CN219610400U - 一种用于芯片生产的转运装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于芯片生产的转运装置，涉及芯片生产技术领域；包括箱体，其特征在于：所述箱体顶部和底部分别固定连接有推杆和底板，且底板底部固定连接有活动连接有滚轮，所述箱体内腔设有托板，所述箱体顶部连接有支架，所述支架顶部固定有伺服电机，且伺服电机底部连接有拾取机构。通过伺服电机带动第一固定板转动，以带动左右两侧的吸嘴调转，使两侧的吸嘴分别进行吸取和放下，从而将前后两位芯片的拾取和放下的操作重叠，以此缩短了芯片移动的整体操作步骤，减少了消耗的时间，提高了转运效率。

Description

一种用于芯片生产的转运装置

技术领域

本实用新型涉及芯片生产技术领域，具体为一种用于芯片生产的转运装置。

背景技术

集成电路在电子学中是一种将电路小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面，再经过多个工效的加工后，其最终的产品被称为芯片，芯片的生产需要多个不同设备配合进行，而且在芯片成品在生产出后也需要存储，因此，需要转运装置来将芯片在不同设备和存储装置间进行转运。

如公开号为CN214279934U的一种芯片生产过程中转运装置，包括存储盒，所述存储盒的顶端固定安装有限位滑板，所述限位滑板的一侧开设有滑槽，在滑槽的内部滑动连接有滑块一，所述滑块一远离限位滑板的一侧滑动连接有吸盘，所述存储盒的内部转动连接有多组转动轮，两个所述转动轮之间活动连接有安装板，且安装板与限位滑板垂直设置。该装置通过转动轮、安装板、支撑块、放置板、限位滑板、滑块一、吸盘、滑槽和加工台之间的相互配合使用，将放置板放置在支撑块上，吸盘可将加工台上处理好的芯片吸起，在滑块一沿着滑槽滑动时，快速的将其转运至存储盒内部的放置板上，避免人工逐个拿取，有效的提高了工作效率。

上述装置虽然通过吸盘拾取并放置，但其吸盘只有一个，在使用时需要每移动一个芯片都需要进行来回的两次移动，对于需要移动的所有芯片来说，操作步骤较多，耗时长，效率低，而且，上述装置为开放结构，芯片在装置中可以与外界相接处，芯片容易受外界影响损坏，且吸嘴在移动芯片时没有防护机构，芯片容易意外掉落而损坏。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题在于克服现有技术的转运效率低、芯片易受损等缺陷，提供一种用于芯片生产的转运装置。所述一种用于芯片生产的转运装置具有转运效率高、芯片不易受损等特点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于芯片生产的转运装置，包括箱体，其特征在于：所述箱体顶部和底部分别固定连接有推杆和底板，且底板底部固定连接有活动连接有滚轮，所述箱体内腔设有托板，所述箱体顶部连接有支架，所述支架顶部固定有伺服电机，且伺服电机底部连接有拾取机构；

所述箱体左侧为开口设置，并通过合页活动连接有活动门，所述箱体右侧开设有矩形槽，所述托板和矩形槽均设有若干个，且若干个托板和矩形槽均自上而下呈线性排列，且若干个托板顶部均放置有托盘，所述托板底部设有第一支撑板，所述第一支撑板左侧固定连接有第二支撑板，且第一支撑板和第二支撑板均与箱体内壁固定连接；

所述支架下方设有第一固定板，所述伺服电机底部输出轴与支架活动连接，并延伸至支架与第一固定板固定连接，所述拾取机构设有两个，且分别固定在第一固定板两端，两个拾取机构均包括与第一固定板固定连接的固定块，所述固定块底部开设有凹槽，所述凹槽顶部固定连接有气缸，所述气缸底部伸出端固定连接有吸嘴；

所述箱体内滑动连接有两个竖板，两个所述竖板分布于托板前后两侧，所述竖板上开设有若干个第一开槽，且第一开槽内通过转轴滑动连接有翻转板，所述托板前后两侧均固定有第二固定板，所述第二固定板上开设有卡槽，所述翻转板上固定有卡块，所述竖板上滑动连接有移动块。

优选的，所述固定块底部位于凹槽相对两侧处均开设有第二开槽，所述吸嘴左右两侧均设有活动板，所述活动板顶部插接在第二开槽内并与第二开槽活动连接，所述活动板顶部开设有第三开槽，且第三开槽内活动连接有齿轮，所述吸嘴上固定有与齿轮啮合的齿条，两个活动板顶部均固定连接有挡板。

优选的，所述第一支撑板顶部开设有滑槽，所述托板底部活动连接有滑轮，且滑轮底部插接在滑槽内。

优选的，所述托板底部靠近左侧处固定连接有L形板，所述箱体右侧内壁固定连接有第三固定板，所述第三固定板位于矩形槽下方。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、通过伺服电机带动第一固定板转动，以带动左右两侧的吸嘴调转，使两侧的吸嘴分别进行吸取和放下，从而将前后两位芯片的拾取和放下的操作重叠，以此缩短了芯片移动的整体操作步骤，减少了消耗的时间，提高了转运效率；

2、通过箱体收纳芯片，使芯片与外界隔离，防止转运时芯片受外界影响损坏，且在吸嘴下方设置挡板，避免芯片在移动过程中掉落摔坏，以此增强对芯片的保护。

附图说明

图1为本实用新型立体图；

图2为本实用新型结构示意图；

图3为本实用新型箱体立体图；

图4为本实用新型箱体结构示意图；

图5为本实用新型箱体侧视结构示意图；

图6为本实用新型竖板立体图；

图7为本实用新型拾取结构结构示意图。

图中标号：1、箱体；2、支架；3、伺服电机；4、固定块；5、第一电动滑台；6、推杆；7、活动门；8、底板；9、第二支撑板；10、托盘；11、第二固定板；12、L形板；13、第三固定板；14、托板；15、第一固定板；16、移动块；17、翻转板；18、竖板；19、连接板；20、第二电动滑台；21、第一支撑板；22、气缸；23、齿条；24、齿轮；25、活动板；26、挡板；27、吸嘴；28、第三电动滑台。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-7，本实用新型提供一种技术方案：一种用于芯片生产的转运装置，包括箱体1，箱体1顶部和底部分别固定连接有推杆6和底板8，且底板8底部固定连接有活动连接有滚轮，箱体1内腔设有托板14，箱体1顶部连接有支架2，支架2顶部固定有伺服电机3，且伺服电机3底部连接有拾取机构；

箱体1顶部固定连接有第一电动滑台5，且第一电动滑台5的滑块固定连接在支架2底部；

箱体1左侧为开口设置，并通过合页活动连接有活动门7，箱体1右侧开设有矩形槽，托板14和矩形槽均设有若干个，且若干个托板14和矩形槽均自上而下呈线性排列，且若干个托板14顶部均放置有托盘10，托板14底部设有第一支撑板21，第一支撑板21左侧固定连接有第二支撑板9，且第一支撑板21和第二支撑板9均与箱体1内壁固定连接；

第一支撑板21顶部开设有滑槽，托板14底部活动连接有滑轮，且滑轮底部插接在滑槽内，便于托板14和托盘10伸出箱体1，且通过滑轮和滑槽对托板14进行限位，避免托板14在第一支撑板21上产生前后向移动，导致托板14与矩形槽错位而无法伸出箱体1；

托板14底部靠近左侧处固定连接有L形板12，箱体1右侧内壁固定连接有第三固定板13，第三固定板13位于矩形槽下方，当托板14完全伸出时，L形板12插接在第三固定板13内侧，从而相互卡住，以此固定托板14，避免托板14下坠；

支架2下方设有第一固定板15，伺服电机3底部输出轴与支架2活动连接，并延伸至支架2与第一固定板15固定连接，拾取机构设有两个，且分别固定在第一固定板15两端，两个拾取机构均包括与第一固定板15固定连接的固定块4，固定块4底部开设有凹槽，凹槽顶部固定连接有气缸22，气缸22底部伸出端固定连接有吸嘴27；

固定块4底部位于凹槽相对两侧处均开设有第二开槽，吸嘴27左右两侧均设有活动板25，活动板25顶部插接在第二开槽内并与第二开槽活动连接，活动板25顶部开设有第三开槽，且第三开槽内活动连接有齿轮24，吸嘴27上固定有与齿轮24啮合的齿条23，两个活动板25顶部均固定连接有挡板26，当气缸22推动吸嘴27伸出时，吸嘴27通过齿条23和齿轮24带动活动板25向外偏转，使两个挡板26分离张开，而吸嘴27拾取芯片后收回时，活动板25反向偏转使挡板26合并，通过挡板26防止芯片受外力影响掉落损坏，且齿轮24、齿条23和活动板25使吸嘴27与挡板26联动，从而避免挡板26对吸嘴27的动作造成影响；

箱体1内滑动连接有两个竖板18，箱体1内腔顶部和底部均固定连接有第二电动滑台20，竖板18顶部和底部均固定连接有连接板19，第二电动滑台20的滑块与连接板19固定连接，两个竖板18分布于托板14前后两侧，竖板18上开设有若干个第一开槽，且第一开槽内通过转轴滑动连接有翻转板17，托板14前后两侧均固定有第二固定板11，第二固定板11上开设有卡槽，翻转板17上固定有卡块，竖板18上滑动连接有移动块16，竖板18右侧固定连接有第三电动滑台28，第三电动滑台28的滑块与移动块16固定连接。

工作原理：使用时，将装置推动至芯片旁，并使右侧拾取机构位于芯片上方，将装置接通外部电源，首先第三电动滑台28启动，使移动块16下移推动最上方的翻转板17偏转至第一开槽内，使卡块与卡槽卡接，接着第二电动滑台20启动，使竖板18右移，并通过卡块和第二固定板11带动托板14右移，从而使托盘10从矩形槽处向外伸出，然后右侧气缸22启动，将吸嘴27推出，使吸嘴27与芯片接触，吸住芯片并收回，并通过挡板26避免芯片掉落，然后伺服电机3启动，带动第一固定板15转动，使左右拾取机构调转，从而将芯片移动至托盘10上方，接着两侧气缸22启动将吸嘴27推出，拾取芯片的吸嘴27逐渐靠近托盘10，并松开芯片使芯片落在托盘10上，而空置的吸嘴27与芯片接触拾取芯片，之后气缸22带动吸嘴27收回，伺服电机3再次带动第一固定板15旋转，使两侧拾取机构再次调转，并循环上述操作，且此过程中通过第二电动滑台20使竖板18带动托板14和托盘10右移从矩形槽伸出，第一电动滑台5使支架2在箱体1顶部前后移动，从而可以调节芯片在托盘10上的放置位置，通过两侧的拾取机构同步进行芯片的拾取和放下，从而减少操作步骤，并缩减转运时间，提高了转运效率，当一个托盘10放满后，第二电动滑台20启动使竖板18左移将托盘10收回箱体1内，接着第三电动滑台28启动使移动块16下移压住下面的翻转板17，使竖板18松开收回的托板14，并固定住未放置芯片的托板14，由第二电动滑台20将其送出箱体1，之后循环操作并配合拾取机构和伺服电机3将芯片充分摆放在箱体1内托盘10上，接着可通过推杆6推动装置移动至其他设备或芯片存储处，通过第一电动滑台5、第二电动滑台20、第三电动滑台28和拾取机构的配合将芯片取出至设备上或存储装置上，完成芯片的转运。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (4)

1.一种用于芯片生产的转运装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)顶部和底部分别固定连接有推杆(6)和底板(8)，且底板(8)底部固定连接有活动连接有滚轮，所述箱体(1)内腔设有托板(14)，所述箱体(1)顶部连接有支架(2)，所述支架(2)顶部固定有伺服电机(3)，且伺服电机(3)底部连接有拾取机构；

所述箱体(1)左侧为开口设置，并通过合页活动连接有活动门(7)，所述箱体(1)右侧开设有矩形槽，所述托板(14)和矩形槽均设有若干个，且若干个托板(14)和矩形槽均自上而下呈线性排列，且若干个托板(14)顶部均放置有托盘(10)，所述托板(14)底部设有第一支撑板(21)，所述第一支撑板(21)左侧固定连接有第二支撑板(9)，且第一支撑板(21)和第二支撑板(9)均与箱体(1)内壁固定连接；

所述支架(2)下方设有第一固定板(15)，所述伺服电机(3)底部输出轴与支架(2)活动连接，并延伸至支架(2)与第一固定板(15)固定连接，所述拾取机构设有两个，且分别固定在第一固定板(15)两端，两个拾取机构均包括与第一固定板(15)固定连接的固定块(4)，所述固定块(4)底部开设有凹槽，所述凹槽顶部固定连接有气缸(22)，所述气缸(22)底部伸出端固定连接有吸嘴(27)；

所述箱体(1)内滑动连接有两个竖板(18)，两个所述竖板(18)分布于托板(14)前后两侧，所述竖板(18)上开设有若干个第一开槽，且第一开槽内通过转轴滑动连接有翻转板(17)，所述托板(14)前后两侧均固定有第二固定板(11)，所述第二固定板(11)上开设有卡槽，所述翻转板(17)上固定有卡块，所述竖板(18)上滑动连接有移动块(16)。

2.根据权利要求1所述的一种用于芯片生产的转运装置，其特征在于：所述固定块(4)底部位于凹槽相对两侧处均开设有第二开槽，所述吸嘴(27)左右两侧均设有活动板(25)，所述活动板(25)顶部插接在第二开槽内并与第二开槽活动连接，所述活动板(25)顶部开设有第三开槽，且第三开槽内活动连接有齿轮(24)，所述吸嘴(27)上固定有与齿轮(24)啮合的齿条(23)，两个活动板(25)顶部均固定连接有挡板(26)。

3.根据权利要求1所述的一种用于芯片生产的转运装置，其特征在于：所述第一支撑板(21)顶部开设有滑槽，所述托板(14)底部活动连接有滑轮，且滑轮底部插接在滑槽内。

4.根据权利要求1所述的一种用于芯片生产的转运装置，其特征在于：所述托板(14)底部靠近左侧处固定连接有L形板(12)，所述箱体(1)右侧内壁固定连接有第三固定板(13)，所述第三固定板(13)位于矩形槽下方。