CN219619578U - 一种晶圆撕膜装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆撕膜装置，包括机架，机架上方设有辅助膜以及带动辅助膜转动的送膜机构，机架下方设有可平移的拉膜机构，拉膜机构包括夹头以及控制夹头移动的拉膜气缸，辅助膜端部固定在夹头上；拉膜机构下方设有两个可水平开合的夹持辊，夹持辊下方设有可平移的晶圆安装座；机架上安装有加热焊接机构，加热焊接机构包括加热块以及带动加热块升降的第二丝杆直线模组，加热块可从两个夹持辊中间穿行，靠近晶圆安装座。本实用新型的辅助膜与减薄膜通过热熔方式固定，既不会因为减薄膜表面的脏污降低粘性，也不会损伤晶圆，辅助膜可轻松撕下减薄膜。

Description

一种晶圆撕膜装置

技术领域

本实用新型涉及半导体撕膜设备技术领域，特别涉及一种晶圆撕膜装置。

背景技术

随着半导体技术、LED、摄像头技术的进步，用户对产品性能的要求越来越高，新的封装工艺正在不断的涌现。晶圆从晶圆制造厂出来时，厚度都比较厚，由于对封装尺寸的要求，封装时都会把晶圆减薄，以适应更小的封装尺寸。晶圆减薄时为了保护晶圆的电路层，会在晶圆的电路层贴一张膜，用以保护晶圆在减薄磨片时不被划伤和沾污。在晶圆减薄后还需要把这层保护膜去除掉，且去除时还不能损伤到晶圆。

撕膜方式有很多种，传统的解决方法是把晶圆吸附在一个平台上，手动用镊子剥起一个边，然后手动拉动膜，通过外力把晶圆的减薄膜给去除掉。这种解决方法为纯手动模式，人为因素太多，太难控制，且镊子容易扎伤晶圆，手动撕膜力度不好控制，容易使晶圆碎裂。

另一种方法是把晶圆吸附在台面上，用辅助胶带粘住减薄膜，通过拉动辅助胶带使减薄膜脱离晶圆。但是，晶圆研磨减薄时会产生许多粉尘，导致减薄膜上也会有许多粉尘，用辅助膜粘减薄膜时，经常会出现辅助胶带无法粘住减薄膜，导致无法撕除的现象。

随着技术的发展，又出现了采用机械手夹取减薄膜撕膜的方法，这种方法是把晶圆吸附固定到一个台面上，机械手模仿镊子剥起减薄膜，然后机械手上的夹子夹取减薄膜，慢慢的撕去减薄膜。但是，减薄膜的厚度在150um左右，有的减薄膜只有70um左右，夹子要先插在减薄膜和晶圆之间，才能剥起减薄膜，这就决定了夹子要很薄。而夹子一旦变薄，就容易变型，在这种夹子位置要很准确的环境中，夹子稍许的变型就会产生问题，很容易碰到晶圆造成晶圆的损伤。另外，减薄膜是带有粘性的，夹子在夹取减薄膜、撕膜完成后要扔掉减薄膜时，经常会出现减薄膜粘在夹子上扔不掉的情况，影响机器的后续运行。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种晶圆撕膜装置，可快速撕掉减薄膜，且不会晶圆产生损伤。

为此，本实用新型的技术方案是：一种晶圆撕膜装置，包括机架，机架上方设有辅助膜以及带动辅助膜转动的送膜机构，送膜机构后侧设有第一丝杆直线模组，第一丝杆直线模组带动送膜机构上下移动，所述送膜机构上还设有可平移的割膜刀片；所述机架下方设有可平移的拉膜机构，拉膜机构包括夹头以及控制夹头移动的拉膜气缸，辅助膜端部固定在夹头上；所述拉膜机构下方设有两个可水平开合的夹持辊，夹持辊下方设有可平移的晶圆安装座；所述机架上安装有加热焊接机构，加热焊接机构包括加热块以及带动加热块升降的第二丝杆直线模组，加热块可从两个夹持辊中间穿行，靠近晶圆安装座。

本实用新型的辅助膜为无粘性膜，且为了节省成本，辅助膜选用比较窄的结构；辅助膜卷绕在卷筒上，送膜机构用于将辅助膜向前送出，使得辅助膜可以被拉膜机构的夹头夹持住，拉膜机构可以继续拉长辅助膜，使得加热块下移的时候，可以将辅助膜一起下压到晶圆安装座的晶圆上，再通过加热加热块，使得辅助膜和晶圆的减薄膜热熔后固定在一起；此时，割膜刀片可割断辅助膜，节省辅助膜的用量，仅在晶圆上留一小段可供拉扯的部分辅助膜，该部分辅助膜一端被夹头固定，另一端与晶圆的减薄膜固定在一起，也就是辅助膜两端分别位于夹持辊的上下两侧，当两个夹持辊闭合，即可夹持住该辅助膜；当晶圆安装座继续向前移动时，辅助膜会拉扯住减薄膜，将减薄膜从晶圆上撕下，完成撕膜工作；同时，由于辅助膜没有粘性，当两个夹持辊分开、夹头上移，辅助膜以及拉扯下来的减薄膜受重力作用自动落下，可在下方设有废料框，用于收集辅助膜以及拉扯下来的减薄膜，保证工作环境的整洁。

优选地，所述送膜机构还包括安装面板，安装面板上设有膨胀轴和带动膨胀轴转动的扭力马达，所述辅助膜缠绕在卷筒上，卷筒固定在膨胀轴上；所述安装面板上还设有多个导向轮，导向轮位于膨胀轴下方。辅助膜通过膨胀轴固定在安装面板上，扭力马达可带动膨胀轴转动，输送出辅助膜，导向轮可改变辅助膜的输送方向。

优选地，所述安装面板下方设有可平移的铺膜片以及可升降的压膜片；所述铺膜片安装在水平设置的铺膜气缸上，压膜片安装在竖直设置的压膜气缸上，压膜片下方设有压膜垫块，压膜垫块上设有一凹槽，铺膜片前端可插入压膜垫块的凹槽内；所述压膜片为L型结构，位于割膜刀片一侧。铺膜片可以将辅助膜向前送出，且铺膜片与压膜垫块上的凹槽配合，可以防止辅助膜出现褶皱；压膜片下移后，可以将辅助膜固定在压膜片与压膜垫块之前，起到固定辅助膜的作用。

优选地，所述安装面板上安装有割膜机构，割膜机构包括刀槽板、割膜气缸、刀片保护罩和保护罩气缸，割膜气缸水平设置在刀槽板上方，割膜刀片安装在割膜气缸上，所述割膜刀片底端伸入刀槽内，所述保护罩气缸竖向设置在刀槽板上方，刀片保护罩安装在保护罩气缸上。初始阶段，刀片保护罩位于上方，割膜刀片位于刀槽板的内侧，辅助膜从刀槽板上方穿行；当需要割断辅助膜时，刀片保护罩下移，压在刀槽板上，且固定住辅助膜，然后割膜刀片沿刀槽移动，将辅助膜割断，然后割膜刀片、刀片保护罩复位。

优选地，所述机架侧面设有水平设置的第三丝杆直线模组，拉膜机构由第三丝杆直线模组驱动；所述拉膜机构还包括拉膜支架和夹头安装座，拉膜支架一端安装在第三丝杆直线模组上，另一端固定安装夹头安装座；所述夹头置于夹头安装座内，受拉膜气缸驱动，夹头可在夹头安装座内上下移动，与夹头安装座底面构成夹持部。夹头可与夹头安装座底面构成夹持部，用来夹持、牵拉辅助膜，方便辅助膜移动到加热焊接机构下方，可以与晶圆的减薄膜热熔固定。

优选地，所述夹持辊包括第一夹持辊和第二夹持辊，第一夹持辊固定在机架上，第二夹持辊两端滑动安装在机架两侧的导轨上，所述第二夹持辊受夹持气缸作用，可沿导轨平移，与第一夹持辊配合工作。第二夹持辊可移动至与第一夹持辊贴合，用于夹持住辅助膜，且两个夹持辊离晶圆更近，减薄膜受力更均匀，可轻松将减薄膜撕下。

优选地，所述晶圆安装座上端面为微孔陶瓷片，晶圆安装座连接有吸气设备，微孔陶瓷片可呈负压状态；所述机架下方设有第四丝杆直线模组，驱动晶圆安装座在夹持辊下方平移。晶圆通过负压固定在微孔陶瓷片上，带有减薄膜的一侧向上，通过第四丝杆直线模组驱动，在机架下方移动，当减薄膜与辅助膜热熔固定后，晶圆继续移动，即可与减薄膜分离。

使用时，包括以下步骤：

1)辅助膜通过卷筒固定在膨胀轴上，通过扭力马达带动膨胀轴转动，辅助膜经由导向轮换向后，从压膜片下方穿行；

2)第三丝杆直线模组驱动拉膜机构向加热焊接机构一侧平移；第一丝杆直线模组驱动送膜机构下移至与拉膜机构齐平，此时辅助膜与夹头处齐平；

3)扭力马达继续输送辅助膜，铺膜片平移，可推动辅助膜进入夹头下方，拉膜气缸驱动夹头下移，夹持住辅助膜；

4)拉膜机构带动辅助膜继续平移，使得辅助膜越过第一夹持辊，且此时第一夹持辊、第二夹持辊为分开状态；

5)晶圆通过负压固定在晶圆安装座上，第四丝杆直线模组驱动晶圆安装座向加热焊接机构一侧平移，并移动至加热焊接机构下方；

6)加热焊接机构开始工作，加热块下移，并带动辅助膜穿过第一夹持辊、第二夹持辊之间，与晶圆上的减薄膜相贴合，加热块加热，辅助膜与减薄膜的接触点通过热熔固定；

7)加热焊接机构上移复位，割膜刀片沿刀槽移动，割断辅助膜；

8)第一夹持辊、第二夹持辊合拢，并夹持住晶圆上残留的辅助膜；

9)第四丝杆直线模组驱动晶圆安装座继续平移，晶圆随晶圆安装座移动，而减薄膜通过辅助膜被两个夹持辊固定，与晶圆分离开；

10)两个夹持辊分开，拉膜气缸驱动夹头上移，则减薄膜与辅助膜自由下落至废料框内。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、辅助膜无粘性，与减薄膜通过热熔方式固定，既不会因为减薄膜表面的脏污降低粘性，也不会损伤晶圆，辅助膜可轻松撕下减薄膜；且撕膜后可以直接松开夹持辊和夹头，减薄膜和辅助膜自动脱落，不会出现粘住扔不掉的情况，保证机器顺利进行。

2、辅助膜为窄条状，每次在晶圆上留一段易拉动、可受力辅助膜，用料少，降低撕膜的成本；

3、利用膨胀轴固定辅助膜，换膜更加方便；利用各个导向轮来改变辅助膜的输送方向，保证辅助膜被拉膜机构顺利拉动。

附图说明

以下结合附图和本实用新型的实施方式来作进一步详细说明

图1、图2为本实用新型的结构示意图；

图3为本实用新型送膜机构的结构示意图；

图4为本实用新型割膜机构的结构示意图；

图5为本实用新型加热焊接机构的结构示意图；

图6为本实用新型拉膜机构的结构示意图；

图7为本实用新型拉膜机构的局部结构示意图；

图8为本实用新型晶圆安装座的结构示意图。

图中标记为：机架1、辅助膜2；

送膜机构3、安装面板31、膨胀轴32、扭力马达33、第一导向轮34、第二导向轮35、铺膜气缸36、铺膜片37、压膜气缸38、压膜片39、压膜垫块310、第一马达311、第一导轨312、第一滑块313；

割膜机构4、割膜刀片41、刀槽板42、割膜气缸43、刀片保护罩44、保护罩气缸45、刀槽46；

拉膜机构5、夹头51、拉膜气缸52、拉膜支架53、夹头安装座54、第三马达55、第三丝杆56、第三导轨57、第三滑块58；

加热焊接机构6、加热块61、加热块安装架62、焊接气缸63、第二马达64、第二导轨65、第二滑块66；

晶圆安装座7、微孔陶瓷片71；

第一夹持辊81、第二夹持辊82、第五滑块83、第五导轨84、夹持气缸85。

具体实施方式

在本实用新型的描述中，需要说明的是，对于方位词，如有术语“中心”，“横向(X)”、“纵向(Y)”、“竖向(Z)”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示方位和位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于叙述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定方位构造和操作，不能理解为限制本实用新型的具体保护范围。

此外，如有术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或隐含指明技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”特征可以明示或者隐含包括一个或者多个该特征，在本实用新型描述中，“数个”、“若干”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

参见附图。本实施例所述的晶圆撕膜装置，包括机架1，机架上安装有辅助膜2、送膜机构3、割膜机构4、拉膜机构5、加热焊接机构6和晶圆安装座7。

所述辅助膜2为无粘性的窄条膜，辅助膜缠绕在卷筒上；所述送膜机构3包括安装面板31，安装面板31上设有膨胀轴32和带动膨胀轴转动的扭力马达33，扭力马达33固定在安装面板31后方，且马达轴穿过安装面板与膨胀轴32相连接；所述辅助膜2的卷筒固定在膨胀轴32上，被扭力马达33带动旋转，释放辅助膜；所述安装面板31上还设有第一导向轮34和第二导向轮35，第一导向轮和第二导向轮均位于辅助膜下方。辅助膜通过膨胀轴固定在安装面板上，扭力马达可带动膨胀轴转动，输送出辅助膜，第一导向轮34和第二导向轮35可改变辅助膜的输送方向。膨胀轴32、扭力马达33、第一导向轮34、第二导向轮35均沿Y轴方向设置，辅助轮的输送方向为X轴方向。

所述安装面板31下方安装有铺膜气缸36，铺膜气缸36上安装有铺膜片37，铺膜片37沿X轴方向移动，铺膜片为扁平状结构；所述安装面板31上安装有沿Z轴方向设置的压膜气缸38，压膜气缸下方安装有压膜片39，压膜片39下方设有压膜垫块310，压膜垫块310固定在安装面板31上；所述压膜垫块310上设有一凹槽，铺膜片37前端可插入压膜垫块的凹槽内，用于平铺辅助膜；所述压膜片39为L型结构，下移后，可以将辅助膜2固定在压膜片39与压膜垫块310之间，起到固定辅助膜的作用。

所述送膜机构3后侧设有沿Z轴方向设置的第一丝杆直线模组，第一丝杆直线模组带动送膜机构3上下移动，第一丝杆直线模组包括第一马达311、第一丝杆和第一导轨312，安装面板31后侧安装有与第一丝杆配合的第一滑块313，第一滑块可沿第一导轨上下移动。

所述割膜机构4固定在安装面板31上，割膜机构4包括割膜刀片41、刀槽板42、割膜气缸43、刀片保护罩44和保护罩气缸45，割膜气缸43、刀槽板42和保护罩气缸45固定在安装面板31上，所述割膜气缸43沿Y轴方向设置，割膜刀片41安装在割膜气缸43上，可沿Y轴方向移动；所述刀槽板42上设有Y轴方向的刀槽46，割膜刀片41的尖锐端部插入刀槽46内；所述保护罩气缸45沿Z轴方向设置，刀片保护罩44安装在保护罩气缸45上，可上下移动。初始阶段，刀片保护罩44位于上方，割膜刀片41位于刀槽板42的内侧，辅助膜2从刀槽板42上方穿行；当需要割断辅助膜时，刀片保护罩44下移，压在刀槽板42上，且固定住辅助膜，然后割膜刀片41沿刀槽46移动，将辅助膜割断，然后割膜刀片、刀片保护罩复位。

所述加热焊接机构6安装在机架1上，位于安装面板31侧面，加热焊接机构6包括加热块61、加热块安装架62以及带动加热块安装架升降的第二丝杆直线模组，所述加热块61设置在加热块安装架62内，加热块安装架62内还设有焊接气缸63，加热块61安装在焊接气缸63上；加热块下移的时候，可以将辅助膜一起下压到晶圆安装座的晶圆上，再通过加热加热块61，使得辅助膜和晶圆的减薄膜热熔后固定在一起，方便辅助膜撕下减薄膜。第二丝杆直线模组包括第二马达64、第二丝杆和第二导轨65，加热块安装架62后侧设有与第二丝杆配合的第二滑块66，第二滑块66可沿第二导轨65上下移动。

所述机架1外侧面设有沿X轴方向设置的第三丝杆直线模组，拉膜机构5由第三丝杆直线模组驱动，可沿X轴方向移动；所述拉膜机构5包括夹头51、拉膜气缸52、拉膜支架53和夹头安装座54，拉膜支架53沿Y轴方向设置，一端安装在第三丝杆直线模组上，另一端固定安装夹头安装座54；所述夹头51置于夹头安装座54内，受拉膜气缸52驱动，夹头51可在夹头安装座54内上下移动，与夹头安装座54底面构成夹持部。夹头可与夹头安装座底面构成夹持部，用来夹持、牵拉辅助膜，方便辅助膜移动到加热焊接机构下方，可以与晶圆的减薄膜热熔固定。第三丝杆直线模组包括第三马达55、第三丝杆56和第三导轨57，拉膜支架53端部设有与第三丝杆56配合的第三滑块58，第三滑块58可沿第三导轨57上下移动，第三导轨位于机架外侧面。

所述拉膜机构5下方设有两个可水平开合的夹持辊，夹持辊沿Y轴方向设置，夹持辊包括第一夹持辊81和第二夹持辊82，第一夹持辊81固定在机架1上，第二夹持辊82两端通过第五滑块83滑动安装在机架两侧的第五导轨84上，所述第二夹持辊82受夹持气缸85作用，可沿第五导轨84平移，与第一夹持辊81配合工作。第二夹持辊可移动至与第一夹持辊贴合，用于夹持住辅助膜，且两个夹持辊离晶圆更近，减薄膜受力更均匀，可轻松将减薄膜撕下。

所述机架1下方还设有晶圆安装座7，晶圆安装座上端面为微孔陶瓷片71，晶圆安装座连接有吸气设备，微孔陶瓷片可呈负压状态，晶圆通过负压安装在微孔陶瓷片上；所述机架1下方设有沿X轴方向设置的第四丝杆直线模组，驱动晶圆安装座7在夹持辊下方沿X轴方向平移。晶圆通过负压固定在微孔陶瓷片上，带有减薄膜的一侧向上，通过第四丝杆直线模组驱动，在机架下方移动，当减薄膜与辅助膜热熔固定后，晶圆继续移动，即可与减薄膜分离。

撕膜方法包括以下步骤：

1)辅助膜2通过卷筒套装在膨胀轴32上，通过膨胀气囊固定卷筒膜，扭力马达33带动膨胀轴转动，辅助膜端部抽出，经由第一导向轮34、第二导向轮35换向后，依次从压膜垫块310、刀槽板42上方穿行，且铺膜气缸36驱动铺膜片37平移，向前推动辅助；此时，压膜片39、刀片保护罩44均位于上方，割膜刀片41位于内侧，均不会干涉辅助膜的移动；

2)第三丝杆直线模组驱动拉膜机构5沿Y轴方向移动，越过安装面板31，位于其右侧；第一丝杆直线模组驱动送膜机构3下移，此时辅助膜与夹头位置相对，方便夹头夹持辅助膜；

3)扭力马达33继续输送辅助膜2，铺膜片37向前推动辅助膜，可使推动辅助膜进入夹头51下方；然后拉膜气缸52驱动夹头51下移，夹持住辅助膜；

4)拉膜机构5带动辅助膜继续向右侧平移，使得辅助膜越过加热焊接机构6、第一夹持辊81；此时第一夹持辊81、第二夹持辊82为分开状态；

5)晶圆通过负压固定在晶圆安装座7上，第四丝杆直线模组驱动晶圆安装座7向加热焊接机构6一侧平移，此时晶圆右侧位于加热焊接机构正下方，即第一夹持辊、第二夹持辊之间；

6)加热焊接机构6开始工作，第二丝杆直线模组驱动加热块安装架62下移，加热块61下移并带动辅助膜穿过第一夹持辊81、第二夹持辊82之间，与晶圆上的减薄膜相贴合，加热块61加热，焊接气缸63驱动加热块61慢慢下移，将辅助膜与减薄膜热熔固定在一起；

7)加热焊接机构6上移复位，压膜气缸38驱动压膜片39下移，将辅助膜固定住，保护罩气缸45驱动刀片保护罩44下移，将辅助膜固定在刀槽板42上；然后割膜气缸43驱动割膜刀片41沿刀槽46移动，割断辅助膜；然后刀片保护罩44、割膜刀片41复位；

8)此时，晶圆上留一小段可供拉扯的部分辅助膜，该部分辅助膜一端被夹头固定，另一端与晶圆的减薄膜固定在一起，也就是辅助膜两端分别位于夹持辊的上下两侧；夹持气缸85驱动第二夹持辊82向第一夹持辊81靠拢，夹持住晶圆上残留的辅助膜；

9)第四丝杆直线模组驱动晶圆安装座7继续向右侧移动，而减薄膜通过辅助膜被两个夹持辊固定，晶圆随晶圆安装座移动过程中，晶圆上的减薄膜被慢慢撕开；

10)当晶圆与减薄膜彻底分离后，夹持气缸85驱动第二夹持辊82和第一夹持辊81分开，同时，拉膜气缸52驱动夹头51上移，使得减薄膜与辅助膜在自身重力作用下，自由下落至废料框内。

11)至此，完成晶圆撕膜的全部工作，从晶圆安装座下取下被撕膜的晶圆，可以放入下一个待撕膜的晶圆，进行下一次撕膜工作。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (7)

1.一种晶圆撕膜装置，包括机架，其特征在于：机架上方设有辅助膜以及带动辅助膜转动的送膜机构，送膜机构后侧设有第一丝杆直线模组，第一丝杆直线模组带动送膜机构上下移动，所述送膜机构上还设有可平移的割膜刀片；所述机架下方设有可平移的拉膜机构，拉膜机构包括夹头以及控制夹头移动的拉膜气缸，辅助膜端部固定在夹头上；所述拉膜机构下方设有两个可水平开合的夹持辊，夹持辊下方设有可平移的晶圆安装座；所述机架上安装有加热焊接机构，加热焊接机构包括加热块以及带动加热块升降的第二丝杆直线模组，加热块可从两个夹持辊中间穿行，靠近晶圆安装座。

2.如权利要求1所述的一种晶圆撕膜装置，其特征在于：所述送膜机构还包括安装面板，安装面板上设有膨胀轴和带动膨胀轴转动的扭力马达，所述辅助膜缠绕在卷筒上，卷筒固定在膨胀轴上；所述安装面板上还设有多个导向轮，导向轮位于膨胀轴下方。

3.如权利要求2所述的一种晶圆撕膜装置，其特征在于：所述安装面板下方设有可平移的铺膜片以及可升降的压膜片；所述铺膜片安装在水平设置的铺膜气缸上，压膜片安装在竖直设置的压膜气缸上，压膜片下方设有压膜垫块，压膜垫块上设有一凹槽，铺膜片前端可插入压膜垫块的凹槽内；所述压膜片为L型结构，位于割膜刀片一侧。

4.如权利要求2所述的一种晶圆撕膜装置，其特征在于：所述安装面板上安装有割膜机构，割膜机构包括刀槽板、割膜气缸、刀片保护罩和保护罩气缸，割膜气缸水平设置在刀槽板上方，割膜刀片安装在割膜气缸上，所述割膜刀片底端伸入刀槽内，所述保护罩气缸竖向设置在刀槽板上方，刀片保护罩安装在保护罩气缸上。

5.如权利要求1所述的一种晶圆撕膜装置，其特征在于：所述机架侧面设有水平设置的第三丝杆直线模组，拉膜机构由第三丝杆直线模组驱动；所述拉膜机构还包括拉膜支架和夹头安装座，拉膜支架一端安装在第三丝杆直线模组上，另一端固定安装夹头安装座；所述夹头置于夹头安装座内，受拉膜气缸驱动，夹头可在夹头安装座内上下移动，与夹头安装座底面构成夹持部。

6.如权利要求1所述的一种晶圆撕膜装置，其特征在于：所述夹持辊包括第一夹持辊和第二夹持辊，第一夹持辊固定在机架上，第二夹持辊两端滑动安装在机架两侧的导轨上，所述第二夹持辊受夹持气缸作用，可沿导轨平移，与第一夹持辊配合工作。

7.如权利要求1所述的一种晶圆撕膜装置，其特征在于：所述晶圆安装座上端面为微孔陶瓷片，晶圆安装座连接有吸气设备，微孔陶瓷片可呈负压状态；所述机架下方设有第四丝杆直线模组，驱动晶圆安装座在夹持辊下方平移。