CN218902847U - 一种线切机线下喷淋清洗装置 - Google Patents
一种线切机线下喷淋清洗装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN218902847U CN218902847U CN202223042595.6U CN202223042595U CN218902847U CN 218902847 U CN218902847 U CN 218902847U CN 202223042595 U CN202223042595 U CN 202223042595U CN 218902847 U CN218902847 U CN 218902847U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- spray
- cleaning
- tank body
- cutting machine
- wire cutting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 53
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 238000005507 spraying Methods 0.000 title claims abstract description 22
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims abstract description 121
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 31
- 235000001674 Agaricus brunnescens Nutrition 0.000 claims abstract description 15
- 210000005056 cell body Anatomy 0.000 claims description 9
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 7
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 235000013312 flour Nutrition 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000011550 stock solution Substances 0.000 description 1
- 239000008400 supply water Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0076—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for removing dust, e.g. by spraying liquids; for lubricating, cooling or cleaning tool or work
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/10—Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
本实用新型提供一种线切机线下喷淋清洗装置，包括：与槽体连接设置的喷淋组件，所述槽体整体置于喷管装置的卡槽中；所述喷淋组件包括设置于所述槽体内部的第一喷头以及设置于所述槽体外部的第二喷头，所述第一喷头被设置于对进给机台、夹紧蘑菇头进行清洁，所述第二喷头被设置于对所述槽体外部的槽轮进行清洁。本实用新型的有益效果是从人工清洁转变为喷淋装置清洁，极大地提升了清洁效率，同时避免了人为因素对机台清洁程度的影响，改善后通过喷管的设置使得管内水压增大，喷淋流量增大，能有效将各种杂质冲出，保持机台的洁净程度，保证切割质量的稳定，且改善后无需专业清洗人员配合清洗，大大缩短了清洁时间，极大的提升了清洁效率。
Description
技术领域
本实用新型属于太阳能硅片制造技术领域，尤其是涉及一种线切机线下喷淋清洗装置。
背景技术
在现有的硅片切割过程会产生大量的切割微粉，这些微粉产生后会被切割液裹挟，通过冷却液(冷却液原液按照一定比例加水溶解形成切割液)的分散作用均匀悬浮在切割液中。切割过程电机带动主辊及金刚石线高速转动，与冷却液水流形成冲击，导致部分冷却液飞溅至进给台、夹紧蘑菇头等，飞溅的冷却液蒸发后会将裹挟的硅微粉残留在进给台、夹紧蘑菇头上。为清理硅微粉残留，实际生产过程中每隔固定时间会对整个加工仓进行统一清理，对重点部位如进给台、夹紧蘑菇头等进行清理，且目前主要依靠人工通过RO水枪或进行冲洗，耗费人力成本和时间成本，花费时间较长，影响产能。
实用新型内容
本实用新型要解决的问题是提供一种线切机线下喷淋清洗装置，尤其适合在硅片切割设备中对进给台、夹紧蘑菇头等整个加工仓的清洁处理。
为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种线切机线下喷淋清洗装置，包括：与槽体连接设置的喷淋组件，所述槽体整体置于喷管装置的卡槽中；
所述喷淋组件包括设置于所述槽体内部的第一喷头以及设置于所述槽体外部的第二喷头，所述第一喷头被设置于对进给机台、夹紧蘑菇头进行清洁，所述第二喷头被设置于对所述槽体外部的槽轮进行清洁。
进一步的，所述槽体的上方设置有开口，所述槽体内部的两侧壁上均设置有所述喷淋组件。
进一步的，设置于所述槽体内部的喷淋组件包括：第一喷管和第一喷头，所述第一喷管对称设置于所述槽体的内侧壁上，所述第一喷管上均匀间隔设置有所述第一喷头。
进一步的，所述第一喷头与所述槽体的内侧壁成一定夹角设置，用于对进给机台以及夹紧蘑菇头进行清洁。
进一步的，所述槽体每侧的侧壁上至少设置有两组所述第一喷管，所述第一喷管之间通过管路连接；
所述第一喷管通过卡紧件连接于所述槽体的内侧壁。
进一步的，设置于所述槽体内部的所述第一喷管通过共同或不同的接头连接外置水管。
进一步的，设置于所述槽体内部的喷淋组件包括：第二喷管和第二喷头，所述第二喷管对称设置于所述槽体的外侧壁，所述第二喷管上均匀间隔设置有所述第二喷头。
进一步的，所述第二喷头与所述槽体的外侧壁成一定夹角设置，用于对所述槽体外部的槽轮进行清洁。
进一步的，所述第二喷管通过卡紧件连接于所述槽体的外侧壁；
设置于所述槽体外部的所述第二喷管通过共同或不同的接头连接外置水管。
进一步的，所述槽体的底部设置有排水口。
由于采用上述技术方案，具有以下有益效果：
通过对机器定时清洁过程方式进行改变，从人工清洁转变为喷淋装置清洁，极大地提升了清洁效率，同时避免了人为因素对机台清洁程度的影响，改善后通过喷管的设置使得管内水压增大，喷淋流量增大，能有效将各种杂质冲出，保持机台的洁净程度，保证切割质量的稳定，且改善后无需专业清洗人员配合清洗，单人即可完成操作，大大缩短了清洁时间，极大的提升了清洁效率。
附图说明
图1是本实用新型一种实施例的整体结构示意图。
图中：
1、槽体 2、第一喷管 3、第一喷头
4、排水口 5、第二喷管 6、第二喷头
7、卡紧件 8、接头 71、承座
72、环抱件
具体实施方式
下面结合实施例和附图对本实用新型作进一步说明：
本装置主要针对硅片切割装置在硅片切割过程中，冷却液与切割过程中电机带动主辊与金刚石线高速转动时形成冲击，会导致部分冷却液飞溅至进给台、夹紧蘑菇头等，飞溅的冷却液蒸发后将裹挟的硅微粉残留在进给台、夹紧蘑菇头等结构上，需要进行精准的清洁。
在本实用新型的一种实施例中，如图1所示，一种线切机线下喷淋清洗装置，包括：槽体1以及在槽体1上连接设置的喷淋组件，其中喷淋组件包括设置在槽体1内部的第一喷头3以及设置在槽体1外部的第二喷头6；在清理过程中，整个槽体置于清洗时喷管装置的卡槽中，通过控制喷淋组件中通入的水的流量，再经由第一喷头3和第二喷头6进行喷淋清洁，其中第一喷头3对进给机台、夹紧蘑菇头等重点部位进行清洁，第二喷头6对槽体外部的槽轮进行喷淋处理；相较于现有技术而言，拆下原有喷管装置后，将本清洗装置的卡槽直接安装于喷管装置的卡槽中，安装更加方便快捷，同时冲洗结构后可以便捷拆下再次更换回喷管，便于通过本装置进行后续其他的操作；本实施例中，可向喷淋组件中通入RO水。
如图1所示中，本实施例中，采用的槽体1为上方开设有开口的矩形槽体结构，为便于向槽体1内部的喷淋组件进行供水，可以在进水侧的槽体1的侧壁上同样设置开口，或在槽体1的侧壁上开设有便于管道通过的进水口；在槽体1的内部的两侧壁上均设置有喷淋组件，同时在槽体1的底部开设有排水口4，对喷淋后的水进行排放处理。
在本实施例中，设置于槽体1内部的喷淋组件包括：第一喷管2和第一喷头3，第一喷管2沿槽体1的内侧壁对称设置，在槽体1每侧的内侧壁上至少设置有两组第一喷管2，且在槽体1每侧的内侧壁上均布置有相同的第一喷管2，第一喷管2上均匀间隔设置有第一喷头3。
如图1所示的本实施例中，第一喷头3与槽体1的内侧壁成一定夹角设置，其中第一喷头3的设置角度依据所需清洁的进给台以及夹紧蘑菇头的位置进行调整，使得经第一喷头3喷出的水可以对准进给台以及夹紧蘑菇头等进行冲刷清洁。在槽体1每侧的内侧壁上设置有并排设置的两组第一喷管2，使得喷淋范围更广，两组第一喷管2上第一喷头3之间的间距可以相同也可以不相同；两组第一喷管2之间通过管路连接，具体的，在本实施例中，位于高度下方的第一喷管2通过接头8连接外置水管进行供水，位于高度上方的第一喷管2经由管路由位于高度下方的第一喷管2进行供水；可以想到的，可以调整接入接头8的第一喷管的顺序。
在本实施例中，第一喷管2通过卡紧件7连接在槽体1的内侧壁上，其中卡紧件7可以采用如图1所示的结构，具体包括承座71以及环抱件72，承座71设置在槽体1上，并通过环抱件72将第一喷管2与卡紧件7固定，其中环抱件72仅起到固定作用，相对应的，在环抱件72与承座71的配合处均开设有可供第一喷管2穿过的凹孔。设置于槽体1内部两侧的第一喷管2可以从槽体1的相邻侧壁的共同或不同的接头连接外置水管，在本实施例中，槽体1内部两侧壁的第一喷管2汇集到共同的接头8后连接外置水管，更加便于控制喷管中水流的流量，通过设置喷管以及喷头结构，使得对喷管中水实现可调控，增大了水压，便于有效将各种杂质冲出，从而保持机台的洁净程度，保证切割质量的稳定。
设置于槽体1外部的喷淋组件包括：第二喷管5和第二喷头6，第二喷管5沿槽体1的外侧壁对称设置，即在槽体1每侧的外侧壁上均设置有一组第二喷管5，在第二喷管5上间隔设置有第二喷头6。
在本实施例中，设置在槽体1外侧壁的第二喷管5靠近槽体1的底部设置，第二喷头6与槽体1的外侧壁成一定夹角设置，便于对槽体外部的槽轮进行清洁。
如图1所示的本实施例中，第二喷头6的设置角度依据所需清洁的槽轮的位置进行调整，使得经第二喷头6喷出的水可以对准外围槽轮进行冲刷清洁。在本实施例中，第二喷管5同样通过通过卡紧件7连接在槽体1的外侧壁上，设置于槽体1外部两侧的第二喷管5可以汇集到共同或不同的接头8连接外置水管，在本实施例中，槽体1外部两侧壁的第二喷管5汇集到共同的接头8后连接外置水管，连接第二喷管5的接头8与连接第一喷管2的接头8同侧设置，更加便于控制喷管中水流的流量，便于有效将各种杂质冲出，同时使结构更加紧凑。
本实用新型的一种实施例的工作过程：
拆下设备原有喷管装置，将本清洗装置的槽体1整体置于喷管装置的卡槽中，同时通过在接头8处联通外置水管，可以想到的，该外置水管上可以设置有流量及压力调节阀；安装时调整第一喷头3和第二喷头6的设置角度，开始进行清理操作，向槽体1的喷淋组件中通入水，将流量调节到最大，对进给台、夹紧蘑菇头以及外围槽轮等重点部位进行清洁，清洗完成后拆下整个槽体更换成原有的喷管进行切割作业。
以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
Claims (10)
1.一种线切机线下喷淋清洗装置，其特征在于，包括：与槽体连接设置的喷淋组件，所述槽体整体置于喷管装置的卡槽中；
所述喷淋组件包括设置于所述槽体内部的第一喷头以及设置于所述槽体外部的第二喷头，所述第一喷头被设置于对进给机台、夹紧蘑菇头进行清洁，所述第二喷头被设置于对所述槽体外部的槽轮进行清洁。
2.根据权利要求1所述的一种线切机线下喷淋清洗装置，其特征在于：所述槽体的上方设置有开口，所述槽体内部的两侧壁上均设置有所述喷淋组件。
3.根据权利要求1所述的一种线切机线下喷淋清洗装置，其特征在于：设置于所述槽体内部的喷淋组件包括：第一喷管和第一喷头，所述第一喷管对称设置于所述槽体的内侧壁上，所述第一喷管上均匀间隔设置有所述第一喷头。
4.根据权利要求3所述的一种线切机线下喷淋清洗装置，其特征在于：所述第一喷头与所述槽体的内侧壁成一定夹角设置，用于对进给机台以及夹紧蘑菇头进行清洁。
5.根据权利要求3所述的一种线切机线下喷淋清洗装置，其特征在于：所述槽体每侧的侧壁上至少设置有两组所述第一喷管，所述第一喷管之间通过管路连接；
所述第一喷管通过卡紧件连接于所述槽体的内侧壁。
6.根据权利要求3所述的一种线切机线下喷淋清洗装置，其特征在于：设置于所述槽体内部的所述第一喷管通过共同或不同的接头连接外置水管。
7.根据权利要求1所述的一种线切机线下喷淋清洗装置，其特征在于：设置于所述槽体内部的喷淋组件包括：第二喷管和第二喷头，所述第二喷管对称设置于所述槽体的外侧壁，所述第二喷管上均匀间隔设置有所述第二喷头。
8.根据权利要求7所述的一种线切机线下喷淋清洗装置，其特征在于：所述第二喷头与所述槽体的外侧壁成一定夹角设置，用于对所述槽体外部的槽轮进行清洁。
9.根据权利要求7或8所述的一种线切机线下喷淋清洗装置，其特征在于：所述第二喷管通过卡紧件连接于所述槽体的外侧壁；
设置于所述槽体外部的所述第二喷管通过共同或不同的接头连接外置水管。
10.根据权利要求1、2、3、7任意一项所述的一种线切机线下喷淋清洗装置，其特征在于：所述槽体的底部设置有排水口。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202223042595.6U CN218902847U (zh) | 2022-11-16 | 2022-11-16 | 一种线切机线下喷淋清洗装置 |
| PCT/CN2023/110430 WO2024103845A1 (en) | 2022-11-16 | 2023-07-31 | Under-wire spray cleaning device for wire cutting machine |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202223042595.6U CN218902847U (zh) | 2022-11-16 | 2022-11-16 | 一种线切机线下喷淋清洗装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN218902847U true CN218902847U (zh) | 2023-04-25 |
Family
ID=86015335
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202223042595.6U Active CN218902847U (zh) | 2022-11-16 | 2022-11-16 | 一种线切机线下喷淋清洗装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN218902847U (zh) |
| WO (1) | WO2024103845A1 (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2024103845A1 (en) * | 2022-11-16 | 2024-05-23 | Tcl Zhonghuan Renewable Energy Technology Co., Ltd. | Under-wire spray cleaning device for wire cutting machine |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3968636B2 (ja) * | 2002-01-07 | 2007-08-29 | 株式会社東京精密 | ダイシングマシンの洗浄装置 |
| US20130206163A1 (en) * | 2011-08-18 | 2013-08-15 | Memc Electronic Materials, Spa | Methods and Systems For Removing Contaminants From A Wire Of A Saw |
| CN206484750U (zh) * | 2016-11-23 | 2017-09-12 | 阜宁协鑫光伏科技有限公司 | 一种金刚线切片机切割室、滑轮在线清洗装置 |
| CN210679212U (zh) * | 2019-06-28 | 2020-06-05 | 扬州续笙新能源科技有限公司 | 一种金钢线切片机滑轮清洁装置 |
| CN211464060U (zh) * | 2019-11-29 | 2020-09-11 | 无锡星亿智能环保装备股份有限公司 | 一种空槽多层喷淋装置 |
| CN214163579U (zh) * | 2020-10-12 | 2021-09-10 | 无锡中环应用材料有限公司 | 一种多线切机切割室清理系统 |
| CN112718690A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-04-30 | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 | 一种自动化晶圆夹手喷淋分离的清洗槽设备 |
| CN218902847U (zh) * | 2022-11-16 | 2023-04-25 | 天津市环欧新能源技术有限公司 | 一种线切机线下喷淋清洗装置 |
-
2022
- 2022-11-16 CN CN202223042595.6U patent/CN218902847U/zh active Active
-
2023
- 2023-07-31 WO PCT/CN2023/110430 patent/WO2024103845A1/en active Application Filing
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2024103845A1 (en) * | 2022-11-16 | 2024-05-23 | Tcl Zhonghuan Renewable Energy Technology Co., Ltd. | Under-wire spray cleaning device for wire cutting machine |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2024103845A1 (en) | 2024-05-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN218902847U (zh) | 一种线切机线下喷淋清洗装置 | |
| CN113714940A (zh) | 人工淹没的空化射流喷丸装置、其工作方法及组合式喷嘴 | |
| CN103447322A (zh) | 冷轧带钢的高压喷淋刷洗装置 | |
| CN109365192A (zh) | 一种水泵泵壳表面防腐喷涂设备 | |
| CN117020742A (zh) | 一种用于机床加工的水冷排屑装置 | |
| CN107876350A (zh) | 一种金属表面雾化喷淋前处理设备 | |
| CN111687136A (zh) | 一种真空碳氢溶剂清洗机再生模块自动清污装置及清污方法 | |
| CN109127612A (zh) | 油气水三相分离器清洗装置 | |
| CN112361721B (zh) | 一种用于饲料蛋白肽的喷雾塔 | |
| CN215236175U (zh) | 一种可调式飞机发动机清洗设备 | |
| CN209156659U (zh) | 油气水三相分离器清洗装置 | |
| CN213945814U (zh) | 一种数控机床加工用的喷水装置 | |
| CN212553403U (zh) | 一种复杂型面器件超精密射流抛光装置 | |
| CN210367829U (zh) | 一种推力滚子轴承滚子生产用冷却装置 | |
| CN210677724U (zh) | 一种斜床身车铣复合车床 | |
| CN221434115U (zh) | 一种晶圆清洗机清洗臂结构 | |
| CN210394603U (zh) | 一种能自动喷硅油的刮刀头 | |
| CN112642290A (zh) | 一种非浸没式膜分离装置 | |
| CN219951254U (zh) | 一种半导体晶圆电镀槽喷流装置 | |
| CN210596815U (zh) | 瓦楞纸生产用真空吸移辊的清洁装置 | |
| CN220478547U (zh) | 一种微滤膜基带渭洗用喷淋装置 | |
| CN218743688U (zh) | 一种波纹管在线清洗设备 | |
| CN218692370U (zh) | 供漆模组清洗机 | |
| CN214735341U (zh) | 一种用于制瓶机滴料剪刀的喷淋装置 | |
| CN108906352A (zh) | 一种可调流量喷嘴 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |