CN219626616U - 一种晶圆自动上片机的上料辅助装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆自动上料技术领域，尤其涉及一种晶圆自动上片机的上料辅助装置。其技术方案包括：包括上料台、转板和存料框，上料台上设置有加工台和定位孔，存料框设置于定位孔内，转板通过驱动转轴转动连接在加工台与存料框之间，转板远离驱动转轴一端安装有真空吸盘，上料台下方且与定位孔相对应位置安装有底板，底板上端四角与上料台底部之间固定有连接柱，存料框底部位于底板上方。本实用新型利用转板的转动，同时通过真空吸盘对存料框内的晶圆吸附，可以实现自动上片操作，同时将晶圆堆积放置在存料框内，利用推板的不断向上滑动，使得最上端晶圆始终与吸盘对齐，可以直接进行吸附，提高了自动上料效率。

Description

一种晶圆自动上片机的上料辅助装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆自动上料技术领域，尤其涉及一种晶圆自动上片机的上料辅助装置。

背景技术

晶圆自动上料是一种在针对晶圆的加工过程中，将晶圆逐个自动放入到加工台上的机械设备，主要起到提高加工效率以及节约人工成本的目的。

在传统的自动上片机中，会利用转动的转杆或者机械臂在存料框与加工台之间转动，从存料框内通过真空吸盘吸附晶圆后，转动至加工台上方解除吸附，使晶圆落入加工台上，实现自动上料的目的，然而晶圆为片状原材料，对于晶圆的存放多以堆叠为主，因此存料框内的晶圆在不断上料过程中，其高度也在不断的下降，因此需要将吸盘安装在一个升降设备上，利用升降设备带动真空吸盘升降，才能保证对不同高度的晶圆吸附，但是转杆或者机械臂转动到晶圆上方，再利用升降设备对真空吸盘进行升降吸附，两个操作步骤不能同时进行，会导致上料速度降低，因此需要实际一种自动上料的辅助装置，来进一步增加自动上料的工作效率。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对背景技术中存在的问题，提出一种晶圆自动上片机的上料辅助装置。

本实用新型的技术方案：一种晶圆自动上片机的上料辅助装置，包括上料台、转板和存料框，所述上料台上设置有加工台和定位孔，所述存料框设置于定位孔内，所述转板通过驱动转轴转动连接在加工台与存料框之间，所述转板远离驱动转轴一端安装有真空吸盘，所述上料台下方且与定位孔相对应位置安装有底板，所述底板上端四角与上料台底部之间固定有连接柱，所述存料框底部位于底板上方，所述存料框内滑动连接有升降板，所述存料框侧壁开设有侧边槽，所述底板上且与侧边槽相对应位置设置有推动机构。

优选的，所述推动机构包括立柱和推板，所述立柱固定在底板上端位置与侧边槽对齐，所述立柱靠近侧边槽一侧滑动连接有推板，所述推板端部位于存料框内且与升降板底部相抵。

优选的，所述立柱内滑动连接有轨道块，所述立柱内且与轨道块中心相对应位置转动连接有丝杆，所述丝杆穿过轨道块且与轨道块螺纹连接，所述轨道块外侧一端与推板固定。

优选的，底板下端且与所述丝杆相对应位置安装有步进电机，所述步进电机输出端固定在丝杆底部。

优选的，所述存料框上下两端均为开口结构，且均固定连接有一对挡板，每对所述挡板之间的距离均小于升降板直径。

优选的，所述存料框上端侧壁开设有出料槽，所述出料槽位置与真空吸盘对齐。

优选的，所述底板上端且与存料框外围对齐位置固定连接有一组定位柱，所述存料框底部开设有相适配的边槽，可以在进行存料框的放置时，保证侧边槽朝向始终与立柱对齐。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益的技术效果：利用转板的转动，同时通过真空吸盘对存料框内的晶圆吸附，可以实现自动上片操作，同时将晶圆堆积放置在存料框内，利用推板的不断向上滑动，使得最上端晶圆始终与吸盘对齐，可以直接进行吸附，提高了自动上料效率。

附图说明

图1为本实用新型俯视外观结构示意图；

图2为本实用新型底板与存放框组合结构示意图；

图3为本实用新型存料框与定位柱组合结构示意图；

图4为本实用新型底板上方俯视剖切结构示意图。

附图标记：1、上料台；11、定位孔；2、加工台；3、转板；4、驱动转轴；5、存料框；51、升降板；52、出料槽；53、挡板；54、侧边槽；6、真空吸盘；7、底板；71、连接柱；72、定位柱；73、立柱；74、推板；75、步进电机；76、丝杆；77、轨道块。

具体实施方式

下文结合附图和具体实施例对本实用新型的技术方案做进一步说明。

实施例

如图1-4所示，本实用新型提出的一种晶圆自动上片机的上料辅助装置，包括上料台1、转板3和存料框5，上料台1上设置有加工台2和定位孔11，存料框5设置于定位孔11内，转板3通过驱动转轴4转动连接在加工台2与存料框5之间，转板3远离驱动转轴4一端安装有真空吸盘6，上料台1下方且与定位孔11相对应位置安装有底板7，底板7上端四角与上料台1底部之间固定有连接柱71，存料框5底部位于底板7上方，存料框5内滑动连接有升降板51，存料框5侧壁开设有侧边槽54，底板7上且与侧边槽54相对应位置设置有推动机构，存料框5上下两端均为开口结构，且均固定连接有一对挡板53，每对挡板53之间的距离均小于升降板51直径，存料框5上端侧壁开设有出料槽52，出料槽52位置与真空吸盘6对齐，底板7上端且与存料框5外围对齐位置固定连接有一组定位柱72，存料框5底部开设有相适配的边槽。

推动机构包括立柱73和推板74，立柱73固定在底板7上端位置与侧边槽54对齐，立柱73靠近侧边槽54一侧滑动连接有推板74，推板74端部位于存料框5内且与升降板51底部相抵，立柱73内滑动连接有轨道块77，立柱73内且与轨道块77中心相对应位置转动连接有丝杆76，丝杆76穿过轨道块77且与轨道块77螺纹连接，轨道块77外侧一端与推板74固定，底板7下端且与丝杆76相对应位置安装有步进电机75，步进电机75输出端固定在丝杆76底部，利用步进电机75输出端带动丝杆76转动，从而使轨道块77位于立柱73内向上滑动，最终带动推板74位于立柱73外侧向上滑动，使推板74可以推动升降板51底部向上运动。

本实施例中，首先将整个装置连接外部电源，利用驱动转轴4的转动，使转板3进行转动，因此会带动真空吸盘6位置在存料框5与加工台2之间不断切换，其中可以将存料框5内的晶圆吸附，并且放置到加工台2上，完成自动上料，在此过程中，随着存料框5内的晶圆原料的不断减少，导致晶圆堆叠高度下降，可以利用步进电机75输出端带动丝杆76转动，从而使轨道块77位于立柱73内向上滑动，最终带动推板74位于立柱73外侧向上滑动，使推板74可以推动升降板51底部向上运动，保证最上端的晶圆始终与出料槽52对齐，方便真空吸盘6在不进行升降情况下的吸附，在转板3转动带动真空吸盘6吸附晶圆上料过程中，推动存料框5内晶圆同步向上运动，缩短了真空吸盘6对晶圆进行吸附所需要的时间，进一步提高了自动生片机的工作效率。

上述具体实施例仅仅是本实用新型的几种优选的实施例，基于本实用新型的技术方案和上述实施例的相关启示，本领域技术人员可以对上述具体实施例做出多种替代性的改进和组合。

Claims (7)

1.一种晶圆自动上片机的上料辅助装置，包括上料台(1)、转板(3)和存料框(5)，所述上料台(1)上设置有加工台(2)和定位孔(11)，所述存料框(5)设置于定位孔(11)内，所述转板(3)通过驱动转轴(4)转动连接在加工台(2)与存料框(5)之间，所述转板(3)远离驱动转轴(4)一端安装有真空吸盘(6)，其特征在于：所述上料台(1)下方且与定位孔(11)相对应位置安装有底板(7)，所述底板(7)上端四角与上料台(1)底部之间固定有连接柱(71)，所述存料框(5)底部位于底板(7)上方，所述存料框(5)内滑动连接有升降板(51)，所述存料框(5)侧壁开设有侧边槽(54)，所述底板(7)上且与侧边槽(54)相对应位置设置有推动机构。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆自动上片机的上料辅助装置，其特征在于，所述推动机构包括立柱(73)和推板(74)，所述立柱(73)固定在底板(7)上端位置与侧边槽(54)对齐，所述立柱(73)靠近侧边槽(54)一侧滑动连接有推板(74)，所述推板(74)端部位于存料框(5)内且与升降板(51)底部相抵。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆自动上片机的上料辅助装置，其特征在于，所述立柱(73)内滑动连接有轨道块(77)，所述立柱(73)内且与轨道块(77)中心相对应位置转动连接有丝杆(76)，所述丝杆(76)穿过轨道块(77)且与轨道块(77)螺纹连接，所述轨道块(77)外侧一端与推板(74)固定。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆自动上片机的上料辅助装置，其特征在于，底板(7)下端且与所述丝杆(76)相对应位置安装有步进电机(75)，所述步进电机(75)输出端固定在丝杆(76)底部。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆自动上片机的上料辅助装置，其特征在于，所述存料框(5)上下两端均为开口结构，且均固定连接有一对挡板(53)，每对所述挡板(53)之间的距离均小于升降板(51)直径。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆自动上片机的上料辅助装置，其特征在于，所述存料框(5)上端侧壁开设有出料槽(52)，所述出料槽(52)位置与真空吸盘(6)对齐。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆自动上片机的上料辅助装置，其特征在于，所述底板(7)上端且与存料框(5)外围对齐位置固定连接有一组定位柱(72)，所述存料框(5)底部开设有相适配的边槽。