CN219575593U - 一种运输装置和转运设备 - Google Patents

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CN219575593U CN202320846952.XU CN202320846952U CN219575593U CN 219575593 U CN219575593 U CN 219575593U CN 202320846952 U CN202320846952 U CN 202320846952U CN 219575593 U CN219575593 U CN 219575593U
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罗峰
李佳儒
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Abstract

一种运输装置和转运设备,属于输送技术领域。转运设备包括运输装置。其中,运输装置包括AGV车体和设置于AGV车体上的转运架。转运架内间隔设置有多个放置区,每个放置区用于容纳工件板。每个放置区处的转运架上均设置有喷气头,喷气头用于对工件板进行喷气干燥,使干燥后的工件板放置于放置区。由于在每个放置区处的转运架上设置有喷气头,因此可以利用喷气头喷出高速气体对工件板进行吹扫干燥,使得放置在放置区的工件板几乎没有水渍残留,进而减小水渍从工件板处滴落至AGV车体上的几率,降低AGV车体的故障率,提高工件板的运输效率。

Description

一种运输装置和转运设备
技术领域
本申请涉及输送技术领域,具体而言,涉及一种运输装置和转运设备。
背景技术
在太阳电池的生产车间,通常需要利用晶托作为载具承载硅棒,并采用AGV(Automated Guided Vehicle,简称AGV)小车搬运工件板。
由于晶托通常需要在脱板间进行打磨脱胶,并进行清洗处理等操作,因此,晶托上容易残留水渍。在利用AGV小车运输带有水渍的晶托时,容易导致AGV小车故障,降低晶托等工件板的运输效率。
实用新型内容
本申请的目的在于提供一种运输装置和转运设备,以部分或全部地改善相关技术中晶托等工件板的输送问题。
第一方面,本申请实施例提供了一种运输装置,包括:AGV车体和设置于AGV车体上的转运架。转运架内沿第一方向间隔设置有多个放置区,每个放置区用于容纳工件板;转运架上还设置有多个喷气头,喷气头分别位于每个放置区处,喷气头用于对工件板进行喷气干燥。
在上述实现过程中,在AGV车体上设置转运架,且转运架内设置有多个放置区,能够将多个工件板放置在放置区,使多个工件板沿第一方向间隔放置。然后利用AGV车体将放置在转运架内的工件板运输至所需位置。并且,在转运架对应于每个放置区处,均设置有喷气头,可以利用喷气头对工件板进行喷气干燥,使得放置在放置区的工件板更加干燥,因而在AGV车体的移动过程中,基本不会有水渍滴落在AGV车体上,可以降低AGV车体发生故障的几率,以提高工件板的输送效率。
结合第一方面,本申请可选的实施方式中,放置区的长度方向的两端分别设置有两个第一限位块和两个第二限位块,用于限定出放置区;放置区的长度方向的两端均设置有喷气头。
在上述实现过程中,利用两个第一限位块和两个第二限位块共同形成放置区,可以对放置在放置区的工件板的长度方向的两端进行限位,减小转运架内相邻两个工件板发生碰撞的几率。并且,在放置区的长度方向的两端均设置喷气头,可以对工件板的两端同时喷气,提高工件板的干燥程度。
结合第一方面,本申请可选的实施方式中,转运架包括架体,架体的相对两侧分别设置第一限位块和第二限位块,喷气头位于架体的上方。
在上述实现过程中,将喷气头设置在架体的上方,可以在将工件板转运至架体的上方且放置在放置区之前,利用架体上方的喷气头对工件板进行喷气干燥,然后将干燥后的工件板放置在放置区,以使架体内的放置区长时间保持干燥状态。
结合第一方面,本申请可选的实施方式中,多个第一限位块的上端以及多个第二限位块的上端均凸出架体;转运架还包括第一支撑板和第二支撑板;多个第一限位块的上端设置第一支撑板,第一支撑板上设置有多个喷气头,且相邻的两个第一限位块之间至少具有一个喷气头;和/或,多个第二限位块的上端设置第二支撑板,第二支撑板上设置有多个喷气头,且相邻的两个第二限位块之间至少具有一个喷气头。
在上述实现过程中,在第一限位块凸出架体的一端设置第一支撑板,在第二限位块凸出架体的一端设置第二支撑板,可以利用第一支撑板和第二支撑板分别固定每个放置区两端的喷气头,使喷气头固定在架体内的放置区的上方。
结合第一方面,本申请可选的实施方式中,沿第一方向,第一支撑板上设置有第一条形孔,喷气头的喷气端穿过第一条形孔并朝向放置区;和/或,沿第一方向,第二支撑板上设置有第二条形孔,喷气头的喷气端穿过第二条形孔并朝向放置区。
在上述实现过程中,在第一支撑板和第二支撑板处设置沿第一方向延伸的条形孔,可以将喷气头的喷气端穿过条形孔,实现喷气头的固定,还能便于喷气头对将要放置于相应放置区处的工件板进行喷气吹干。
结合第一方面,本申请可选的实施方式中,相邻两个放置区之间的第一限位块为第一T形板,第一支撑板固定于第一T形板的背离放置区的板面;和/或,相邻两个放置区之间的第二限位块为第二T形板,第二支撑板固定于第二T形板的背离放置区的板面。
在上述实现过程中,将相邻两个放置区之间的第一限位块和第二限位块中的一者或两者,设置为沿架体的高度方向延伸的T形板,可以利用T形板沿第一方向的两侧的台阶,对晶托的端部进行限位,使放置在放置区处的晶托更加稳固。并且,将第一限位块和第二限位块设置为T形板,可以将第一支撑板和第二支撑板更加牢固的固定在相应的T形板的板面处。
结合第一方面,本申请可选的实施方式中,运输装置包括空气压缩机,空气压缩机的出气口通过气管与喷气头连接;空气压缩机与AGV车体的控制器通讯连接。
在上述实现过程中,将空气压缩机的出气口通过气管与喷气头连接,可以利用空气压缩机产生压缩气体,并利用气管将压缩气体输送至喷气头处并由喷气头喷出,对工件板进行干燥,可以提高工件板的干燥程度,减小干燥过程中的水渍滴落在转运架内的几率(压缩气体具有较大的流速,可以将工件板处附着的水渍吹离工件板,同时使脱离工件板的水渍变成水雾或者水蒸气等,并被高速气体吹离转运架)。
同时,将空气压缩机与AGV车体的控制器通讯连接,可以在AGV车体接收到送件指令时,自动打开空气压缩机,准备向喷气头输送压缩气体,提高运输装置的自动化程度,提高工件板的运输效率。
结合第一方面,本申请可选的实施方式中,气管设置有换向阀,换向阀与控制器通讯连接,以控制出气口与喷气头的连通或者中断。
在上述实现过程中,在气管处设置换向阀,可以利用换向阀控制空气压缩机的出气口输出的压缩气体的流向,进而控制喷气头处是否有压缩气体流进。并且,将换向阀与AGV车体的控制器通讯连接,可以在AGV车体感应到外部机械手放置工件板时,控制换向阀的流道,使空气压缩机的出气口与喷气头连通,进而对放置过程中的工件板进行喷气干燥。
结合第一方面,本申请可选的实施方式中,转运架设置有隔板,转运架通过隔板分隔成第一容纳腔,以及位于第一容纳腔下方的第二容纳腔,放置区设置于位于第一容纳腔,空气压缩机设置于第二容纳腔;隔板靠近第一容纳腔的一侧开设有凹槽,凹槽用于容纳放置于放置区的未脱板的工件板下的硅棒。
在上述实现过程中,利用隔板将转运架分隔成两个容纳腔,以便于将空气压缩机与工件板分开放置,避免空气压缩机与放置于放置区处的工件板交叉污染或者互相影响,提高工件板的输送质量。
并且,利用隔板将架体分隔成上下布置的第一容纳腔和第二容纳腔,以便于将工件板放置在位于上方的第一容纳腔处。在隔板靠近第一容纳腔的一侧设置有凹槽,可以利用凹槽容纳粘贴在工件板下的硅棒,进而可以避免硅棒直接与隔板的表面接触,以提高硅棒的洁净度。
第二方面,本申请实施例提供了一种转运设备,包括:第一方面提供的运输装置和机械手。机械手用于将工件板放入或者取出放置区。
在上述实现过程中,利用本示例提供的转运设备输送工件板时,可以利用机械手将工件板放入放置区。在机械手将工件板从转运架的上方向放置区放置的过程中,可以利用转运架处的喷气头喷气,对工件板进行吹扫,使得放置在放置区的工件板更加干燥,因此,在AGV车体的移动过程中,基本不会有水渍从工件板处滴落在AGV车体上,进而可以减小AGV车体发生故障的几率,以提高运输效率。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本申请的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为晶托的结构示意图;
图2为硅棒与晶托的连接示意图;
图3为本申请实施例提供的转运设备的结构示意图;
图4为本申请实施例提供的转运架的结构示意图;
图5为图4的转运架放置有晶托后,沿A-A方向的截面示意图。
图标:
100-转运设备;1-运输装置;10-AGV车体;20-转运架;21-架体;22-第一限位块;23-第二限位块;24-隔板;25-第一容纳腔;26-第二容纳腔;27-凹槽;30-喷气头;41-第一支撑板;411-第一条形孔;42-第二支撑板;421-第二条形孔;50-空气压缩机;60-气管;70-换向阀;80-挡板;D1-第一方向;D2-长度方向;
200-晶托;210-基板;220-支耳;300-硅棒。
具体实施方式
下面将结合附图对本申请技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本申请的技术方案,因此只作为示例,而不能以此来限制本申请的保护范围。
除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同;本文中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本申请;本申请的说明书及上述附图说明中的术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形,意图在于覆盖不排他的包含。
在本申请实施例的描述中,技术术语“第一”“第二”等仅用于区别不同对象,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量、特定顺序或主次关系。在本申请实施例的描述中,“多个”的含义是两个以上,除非另有明确具体的限定。
在本文中提及“实施例”意味着,结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例,也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是,本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。
在太阳电池的生产车间,通常需要利用晶托200作为载具,将硅棒300粘贴在晶托200,然后运输至切片车间,以进行切片操作。
请参阅图1,晶托200一般为对称结构,包括基板210,基板210的两端具有矩形的支耳220。
请参阅图2,在使用晶托200承载硅棒300时,通常将硅棒300粘贴于基板210。
在完成切片以后,会将粘贴有硅片的晶托200运输至相应的生产车间,将硅片从晶托200的基板210处取出。然后对基板210处附着的胶进行脱胶,对工件板进行打磨和清洗等处理。
为了便于实现晶托200在各个生产车间的流转,通常需要使用AGV小车进行运输。
然而,在利用AGV小车,将脱板间脱板处理后的晶托200输送至其它生产车间的过程中,AGV小车容易出现故障,导致输送效率较低。
在脱板间脱板处理后的晶托200上往往会残留一定的水渍,在AGV小车的移动过程中,由于AGV小车的刹车或者加速,这些水渍可能会滴落在AGV小车,导致AGV小车发生短路故障,影响输送效率。
为了提高输送效率,尝试使用人工擦拭晶托200。但是,利用人工逐个擦拭晶托200,擦拭效率较低,仍然会影响晶托200的输送效率。
所以,本申请对晶托200等工件板的运输设备进行了进一步改进,从而可以在一定程度上减少AGV小车发生故障的频率,提高工件板的输送效率。为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
请参阅图3,本申请示例提供了一种转运设备100,包括运输装置1和机械手(图中未示出)。
其中,请继续参阅图3,运输装置1包括AGV车体10和设置于AGV车体10上的转运架20。
其中,沿第一方向D1,转运架20内间隔设置有多个放置区,每个放置区用于容纳工件板。每个放置区处的转运架20上均设置有喷气头30,喷气头30用于对工件板进行喷气干燥,使干燥后的工件板放置于放置区。
在利用本申请示例提供的转运设备100运输工件板时,例如运输晶托200时,可以利用机械手抓取晶托200,然后由转运架20上方逐渐向下运动,放置在转运架20处的放置区。由于本申请示例提供的运输装置1中,转运架20对应于每个放置区处,均设置有喷气头30,因此,在机械手将晶托200由转运架20上方向转运架20内的放置区的放置过程中,可以利用喷气头30对放置过程中的晶托200进行喷气干燥。喷气头30吹出的高速气体会将附着在晶托200表面的液滴吹离晶托200,脱离晶托200的液滴会在高速气体的作用下形成水雾或者水蒸气等,被喷气头喷出的高速气体吹离晶托200及转运架20。
因此,在经过喷气头30的喷气干燥后,放置在放置区处的晶托200等工件板会更加干燥。在AGV车体10的加速或者刹车时,基本不会出现水渍滴落在AGV车体10上的情况,进而减小AGV车体10的故障几率,提高运输效率。本申请实施例提供的运输装置1不仅适用于晶托200,还适用于其他清洗后放置在转运架20内的工件板。
以下结合附图对本申请示例提供的运输装置1中的AGV车体10、转运架20以及喷气头30作进一步的详细描述。
AGV车体10用于带动转运架20移动,进而将放置于转运架20内的工件板输送至目的地。
本申请不限制AGV车体10的具体类型,相关人员可以根据需要进行相应的选择。
示例性的,可以将AGV车体10的控制器与相应生产车间的管理控制系统通讯连接,以便于在相应车间发出叫车信号后,控制器接收到信号,控制AGV车体10移动至相应的生产车间,进行工件板的运输。
转运架20设置于AGV车体10上,用于承载工件板。其中,转运架20内设置有多个放置区,每个放置区用于放置工件板。
本申请不限制如何在转运架20处,沿第一方向D1间隔设置多个放置区。在一种可能的实施例中,请参阅图4,转运架20包括架体21。沿第一方向D1,架体21内间隔设置有多个第一限位块22,相邻两个第一限位块22之间形成放置区。
通过第一限位块22,可以使放置在转运架20处的工件板间隔一定距离,减小工件板在输送过程中发生碰撞的几率,进而提高工件板的输送质量。
进一步的,请继续参阅图4,可以在每个放置区的长度方向D2的两端分别设置有两个第一限位块22和两个第二限位块23。
利用两个第一限位块22限制工件板的一端,利用两个第二限位块23限制工件板的另一端,可以进一步降低多个工件板在输送过程中发生相互碰撞的几率,进一步提高工件板的输送质量。
进一步的,本申请不限制第一限位块22的具体形状,在一种可能的实施例中,为了运输晶托200,相邻两个放置区之间的第一限位块22的截面呈T形,沿架体21的高度方向延伸。即,相邻两个放置区之间的第一限位块22为第一T形板,凸出架体21的上端。
将第一限位块22设置成T形的第一T形板,可以利用两个T形板的之间的台阶状的侧面,对晶托200的基板210的端部以及设置于该端部处的支耳220进行限位,进一步降低放置在两个第一限位块22之间的晶托200发生位置移动的几率,提高晶托200在放置区的稳定性。
进一步的,沿第一方向D1间隔设置的多个第一限位块22中,位于起始端和末尾端的两个第一限位块22的截面可以呈L形,L形的第一限位块22与第一T形板的一侧共同形成放置位置,用于限制晶托200的端部。
进一步的,本申请不限制第二限位块23的具体形状,在一种可能的实施例中,第二限位块23与第一限位块22的结构相同。即,相邻两个放置区之间的第二限位块23的截面呈T形,为第二T形板结构,凸出架体21。
进一步的,为了便于运输装置1中的其它构件的安装,在一种可能的实施例中,可以在转运架20内设置隔板24,将架体21分隔成第一容纳腔25和第二容纳腔26,进而可以将放置区设置在第一容纳腔25,将其它构件设置在第二容纳腔26。
进一步的,可以利用隔板24将转运架20分隔成具有上下关系的第一容纳腔25和第二容纳腔26,可以避免由于设置第二容纳腔26而减小第一容纳腔25内放置区的数量。
进一步的,为了提高运输装置1的适用性,在一种可能是实施例中,请继续参阅图4,在隔板24靠近第一容纳腔25的一侧设置凹槽27,凹槽27位于第一限位块22和第二限位块23之间。
在隔板24靠近第一容纳腔25的一侧设置凹槽27,请参阅图5,可以将未脱板处理的粘贴有硅棒300/硅片的晶托200,放置在放置区,使得粘贴在基板210下方的硅棒300/硅片伸入凹槽27内,进而可以减小硅棒300/硅片与隔板24的接触几率,提高晶托200及硅棒300/硅片的输送质量。
进一步的,可以在架体21的底部设置四个支脚,在每个支脚处设置万向轮,可以在AGV车体10发生故障后推动架体21,将转运架20内的晶托200运输至相应的位置处。
本申请不限制喷气头30的数量,相关人员可以在保证每个放置区处均设置有喷气头30的情况下,根据需要进行相应的选择。
在一种可能的实施例中,可以在每个放置区的长度方向D2的两端,均设置有喷气头30。
进一步的,本申请不限制如何在每个放置区的两端均设置喷气头30,在一种可能的实施例中,请继续参阅图4,第一限位块22的上端和第二限位块23的上端均可以凸出架体21,在第一限位块22的上端设置第一支撑板41,在第一限位块22的上端设置第二支撑板42,可以利用第一支撑板41和第二支撑板42固定喷气头30。
进一步的,为了便于将喷气头30固定在相应的支撑板处,在一种可能的实施例中,请继续参阅图4,可以在第一支撑板41处设置第一条形孔411,在第二支撑板42处设置第二条形孔421。将喷气头30的喷气端穿过相应位置处的条形孔,使喷气端朝向放置区。第一条形孔411和第二条形孔421的延伸方向与第一方向D1一致,以便于在条形孔对应于放置区的相应位置处固定喷气头30。
进一步的,在一种可能的实施例中,可以将喷气头30向上倾斜设置,以在晶托200等工件板朝向放置区的下降过程中,将水渍向上吹出转运架20外。
在一种可能的实施例中,本申请提供的运输装置1还包括空气压缩机50,空气压缩机50的出气口通过气管60与喷气头30连接。
将空气压缩机50的出气口通过气管60与喷气头30连接,可以向喷气头30输送压缩气体,以便于喷气头30喷出高速气体对晶托200等工件板进行吹扫干燥,进一步提高晶托200等工件板的干燥程度。
进一步的,可以将空气压缩机50设置于第二容纳腔26。
进一步的,可以将空气压缩机50与AGV车体10的控制器通讯连接,以便于在AGV车体10接收到要件指令时,自动打开空气压缩机50。
进一步的,可以将气管60的一端与喷气头30的入口端连接,喷气头30的喷气端穿过第一条形孔411或第二条形孔421。气管60的另一端从第一容纳腔25外延伸至第二容纳腔26,与空气压缩机50的出气口连接。
进一步的,可以在气管60处设置换向阀70,将换向阀70与AGV车体10的控制器通讯连接。
将换向阀70与AGV车体10的控制器通讯连接,可以在AGV车体10感应到机械手放置晶托200等工件板时,调整换向阀70的流道,使空气压缩机50的出气口与喷气头30流体连通,进而对放置过程中的晶托200等工件板进行喷气干燥。
示例性的,换向阀70可以为两位三通换向阀。
进一步的,为了提高转运架20的外观整洁程度,请参阅图4,可以在架体21的四周设置挡板80,利用挡板80将架体21、气管60以及换向阀70罩设在挡板80内。
机械手用于将晶托200等工件板放入放置区,或者将放置在放置区处的晶托200等工件板取出,本申请不限制机械手的具体设置形式,相关人员可以根据需要进行相应的调整。
在一种可能的实施例中,机械手包括升降机,升降机的升降端设置有吸盘。在需要放置晶托200时,吸盘吸取晶托200,吸盘在升降机的作用下从转运架20的上方向下缓慢运动,将晶托200放置在相应放置区处的隔板24上。
或者,可以将吸盘替换成挂钩,利用挂钩挂住晶托200,在升降机的配合作用下实现晶托200的取放。
本申请实施例提供的转运设备100的工作原理如下:
运输装置1中的AGV车体10接收到要件信号后,AGV车体10移动至预定位置后,AGV车体的控制器控制空气压缩机50开启。当机械手抓取工件板向放置区放置时,控制器接收到有料信号,控制换向阀70换向进气,各喷气头30开始工作,对放置过程中的工件板进行吹气。当机械手放置完工件板后离开运输装置1的感应范围时,控制器控制换向阀70换向闭合,各喷气头30停止工作。
由于在工件板的放置过程中,喷气头30对工件板进行喷气干燥,因此放置在各个放置区的工件板的水渍残留量较少,甚至没有残留水渍。在运输装置1的运输过程中,即使AGV车体10进行刹车或者加速,也基本不会有水渍从工件板处滴落在AGV车体10上,进而能够降低AGV车体10发生故障的几率,提高工件板的运输效率。
以上所述仅为本申请的优选实施例而已,并不用于限制本申请,对于本领域的技术人员来说,本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种运输装置,其特征在于,包括:
AGV车体;
设置于所述AGV车体上的转运架,所述转运架内沿第一方向间隔设置有多个放置区,每个所述放置区用于容纳工件板;所述转运架上还设置有多个喷气头,所述喷气头分别位于每个所述放置区处,所述喷气头用于对所述工件板进行喷气干燥。
2.根据权利要求1所述的运输装置,其特征在于,所述放置区的长度方向的两端分别设置有两个第一限位块和两个第二限位块,用于限定出所述放置区;所述放置区的长度方向的两端均设置有所述喷气头。
3.根据权利要求2所述的运输装置,其特征在于,所述转运架包括架体,所述架体的相对两侧分别设置所述第一限位块和所述第二限位块,所述喷气头位于所述架体的上方。
4.根据权利要求3所述的运输装置,其特征在于,多个所述第一限位块的上端以及多个所述第二限位块的上端均凸出所述架体,所述转运架还包括第一支撑板和第二支撑板;
多个所述第一限位块的上端设置所述第一支撑板,所述第一支撑板上设置有多个所述喷气头,且相邻的两个所述第一限位块之间至少具有一个所述喷气头;
和/或,多个所述第二限位块的上端设置所述第二支撑板,所述第二支撑板上设置有多个所述喷气头,且相邻的两个所述第二限位块之间至少具有一个所述喷气头。
5.根据权利要求4所述的运输装置,其特征在于,沿所述第一方向,所述第一支撑板上设置有第一条形孔,所述喷气头的喷气端穿过所述第一条形孔并朝向所述放置区;
和/或,沿所述第一方向,所述第二支撑板上设置有第二条形孔,所述喷气头的喷气端穿过所述第二条形孔并朝向所述放置区。
6.根据权利要求5所述的运输装置,其特征在于,相邻两个所述放置区之间的所述第一限位块为第一T形板,所述第一支撑板固定于所述第一T形板的背离所述放置区的板面;
和/或,相邻两个所述放置区之间的所述第二限位块为第二T形板,所述第二支撑板固定于所述第二T形板的背离所述放置区的板面。
7.根据权利要求1-6任一项所述的运输装置,其特征在于,所述运输装置包括空气压缩机,所述空气压缩机的出气口通过气管与所述喷气头连接;所述空气压缩机与所述AGV车体的控制器通讯连接。
8.根据权利要求7所述的运输装置,其特征在于,所述气管设置有换向阀,所述换向阀与所述控制器通讯连接,以控制所述出气口与所述喷气头的连通或者中断。
9.根据权利要求7所述的运输装置,其特征在于,所述转运架设置有隔板,所述转运架通过所述隔板分隔成第一容纳腔,以及位于所述第一容纳腔下方的第二容纳腔,所述放置区位于所述第一容纳腔,所述空气压缩机设置于所述第二容纳腔;所述隔板靠近所述第一容纳腔的一侧开设有凹槽,所述凹槽用于容纳放置于所述放置区的未脱板的所述工件板下的硅棒。
10.一种转运设备,其特征在于,所述转运设备包括:
权利要求1-9任一项所述的运输装置;
机械手,所述机械手用于将所述工件板放入或者取出所述放置区。
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