CN219531602U - 一种硅片烘干炉的硅片传送装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片烘干炉的硅片传送装置，涉及硅片传送技术领域。本实用新型包括架体以及两个转动安装在所述架体上的传动辊，两个所述传动辊之间同步连接有输送带，所述架体上安装有驱动其中一个传动辊转动的电机，还包括多个连接块，多个所述连接块一面通过柔性垫与所述输送带外周面粘接，所述连接块的其中一侧面上通过转杆转动安装有转动架。本实用新型通过夹持件安装在转动架上，输送带持续运输的过程中，通过驱动组件使得多个转动架转动，从而使得硅片位于硅片烘干机内时，硅片的表面可以充分进行烘干，从而提高了烘干效率，减少了烘干所需要的时间，因此更具有实用性。

Description

一种硅片烘干炉的硅片传送装置

技术领域

本实用新型涉及硅片传送技术领域，具体涉及一种硅片烘干炉的硅片传送装置。

背景技术

硅片在生产的过程中，硅片表面印刷完导电浆后需要进行烘干，现有的硅片传送一般是通过输送带来将硅片输送到硅片烘干炉内进行烘干，这种传送烘干的方式为硅片平躺传送，这就导致硅片在烘干的过程中与输送带贴合的面不易烘干，导致烘干时间长，烘干效果较差，为此，本实用新型提供一种硅片烘干炉的硅片传送装置来解决现有的不足。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为解决上述背景技术中所提出的问题，本实用新型提供了一种硅片烘干炉的硅片传送装置。

本实用新型为了实现上述目的具体采用以下技术方案：

一种硅片烘干炉的硅片传送装置，包括架体以及两个转动安装在所述架体上的传动辊，两个所述传动辊之间同步连接有输送带，所述架体上安装有驱动其中一个传动辊转动的电机，还包括多个连接块，多个所述连接块一面通过柔性垫与所述输送带外周面粘接，所述连接块的其中一侧面上通过转杆转动安装有转动架，所述转动架上安装有用于夹持硅片的夹持件，所述架体上安装有驱动所述转杆转动的驱动组件。

进一步地，所述驱动组件包括转动安装在所述连接块上的转轴，所述架体上安装有作用于所述转轴的连动组件，当所述转轴沿所述输送带长度方向移动时，通过所述连动组件以使所述转轴转动，所述转轴与所述转杆上均安装有锥齿轮，两个所述锥齿轮相互啮合。

进一步地，所述连动组件包括套装在所述架体上的皮带，所述皮带呈环形且位于所述输送带的一侧，所述皮带外周侧为带齿，所述转轴的端部安装有与所述带齿啮合的驱动齿轮。

进一步地，所述夹持件包括对称滑动安装在所述转动架上的两个夹持板，两个所述夹持板之间安装有抵触弹簧。

进一步地，所述转动架上安装有导向杆，所述抵触弹簧套设在所述导向杆上，所述夹持板滑动套设在所述导向杆上。

进一步地，所述夹持板上铰接有铰接杆，对应两个所述铰接杆之间铰接有传动杆，所述传动杆一侧中部通过轴杆转动安装在所述转动架上。

进一步地，所述连接块上相对的两个所述夹持板之间开设有安装槽，所述安装槽内安装有橡胶垫，对应两个所述橡胶垫相对侧均呈凹陷状。

进一步地，所述架体上开设有呈环形的引导槽，所述转轴端部位于所述引导槽内且外周侧与引导槽内周侧相切。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型通过夹持件安装在转动架上，输送带持续运输的过程中，通过驱动组件使得多个转动架转动，从而使得硅片位于硅片烘干机内时，硅片的表面可以充分进行烘干，从而提高了烘干效率，减少了烘干所需要的时间，因此更具有实用性。

附图说明

图1是本实用新型立体结构示意图；

图2是本实用新型图1局部立体剖视图；

图3是本实用新型部分结构示意图；

图4是本实用新型图3另一视角示意图；

附图标记：1、架体；2、传动辊；3、输送带；4、连接块；5、转杆；6、转动架；7、夹持件；701、夹持板；702、抵触弹簧；8、驱动组件；801、转轴；802、连动组件；8021、皮带；8022、驱动齿轮；803、锥齿轮；9、导向杆；10、铰接杆；11、传动杆；12、安装槽；13、橡胶垫；14、引导槽。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

如图1-图4所示，本实用新型一个实施例提出的一种硅片烘干炉的硅片传送装置，包括架体1以及两个转动安装在架体1上的传动辊2，两个传动辊2之间同步连接有输送带3，架体1上安装有驱动其中一个传动辊2转动的电机，与现有的传输带结构一致，由电机驱动其中一个传动辊2转动，在输送带3的配合下，实现两个传动辊2的同步转动，以通过输送带3完成运输，还包括多个连接块4，多个连接块4一面通过柔性垫与输送带3外周面粘接，柔性垫的设计可以使得连接块4移动到输送带3弧形面处时可以顺利过渡；

连接块4的其中一侧面上通过转杆5转动安装有转动架6，转动架6上安装有用于夹持硅片的夹持件7，夹持件7对硅片的侧面形成夹持，并保持硅片处于悬空状态，因此硅片并不与输送带3的表面接触，因此硅片与烘干炉内的热气可以充分接触，架体1上安装有驱动转杆5转动的驱动组件8，架体1安装在烘干炉内，在使用的过程中将硅片通过夹持件7安装在转动架6上，输送带3持续运输的过程中，通过驱动组件8使得多个转动架6转动，使得硅片位于硅片烘干机内时，硅片的表面可以充分进行烘干，且硅片位置不断的改变，通过改变位置来实现与烘干炉内气体接触位置的改变，提高了烘干效率，减少了烘干所需要的时间，因此更具有实用性。

如图1和图2所示，在一些实施例中，驱动组件8包括转动安装在连接块4上的转轴801，架体1上安装有作用于转轴801的连动组件802，当转轴801沿输送带3长度方向移动时，通过连动组件802以使转轴801转动，转轴801与转杆5上均安装有锥齿轮803，两个锥齿轮803相互啮合，也就是说，当输送带3在运输的过程中，因为输送带3与连接块4连接，所以连接块4的运动轨迹是沿着输送带3的长度方向移动的，连接块4在移动时间接的带动转轴801移动，从而通过连动组件802会使得转轴801沿自身轴线转动，转轴801在转动的过程中会带动安装在转轴801上的锥齿轮803转动，因为两个锥齿轮803相互啮合，所以会使得与锥齿轮803连接的转杆5转动，从而实现转动架6转动。

如图1、图2和图4所示，在一些实施例中，连动组件802包括套装在架体1上的皮带8021，皮带8021呈环形且位于输送带3的一侧，皮带8021外周侧为带齿，转轴801的端部安装有与带齿啮合的驱动齿轮8022，随着输送带3的移动，连接块4以及转动安装在连接块4上的转轴801移动，因为转轴801上的驱动齿轮8022与带齿啮合，而皮带8021安装在架体1上不会移动，所以随着转轴801的移动，与皮带8021啮合的齿轮则会转动，从而实现转轴801持续转动，不需要安装额外的电力驱动件(如电机)即可使得多个转轴801转动实现多个转动架6旋转，从而节约了能耗。

如图1和图4所示，在一些实施例中，夹持件7包括对称滑动安装在转动架6上的两个夹持板701，两个夹持板701之间安装有抵触弹簧702，移动两个夹持板701，然后将硅片放置在两个夹持板701之间，此时的抵触弹簧702处于压缩状态，从而形成硅片相背的两个侧端与夹持板701抵触，从而实现夹持，通过抵触弹簧702弹性形变的特性实现夹持，方便后续将硅片从夹持板701上抽出。

如图4所示，在一些实施例中，转动架6上安装有导向杆9，抵触弹簧702套设在导向杆9上，夹持板701滑动套设在导向杆9上，导向杆9的设计起到着导向和限位的作用，从而使得夹持板701在移动时更加的滑顺，且抵触弹簧702套设在导向杆9上，可以防止抵触弹簧702在压缩时出现折弯现象，从而提高了抵触弹簧702的强度。

如图1、图3和图4所示，在一些实施例中，夹持板701上铰接有铰接杆10，对应两个铰接杆10之间铰接有传动杆11，传动杆11一侧中部通过轴杆转动安装在转动架6上，具体的，传动杆11位于两个夹持板701之间中部位置，当拉动其中一个夹持板701时，对应铰接的铰接杆10会移动，因为铰接杆10与传动杆11铰接，所以传动杆11也会转动，从而通过另一铰接杆10使得另一个夹持板701反向移动，从而使得两个夹持板701同步且向相反的方向移动，在使用时更加的方便。

如图4所示，在一些实施例中，连接块4上相对的两个夹持板701之间开设有安装槽12，安装槽12内安装有橡胶垫13，对应两个橡胶垫13相对侧均呈凹陷状，橡胶垫13的设计可以防止抵触弹簧702提供的弹性抵触力过大将硅片夹持损坏，同时后续将硅片从对应两个夹持板701之间抽出时，减少对硅片的损伤。

如图1所示，在一些实施例中，架体1上开设有呈环形的引导槽14，转轴801端部位于引导槽14内且外周侧与引导槽14内周侧相切，如图1所示，引导槽14起到了导向和限位的作用，使得转轴801在移动时更加的稳定。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (8)

1.一种硅片烘干炉的硅片传送装置，包括架体(1)以及两个转动安装在所述架体(1)上的传动辊(2)，两个所述传动辊(2)之间同步连接有输送带(3)，所述架体(1)上安装有驱动其中一个传动辊(2)转动的电机，其特征在于，还包括多个连接块(4)，多个所述连接块(4)一面通过柔性垫与所述输送带(3)外周面粘接，所述连接块(4)的其中一侧面上通过转杆(5)转动安装有转动架(6)，所述转动架(6)上安装有用于夹持硅片的夹持件(7)，所述架体(1)上安装有驱动所述转杆(5)转动的驱动组件(8)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片烘干炉的硅片传送装置，其特征在于，所述驱动组件(8)包括转动安装在所述连接块(4)上的转轴(801)，所述架体(1)上安装有作用于所述转轴(801)的连动组件(802)，当所述转轴(801)沿所述输送带(3)长度方向移动时，通过所述连动组件(802)以使所述转轴(801)转动，所述转轴(801)与所述转杆(5)上均安装有锥齿轮(803)，两个所述锥齿轮(803)相互啮合。

3.根据权利要求2所述的一种硅片烘干炉的硅片传送装置，其特征在于，所述连动组件(802)包括套装在所述架体(1)上的皮带(8021)，所述皮带(8021)呈环形且位于所述输送带(3)的一侧，所述皮带(8021)外周侧为带齿，所述转轴(801)的端部安装有与所述带齿啮合的驱动齿轮(8022)。

4.根据权利要求1所述的一种硅片烘干炉的硅片传送装置，其特征在于，所述夹持件(7)包括对称滑动安装在所述转动架(6)上的两个夹持板(701)，两个所述夹持板(701)之间安装有抵触弹簧(702)。

5.根据权利要求4所述的一种硅片烘干炉的硅片传送装置，其特征在于，所述转动架(6)上安装有导向杆(9)，所述抵触弹簧(702)套设在所述导向杆(9)上，所述夹持板(701)滑动套设在所述导向杆(9)上。

6.根据权利要求5所述的一种硅片烘干炉的硅片传送装置，其特征在于，所述夹持板(701)上铰接有铰接杆(10)，对应两个所述铰接杆(10)之间铰接有传动杆(11)，所述传动杆(11)一侧中部通过轴杆转动安装在所述转动架(6)上。

7.根据权利要求4所述的一种硅片烘干炉的硅片传送装置，其特征在于，所述连接块(4)上相对的两个所述夹持板(701)之间开设有安装槽(12)，所述安装槽(12)内安装有橡胶垫(13)，对应两个所述橡胶垫(13)相对侧均呈凹陷状。

8.根据权利要求2所述的一种硅片烘干炉的硅片传送装置，其特征在于，所述架体(1)上开设有呈环形的引导槽(14)，所述转轴(801)端部位于所述引导槽(14)内且外周侧与引导槽(14)内周侧相切。