CN219768741U - 一种带收集功能的硅片分切机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于硅片分切领域,尤其是一种带收集功能的硅片分切机,针对现有的问题,现提出如下方案,其包括壳体、升降板、两个电缸、圆形板、调节组件一、调节组件二、两个分切头、四个压紧组件、两个空心箱、矩形框、输送组件和吸尘器,所述升降板滑动安装在壳体内,两个电缸均固定安装在壳体的顶部内壁与升降板上,所述升降板上开设有圆形口,所述圆形板转动安装在圆形口内,所述调节组件一设置在升降板的底侧。本实用新型结构设计合理,操作简单,不仅能够保证硅片分切的精度,同时能够适用于不同尺寸硅片的分切操作,且能够对分切过程中产生的废屑进行有效收集,还便于操作人员对分切后的硅片进行收集操作。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片分切技术领域,尤其涉及一种带收集功能的硅片分切机。
背景技术
在硅片加工完成后需要对其进行分切操作,一般情况下要使用分切机进行,在硅片进行分切过程中产生的废屑会积聚在操作台上,部分废屑还会散落在操作台周边,不仅容易影响正常的分切操作,而且还需要操作人员手动对其进行清理,增加了操作人员的工作量,操作也费时费力,同时现有的分切机在对硅片进行分切时,硅片的稳定性也存在一定的不足,容易影响分切的精度,因此,本实用新型提出了一种带收集功能的硅片分切机。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种带收集功能的硅片分切机。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
一种带收集功能的硅片分切机,包括壳体、升降板、两个电缸、圆形板、调节组件一、调节组件二、两个分切头、四个压紧组件、两个空心箱、矩形框、输送组件和吸尘器;
所述升降板滑动安装在壳体内,两个电缸均固定安装在壳体的顶部内壁与升降板上,所述升降板上开设有圆形口,所述圆形板转动安装在圆形口内,所述调节组件一设置在升降板的底侧,且调节组件一与圆形板相连接,所述圆形板上开设有条形口,所述调节组件二设置在条形口内,两个分切头和四个压紧组件均设置在调节组件二上;
两个空心箱均固定安装在壳体的底部内壁上,两个空心箱相互靠近的一侧均固定安装有集尘罩,所述矩形框固定安装在两个空心箱相互靠近的一侧,所述输送组件设置在矩形框内,所述吸尘器固定安装在壳体的底部内壁上,所述吸尘器的进风口连接有抽风管,所述抽风管与两个空心箱相连通。
具体的,所述调节组件一包括电机一、驱动齿轮、下齿盘和多个弧形块,圆形板的外周面上固定安装有多个弧形块,多个弧形块的底侧固定安装有同一个下齿盘,圆形口的内壁上开设有环形槽,多个弧形块均滑动安装在环形槽内,升降板的底侧固定安装有电机一,电机一的输出轴上固定套设有驱动齿轮,驱动齿轮与下齿盘相啮合。
具体的,所述调节组件二包括两个条形板、双向丝杆和电机二,条形口内滑动安装有两个条形板,条形口的前后两侧内壁上转动安装有同一个双向丝杆,圆形板上固定安装有电机二,电机二的输出轴与双向丝杆轴向固定连接,两个条形板均与双向丝杆螺纹连接,两个分切头分别固定安装在对应条形板的底侧。
具体的,所述输送组件包括两个支撑轴、两个输送辊、输送带、电机三、主动齿轮和从动齿轮,矩形框的两侧内壁上转动安装有两个支撑轴,两个支撑轴上均固定套设有输送辊,两个输送辊上传动连接有同一个输送带,输送带呈网状设置,位于后侧的支撑轴上固定套设有从动齿轮,矩形框的一侧内壁上固定安装有电机三,电机三的输出轴上固定套设有主动齿轮,主动齿轮与从动齿轮相啮合。
具体的,所述矩形框的两侧内壁上固定安装有同一个网板,网板的顶侧与输送带相接触。
具体的,所述压紧组件包括固定块、套筒、滑块、支杆、压板和缓冲弹簧,条形板的两侧底部均固定安装有固定块,固定块的底侧固定安装有套筒,套筒内滑动安装有滑块,滑块的底侧固定安装有支杆,支杆的底端延伸至套筒下方并固定安装有压板,滑块的顶侧和套筒的顶部内壁上固定安装有同一个缓冲弹簧。
具体的,两个空心箱相互靠近的一侧固定安装有同一个导流板,导流板上开设有凹槽,凹槽的底部内壁呈双向倾斜设置,且抽风管与导流板相连通。
具体的,所述壳体的两侧内壁上均开设有导向槽,两个导向槽内均固定安装有多个导向杆,升降板通过导向杆滑动安装在对应的导向槽内。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果在于:
(1)本实用新型的一种带收集功能的硅片分切机,通过调节组件一和调节组件二的配合下能够根据需要将分切头调节至所需分切的位置,从而能够使该装置适用于不同尺寸硅片的分切操作,同时在压紧组件的配合下能够在分切头对硅片进行分切前实现压紧操作,从而能够保证分切的精度。
(2)本实用新型的一种带收集功能的硅片分切机,通过设置的吸尘器、抽风管和导流板的配合下便于对经过网状设置的输送带向下掉落的废屑进行收集,同时在输送组件的配合下也方便操作人员底分切后的硅片进行收集操作。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型的实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地,下面描述中的附图仅仅是示例性的,本说明书所绘示的结构、比例、大小等,均仅用以配合说明书所揭示的内容,以供熟悉此技术的人士了解与阅读,并非用以限定本实用新型可实施的限定条件,故不具技术上的实质意义,任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整。
图1为本实用新型提出的一种带收集功能的硅片分切机的立体结构示意图;
图2为本实用新型提出的一种带收集功能的硅片分切机的剖视结构示意图;
图3为本实用新型提出的一种带收集功能的硅片分切机中A部分的结构示意图;
图4为本实用新型提出的一种带收集功能的硅片分切机中B部分的结构示意图;
图5为本实用新型提出的一种带收集功能的硅片分切机的局部立体结构示意图;
图6为本实用新型提出的一种带收集功能的硅片分切机压紧组件部分的剖视结构示意图。
图中:1、壳体;2、升降板;21、电缸;3、圆形板;31、弧形块;32、下齿盘;33、电机一;34、驱动齿轮;4、条形板;41、双向丝杆;42、电机二;43、分切头;44、压紧组件;5、空心箱;51、矩形框;52、集尘罩;53、导流板;54、吸尘器;55、抽风管;6、支撑轴;61、输送辊;62、输送带;63、电机三;64、网板。
具体实施方式
以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式,熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”“轴向”、“周向”、“径向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量,由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征,在本实用新型的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
参照图1-6,一种带收集功能的硅片分切机,包括壳体1、升降板2、两个电缸21、圆形板3、两个分切头43、四个压紧组件44、两个空心箱5、矩形框51和吸尘器54,升降板2滑动安装在壳体1内,两个电缸21均固定安装在壳体1的顶部内壁与升降板2上,升降板2上开设有圆形口,圆形板3转动安装在圆形口内,圆形板3的外周面上固定安装有多个弧形块31,多个弧形块31的底侧固定安装有同一个下齿盘32,圆形口的内壁上开设有环形槽,多个弧形块31均滑动安装在环形槽内,升降板2的底侧固定安装有电机一33,电机一33的输出轴上固定套设有驱动齿轮34,驱动齿轮34与下齿盘32相啮合,能够根据需要控制圆形板3进行转动,从而能够实现对分切头43位置的调节,圆形板3上开设有条形口,条形口内滑动安装有两个条形板4,两个分切头43风切固定安装在对应条形板4的,条形口的前后两侧内壁上转动安装有同一个双向丝杆41,圆形板3上固定安装有电机二42,电机二42的输出轴与双向丝杆41轴向固定连接,两个条形板4均与双向丝杆41螺纹连接,两个分切头43分别固定安装在对应条形板4的底侧,能够根据需要对两个分切头43之间的间距进行调节,条形板4的两侧底部均固定安装有固定块,固定块的底侧固定安装有套筒,套筒内滑动安装有滑块,滑块的底侧固定安装有支杆,支杆的底端延伸至套筒下方并固定安装有压板,滑块的顶侧和套筒的顶部内壁上固定安装有同一个缓冲弹簧,能够在分切头43对硅片进行分切前实现硅片的压持固定,从而能够保证分切操作的精度,同时也能避免在进行分切时硅片出现位移的情况,两个空心箱5均固定安装在壳体1的底部内壁上,两个空心箱5相互靠近的一侧均固定安装有集尘罩52,便于对输送带62上的废屑进行收集,矩形框51固定安装在两个空心箱5相互靠近的一侧,矩形框51的两侧内壁上转动安装有两个支撑轴6,两个支撑轴6上均固定套设有输送辊61,两个输送辊61上传动连接有同一个输送带62,输送带62呈网状设置,位于后侧的支撑轴6上固定套设有从动齿轮,矩形框51的一侧内壁上固定安装有电机三63,电机三63的输出轴上固定套设有主动齿轮,主动齿轮与从动齿轮相啮合,能够对需要进行分切的硅片进行输送操作,不仅便于进行分切操作,同时还方便在分切后对硅片进行收集,吸尘器54固定安装在壳体1的底部内壁上,两个空心箱5相互靠近的一侧固定安装有同一个导流板53,导流板53上开设有凹槽,凹槽的底部内壁呈双向倾斜设置,且抽风管55与导流板53相连通,能够对分切过程中从输送带62向下掉落的废屑进行收集并配合吸尘器54对其进行收集,吸尘器54的进风口连接有抽风管55,抽风管55与两个空心箱5相连通。
本实施例中,矩形框51的两侧内壁上固定安装有同一个网板64,网板64的顶侧与输送带62相接触,能够在进行分切时使输送带62保持较好的稳定性。
本实施例中,壳体1的两侧内壁上均开设有导向槽,两个导向槽内均固定安装有多个导向杆,升降板2通过导向杆滑动安装在对应的导向槽内,能够对升降板2的升降范围进行限定,同时能够对其进行导向,从而能够使其保持稳定的升降。
本实施例中,电机一33、电机二42和电机三63均为伺服电机,由于其处于现有的公开技术,在此不对具体型号作出限定,右技术人员根据实际需求直接从市场上选购即可。
本实用新型相对现有技术获得的技术进步是:首先接通电源,将需要进行分切的硅片放置在输送带62上,然后通过电机三63控制输送带62将其输送至所需的位置,然后通过电机二42和双向丝杆41控制两个条形板4对两个分切头43之间的间距进行调节,再通过电机一33、驱动齿轮34和下齿盘32对圆形板3进行调节,从而能够将两个分切头43分别调节至所需分切的位置,通过电缸21控制升降板2向下运动,同时启动吸尘器54,在分切头43与硅片接触前,在压板、缓冲弹簧和套筒等构件的配合下能够先一步将硅片进行压紧,从而能够有效的提高分切的精度,有效的避免了在分切时硅片出现位移的情况,同时在集尘罩52和吸尘器54的配合下能够将分切时产生的废屑进行收集,部分废屑通过呈网状设置的输送带62和网板64向下掉落,并在导流板53的作用下将其汇聚至抽风管55位置,然后在吸尘器54的配合下实现废屑的收集,分切完成后通过电机一33控制输送带62对硅片进行输送,从而方便操作人员对分切后的硅片进行收集操作。
以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种带收集功能的硅片分切机,其特征在于,包括壳体(1)、升降板(2)、两个电缸(21)、圆形板(3)、调节组件一、调节组件二、两个分切头(43)、四个压紧组件(44)、两个空心箱(5)、矩形框(51)、输送组件和吸尘器(54);
所述升降板(2)滑动安装在壳体(1)内,两个电缸(21)均固定安装在壳体(1)的顶部内壁与升降板(2)上,所述升降板(2)上开设有圆形口,所述圆形板(3)转动安装在圆形口内,所述调节组件一设置在升降板(2)的底侧,且调节组件一与圆形板(3)相连接,所述圆形板(3)上开设有条形口,所述调节组件二设置在条形口内,两个分切头(43)和四个压紧组件(44)均设置在调节组件二上;
两个空心箱(5)均固定安装在壳体(1)的底部内壁上,两个空心箱(5)相互靠近的一侧均固定安装有集尘罩(52),所述矩形框(51)固定安装在两个空心箱(5)相互靠近的一侧,所述输送组件设置在矩形框(51)内,所述吸尘器(54)固定安装在壳体(1)的底部内壁上,所述吸尘器(54)的进风口连接有抽风管(55),所述抽风管(55)与两个空心箱(5)相连通。
2.根据权利要求1所述的一种带收集功能的硅片分切机,其特征在于,所述调节组件一包括电机一(33)、驱动齿轮(34)、下齿盘(32)和多个弧形块(31),圆形板(3)的外周面上固定安装有多个弧形块(31),多个弧形块(31)的底侧固定安装有同一个下齿盘(32),圆形口的内壁上开设有环形槽,多个弧形块(31)均滑动安装在环形槽内,升降板(2)的底侧固定安装有电机一(33),电机一(33)的输出轴上固定套设有驱动齿轮(34),驱动齿轮(34)与下齿盘(32)相啮合。
3.根据权利要求1所述的一种带收集功能的硅片分切机,其特征在于,所述调节组件二包括两个条形板(4)、双向丝杆(41)和电机二(42),条形口内滑动安装有两个条形板(4),条形口的前后两侧内壁上转动安装有同一个双向丝杆(41),圆形板(3)上固定安装有电机二(42),电机二(42)的输出轴与双向丝杆(41)轴向固定连接,两个条形板(4)均与双向丝杆(41)螺纹连接,两个分切头(43)分别固定安装在对应条形板(4)的底侧。
4.根据权利要求1所述的一种带收集功能的硅片分切机,其特征在于,所述输送组件包括两个支撑轴(6)、两个输送辊(61)、输送带(62)、电机三(63)、主动齿轮和从动齿轮,矩形框(51)的两侧内壁上转动安装有两个支撑轴(6),两个支撑轴(6)上均固定套设有输送辊(61),两个输送辊(61)上传动连接有同一个输送带(62),输送带(62)呈网状设置,位于后侧的支撑轴(6)上固定套设有从动齿轮,矩形框(51)的一侧内壁上固定安装有电机三(63),电机三(63)的输出轴上固定套设有主动齿轮,主动齿轮与从动齿轮相啮合。
5.根据权利要求4所述的一种带收集功能的硅片分切机,其特征在于,所述矩形框(51)的两侧内壁上固定安装有同一个网板(64),网板(64)的顶侧与输送带(62)相接触。
6.根据权利要求3所述的一种带收集功能的硅片分切机,其特征在于,所述压紧组件(44)包括固定块、套筒、滑块、支杆、压板和缓冲弹簧,条形板(4)的两侧底部均固定安装有固定块,固定块的底侧固定安装有套筒,套筒内滑动安装有滑块,滑块的底侧固定安装有支杆,支杆的底端延伸至套筒下方并固定安装有压板,滑块的顶侧和套筒的顶部内壁上固定安装有同一个缓冲弹簧。
7.根据权利要求1所述的一种带收集功能的硅片分切机,其特征在于,两个空心箱(5)相互靠近的一侧固定安装有同一个导流板(53),导流板(53)上开设有凹槽,凹槽的底部内壁呈双向倾斜设置,且抽风管(55)与导流板(53)相连通。
8.根据权利要求1所述的一种带收集功能的硅片分切机,其特征在于,所述壳体(1)的两侧内壁上均开设有导向槽,两个导向槽内均固定安装有多个导向杆,升降板(2)通过导向杆滑动安装在对应的导向槽内。
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