CN220375517U - 一种硅片链条输送装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种硅片链条输送装置，涉及硅片生产技术领域。本申请包括：机架，其上转动设置有两个对称分布的传动轴，所述传动轴上滑动套设有两个对称分布的链轮，位于不同传动轴上的两个链轮之间设置有连接链条，所述连接链条上设置有多个间隔分布且均用于装载硅片的载具，所述机架上设置有驱动部与两个对称分布的驱动件。本申请正常使用时，通过多个载具对硅片进行装载，通过驱动部、两个传动轴、四个链轮以及两个连接链条的配合，实现对硅片的高效率输送，在实际使用时，若需要输送的硅片尺寸较大，可分别通过两个驱动件驱使位于同一传动轴上的两个链轮同步反向滑动至相互远离，从而使两个连接链条之间的间距增大。

Description

一种硅片链条输送装置

技术领域

本申请涉及硅片生产技术领域，具体涉及一种硅片链条输送装置。

背景技术

硅片在生产过程中，输送是必不可少的一道工序，在现有技术中，通常采用链条组件对硅片进行输送，链条组件由两个链轮与一条连接链条组成，两个链轮分别套设在两个传动轴上，连接链条上设置有多个均用于装载硅片的载具，通过电机驱动传动轴转动，多个载具均随连接链条移动，实现对硅片的输送，为了实现更高的输送效率，通常会将链条组件设置为两组，但在实际使用时，由于两组链条组件之间的间隔相对固定，故所能输送的硅片尺寸较为固定，从而导致使用灵活性和适用性较差，因此提出一种硅片链条输送装置。

实用新型内容

本申请的目的在于：为解决两组链条组件之间的间隔相对固定，故所能输送的硅片尺寸较为固定，从而导致使用灵活性和适用性较差的技术问题，本申请提供了一种硅片链条输送装置。

本申请为了实现上述目的具体采用以下技术方案：

一种硅片链条输送装置，包括：

机架，其上转动设置有两个对称分布的传动轴，所述传动轴上滑动套设有两个对称分布的链轮，位于不同传动轴上的两个链轮之间设置有连接链条，所述连接链条上设置有多个间隔分布且均用于装载硅片的载具，所述机架上设置有驱动部与两个对称分布的驱动件，所述驱动部用于驱使其中一个传动轴转动，所述驱动件用于驱使位于同一传动轴上的两个链轮同步反向滑动。

进一步地，所述传动轴的外表面沿其长度方向构造有凸条，所述链轮上构造有凹槽，所述链轮通过凸条与凹槽的配合实现与传动轴的同步转动。

进一步地，所述驱动部包括设置在机架上的驱动电机，所述传动轴与驱动电机的输出轴之间通过第一皮带轮组件传动连接。

进一步地，所述载具包括设置在连接链条上的承载板，所述承载板上设置有多个矩形阵列分布的固定片。

进一步地，所述承载板上设置有定位块。

进一步地，所述驱动件包括转动设置在机架上的正反丝杆与均滑动设置在机架上且对称分布的两个滑块，两个所述滑块分别与正反丝杆的正反螺纹段螺纹配合，所述滑块上设置有构造呈U形且与链轮对应的限位板。

进一步地，所述限位板的相对侧均设置有多个滚珠，所述链轮与滚珠滚动抵触搭接。

进一步地，所述机架上设置有输出轴与其中一个正反丝杆连接的传动电机，两个所述正反丝杆之间通过第二皮带轮组件传动连接。

本申请的有益效果如下：本申请正常使用时，通过多个载具对硅片进行装载，通过驱动部、两个传动轴、四个链轮以及两个连接链条的配合，实现对硅片的高效率输送，在实际使用时，若需要输送的硅片尺寸较大，可分别通过两个驱动件驱使位于同一传动轴上的两个链轮同步反向滑动至相互远离，从而使两个连接链条之间的间距增大，得以输送尺寸较大的硅片，从而提高使用灵活性和适用性，因此更具有实用性。

附图说明

图1是本申请结构立体图；

图2是本申请载具的结构立体图；

图3是本申请部分结构立体图；

图4是本申请图3中A处的放大图；

图5是本申请图3的俯视图；

图6是本申请图5中B处的放大图。

附图标记：1、机架；2、传动轴；3、链轮；4、连接链条；5、载具；501、承载板；502、固定片；503、定位块；6、驱动部；601、驱动电机；602、第一皮带轮组件；7、驱动件；701、正反丝杆；702、滑块；703、限位板；704、滚珠；8、凸条；9、凹槽；10、传动电机；11、第二皮带轮组件。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

如图1-图6所示，本申请一个实施例提出的一种硅片链条输送装置，包括：机架1，其上转动设置有两个对称分布的传动轴2，传动轴2呈水平方向，传动轴2上滑动套设有两个对称分布的链轮3，链轮3沿水平方向滑动套设在传动轴2上，位于不同传动轴2上的两个链轮3之间设置有连接链条4，连接链条4的数量为两个且对称分布，连接链条4上设置有多个间隔分布且均用于装载硅片的载具5，多个载具5均随连接链条4移动，机架1上设置有驱动部6与两个对称分布的驱动件7，驱动部6用于驱使其中一个传动轴2转动，驱动件7用于驱使位于同一传动轴2上的两个链轮3同步反向滑动，在初始状态下，位于同一传动轴2上的两个链轮3相互靠近，在正常使用时，通过多个载具5对硅片进行装载，通过驱动部6驱使其中一个传动轴2转动，带动位于其上的两个链轮3一同转动，驱使两个连接链条4一同移动，连接链条4上的多个载具5均一同移动，位于另一个传动轴2上的两个链轮3会分别在两个连接链条4的带动下一同转动，从而共同带动另一个传动轴2转动，以实现两个传动轴2一同转动，四个链轮3一同转动，两个连接链条4一同移动，实现对硅片的高效率输送，在实际使用时，若需要输送的硅片尺寸较大，可分别通过两个驱动件7驱使位于同一传动轴2上的两个链轮3同步反向滑动至相互远离，从而使两个连接链条4之间的间距增大，得以输送尺寸较大的硅片，从而提高使用灵活性和适用性，因此更具有实用性。

如图4所示，在一些实施例中，传动轴2的外表面沿其长度方向构造有凸条8，链轮3上构造有凹槽9，链轮3通过凸条8与凹槽9的配合实现与传动轴2的同步转动，链轮3完全套设在传动轴2上，凸条8位于凹槽9内，参照上文，当传动轴2转动时，通过凸条8与凹槽9的配合，实现链轮3与传动轴2的同步转动，当链轮3沿水平方向滑动时，凸条8会在凹槽9内滑动。

如图3所示，在一些实施例中，驱动部6包括设置在机架1上的驱动电机601，驱动电机601固设在机架1上，传动轴2与驱动电机601的输出轴之间通过第一皮带轮组件602传动连接，第一皮带轮组件602由两个皮带轮与一个连接皮带组成，两个皮带轮分别套设在其中一个传动轴2与驱动电机601的输出轴上，连接皮带绕设在两个皮带轮上，参照上文，在使用时，打开驱动电机601，驱动电机601工作，输出轴转动，通过第一皮带轮组件602带动其中一个传动轴2一同转动。

如图2所示，在一些实施例中,载具5包括设置在连接链条4上的承载板501，承载板501通过螺栓可拆卸设置在连接链条4上，承载板501上设置有多个矩形阵列分布的固定片502，在本实施例中，固定片502的数量为四个且均固设在承载板501上，固定片502为表面经过光滑处理的不锈钢弹片，不仅可以实现对硅片的固定，同时也避免对硅片的表面造成划伤，参照上文，在使用时，将硅片竖直方向装载到承载板501上，固定片502会发生一定程度上的形变并抵紧硅片。

如图2所示，在一些实施例中,承载板501上设置有定位块503，定位块503固设在承载板501上，在将硅片装载到承载板501上时，使硅片的一侧贴合定位块503，从而使多个硅片得以整齐的进行装载，避免硅片在装载时出现位置偏移。

如图4-图6所示，在一些实施例中,驱动件7包括转动设置在机架1上的正反丝杆701与均滑动设置在机架1上且对称分布的两个滑块702，正反丝杆701呈水平方向，两个滑块702均沿水平方向滑动，两个滑块702分别与正反丝杆701的正反螺纹段螺纹配合，滑块702上设置有构造呈U形且与链轮3对应的限位板703，限位板703与滑块702固定连接，参照上文，在使用时，驱使正反丝杆701正向转动，两个滑块702均会因螺纹作用而沿水平方向同步反向滑动至相互靠近，两个限位板703分别随着两个滑块702一同运动，分别通过两个限位板703推动两个链轮3沿水平方向同步反向滑动至相互靠近，反之，当正反丝杆701反转时，两个滑块702均会因螺纹作用而沿水平方向同步反向滑动至相互远离，两个限位板703分别随着两个滑块702一同运动，分别通过两个限位板703推动两个链轮3沿水平方向同步反向滑动至相互远离。

如图6所示，在一些实施例中,限位板703的相对侧均设置有多个滚珠704，链轮3与滚珠704滚动抵触搭接，参照上文，当限位板703随着滑块702一同运动时，由于限位板703上的多个滚珠704均与链轮3抵触搭接，因此会推动链轮3沿水平方向滑动，当链轮3转动时，会使多个滚珠704滚动，从而降低与链轮3表面的摩擦力，避免链轮3转动时出现干涉现象。

如图3-图5所示，在一些实施例中,机架1上设置有输出轴与其中一个正反丝杆701连接的传动电机10，传动电机10固设在机架1上，两个正反丝杆701之间通过第二皮带轮组件11传动连接，第二皮带轮组件11由两个皮带轮与一个连接皮带组成，两个皮带轮分别套设在两个正反丝杆701的同一端，连接皮带绕设在两个皮带轮上，参照上文，在使用时，打开传动电机10，传动电机10工作，输出轴正转，带动其中一个正反丝杆701正向转动，通过第二皮带轮组件11带动另一个正反丝杆701一同转动，以实现两个正反丝杆701一同正向转动，反之，当传动电机10的输出轴反转时，则会使两个正反丝杆701一同反向转动。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本申请。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本申请的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本申请将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (8)

1.一种硅片链条输送装置，其特征在于，包括：

机架(1)，其上转动设置有两个对称分布的传动轴(2)，所述传动轴(2)上滑动套设有两个对称分布的链轮(3)，位于不同传动轴(2)上的两个链轮(3)之间设置有连接链条(4)，所述连接链条(4)上设置有多个间隔分布且均用于装载硅片的载具(5)，所述机架(1)上设置有驱动部(6)与两个对称分布的驱动件(7)，所述驱动部(6)用于驱使其中一个传动轴(2)转动，所述驱动件(7)用于驱使位于同一传动轴(2)上的两个链轮(3)同步反向滑动。

2.根据权利要求1所述的一种硅片链条输送装置，其特征在于，所述传动轴(2)的外表面沿其长度方向构造有凸条(8)，所述链轮(3)上构造有凹槽(9)，所述链轮(3)通过凸条(8)与凹槽(9)的配合实现与传动轴(2)的同步转动。

3.根据权利要求1所述的一种硅片链条输送装置，其特征在于，所述驱动部(6)包括设置在机架(1)上的驱动电机(601)，所述传动轴(2)与驱动电机(601)的输出轴之间通过第一皮带轮组件(602)传动连接。

4.根据权利要求1所述的一种硅片链条输送装置，其特征在于，所述载具(5)包括设置在连接链条(4)上的承载板(501)，所述承载板(501)上设置有多个矩形阵列分布的固定片(502)。

5.根据权利要求4所述的一种硅片链条输送装置，其特征在于，所述承载板(501)上设置有定位块(503)。

6.根据权利要求1所述的一种硅片链条输送装置，其特征在于，所述驱动件(7)包括转动设置在机架(1)上的正反丝杆(701)与均滑动设置在机架(1)上且对称分布的两个滑块(702)，两个所述滑块(702)分别与正反丝杆(701)的正反螺纹段螺纹配合，所述滑块(702)上设置有构造呈U形且与链轮(3)对应的限位板(703)。

7.根据权利要求6所述的一种硅片链条输送装置，其特征在于，所述限位板(703)的相对侧均设置有多个滚珠(704)，所述链轮(3)与滚珠(704)滚动抵触搭接。

8.根据权利要求6所述的一种硅片链条输送装置，其特征在于，所述机架(1)上设置有输出轴与其中一个正反丝杆(701)连接的传动电机(10)，两个所述正反丝杆(701)之间通过第二皮带轮组件(11)传动连接。