出口向下引管与第二固定块连接。

在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述第二固定块上开设有盲孔，所述盲孔的一端封堵，所述第二进口和所述第二出口同时与所述盲孔连通。

上述技术方案，通过在第二固定块上开设盲孔，且盲孔一端封堵，方便对第二固定块的加工，降低加工成本。

在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述第二固定块包括彼此连接的第三结构段和第四结构段，所述第三结构段的下侧面固定连接于所述滑板箱的底框上边缘，所述第四结构段沿所述滑板箱的地矿外边缘向下延伸，所述盲孔开设于所述第四结构段的外侧面上部，所述第二进口开设于所述第三结构段的上侧面，所述第二出口开设于所述第四结构段的端面。

上述技术方案，通过第三结构段下侧面固定连接在滑板箱的底框上边缘，方便第二固定块的固定连接。第二进口开设在第三结构段的上侧面，方便第二进口向上引管与第一固定块连接。第二出口开设在第四结构段的端面，方便第二出口向下引管与喷淋装置连接。

在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述第一固定块和所述第二固定块分别设置有两个，两个所述第一进口同时与所述切割液源连通，每个所述第一出口与一个所述第二进口连通，每个所述第二出口与一个所述喷淋装置连通；或者

所述第一固定块包括一个所述第一进口和一个所述第一出口，所述第二固定块包括一个所述第二进口和两个所述第二出口，所述第一进口与所述切割液源连通，所述第一出口与所述第二进口连通，每个所述第二出口与一个所述喷淋装置连通；或者

所述第一固定块设置有两个，所述第二固定块包括两个所述第二进口和两个所述第二出口，两个所述第一进口同时与所述切割液源连通，每个所述第一出口与一个所述第二进口连通，每个所述第二出口与一个所述喷淋装置连通。

在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述喷淋装置包括喷淋管和导流板，所述喷淋管两端密封，所述喷淋管上设置有进液口和喷淋孔，所述导流板设置在所述喷淋管的下方，且向远离所述喷淋管的一侧延伸，从而引导所述喷淋孔喷出的切割液流出。

上述技术方案，切割液由进液口进入到喷淋管内，并从喷淋孔流出，在导流板的作用下引导切割液流出，流向待切割件上部，使得待切割件上部覆盖切割液，进而使得线切割过程中切割液在待切割件的每个位置的切割液带入量充足，提高整体冷却质量。

在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述喷淋装置还包括调流板，所述调流板设置在所述导流板的上方，用于调整所述调流板与所述导流板之间的流通口的大小。

上述技术方案，通过设置调流板，可以调整调流板与导流板之间的流通口的大小，使得喷淋装置能够根据待切割件的尺寸调整流通口的大小，进而改变切割液的流量，以满足不同尺寸的冷却需求，使得不同尺寸的待切割件在切割时均具有良好的冷却效果，提高切割件的切割质量。

在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述调流板上设置有第一连接结构，所述第一连接结构通过紧固件连接于第一待安装位置上设置的第二连接结构上，使得所述调流板能够沿直线方向调节。

上述技术方案，通过设置第一连接结构和第二连接结构，使得调流板能够沿着直线方向移动改变溢流口的大小，从而改变切割液流量。

在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述喷淋装置还包括固定板，所述固定板设置于所述导流板的上方，所述第二连接结构设置于所述固定板。

上述技术方案，通过设置固定板，实现了调流板的简单安装。

在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述喷淋装置还包括支撑板，所述支撑板与所述固定板相接，以支撑所述固定板。

上述技术方案，通过设置支撑板，可以加强固定板的安装强度，从而提高调流板的稳定性。

在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述支撑板的截面为L型，所述支撑板的竖直板段与所述固定板抵接，所述支撑板的水平板段与所述喷淋管或所述导流板连接。

在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述支撑板的水平段与竖直段之间还设置有若干个支撑筋。

上述技术方案，通过设置支撑筋，可以提高支撑板的强度。

在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述第一连接结构为腰孔，所述第二连接结构为圆孔；或者

所述第一连接结构为圆孔，所述第二连接结构为腰孔；或者

所述第一连接结构为圆孔，所述第二连接结构为定位孔，且所述定位孔设置有多个；或者

所述第一连接结构为定位孔，且所述定位孔设置有多个，所述第二连接结构为圆孔。

在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述喷淋管内部设置有沿所述喷淋管轴向延伸的孔板。

上述技术方案，通过设置孔板，能够对进入到喷淋管内的切割液进行导流、分流，使得切割液流量均匀、稳定，使得线切割过程中切割液在待切割件的每个位置的带入量一致，使得待切割件的切割质量稳定。

在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述孔板上的孔的轴线与所述喷淋孔的轴线之间具有夹角。

上述技术方案，通过孔板上的孔的轴线与喷淋孔的轴线之间设置夹角，可以提升导流效果，提高切割液流动稳定性。

在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述喷淋管上设置有安装板，所述安装板上设置有第三连接结构，所述第三连接结构通过紧固件安装于所述摆动装置。

上述技术方案，通过设置安装板，可以实现喷淋装置的简便安装。

在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述第三连接结构为长条孔，所述长条孔沿所述摆动装置的宽度方向延伸设置；或者

所述第三连接结构为过孔，所述过孔设置有多个，多个所述过孔沿所述摆动装置的宽度方向并排设置。

上述技术方案，第三连接结构为长条孔或多个过孔，方便喷淋装置沿摆动装置宽度方向的安装和位置调整，从而有利于调整至较佳的喷淋位置。

在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述长条孔设置有多个，多个所述长条孔沿所述摆动装置的长度方向并排设置；或者

所述过孔设置有多组，每组包括多个所述过孔，每组中的多个所述过孔沿所述摆动装置的宽度方向并排设置，多个过孔组沿所述摆动装置的长度方向并排设置。

上述技术方案，通过设置多个长条孔或多个过孔组，可以提高喷淋装置的安装稳定性，提高喷淋效果。

在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述喷淋装置还包括进液管，所述进液管的一端设置有接头，另一端与所述进液口连通。

上述技术方案，通过设置进液管，有利于接头的引出，降低接管难度。

在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述进液管与所述喷淋管平行设置。

在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述进液管与所述喷淋管之间还设置有支撑管，所述支撑管的两端分别与所述进液管和所述喷淋管连接。

上述技术方案，通过设置支撑管，可以提高进液管与喷淋管之间的连接结构强度，提高喷淋稳定性。

在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述喷淋装置为溢流喷淋装置或花洒喷淋装置。

本申请还提供了一种切割液系统，所述切割液系统包括上述优选技术方案中任一项所述的摆动喷淋机构。

上述技术方案，通过在切割液系统中采用上述摆动喷淋机构，可以使得切割液系统中的切割液对待切割件进行整体冷却喷淋，减小切片的热变形，提高待切割件的切割质量。

本申请还提供了一种线切割机，所述线切割机包括上述优选技术方案中任一项所述的摆动喷淋机构，或者上述优选技术方案的切割液系统。

上述技术方案，通过在线切割机中采用上述的摆动喷淋机构或切割液系统，可以实现对待切割件的整体喷淋，降低待切割件切割过程中的内外温差，减小切片的热变形，提高待切割件的切割质量。

附图说明

下面参照附图来描述本申请的摆动喷淋机构、切割液系统及线切割机。附图中：

图1为本申请的摆动喷淋机构的装配图；

图2为本申请的摆动喷淋机构的主视图；

图3为本申请的滑板箱的结构图；

图4为本申请的摆动喷淋机构的剖视图；

图5为本申请的第一固定块的剖视图；

图6为本申请的摆动喷淋机构的局部侧剖图；

图7为本申请的喷淋装置的结构图；

图8为本申请的喷淋装置的侧剖图；

图9为本申请的喷淋装置的俯视剖视图。

附图标记列表

1、滑板箱；2、摆动装置；21、摆动上板；22、摆动下板；3、喷淋装置；31、喷淋管；311、进液口；312、喷淋孔；32、导流板；321、挡流板；33、调流板；331、第一连接结构；34、固定板；35、支撑板；351、支撑筋；36、孔板；37、安装板；371、第三连接结构；38、进液管；39、支撑管；41、第一固定块；411、第一结构结构段；4111、第一进口；4112、第一出口；4113、通孔；412、第二结构段；42、第二固定块；413、第一堵头；421、第三结构段；4211、第二进口；422、第四结构段；4221、第二出口；4222、盲孔；423、第二堵头；5、待切割件；6、接头。

具体实施方式

下面参照附图来描述本申请的优选实施方式。本领域技术人员应当理解的是，这些实施方式仅仅用于解释本申请的技术原理，并非旨在限制本申请的保护范围。例如，虽然附图中的喷淋装置是结合直喷喷淋装置进行介绍的，但是喷淋装置的具体设置方式非一成不变，本领域技术人员可以根据需要对其作出调整，以便适应具体的应用场合。例如，喷淋装置还可以为溢流喷淋装置或花洒喷淋装置等。

需要说明的是，在本申请的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方向或位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系，这仅仅是为了便于描述，而不是指示或暗示所述装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，还需要说明的是，在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域技术人员而言，可根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

首先参照图1和图2，对本申请的摆动喷淋机构进行描述。

如图1和图2所示，为了解决切割过程中待切割件5内外温差过大的问题，本申请的摆动喷淋机构包括滑板箱1、摆动装置2和喷淋装置3。滑板箱1可升降地设置，摆动装置2可摆动地设置于滑板箱1，摆动装置2的底部能够安装待切割件5。喷淋装置3安装于摆动装置2，并且喷淋装置3用于向待切割件5喷淋切割液。

应用时，待切割件5通过晶托安装在摆动装置2的底部，切割时，滑板箱1带动摆动装置2和待切割件5同步下降，摆动机构相对于滑板箱1摆动，待切割件5在下降过程中被位于下方的切割线往复切割，最终被切割成片。切割过程中，喷淋装置3随着摆动装置2同步摆动，并向待切割件5的上部喷淋切割液。

上述技术方案，通过将喷淋装置3设置在摆动装置2上，使得喷淋装置3喷出的切割液能够喷洒到待切割件5的上部，切割液沿着待切割件5由上至下流动，使得待切割件5的上半部分覆盖切割液，进而提高线切割过程中切割液在待切割件5的不同位置的带液量，并可以通过切割液来调节待切割件5的内外温差，减小切片的热变形，提高待切割件5的整体切割质量，提高待切割件5的切割良率。另外，将喷淋装置3设置在摆动装置2上，使得摆动装置2在摆动的同时，喷淋装置3也能同步摆动，实现喷淋效果稳定。

下面进一步参照图1至图9，对本申请的优选实施方式进行介绍。

如图1和图2所示，一种优选实施方式中，摆动装置2包括摆动上板21和摆动下板22，摆动上板21固定连接于滑板箱1的底部，摆动下板22可摆动地连接于摆动上板21，喷淋装置3连接在摆动下板22上。具体地，摆动上板21通过螺接、卡接、焊接等方式固定连接在滑板箱1的底部，摆动上板21上设置有驱动机构，驱动机构通过传动机构与摆动下板22连接，当驱动机构正反向通电时，可以通过传动机构带动摆动下板22摆动。其中，驱动机构可以为电机和减速器，传动机构可以为齿轮皮带轮组或齿轮组等，驱动机构通过传动机构带动摆动下板22摆动的原理本领域中较为常见，在此不再赘述。

喷淋装置3固定连接于摆动下板22的底面，优选地，本申请中摆动喷淋机构设置两个喷淋装置3，两个喷淋装置3沿待切割件5的长度方向(即图1中待切割件5中的轴向)安装在摆动装置2的底部，且两个喷淋装置3位于待切割件5的两侧。参照图2并按图2所示方位，两个喷淋装置3安装在摆动下板22的底面左右两侧，两个喷淋装置3从不同方向对待切割件5的侧面进行喷淋。

通过将喷淋装置3连接在摆动下板22上，可以在摆动下板22相对于摆动上板21摆动时，实现喷淋装置3的随摆。通过喷淋装置3固定在摆动下板22的底面，安装方式简单，成本低。通过设置两个喷淋装置3，可以实现两个喷淋装置3对待切割件5不同位置的喷淋，提高喷淋均匀性。通过将喷淋装置3安装在摆动下板22的底部，且喷淋装置3沿待切割件5的长度方向设置，能够提高待切割件5的整体冷却效果。通过将两个喷淋装置3设置在待切割件5的两侧，使得喷淋装置3能够将切割液相对地喷洒在待切割件5的两侧上部，利于切割液将待切割件5包裹，提高待切割件5的冷却效果。

当然，摆动装置2的具体形式以及喷淋装置3的连接位置、设置数量等并非唯一，本领域技术人员可以对其调整，只要摆动装置2能够实现摆动，且喷淋装置3与摆动装置2随动的目的即可。举例而言，摆动装置2的还可以只包括摆动下板22，而将驱动机构安装在滑板箱1上。再如，喷淋装置3还可以安装在摆动下板22的外周面。再如，摆动装置2的数量还可以为一个、三个或更多，摆动装置2除了沿待切割件5长度方向安装在待切割件5两侧外，还可以沿径向方向安装，设置位置还可以位于待切割件5的轴向两端等。

参见图1、图3至图6，一种优选实施方式中，摆动喷淋机构还包括输送部，输送部设置于滑板箱1上，喷淋装置3通过输送部与切割液源接通。

具体地，输送部包括第一固定块41和第二固定块42，第一固定块41和第二固定块42均固定连接于滑板箱1上，第一固定块41上设置有彼此连通的第一进口4111和第一出口4112，第二固定块42上设置有彼此连通的第二进口4211和第二出口4221，第一进口4111与切割液源连通，二进口与第一出口4112连通，第二出口4221与喷淋装置3连通。

参照图3至图5，第一固定块41整体呈倒L型，其包括彼此连接的第一结构段411和第二结构段412，第二结构段412的端面(即图3中所示出的第二结构段412的下端面)固定连接于滑板箱1的顶面边缘，第一结构段411向远离滑板箱1的方向延伸。优选地，第一结构段411沿水平方向延伸，第二结构段412沿竖直方向延伸。第一固定块41上设置有一个第一进口4111和两个第一出口4112，第一固定块41上开设有通孔4113，通孔4113的两端通过第一堵头413封堵，第一进口4111和第一出口4112同时与通孔4113连通。优选地，通孔4113开设于第一结构段411且通孔4113的轴线平行于第一结构段411的端面(即图3中所示出的第一结构段411的左端面)，第一进口4111开设于第一结构段411的端面，第一进口4111的轴线垂直于第一结构段411的端面，两个第一出口4112开设于第一结构段411的下侧面(即图3中示出的第一结构段411的底面)，第一出口4112的轴线垂直于第一结构段411的下侧面。

参见图3和图6，第二固定块42包括彼此连接的第三结构段421和第四结构段422，第三结构段421的下侧面固定连接于滑板箱1的底框上边缘，第四结构段422沿滑板箱1的地矿外边缘向下延伸。优选地，第三结构段421沿水平方向延伸，第四结构段422沿竖直方向延伸。第二固定块42上开设有盲孔4222，盲孔4222的一端通过第二堵头423封堵，第二进口4211和第二出口4221同时与盲孔4222连通。优选地，盲孔4222开设于第四结构段422的外侧面(即图3中第四结构段422的左侧面)上部且盲孔4222的轴线平行于第三结构段421的上侧面，第二进口4211开设于第三结构段421的上侧面(即图3中第三结构段421的上侧面)且其轴线垂直于第三结构段421的上侧面，第二出口4221开设于第四结构段422的端面且其轴线垂直于第四结构段422的端面(即图3中第四结构段422的底面)。

继续参见图3，本申请中，第一固定块41设置有一个，第二固定块42设置有两个，第一固定块41的第一进口4111与切割液源连通，每个第一出口4112与一个第二进口4211连通，每个第二出口4221与一个喷淋装置3连通。优选地，第一进口4111与切割液源之间通过软管连接，第一出口4112与第二进口4211之间通过硬管连接，第二出口4221与喷淋装置3之间通过软管连接。

通过在滑板箱1上设置输送部，可以在实现向喷淋装置3输送切割液的同时，避免供液管路布置杂乱以及与其他机构相干涉，提高布置合理性，降低故障率。通过设置第一固定块41，方便切割液管路的固定与导向，且改造成本低。通过设置第二固定块42，可以有效实现第一固定块41与第二固定块42之间的管路固定，以及第二固定块42与喷淋装置3之间的管路导向，提高管路连接稳固性。第一进口4111与切割液源之间通过软管连接，软管可以适应滑板箱1的升降。第一出口4112与第二进口4211之间通过硬管连接，可以提高管路的连接稳定性。第二出口4221与喷淋装置3之间通过软管连接，软管可以适应摆动装置2的摆动。

通过第一固定块41设置一个第一进口4111和两个第一出口4112，方便切割液的引入，简化引入管路的设置数量，同时方便对两个喷淋装置3的切割液进行分流。通过开设通孔4113并将通孔4113两端封堵，方便对第一固定块41的加工，降低加工成本。第二结构段412的端面固定连接在滑板箱1的顶面边缘，方便第一固定块41的固定。第一进口4111开设于第一结构段411的端面，方便第一进口4111与切割液源的管路连接。第一出口4112开设于第一结构段411的下侧面，方便第一出口4112向下引管与第二固定块42连接。

通过在第二固定块42上开设盲孔4222，且盲孔4222一端封堵，方便对第二固定块42的加工，降低加工成本。通过第三结构段421下侧面固定连接在滑板箱1的底框上边缘，方便第二固定块42的固定连接。第二进口4211开设在第三结构段421的上侧面，方便第二进口4211向上引管与第一固定块41连接。第二出口4221开设在第四结构段422的端面，方便第二出口4221向下引管与喷淋装置3连接。

当然，输送部的具体设置方式并非唯一，本领域技术人员可以对其进行调整，以便本申请适用于更加具体的应用场景。举例而言，虽然上述实施方式是结合输送部包括第一固定块41和第二固定块42介绍的，但是第一固定块41和第二固定块42也可以只保留其中的任一个。

再如，虽然上述实施方式是结合第一固定块41设置有一个，第二固定块42设置有两个进行介绍的，但是对第一固定块41和第二固定块42在数量上的调整并未偏离本申请原理。例如，第一固定块41和第二固定块42还可以分别设置有两个，两个第一进口4111同时与切割液源连通，每个第一出口4112与一个第二进口4211连通，每个第二出口4221与一个喷淋装置3连通；或者第一固定块41设置一个第一进口4111和一个第一出口4112，第二固定块42包括一个第二进口4211和两个第二出口4221，第一进口4111与切割液源连通，第一出口4112与第二进口4211连通，每个第二出口4221与一个喷淋装置3连通；或者第一固定块41设置有两个，第二固定块42包括两个第二进口4211和两个第二出口4221，两个第一进口4111同时与切割液源连通，每个第一出口4112与一个第二进口4211连通，每个第二出口4221与一个喷淋装置3连通。

再如，上述第一固定块41是结合第一结构段411和第二结构段412介绍的，但是第一固定块41的具体结构并非唯一，本领域技术人员还可以将其设置为其他形式，只要第一固定块41能够固定安装在滑板箱1上且第一固定块41上开设有第一进口4111和第一出口4112即可，如第一固定块41只包括第一结构段411或只包括第二结构段412等，再或者第一固定块41还可以为其他任意规则或不规则形状。同理，第二固定块42的结构也仅仅是示例性地，本领域技术人员也可以对其进行调整，调整后的技术方案并未偏离本申请原理，如第二固定块42可以只包括第三结构段421或只包括第四结构段422，再或者第二固定块42还可以为其他任意规则或不规则形状。再如，第一结构段411和第三结构段421也可以不沿水平方向延伸，第二结构段412和第及结构段422也可以不沿竖直方向延伸。

再如，上述第一固定块41中第一进口4111和第一出口4112的设置位置并非固定不变，本领域技术人员可以根据需要进行调整，如第一进口4111还可以设置在第一结构段411的上表面、左/右侧面、第二结构段412的上表面、侧面等，第一出口4112还可以设置在第一结构段411的左/右侧面或端面等。同理，第二固定块42上的第二进口4211和第二出口4221的设置位置并非固定不变，本领域技术人员同样可以根据需要进行调整，如第二进口4211还可以设置在第三结构段421的左/右侧面、第四结构段422的上侧面、前侧面、左右侧面等，第二出口4221还可以设置在第四结构段422的上侧面、前侧面、左右侧面等。

再如，第一固定块41上的通孔4113、第二固定块42上的盲孔4222的具体形式并非一成不变，在能够实现将第一进口4111与第一出口4112、第二进口4211与第二出口4221连通的情况下，本领域技术人员可以灵活设置二者之间的连通通道。

再如，上述第一固定块41和第二固定块42的连接位置并非唯一，本领域技术人员可以根据具体应用场景来调整二者的设置位置，例如二者均可以设置在滑板箱1的其他位置，或者二者中的至少一个设置在除滑板箱1的其他位置等。

当然，本领域技术人员也可以根据具体应用场景选择省略输送部的设置，而是将切割液源直接与喷淋装置3连通。

接下来参照图7至图9，一种优选实施方式中，喷淋装置3包括喷淋管31、导流板32、调流板33、固定板34、支撑板35、孔板36、安装板37、进液管38和支撑管39。

具体地，喷淋管31的两端密封，喷淋管31上设置有进液口311和喷淋孔312，进液口311设置在喷淋管31的第一侧沿长度方向的中部，喷淋孔312设置在喷淋管31的底部。导流板32设置在喷淋管31的下方，且向远离喷淋管31的第二侧的方向延伸，从而引导喷淋孔312喷出的切割液流出。其中，导流板32沿长度方向的两侧各设置有一个挡流板321，导流板32通过挡流板321与喷淋管31固定连接。如挡流板321与喷淋管31之间螺接、粘接或焊接等。

孔板36设置于喷淋管31的内部且沿喷淋管31的轴向延伸，喷淋管31至少一端通过堵头密封，在拆卸堵头时，可以将孔板36安装到喷淋管31内部并固定，孔板36的固定方式不作限制，可以卡接在喷淋管31的两端之间，也可以螺接在喷淋管31其中一端、或螺接与卡接相结合等。孔板36上沿长度方向设置有一排孔，孔板36上的孔的轴线与喷淋孔312的轴线之间具有夹角(即图8中所述的α)。

固定板34设置于导流板32的上方，具体地，固定板34设置于两个挡流板321之间，且与导流板32之间存在空隙，该空隙作为流通口。固定板34可以与两个挡流板321分别连接，如螺接、焊接或粘接等。

调流板33设置在导流板32的上方，用于调整调流板33与导流板32之间的流通口的大小。具体地，调流板33位于固定板34的外侧，调流板33上设置有第一连接结构331，第一连接结构331通过紧固件连接于固定板34上设置的第二连接结构上，使得调流板33能够沿直线方向调节。优选地，第一连接结构331为腰孔，第二连接结构为圆孔，腰孔与圆孔之间通过螺栓螺母组件连接。

支撑板35的截面为L型，支撑板35的竖直板段与固定板34抵接，以支撑固定板34，支撑板35的水平板段与挡流板321连接，如焊接、粘接或螺接等。其中，支撑板35的水平段与竖直段之间还设置有若干个支撑筋351。参照图9，支撑筋351设置有三个，三个支撑筋351间隔设置在支撑板35的竖直段与水平段之间。

安装板37设置在喷淋管31上，如与喷淋管31焊接或粘接等，安装板37上设置有第三连接结构371，第三连接结构371通过紧固件安装于摆动装置2。具体地，喷淋管31的轴向两端各设置一个安装板37，安装板37向远离喷淋管31的第二侧的方向延伸。安装板37远离喷淋管31的一侧设置有第三连接结构371，第三连接结构371为长条孔，且每个安装板37上长条孔设置有多个，单个长条孔沿摆动装置2的宽度方向(即图2所示的左右方向)延伸设置，多个长条孔沿摆动装置2的长度方向并排设置。

进液管38与喷淋管31平行设置，其一端设置有接头6，另一端与进液口311连通，接头6能够通过软管与第二固定块42上的第二出口4221连通。进液管38与喷淋管31之间还设置有支撑管39，支撑管39的两端分别与进液管38和喷淋管31连接，以固定进液管38。

喷淋管31和导流板32的设置，切割液由进液口311进入到喷淋管31内，并从喷淋孔312流出，在导流板32的作用下引导切割液流出，流向待切割件5上部，使得待切割件5上部覆盖切割液，进而使得线切割过程中切割液在待切割件5的每个位置的切割液带入量充足，提高整体冷却质量。通过设置孔板36，能够对进入到喷淋管31内的切割液进行导流、分流，提高切割液流量的均匀性和稳定性，有利于提高线切割过程中切割液在待切割件5的不同位置带液量的一致性，提高切割质量。通过孔板36上的孔的轴线与喷淋孔312的轴线之间设置夹角，可以提升导流效果，提高切割液流动稳定性。

通过设置调流板33，可以调整调流板33与导流板32之间的流通口的大小，使得喷淋装置3能够根据待切割件5的尺寸调整流通口的大小，进而改变切割液的流量，以满足不同尺寸的冷却需求，使得不同尺寸的待切割件5在切割时均具有良好的冷却效果，提高切割件的切割质量。通过设置第一连接结构331和第二连接结构，使得调流板33能够沿着直线方向移动改变溢流口的大小，从而改变切割液流量。通过设置固定板34，实现了调流板33的简单安装。通过设置支撑板35，可以加强固定板34的安装强度，从而提高调流板33的稳定性。通过设置支撑筋351，可以提高支撑板35的强度。

通过设置安装板37，可以实现喷淋装置3的简便安装。第三连接结构371为长条孔或多个过孔，方便喷淋装置3沿摆动装置2宽度方向的安装和位置调整，从而有利于调整至较佳的喷淋位置。通过设置多个长条孔或多个过孔组，可以提高喷淋装置3的安装稳定性，提高喷淋效果。通过设置进液管38，有利于接头6的引出，降低接管难度。通过设置支撑管39，可以提高进液管38与喷淋管31之间的连接结构强度，提高喷淋稳定性。

当然，上述喷淋装置3的具体设置方式仅仅为一种较为优选地方式，在不偏离本申请原理的前提下，本领域技术人员可以对喷淋装置3的具体设置方式进行调整，只要调整后的喷淋装置3能够实现对待切割件5上部的喷淋即可。

举例而言，虽然上述实施方式中是结合喷淋装置3为直喷喷淋装置3(即喷淋孔312直接喷出至导流板32)进行介绍的，但喷淋装置3的具体喷淋方式并非唯一，本领域技术人员可以进行调整。如喷淋装置3还可以为溢流喷淋装置3或花洒喷淋装置3等，其中溢流喷淋装置3和花洒喷淋装置3的具体结构本申请不作限定。

再如，喷淋管31上的进液口311和喷淋孔312的设置位置并非固定，本领域技术人员可以进行任意调整。

再如，导流板32两侧的挡流板321可以只设置一个，也可以省略不设置。在不设置挡流板321时，导流板32可以通过其他结构与喷淋管31连接，如导流板32开设螺孔与喷淋管31螺接，或设置焊接柱与喷淋管31焊接等。

再如，孔板36的设置角度、孔的大小、排列方式等本领域技术人员可以根据具体应用场景进行调整，只要调整后的方案可以满足切割液的流动稳定性即可。

再如，固定板34还可以固定设置在喷淋管31上或者固定设置在支撑板35上，这种固定板34的连接方式的调整并未偏离本申请的原理。

再如，调流板33与固定板34之间的连接结构并非一成不变，其他实施方式中，本领域技术人员可以改变第一连接结构331与第二连接结构的具体形式。如第一连接结构331为圆孔，第二连接结构为腰孔；或者第一连接结构331为圆孔，第二连接结构为定位孔，且定位孔设置有多个；或者第一连接结构331为定位孔，且定位孔设置有多个，第二连接结构为圆孔。

再如，支撑板35除与挡流板321连接外，还可以与喷淋管31固定连接，这种支撑板35的连接方式的调整并未偏离本申请的原理。此外，支撑板35的具体结构除L型外，还可以为其他如C型、N型等截面形状，支撑板35上的支撑筋351也并非必须，本领域技术人员可以根据需求确定是否保留。

再如，安装板37的具体形式并非唯一，本领域技术人员可以对其调整，只要能够实现将喷淋装置3安装在摆动下板22上的目的即可。再者，安装板37上第三连接结构371的具体形式并非唯一，本领域技术人员可以根据需求进行调整。如第三连接结构371为过孔，过孔设置有多个，多个过孔沿摆动装置2的宽度方向并排设置。进一步地，过孔还可以设置有多组，每组包括多个过孔，每组中的多个过孔沿摆动装置2的宽度方向并排设置，多个过孔组沿摆动装置2的长度方向并排设置。

再如，进液管38除与喷淋管31平行设置外，还可以呈一定角度设置，进液管38还可以多个部位同时与喷淋管31连通。

再如，上述各部件中，可以省略导流板32、调流板33、固定板34、支撑板35、孔板36、安装板37、进液管38和支撑管39中的至少一个部件，从而形成新的喷淋装置3。

当然，以上所有可以替换的实施方式之间、以及可以替换的实施方式和优选的实施方式之间还可以交叉配合使用，从而组合出新的实施方式以适用于更加具体的应用场景。

下面对本申请的摆动喷淋机构的优选实施方式的工作原理进行简要介绍。有一种可能的工作过程中，首先滑板箱向下进给，带动摆动装置2和待切割件5同步下降。下降过程中，摆动下板22在驱动机构的带动下相对于摆动上板21摆动，从而增大切割力。然后，在切割过程中，切割液源通过第一进口4111进入第一固定块41，并在第一固定块41内分流为两路，两路切割液分别通过一个第一出口4112流出，并由第二进口4211分别流入对应的第二固定块42。紧接着，每个第二固定块42中的切割液由第二出口4221流出，并由进液管38的一端进入。接下来，切割液由进液管38的另一端经进液口311进入喷淋管31，并在经过孔板36的稳流后，由喷淋孔312流出至导流板32。最后，切割液在导流板32的导流作用和调流板33的限流下，平缓的喷向待切割件5的上部。

本申请还提供了一种切割液系统，切割液系统包括上述实施方式中的摆动喷淋机构。

通过在切割液系统中采用上述摆动喷淋机构，可以使得切割液系统中的切割液对待切割件5进行整体冷却喷淋，减小切片的热变形，提高待切割件5的切割质量。

本申请还提供了一种线切割机，线切割机包括上述实施方式中的摆动喷淋机构，或者上述实施方式中的切割液系统。

通过在线切割机中采用上述的摆动喷淋机构或切割液系统，可以实现对待切割件5的整体喷淋，降低待切割件5切割过程中的内外温差，减小切片的热变形，提高待切割件5的切割质量。

本领域的技术人员能够理解，尽管在此所述的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本申请的范围之内并且形成不同的实施例。例如，在本申请的权利要求书中，所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。

至此，已经结合附图所示的优选实施方式描述了本申请的技术方案，但是，本领域技术人员容易理解的是，本申请的保护范围显然不局限于这些具体实施方式。在不偏离本申请的原理的前提下，本领域技术人员可以对相关技术特征作出等同的更改或替换，这些更改或替换之后的技术方案都将落入本申请的保护范围之内。

Claims (33)

1.一种摆动喷淋机构，其特征在于，包括：

滑板箱；

摆动装置，所述摆动装置可摆动地设置于所述滑板箱，所述摆动装置的底部能够安装待切割件；

喷淋装置，所述喷淋装置安装于所述摆动装置，并且所述喷淋装置用于向所述待切割件喷淋切割液。

2.根据权利要求1所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述摆动装置包括摆动上板和摆动下板，所述摆动下板可摆动地连接于所述摆动上板，所述喷淋装置连接在所述摆动下板上。

3.根据权利要求2所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述喷淋装置固定连接于所述摆动下板的底面或外周面。

4.根据权利要求1所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述摆动喷淋机构还包括输送部，所述输送部设置于所述滑板箱上，所述喷淋装置通过所述输送部与切割液源接通。

5.根据权利要求4所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述输送部包括第一固定块，所述第一固定块固定连接于所述滑板箱上，且所述第一固定块上设置有彼此连通的第一进口和第一出口，所述第一进口与所述切割液源连通，所述第一出口与所述喷淋装置连通。

6.根据权利要求5所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述输送部还包括第二固定块，所述第二固定块连接于所述滑板箱上，且所述第二固定块上设置有彼此连通的第二进口和第二出口，所述二进口与所述第一出口连通，所述第二出口与所述喷淋装置连通。

7.根据权利要求5所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述喷淋装置至少设置为两个。

8.根据权利要求7所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述喷淋装置沿所述待切割件的长度方向安装在所述摆动装置的底部，并且/或者

所述喷淋装置分别位于所述待切割件的两侧。

9.根据权利要求7所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述第一固定块包括一个所述第一进口和两个所述第一出口，所述第二固定块设置有两个，所述第一进口与所述切割液源连通，每个所述第一出口与一个所述第二进口连通，每个所述第二出口与一个所述喷淋装置连通。

10.根据权利要求9所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述第一固定块上开设有通孔，所述通孔的两端封堵，所述第一进口和所述第一出口同时与所述通孔连通。

11.根据权利要求10所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述第一固定块包括彼此连接的第一结构段和第二结构段，所述第二结构段的端面固定连接于所述滑板箱的顶部，所述第一结构段向远离所述滑板箱的方向延伸，所述通孔开设于所述第一结构段，所述第一进口开设于所述第一结构段的端面，所述第一出口开设于所述第一结构段的下侧面。

12.根据权利要求5所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述第二固定块上开设有盲孔，所述盲孔的一端封堵，所述第二进口和所述第二出口同时与所述盲孔连通。

13.根据权利要求12所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述第二固定块包括彼此连接的第三结构段和第四结构段，所述第三结构段的下侧面固定连接于所述滑板箱的底框上边缘，所述第四结构段沿所述滑板箱的地矿外边缘向下延伸，所述盲孔开设于所述第四结构段的外侧面上部，所述第二进口开设于所述第三结构段的上侧面，所述第二出口开设于所述第四结构段的端面。

14.根据权利要求7所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述第一固定块和所述第二固定块分别设置有两个，两个所述第一进口同时与所述切割液源连通，每个所述第一出口与一个所述第二进口连通，每个所述第二出口与一个所述喷淋装置连通；或者

所述第一固定块包括一个所述第一进口和一个所述第一出口，所述第二固定块包括一个所述第二进口和两个所述第二出口，所述第一进口与所述切割液源连通，所述第一出口与所述第二进口连通，每个所述第二出口与一个所述喷淋装置连通；或者

所述第一固定块设置有两个，所述第二固定块包括两个所述第二进口和两个所述第二出口，两个所述第一进口同时与所述切割液源连通，每个所述第一出口与一个所述第二进口连通，每个所述第二出口与一个所述喷淋装置连通。

15.根据权利要求1-14任一项所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述喷淋装置包括喷淋管和导流板，所述喷淋管两端密封，所述喷淋管上设置有进液口和喷淋孔，所述导流板设置在所述喷淋管的下方，且向远离所述喷淋管的一侧延伸，从而引导所述喷淋孔喷出的切割液流出。

16.根据权利要求15所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述喷淋装置还包括调流板，所述调流板设置在所述导流板的上方，用于调整所述调流板与所述导流板之间的流通口的大小。

17.根据权利要求16所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述调流板上设置有第一连接结构，所述第一连接结构通过紧固件连接于第一待安装位置上设置的第二连接结构上，使得所述调流板能够沿直线方向调节。

18.根据权利要求17所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述喷淋装置还包括固定板，所述固定板设置于所述导流板的上方，所述第二连接结构设置于所述固定板。

19.根据权利要求18所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述喷淋装置还包括支撑板，所述支撑板与所述固定板相接，以支撑所述固定板。

20.根据权利要求19所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述支撑板的截面为L型，所述支撑板的竖直板段与所述固定板抵接，所述支撑板的水平板段与所述喷淋管或所述导流板连接。

21.根据权利要求20所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述支撑板的水平段与竖直段之间还设置有若干个支撑筋。

22.根据权利要求18所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述第一连接结构为腰孔，所述第二连接结构为圆孔；或者

所述第一连接结构为圆孔，所述第二连接结构为腰孔；或者

所述第一连接结构为圆孔，所述第二连接结构为定位孔，且所述定位孔设置有多个；或者

所述第一连接结构为定位孔，且所述定位孔设置有多个，所述第二连接结构为圆孔。

23.根据权利要求15所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述喷淋管内部设置有沿所述喷淋管轴向延伸的孔板。

24.根据权利要求23所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述孔板上的孔的轴线与所述喷淋孔的轴线之间具有夹角。

25.根据权利要求15所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述喷淋管上设置有安装板，所述安装板上设置有第三连接结构，所述第三连接结构通过紧固件安装于所述摆动装置。

26.根据权利要求25所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述第三连接结构为长条孔，所述长条孔沿所述摆动装置的宽度方向延伸设置；或者

所述第三连接结构为过孔，所述过孔设置有多个，多个所述过孔沿所述摆动装置的宽度方向并排设置。

27.根据权利要求26所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述长条孔设置有多个，多个所述长条孔沿所述摆动装置的长度方向并排设置；或者

所述过孔设置有多组，每组包括多个所述过孔，每组中的多个所述过孔沿所述摆动装置的宽度方向并排设置，多个过孔组沿所述摆动装置的长度方向并排设置。

28.根据权利要求15所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述喷淋装置还包括进液管，所述进液管的一端设置有接头，另一端与所述进液口连通。

29.根据权利要求28所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述进液管与所述喷淋管平行设置。

30.根据权利要求29所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述进液管与所述喷淋管之间还设置有支撑管，所述支撑管的两端分别与所述进液管和所述喷淋管连接。

31.根据权利要求1-14任一项所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述喷淋装置为溢流喷淋装置或花洒喷淋装置。

32.一种切割液系统，其特征在于，所述切割液系统包括权利要求1-31任一项所述的摆动喷淋机构。

33.一种线切割机，其特征在于，所述线切割机包括权利要求1-31中任一项所述的摆动喷淋机构，或者权利要求32所述的切割液系统。

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